JPS60137035A - ウエ−ハ接着装置 - Google Patents
ウエ−ハ接着装置Info
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- JPS60137035A JPS60137035A JP24430783A JP24430783A JPS60137035A JP S60137035 A JPS60137035 A JP S60137035A JP 24430783 A JP24430783 A JP 24430783A JP 24430783 A JP24430783 A JP 24430783A JP S60137035 A JPS60137035 A JP S60137035A
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- Japan
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- bonding
- curved surface
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はつ〕−一−ハを貼（＝ｊプレー１・に高精瓜
に接１Ｓりるつ、「−ハ接名装置に関りるものである。
に接１Ｓりるつ、「−ハ接名装置に関りるものである。
第１図ないし第５図は従来のつｌ−ハ接る装置６の概略
を示している。貼付プレート１につ］−ハ２を接７）剤
５で貼イ」りる揚ｅ１、従来は、金属又は樹脂製の押棒
３を使う装置（第１図）や、先端に人工皮革４等を貼っ
た押し棒３を：゛°使う装置（第２図）や、あるいは接
着剤５の上にセラ１−された複数のウェーハ２をヒータ
ー６で加熱して一定潟度の下で加圧板７にＪ：り加圧し
て接２３する装置（第３図）があった。しかし、従来は
接着精度を良くづる為には作業の熟練や長い作業時間が
必要とされていた。このため従来技術では接着層の厚さ
を均一にＪる事がガましい。その結果、接着層５の厚さ
がクサビ状（第４図）になったり、接着層５の厚さが不
均一（第５図）になったりＪることが多かった。
を示している。貼付プレート１につ］−ハ２を接７）剤
５で貼イ」りる揚ｅ１、従来は、金属又は樹脂製の押棒
３を使う装置（第１図）や、先端に人工皮革４等を貼っ
た押し棒３を：゛°使う装置（第２図）や、あるいは接
着剤５の上にセラ１−された複数のウェーハ２をヒータ
ー６で加熱して一定潟度の下で加圧板７にＪ：り加圧し
て接２３する装置（第３図）があった。しかし、従来は
接着精度を良くづる為には作業の熟練や長い作業時間が
必要とされていた。このため従来技術では接着層の厚さ
を均一にＪる事がガましい。その結果、接着層５の厚さ
がクサビ状（第４図）になったり、接着層５の厚さが不
均一（第５図）になったりＪることが多かった。
また、ウェーハ表面にダメージを与えることも少なくな
かった。
かった。
この発明は接名層の厚さの精度と再現性が良く、ウェー
ハにダメージを与えないウェーハ接着装置を提供づるも
のである。
ハにダメージを与えないウェーハ接着装置を提供づるも
のである。
以下、図面を参照して、本発明の詳細な説明Ｊる。
台１０はその上に貼付プレート１をのせるにうになって
おり、ヒータ（図示せず）を備えている。加圧装置１１
は台１Ｏの上方に配首されていＣ１下向きにふくらんだ
曲面のある弾性体１２を右している。この弾１１体１２
は好ましくはゴム弾性体で半球状に形成しく、エアシリ
ンダ装置１３のピストンロツド１４の下端に固定された
取付金具１５に取りつける。エアシリンダ装置１３の本
体はフレーム１６に固定されている。またエアシリンク
技（召１３は駆動装置１７に接続されていて、ピストン
ロツド１４を昇降させることににり加圧装置１１の弾性
体１２を上下に動かづようになっている。他方、弾性体
１２の内部スペース１８は密封されていて、パイプ１９
を経て内圧調ｌｌ！！装置２Ｏ及びエア源２１に連絡さ
れている。内圧調整装置２０ににリフ１１＋／、Ｌ体１
２の内部スペース１８の内圧を任意に変化させられるよ
うになっている。２２は制御装置で、駆動装置１７及び
内圧調整装置２Ｏを電気的にコンＩ〜ロールする。
おり、ヒータ（図示せず）を備えている。加圧装置１１
は台１Ｏの上方に配首されていＣ１下向きにふくらんだ
曲面のある弾性体１２を右している。この弾１１体１２
は好ましくはゴム弾性体で半球状に形成しく、エアシリ
ンダ装置１３のピストンロツド１４の下端に固定された
取付金具１５に取りつける。エアシリンダ装置１３の本
体はフレーム１６に固定されている。またエアシリンク
技（召１３は駆動装置１７に接続されていて、ピストン
ロツド１４を昇降させることににり加圧装置１１の弾性
体１２を上下に動かづようになっている。他方、弾性体
１２の内部スペース１８は密封されていて、パイプ１９
を経て内圧調ｌｌ！！装置２Ｏ及びエア源２１に連絡さ
れている。内圧調整装置２０ににリフ１１＋／、Ｌ体１
２の内部スペース１８の内圧を任意に変化させられるよ
うになっている。２２は制御装置で、駆動装置１７及び
内圧調整装置２Ｏを電気的にコンＩ〜ロールする。
貼ｆ］ブレー１〜１を台１０のヒーター（図示せず）で
１５０〜１５５℃に加熱し、その上に粘１（Ｉをもった
接着剤（粘度２０Ｃ１））を塗り、さらにその上にウェ
ーハ２をセラ１〜づる。
１５０〜１５５℃に加熱し、その上に粘１（Ｉをもった
接着剤（粘度２０Ｃ１））を塗り、さらにその上にウェ
ーハ２をセラ１〜づる。
弾性体２の内圧は内１Ｆ調整装置２０によりゲージ圧（
’Ｏ，８ｋａ／ｃ１１１２に調整され、エアシリンダ装
置１３によるウェーハ２への加圧力（Ｊ駆動装置！ １
７にＪ：す、０ 、３ ｋｇ／ ｃ ｍ２ニし、ピスト
ンロツド１４及び弾性体１２を０．８ＩｌｌＩｌｌ／秒
の速度で下ドアさせる。制御装置２２にＪ、す、弾性体
１２がつ１−ハ２に接触したあと、りぐ」−アシリンダ
装置１３は一時停止ｌ−シ、制御装置２２内のタイマー
にてセットされた時間が経過したとぎ１ニアシリンダ装
置１３のピストン［］ツラド４が一定最下降り−る。′
１Ｊるど弾１４休１２が第７図に示？ｌ’、Ｊ、うにつ
ぶれ、ウェーハ２の全面が加圧された状態で停止づる。
’Ｏ，８ｋａ／ｃ１１１２に調整され、エアシリンダ装
置１３によるウェーハ２への加圧力（Ｊ駆動装置！ １
７にＪ：す、０ 、３ ｋｇ／ ｃ ｍ２ニし、ピスト
ンロツド１４及び弾性体１２を０．８ＩｌｌＩｌｌ／秒
の速度で下ドアさせる。制御装置２２にＪ、す、弾性体
１２がつ１−ハ２に接触したあと、りぐ」−アシリンダ
装置１３は一時停止ｌ−シ、制御装置２２内のタイマー
にてセットされた時間が経過したとぎ１ニアシリンダ装
置１３のピストン［］ツラド４が一定最下降り−る。′
１Ｊるど弾１４休１２が第７図に示？ｌ’、Ｊ、うにつ
ぶれ、ウェーハ２の全面が加圧された状態で停止づる。
そのあと、元の位置まで弾性体１２が上＋７？、 ｔ、
、つｌ−ハ１枚の接着が完了−りる。
、つｌ−ハ１枚の接着が完了−りる。
弾性体１２がつぶれる時の弾性体１２の内圧は内圧調整
装置２０にＪ：り自動的に一定圧力に調整される。
装置２０にＪ：り自動的に一定圧力に調整される。
更にエアシリンダ装＠１３の圧力は制御１装置２２によ
り駆動装置１７を介して０．３ｋＯ／ｃｍ２から３ ｋ
ｇ／ａｍ ２まで連続して、Ｌ ”ｉ’？でさるにうに
なっている。弾性体１２がつ１−ハ２を加圧づる際の加
圧ツノは一定に調節される。
り駆動装置１７を介して０．３ｋＯ／ｃｍ２から３ ｋ
ｇ／ａｍ ２まで連続して、Ｌ ”ｉ’？でさるにうに
なっている。弾性体１２がつ１−ハ２を加圧づる際の加
圧ツノは一定に調節される。
なお、ウェーハ２と貼付プレート１との接着部の精度を
紺１負さぜる為に弾性体１２に（加圧しながら冷ＪＪＩ
できる装置（図示せず）を設【プるのが望ましい。
紺１負さぜる為に弾性体１２に（加圧しながら冷ＪＪＩ
できる装置（図示せず）を設【プるのが望ましい。
上記の条件以外に貼付プレート・１の加熱温度は９０〜
１６０℃、接着剤５の粘度は５〜６０ＣＩ）のしのまで
適用してもよい。
１６０℃、接着剤５の粘度は５〜６０ＣＩ）のしのまで
適用してもよい。
また弾性体１２の内圧は０．２〜１．５ｋ（１／ｃｍ２
の範囲で、エアシリンダ装置１３の加圧力はＯ〜１１０
１（７０ｍ２、ピストン［Ｊラド１４の下降速度は５
ｍｍ／秒の速度の範囲でも同様の接着精度がｔ）られる
。
の範囲で、エアシリンダ装置１３の加圧力はＯ〜１１０
１（７０ｍ２、ピストン［Ｊラド１４の下降速度は５
ｍｍ／秒の速度の範囲でも同様の接着精度がｔ）られる
。
弾性体１２のゴム硬度は３Ｏから７０までのものかにい
。
。
従来技術と比較して貼付プレー１−１とつ工−ハ２の接
着層の精度が表１に示すように向１し、接着作業局間が
表２に示づにうに１／２に短縮でき、従来の能力の２倍
となった。
着層の精度が表１に示すように向１し、接着作業局間が
表２に示づにうに１／２に短縮でき、従来の能力の２倍
となった。
さらに、つＩ−ハ２へのダメージが解消した。
表−１接着層の精度
表−２接着時間
（ウェーハ１枚当り）
本発明は第６図の実施例のにうにウェーハ２を１枚毎に
行うだけでなく、第８．９．１０図に示ηように貼付プ
レート１にセットされている複数のウェーハ２の全数を
一度に行う方法にも適用できる。
行うだけでなく、第８．９．１０図に示ηように貼付プ
レート１にセットされている複数のウェーハ２の全数を
一度に行う方法にも適用できる。
第８図の例にあっては、貼付プレート１に多数のウェー
ハ２が円周に沿って配置してあり、エアシリンダ装置１
３のピストンロッド１４の下端に取付金具３０を固定し
、そこに大型の弾性体３１が取りつけである。弾性体３
１の下降により多数のウェーハ２を同時に加圧して貼付
プレート１に接着層゛る。
ハ２が円周に沿って配置してあり、エアシリンダ装置１
３のピストンロッド１４の下端に取付金具３０を固定し
、そこに大型の弾性体３１が取りつけである。弾性体３
１の下降により多数のウェーハ２を同時に加圧して貼付
プレート１に接着層゛る。
第９図の例においては、取付金具３Ｏに小型（第６図と
同じ）の弾性体３３が円周に沿って配置してあり、貼イ
」プレート１上の多数Ｑ）つ］−ハ２を同１に’ｉに加
圧して接？ｉするようになっ（いる。
同じ）の弾性体３３が円周に沿って配置してあり、貼イ
」プレート１上の多数Ｑ）つ］−ハ２を同１に’ｉに加
圧して接？ｉするようになっ（いる。
第１０図の例にあっては、ベース３５にフレーム１６が
固定しである。台１Ｏは回転軸３６の上端に固定しであ
る。その回転軸３６の下端はインデックス装置３７に固
定しである。その他の構成は第６図の例と同じであるの
で説明を省略する。
固定しである。台１Ｏは回転軸３６の上端に固定しであ
る。その回転軸３６の下端はインデックス装置３７に固
定しである。その他の構成は第６図の例と同じであるの
で説明を省略する。
インデックス装置３７にＪ、り回転軸３６を回転さ１Ｊ
で、貼イ」プレート１−Ｆのウェーハ２の位置をり゛ら
ｉ！（いき、多数のウェーハ２を連続的に接着Ｊること
がＣきる。
で、貼イ」プレート１−Ｆのウェーハ２の位置をり゛ら
ｉ！（いき、多数のウェーハ２を連続的に接着Ｊること
がＣきる。
本発明装置はつ、「−ハだりでなく他へに接着をｔ−ｊ
う全てのものに適用できる。
う全てのものに適用できる。
第゛１〜５図は従来のウェーハ接着装置を示！ｌ概略図
、第６図は本発明によるつ■−ハ接名装置を承り概略図
、第７図は第６図のウェーハ接着装置がつＳ−ハを加圧
し−（いる状態を示づ説明図、第８〜１０図はそれぞれ
本発明の変形例を承り概略図である。 １ ・・・・・・貼イ；Ｊブレー１・ ２ ・・・・・１ン エ − ハ ５ ・・・・・・接名剤 １０ ・・・・・・台 １１ ・・・・・・加圧装置 １２ ・・・・・・弾性体 １３ ・・・・・・エアシリンダ装置 １４ ・・・・・・ピストンＤツド １６ ・・・・・・フレーム １７ ・・・・・・駆動装置 １９ ・・・・・・パイプ ２０ ・・・・・・内圧調整装置 ２１ ・・・・・・エア源 ２２ ・・・・・・制御装置 ３１ ＼・・・・・・弾性体 ３３ ・・・・・・弾１（１体 ３７ ・・・・・・インデックス
、第６図は本発明によるつ■−ハ接名装置を承り概略図
、第７図は第６図のウェーハ接着装置がつＳ−ハを加圧
し−（いる状態を示づ説明図、第８〜１０図はそれぞれ
本発明の変形例を承り概略図である。 １ ・・・・・・貼イ；Ｊブレー１・ ２ ・・・・・１ン エ − ハ ５ ・・・・・・接名剤 １０ ・・・・・・台 １１ ・・・・・・加圧装置 １２ ・・・・・・弾性体 １３ ・・・・・・エアシリンダ装置 １４ ・・・・・・ピストンＤツド １６ ・・・・・・フレーム １７ ・・・・・・駆動装置 １９ ・・・・・・パイプ ２０ ・・・・・・内圧調整装置 ２１ ・・・・・・エア源 ２２ ・・・・・・制御装置 ３１ ＼・・・・・・弾性体 ３３ ・・・・・・弾１（１体 ３７ ・・・・・・インデックス
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）貼（ＪプレーＩ〜につＩ−八を接着づ−るつ］−
−ハ接着装同において、貼イー１プレートの上に接盾剤
を介しくつ、１−−ハを置き、下向きにふくらみのある
曲面を有づる弾性体にＪ、リウ１、−ハを加圧りる４１
４成にしたことを特１歎どづるつ１−ハ接る装置。 （２）貼付プレー１へをの−ける台ど、−１・向きにふ
くら／υだ曲面のある弾性体を有しかつ前記台の上方に
配置ＦＮされた加圧装置ｉ”？ど、前記加１１装置１゛
Ｙの弾性体を」２．下に勅かづ駆動装置と、１１１■記
弾１η体内の圧力を任意に変化さｌることがＣぎる内り
調整装「う゛とを備え、前記貼イ（１プレー１〜の土に
接盾剤を介してウコーーハをのせ、前記加１１−’３Ａ
置の弾性体を下降させることにより前記弾性体の曲面で
前記ウェーハを加圧りる構成にしたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載のウェーハ接着装置。 〈３）弾性体の曲面を半球状にして、加圧時のつＪ−ハ
上の圧力分布を均一にすることを特徴とする特許請求の
範囲第１項又は第２項のウェーハ接着装置 （４）弾性体をゴム弾性体により構成することを特徴と
する特許請求の範囲第１項又は第２項のつ〕−−ハ接着
装置。 （５ンｈｌｌ ＩＩ Ｌ／なからウェーハと貼イ・ｊプ
レー１〜の接￥；部を加熱づることを特徴とする特Ｗ［
請求の範囲第１項又は第２ Ｊｌ’ｊに記載のクー１−
ハ接着装首。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24430783A JPS60137035A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | ウエ−ハ接着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24430783A JPS60137035A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | ウエ−ハ接着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60137035A true JPS60137035A (ja) | 1985-07-20 |
| JPS6332258B2 JPS6332258B2 (ja) | 1988-06-29 |
Family
ID=17116787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24430783A Granted JPS60137035A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | ウエ−ハ接着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60137035A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01289132A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-11-21 | Morton Thiokol Inc | 印刷配線に重合体材料を貼着する方法および装置 |
| WO2006070998A1 (en) * | 2004-12-30 | 2006-07-06 | Z. Tec. Co. Ltd. | Pneumatic cylinder using elastic rubber and system and method for controlling position of pneumatic cylinder |
| JP2008147249A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Nitto Denko Corp | 基板貼合せ方法およびこれを用いた装置 |
| JP2012089623A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Tokyo Electron Ltd | 押圧用アダプタ |
| JP2015053360A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6136936B2 (ja) * | 2012-02-01 | 2017-05-31 | 旭硝子株式会社 | 積層体の製造方法および製造装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53140373U (ja) * | 1977-04-11 | 1978-11-06 | ||
| JPS5932135A (ja) * | 1982-08-18 | 1984-02-21 | Toshiba Corp | 半導体ウエハの接着装置 |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP24430783A patent/JPS60137035A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53140373U (ja) * | 1977-04-11 | 1978-11-06 | ||
| JPS5932135A (ja) * | 1982-08-18 | 1984-02-21 | Toshiba Corp | 半導体ウエハの接着装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01289132A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-11-21 | Morton Thiokol Inc | 印刷配線に重合体材料を貼着する方法および装置 |
| WO2006070998A1 (en) * | 2004-12-30 | 2006-07-06 | Z. Tec. Co. Ltd. | Pneumatic cylinder using elastic rubber and system and method for controlling position of pneumatic cylinder |
| JP2008147249A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Nitto Denko Corp | 基板貼合せ方法およびこれを用いた装置 |
| JP2012089623A (ja) * | 2010-10-18 | 2012-05-10 | Tokyo Electron Ltd | 押圧用アダプタ |
| JP2015053360A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6332258B2 (ja) | 1988-06-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |