JP2019186399A - 粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置 - Google Patents

Abstract

【課題】剥離テープを用いることなく粘着テープをウエハから精度よく剥離除去することのできる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供する。【解決手段】剥離ユニット２３は粘着ローラ２７を備えている。粘着ローラ２７は外周面の少なくとも一部に粘着性を有する粘着面を備えている。粘着ローラ２７は、当該粘着面に保護テープＰＴを粘着させた状態で、ウエハＷに対してテープ剥離方向Ｐへ相対的に移動することによって、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる。粘着ローラ２７による粘着力を用いて保護テープＰＴを剥離するので、剥離テープなどの副部材を用いることなく、精度良くウエハＷから剥離することができる。【選択図】図７

Description

本発明は、半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）に貼り付けられた粘着テープを剥離するための、粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置に関する。

ウエハの表面に回路パターン形成処理を行った後、ウエハの裏面全体を均一に研削して薄型化するバックグラインド処理が施される。当該バックグラインド処理を行う前に、回路を保護するべくウエハの表面に保護用の粘着テープ（保護テープ）を貼り付けている。ウエハを薄型化した後、ダイシング工程などの各処理をおこなうべく保護テープを剥離する。

ウエハから保護テープを剥離する従来の方法としては、裏面研削後に保護テープの表面に剥離用の粘着テープ（剥離テープ）を貼り付けて当該剥離テープを剥離することによって、剥離テープと保護テープとを一体として剥離する方法が用いられている（例えば、特許文献１を参照）。

また保護テープをウエハから剥離する他の方法としては、吸着ローラと把持部材とを併用する方法が提案されている。すなわち、保護テープを吸着ローラで吸着しながら水平移動することにより、保護テープの端部のごく一部がウエハから剥離され、剥離開始端が形成される。そして形成された剥離開始端を吸着ローラと把持部材とで把持しながら保護テープをウエハから剥離する（例えば、特許文献２を参照）。

特開２０１２−８９６４７号公報 特開２０１６−３９３０１号公報

しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。
すなわち、特許文献１に係る従来の剥離方法では、保護テープを剥離するたびに剥離テープが必要となる。また剥離テープを保護テープへと案内させる構成、および剥離テープを保護テープと一体としてウエハから剥離させる構成は複雑であるので、剥離装置のランニングコストが上昇する問題が懸念される。

また、近年では、粘着力がより強い材料がテープの粘着材として用いられる傾向にある。そのため、特に特許文献２の構成では確実に保護テープなどの粘着テープをウエハから剥離することが困難となっている。

ここで従来の構成では粘着テープの剥離が困難である一因について、特許文献２の構成を用いて説明する。すなわち、ウエハの端部付近における保護テープとウエハとの粘着面積は、ウエハの中央部分における粘着面積よりも小さい。すなわち剥離開始端付近ではウエハと保護テープとの粘着力が低いので、吸着ローラと把持部材とによって、保護テープをウエハから剥離して剥離開始端を形成されることはできる。

しかしながら、中央部分に向かうにつれてウエハと保護テープとの粘着面積が大きくなり、ウエハと保護テープとの粘着力が増大する。そのため、吸着ローラおよび把持部材による保護テープの保持力よりもウエハと保護テープとの粘着力が上回り、吸着ローラおよび把持部材から保護テープが外れてウエハに落下して再付着するといった問題が生じている。

また特許文献２に係る方法では、吸着ローラによって剥離開始端が形成された後、把持部材を水平方向に進行させ、保護テープの剥離開始端とウエハとの間に把持部材を挿入させる。このとき、剥離開始端とウエハとの間隙は狭いので、把持部材を精度良く当該間隙に挿入させることは困難である。特に把持部材の位置精度が低い場合、把持部材がウエハの側面に接触し、ウエハが損傷を受けるという問題も懸念される。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、剥離テープを用いることなく粘着テープをウエハから精度よく剥離除去できる粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置を提供することを主たる目的とする。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明に係る粘着テープ剥離方法は、ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離方法であって、
外周面の少なくとも一部に粘着性を有する粘着面を備える粘着部材を、前記粘着テープの表面に粘着させる粘着過程と、
前記粘着テープを粘着させた前記粘着部材を、前記ワークに対して所定のテープ剥離方向へ相対移動させ、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離過程と、
剥離された前記粘着テープを前記粘着部材から除去する除去過程と、
を備えたことを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、粘着過程において、外周面の少なくとも一部に粘着性を有する粘着面を備える粘着部材を、粘着テープの表面に粘着させる。そして剥離過程において、粘着テープを粘着させた粘着部材を、ワークに対して所定のテープ剥離方向へ相対移動させ、ワークから前記粘着テープを剥離させる。

この場合、剥離用の剥離テープや粘着テープを把持する把持部材といった副部材を用いることなく、粘着部材の粘着力によって粘着テープをワークから剥離できる。従って、粘着テープの剥離に要するコストを低減できる。

また、上述した発明において、前記粘着部材は粘着ローラであり、
前記剥離過程は、前記粘着テープを粘着させた前記粘着ローラを転動させ、前記粘着テープを前記粘着面に粘着させつつ巻き取ることによって前記ワークから前記粘着テープを剥離させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着部材として粘着ローラを用いる。そして剥離過程では、粘着テープを粘着させた粘着ローラを転動させ、粘着テープを粘着面に粘着させつつ巻き取ることによってワークから粘着テープを剥離させる。この場合、剥離された粘着テープは粘着ローラの粘着面に粘着するので、当該粘着テープは粘着ローラの外周面に密着するように巻き取られる。すなわち剥離された粘着テープをコンパクトな状態にしつつ、剥離過程を実行できる。従って、粘着テープが周囲の部材に粘着して剥離エラーが発生する事態を確実に回避できる。

また、上述した発明において、前記粘着過程は、前記粘着面に吸着孔が設けられている前記粘着部材を前記粘着テープに当接させ、前記粘着テープを前記粘着面に粘着させつつ前記粘着テープを前記吸着孔で吸着することが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着部材は吸着孔を備えている。そして剥離過程では粘着テープを粘着面に粘着させつつ粘着テープの吸着も行う。従って、吸着孔による吸着力と粘着面による粘着力が協働するので、粘着テープに対する粘着部材の保持力を向上できる。

また、上述した発明において、前記粘着テープが除去された前記粘着部材の前記粘着面を洗浄して前記粘着面の粘着力を回復させる粘着力回復過程を備えることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着テープの除去後に粘着面を洗浄して当該粘着面の粘着力を回復させる。そのため、粘着部材を繰り返し使用しても粘着力の低下による粘着エラーが発生する事態を寄り確実に回避できる。

また、上述した発明において、前記粘着過程は、前記粘着部材の前記粘着面を冷却させる冷却過程を有することが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着面を冷却させる冷却過程を有している。この場合、粘着テープとワークとの粘着力を低減すべく粘着テープを加熱した場合であっても、粘着部材の粘着面において高温による粘着力の低下が発生する事態を防止できる。よって、粘着テープとワークとの粘着力を低減させつつ、粘着テープと粘着部材との粘着力を向上できる。

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、本発明に係る粘着テープ剥離装置は、ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離装置であって、
前記粘着テープが貼り付けられた前記ワークを載置保持する保持テーブルと、
外周面の少なくとも一部に粘着性を有する粘着面を備える粘着部材と、
前記粘着部材を前記粘着テープの表面に粘着させる粘着制御機構と、
前記粘着テープを粘着させた前記粘着部材を、前記ワークに対して所定のテープ剥離方向へ相対移動させ、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離機構と、
剥離された前記粘着テープを前記粘着部材から除去する除去機構と、
を備えることを特徴とする。

（作用・効果）この構成によれば、粘着制御機構は、外周面の少なくとも一部に粘着性を有する粘着面を備える粘着部材を、粘着テープの表面に粘着させる。そして剥離機構は、粘着テープを粘着させた粘着部材を、前記ワークに対して所定のテープ剥離方向へ相対移動させてワークから前記粘着テープを剥離させる。

この場合、剥離用の剥離テープや粘着テープを把持する把持部材といった副部材を用いることなく、粘着部材の粘着力によって粘着テープをワークから剥離できる。従って、上記方法を好適に実現できる。

また、上述した発明において、前記粘着部材は粘着ローラであり、前記剥離機構は、前記粘着テープを粘着させた前記粘着ローラを転動させ、前記粘着テープを前記粘着面に粘着させつつ巻き取ることによって前記ワークから前記粘着テープを剥離させることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着テープを粘着させた粘着ローラを転動させ、粘着テープを粘着面に粘着させつつ巻き取ることによってワークから粘着テープを剥離させる。この場合、剥離された粘着テープは粘着ローラの粘着面に粘着するので、当該粘着テープは粘着ローラの外周面に密着するように巻き取られる。従って、粘着テープが周囲の部材に粘着して剥離エラーが発生する事態を確実に回避できる。

また、上述した発明において、前記粘着部材は前記粘着テープを吸着する吸着孔を前記粘着面に備えており、前記粘着制御機構は、前記粘着部材を前記粘着テープに当接させ、前記粘着テープを前記粘着面に粘着させつつ前記粘着テープを前記吸着孔で吸着することが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着部材は吸着孔を備えている。そして粘着テープを粘着面に粘着させるとともに、粘着テープを粘着部材で吸着する。従って、吸着孔による吸着力と粘着面による粘着力が協働するので、粘着テープに対する粘着部材の保持力を向上できる。

また、上述した発明において、前記粘着テープが除去された前記粘着部材の前記粘着面を洗浄して前記粘着面の粘着力を回復させる粘着力回復機構を備えることが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着テープの除去後に粘着面を洗浄して当該粘着面の粘着力を回復させる。そのため、粘着部材を繰り返し使用しても粘着力の低下による粘着エラーが発生する事態を寄り確実に回避できる。

また、上述した発明において、前記粘着部材の前記粘着面を冷却させる冷却機構を有することが好ましい。

（作用・効果）この構成によれば、粘着面を冷却させる冷却機構を有している。この場合、粘着テープとワークとの粘着力を低減すべく粘着テープを加熱した場合であっても、粘着部材の粘着面において高温による粘着力の低下が発生する事態を防止できる。よって、粘着テープとワークとの粘着力を低減させつつ、粘着テープと粘着部材との粘着力を向上できる。

本発明に係る粘着テープ剥離方法および粘着テープ剥離装置によれば、粘着面を備えた粘着部材を粘着テープに粘着させた状態で、ワークと粘着部材とを相対的に移動させることによって粘着テープをワークから剥離させる。そのため、剥離テープや把持部材といった副部材を用いることなく粘着テープをワークから剥離できる。

実施例１に係る粘着テープ剥離装置の基本構成を示す正面図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置の基本構成を示す平面図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置の基本構成を示す右側面図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置における一連の動作を示すフローチャートである。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置のステップＳ２における動作を示す図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置のステップＳ３における動作を示す図である。（ａ）は剥離開始位置に移動している剥離ユニットを示す正面図であり、（ｂ）は粘着ローラが保護テープを粘着させている状態を示す正面図であり、（ｃ）は粘着ローラが保護テープを粘着させる範囲を示す平面図であり、（ｄ）は把持部材を用いる従来構成において、把持部材が保護テープを把持する範囲を示す平面図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置のステップＳ４における動作を示す図である。（ａ）は保護テープをウエハから剥離している状態を示す正面図であり、（ｂ）は保護テープの剥離が完了した状態を示す正面図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置のステップＳ５における動作を示す図である。（ａ）は保護テープを把持ユニットで把持させている状態を示す正面図であり、（ｂ）は保護テープを粘着ローラから解離除去させている状態を示す正面図である。 実施例１に係る粘着テープ剥離装置のステップＳ６における動作を示す図である。 実施例２に係る粘着ローラの斜視図である。 実施例２に係る粘着テープ剥離装置のステップＳ３における動作を示す図である。（ａ）は剥離開始位置に移動している剥離ユニットを示す正面図であり、（ｂ）は粘着ローラが保護テープを粘着させている状態を示す正面図であり、（ｃ）は平面視における、粘着ローラの粘着面と吸着孔と保護テープとの位置関係を説明する図である。 実施例２に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）はステップＳ４における動作を示す図であり、（ｂ）はステップＳ５における動作を示す図である。 実施例３に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）はステップＳ４において剥離開始端から中央部分へ転動している粘着ローラを示す図であり、（ｂ）はステップＳ４において中央部分から剥離終了端へ転動している粘着ローラを示す図であり、（ｃ）は平面視において、粘着ローラが保護テープと粘着する範囲を説明する図である。 実施例３に係る粘着テープ剥離装置のステップＳ５における動作を示す図である。（ａ）は粘着ローラの回転により保護テープを把持する部分が形成される状態を示す図であり、（ｂ）は粘着ローラから垂れ下がった保護テープを把持する状態を示す図であり、（ｃ）は保護テープが粘着している粘着ローラについて、粘着ローラが保護テープと粘着する範囲を説明する斜視図である。 実施例４に係る粘着テープ剥離装置の動作を示す図である。（ａ）はステップＳ４において剥離開始端から中央部分へ転動している粘着ローラを示す図であり、（ｂ）はステップＳ４において中央部分から剥離終了端へ転動している粘着ローラを示す図であり、（ｃ）はステップＳ５において粘着ローラから保護テープを除去する状態を示す図である。 変形例に係る粘着テープ剥離装置を示す図である。（ａ）は粘着スタンプの底面斜視図であり、（ｂ）は変形例に係るステップＳ３において、剥離開始位置に移動している粘着スタンプを示す正面図であり、（ｃ）は変形例に係るステップＳ３において、粘着スタンプが保護テープを粘着させている状態を示す正面図であり、（ｄ）は変形例に係るステップＳ４において、保護テープをウエハから剥離している状態を示す正面図である。 変形例に係る粘着テープ剥離装置を説明する図である。（ａ）は粘着ローラの斜視図であり、（ｂ）は平面視における、粘着ローラの粘着面と吸着孔と保護テープとの位置関係を説明する図である。

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は実施例１に係る粘着テープ剥離装置１の正面図であり、図２は粘着テープ剥離装置１の平面図であり、図３は粘着テープ剥離装置１の右側面図である。実施例１においては、予め表面に保護テープＰＴが貼り付けられている半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」と略称する）から保護テープＰＴを剥離する構成を例にとって説明する。すなわち実施例１では、保護テープＰＴを例とする粘着テープが貼り付けられている対象（ワーク）として、ウエハＷを用いる場合を例示する。

＜全体構成の説明＞
この粘着テープ剥離装置１は、図示しない搬送ロボットにより搬送されたウエハＷを載置して保持する保持テーブル３、テープ剥離機構５、およびテープ回収部７などが備えられている。

保持テーブル３は金属製のチャックテーブルであり、図３に示すように、表面に複数個の吸着孔９を備えている。吸着孔９の各々は、図５などに示すように流路１０を介して外部の真空装置１１と連通接続されている。すなわち、真空装置１１を用いて真空吸引を行うことにより、保持テーブル３は載置されたウエハ１を吸着保持する。保持テーブル３は、複数本の支持ピン１３が装備されているとともに、ウエハＷおよび保護テープＰＴを加熱するヒータ１４が内蔵されている。

保持テーブル３は金属製に限定されることはなく、セラミックの多孔質で形成された構成などを適宜代用してもよい。また、吸着孔９および真空装置１１は必須な構成ではなく、ウエハＷを安定に保持できる構成であれば、保持テーブル３はウエハＷを吸着する構成でなくともよい。

支持ピン１３は、保持テーブル３の所定の円周上に等間隔をおいて配備されている。すなわち支持ピン１３は、シリンダ１５によって保持テーブル３の保持面に対して出退昇降可能に構成されている。

テープ剥離機構５は、図１および図２に示すように、レール１７に沿ってｘ方向へ水平に往復移動可能な可動台１９から下向きに延出された昇降軸２１を介して剥離ユニット２３が装着されている。

可動台１９は、遊転プーリとモータの駆動軸に装着された駆動プーリとに張架された無端ベルトによって水平移動するように構成されている。剥離ユニット２３は可動台１９の水平移動に従って、ｘ方向へ往復移動が可能となっている。昇降軸２１は、モータ２５の正逆転駆動によって剥離ユニット２３の全体を昇降させるよう構成されている。可動台１９は本発明における駆動機構に相当する。

剥離ユニット２３は図１および図４などに示すように、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる粘着ローラ２７が設けられている。粘着ローラ２７は、中空の回転軸２９に装着されたプーリ３１とモータ３３の駆動軸に装着された駆動プーリ３５とに張架された無端ベルト３６によって自転可能に構成されている。

また、剥離ユニット２３は冷却ノズル３７を備えている。冷却ノズル３７は図示しない気体供給部と接続されており、粘着ローラ２７の外周面に気体を吹き付けることにより、粘着ローラ２７を冷却させるように構成されている。冷却ノズル３７は本発明における冷却機構に相当する。

粘着ローラ２７は、外周面の少なくとも一部が粘着性を有する粘着面となるように構成されている。本実施例では粘着ローラ２７は外周面の全体が粘着面となるように構成されるものとする。粘着ローラ２７の外周面を構成する、粘着性を備える材料の例としては、ゴム、エラストマー、またはゲル状の高分子材料などが挙げられる。

また、粘着ローラ２７の外周面を構成する材料として、特に水などを用いた洗浄によって粘着力が回復する材料であることが好ましい。好ましい材料の一例としては、ウレタン系樹脂、シリコン系樹脂、アクリル系樹脂などが挙げられる。粘着ローラ２７は粘着面を介して保護テープＰＴと粘着することによって、保護テープＰＴをウエハＷから剥離するとともに、ウエハＷから剥離された保護テープＰＴを保持できる。

テープ回収部７は図１などに示すように、テープ剥離方向Ｐにおいて保持テーブル３よりも前方に設けられており、把持ユニット３９と回収ボックス４１とを備えている。把持ユニット３９は、ウエハＷから剥離されて粘着ローラ２７に粘着保持されている保護テープＰＴの端部を把持する。

把持ユニット３９が保護テープＰＴを把持した状態で粘着ローラ２７を適宜移動させることにより、粘着ローラ２７から保護テープＰＴを除去する。回収ボックス４１は、粘着ローラ２７から除去された保護テープＰＴを内部に収納する。実施例１において、把持ユニット３９は本発明における除去機構に相当する。

粘着テープ剥離装置１は、さらに洗浄ノズル４３を備えている。洗浄ノズル４３は図示しない洗浄液供給装置と連通しており、粘着ローラ２７の粘着面に洗浄液を吹き付けるように構成される。本実施例において、水を洗浄液として用いることとする。洗浄液を吹き付けることにより、粘着ローラ２７の粘着面から塵埃や保護テープＰＴを構成する粘着材などが除去され、粘着ローラ２７の粘着面における粘着力が回復する。洗浄ノズル４３は本発明における粘着力回復機構に相当する。

＜動作の説明＞
次に、実施例１に係る粘着テープ剥離装置１を用いて、保護テープＰＴをウエハＷから剥離するための一連の動作を説明する。なお、保護テープＰＴとして、加熱によって粘着力が低減する片面テープを用いることとする。

ステップＳ１（条件設定の入力）
先ず、図示しない操作部を操作して各種条件設定を入力する。各種条件設定の一例として、ヒータ１４の加熱温度および加熱時間や、保持テーブル３の保持面の高さに関する情報などが挙げられる。ヒータ１４の加熱温度や加熱時間は、保護テープＰＴの粘着層が加熱により発泡膨張して粘着力を減滅する程度に設定する。

ステップＳ２（ウエハの搬送および保持）
各種設定が完了すると、粘着テープ剥離装置１を作動させる。作動開始により、保護テープＰＴが予め貼り付けられているウエハＷが、図示しないロボットアームによって、アライメントステージで位置合わせされた後に保持テーブル３上に搬送される。このとき、ヒータ１４による加熱が開始され、保持テーブル３はヒータ１４によって加熱される。

ロボットアームによって裏面吸着されているウエハＷは、図５に示すように、保持テーブル３から突出している複数本の支持ピン１３に載置される。その後、支持ピン１３が下降し、ウエハＷの裏面全面が保持テーブル３の上面に所定の姿勢および位置で載置される。さらに、ウエハＷは、保持テーブル３の外周に配備された位置決め機構によって外周から把持されて位置合わされる。

その後、真空装置１１が作動して真空吸引を開始することにより、ウエハＷは保持テーブル３に吸着保持される。吸着保持されたウエハＷ上の保護テープＰＴがヒータ１４に加熱されることにより、保護テープＰＴにおける加熱剥離性の粘着層は発泡膨張し、保護テープＰＴとウエハＷとの粘着力が低減される。

ステップＳ３（粘着ローラの粘着）
所定時間の加熱が完了すると、ヒータ１４を停止させるとともにテープ剥離機構５を作動させる。作動開始の指示により、図示しない制御部は可動台１９およびモータ２５を制御して、テープ剥離機構５の剥離ユニット２３を水平方向および上下方向に適宜移動させる。当該制御により、剥離ユニット２３に設けられている粘着ローラ２７は、初期位置から剥離開始位置に移動する。なお剥離開始位置は図６（ａ）に示すように、保護テープＰＴの一端（剥離開始端）となるように設定されている。

剥離開始位置に粘着ローラ２７が移動すると、図６（ｂ）に示すように、モータ２５によって剥離ユニット２３を下降させる。剥離ユニット２３が下降することにより、粘着ローラ２７は保護テープＰＴを押圧し、粘着ローラ２７の外周に設けられている粘着面が保護テープＰＴに粘着する。このとき、粘着ローラ２７の粘着面のうち、保護テープＰＴを含むｘｙ平面に接する範囲を当接範囲Ｖとする。

図６（ｃ）に示すように、粘着ローラ２７の幅にも相当する当接範囲Ｖの幅Ｂ１は、保護テープＰＴのうち粘着ローラ２７に粘着する範囲Ｈの幅Ｂ２より広くなるように、粘着ローラ２７が構成される。すなわち保護テープＰＴに対して、粘着ローラ２７は幅広となっている粘着面を押圧させることによって粘着する。

従って、保護テープＰＴの幅方向にわたって均一に力を作用させて保護テープＰＴを粘着保持しつつ、保護テープＰＴをウエハＷから剥離させることができる。なお、粘着ローラ２７は保護テープＰＴの径より幅広であることが特に好ましい。この場合、確実に当接範囲Ｖは範囲Ｈよりも幅広となるので、より確実に保護テープＰＴの幅方向にわたって均一な力を作用させることができる。

粘着ローラ２７を保護テープＰＴに粘着させる際に、冷却ノズル３７は粘着ローラ２７に気体Ｒを吹き付け、粘着ローラ２７を冷却させる。当該冷却により、ヒータ１４によって保護テープＰＴが高温となっている場合であっても、粘着ローラ２７が過度に高温となって粘着ローラ２７の粘着面における粘着力が低下するという事態をより確実に防止できる。冷却ノズル３７により、粘着ローラ２７における当接範囲Ｖの温度は４０℃以下に維持されることが好ましく、１０℃以上３０℃以下に維持されることが特に好ましい。

ステップＳ４（テープの剥離）
粘着ローラ２７の粘着面に保護テープＰＴの一端側を粘着させた後、図７（ａ）において矢印Ｄで示すように、剥離ユニット２３をテープ剥離方向Ｐの前方へ斜め上向きに移動させる。すなわち、保護テープＰＴの面と平行なテープ剥離方向Ｐに剥離ユニット２３を駆動させるとともに、ウエハＷから離反する方向にも剥離ユニット２３を駆動させることによって、剥離ユニットは斜め上向きの方向Ｄへと移動する。

剥離ユニット２３がテープ剥離方向Ｐの前方へと駆動されるに伴い、粘着ローラ２７はウエハＷに対してテープ剥離方向Ｐへ相対的に移動する。当該相対的な移動により、ウエハＷから保護テープＰＴが剥離されていく。

なお、剥離ユニット２３とウエハＷとの干渉を防止すべく、剥離ユニット２３の底面の高さがウエハＷの表面より高くなる程度に剥離ユニット２３をわずかに上昇させた後、剥離ユニット２３を前方の斜め上向きである方向Ｄに移動させてもよい。また剥離ユニット２３をわずかに上昇させた後、テープ剥離方向Ｐへ水平移動させてもよい。

剥離ユニット２３が一定の位置まで斜め上向きに移動した後、テープ剥離方向Ｐの前方へと剥離ユニット２３を水平移動させる。図７（ｂ）に示すように、当該水平移動により剥離ユニット２３は剥離終了端側へと移動し、保護テープＰＴは完全にウエハＷから剥離される。剥離ユニット２３は保護テープＰＴの他端側を垂れ下げた状態で、さらにテープ回収部７の上方へと移動する。

ステップＳ５（テープの回収）
剥離ユニット２３をテープ回収部７へと移動させた後、粘着ローラ２７の位置を適宜制御させ、図８（ａ）に示すように保護テープＰＴの他端部分を把持ユニット３９によって把持させる。把持ユニット３９が保護テープＰＴを把持した後、図８（ｂ）に示すように剥離ユニット２３をテープ剥離方向Ｐの後方へと移動させつつ、粘着ローラ２７を逆方向へ回転させる。剥離ユニット２３の移動および粘着ローラ２７の逆回転により、粘着ローラ２７によって粘着保持されていた保護テープＰＴは、粘着ローラ２７から離れて除去される。粘着ローラ２７から除去された保護テープＰＴは回収ボックス４１に落下して回収される。

ステップＳ６（粘着ローラの洗浄）
保護テープＰＴを粘着ローラ２７から除去して回収した後、粘着ローラ２７を洗浄ノズル４３の近傍へと移動させる。図９に示すように、洗浄ノズル４３は粘着ローラ２７の粘着面に対して洗浄液Ｓを吐出させ、粘着ローラ２７の粘着面を洗浄する。当該洗浄により、粘着ローラ２７の粘着面から塵埃や保護テープＰＴの欠片などが除去されるので、粘着ローラ２７の粘着面における粘着力が回復する。洗浄により粘着力が回復した粘着ローラ２７は、初期位置へと復帰する。

粘着ローラ２７の洗浄と同期して、支持ピン１３を上昇させて保持テーブル３から突き出し、ウエハＷを保持テーブル３から離間させる。ウエハＷと保持テーブル３の間にロボットアームの先端が進入し、裏面からウエハＷを吸着保持して次工程に向けて搬出する。以上で一巡の動作が終了し、以後同じ動作が繰り返される。

＜実施例１の構成による効果＞
実施例１に係る粘着テープ剥離装置によれば、粘着性を有する粘着面を外周面に備える粘着ローラ２７を用いることにより、ウエハＷから保護テープＰＴを剥離する。この場合、ウエハＷから保護テープＰＴを剥離する際に、剥離テープや当該剥離テープの操作に要する構成、把持部材などを粘着テープ剥離装置に備える必要がない。よって、粘着テープ剥離装置のランニングコストを向上できる。

また従来構成において、爪状やピン状などの把持部材を用いて保護テープを剥離する場合、保護テープにおける一部の狭い領域に剥離するための力が集中し、保護テープが破損する問題も懸念される。具体的には図６（ｄ）に示すように、把持部材Ｖ１を用いて保護テープＰＴを把持する場合、把持部材Ｖ１の幅Ｂ３は、把持部材Ｖ１の先端部分Ｊにおける保護テープＰＴの幅Ｂ４より狭くなることが一般的である。

そのため、保護テープＰＴのうち、把持部材Ｖ１によって把持される部分と把持されない部分との間において、作用する力に大きな差が発生する。その結果、把持部材Ｖ１で保護テープＰＴを把持しながら保護テープＰＴをウエハＷから剥離する際に、特に把持部材Ｖ１が把持する部分の周辺部分において保護テープＰＴが破損するという問題が懸念される。

一方、本実施例では図６（ｃ）に示すように、幅広の粘着ローラ２７を保護テープＰＴに粘着させる。そのため、保護テープＰＴの幅方向にわたって均一に力を作用させて保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる。従って、剥離過程の際に保護テープＰＴの一部に過度な力が作用して保護テープＰＴが破損するという事態を回避できる。

さらに本発明では粘着ローラ２７の外周面における粘着力を利用して保護テープＰＴを剥離させるので、当該外周面を洗浄することによって容易に粘着力を回復させることができる。このような洗浄過程を行うことにより、粘着ローラ２７の粘着面を繰り返し利用できるので、粘着ローラ２７の交換頻度を低くすることができる。よって、粘着テープ剥離装置のランニングコストを向上できる。

次に、本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と実施例２において共通する構成については同一符号を付し、実施例２において実施例１と相違する構成である、粘着ローラ２７Ａについて図面を用いて説明する。

実施例２に係る粘着ローラ２７Ａは図１０に示すように、外周面の一部に平坦面４５を有している。平坦面４５には吸着孔４７が設けられている。吸着孔４７の各々は、図示しない吸引装置に連通接続されており、吸着孔４７を介して粘着ローラ２７Ａは保護テープＰＴを吸着保持できるように構成されている。

また、粘着ローラ２７Ａの内部を負圧から正圧にすることにより、吸着孔４７を介して気体を排出できるように構成されている。平坦面４５において吸着孔４７が設けられている位置は、保護テープＰＴと当接する範囲Ｈと対応する位置となるように構成されている。

なお、外周面の一部が粘着性を有する粘着面となっている構成の一例として、実施例２では、粘着ローラ２７Ａの外周面のうち斜線で示されている範囲Ｈが粘着面となるように構成されているものとする。図１０に示す構成は粘着ローラ２７Ａの一例であり、粘着面および吸着孔４７が配設される位置は適宜変更してよい。例えば実施例１と同様に、外周面の全体が粘着面となってもよいし、外周面のうち平坦面４５が粘着面となっている構成でもよい。また、外周面のうち平坦面４５以外の曲面となっている部分に吸着孔４７が設けられていてもよい。

実施例２に係る、保護テープＰＴをウエハＷから剥離するための一連の動作について、実施例１と相違する部分を重点的に説明する。なお、ステップＳ１およびステップＳ２は実施例１と共通するため、説明を省略する。

ステップＳ３（粘着ローラの粘着）
保護テープＰＴの加熱が完了すると、テープ剥離機構５を作動させて剥離ユニット２３を剥離開始位置へ移動させる。剥離開始位置に粘着ローラ２７Ａが移動すると、図１１（ａ）に示すように、粘着ローラ２７Ａを自転させて吸着孔４７が下向きとなるように調整する。なお、図１１以降の各図では説明の便宜上、剥離ユニット２３の構成の一部を省略している。

剥離開始位置で粘着ローラ２７Ａの位置調整が完了すると、図１１（ｂ）に示すようにモータ２５によって剥離ユニット２３を下降させる。このとき、冷却ノズル３７は気体Ｒを吹き付けて粘着ローラ２７Ａの粘着面を冷却している。剥離ユニット２３が下降することにより、粘着ローラ２７Ａは保護テープＰＴを適度に押圧する。そして平坦面４５に設けられている粘着面を介して、粘着ローラ２７Ａが保護テープＰＴに粘着する。

粘着ローラ２７Ａが保護テープＰＴに粘着すると同時に吸引装置を作動させ、吸着孔４７を介して保護テープＰＴを吸着させる。このとき、平面視における平坦面４５、吸着孔４７、粘着面が設けられている範囲Ｈ、および保護テープＰＴの位置関係は、図１１（ｃ）に示される通りである。

すなわち、粘着ローラ２７Ａに設けられている粘着面と吸着孔４７とが協働して保護テープＰＴを保持する。吸着孔４７を介した吸着力と、範囲Ｈに設けられている粘着面を介した粘着力とがそれぞれ作用することにより、粘着ローラ２７Ａは保護テープＰＴをより安定して保持できる。

また、粘着面と吸着孔４７との各々を平坦面４５に設け、平坦面４５を介して平坦な保護テープＰＴの粘着保持および吸着保持を行うことにより、粘着ローラ２７Ａは比較的広範囲にわたって保護テープＰＴを保持できる。よって、粘着ローラ２７Ａによる保護テープＰＴの保持力をより向上できる。

粘着ローラ２７Ａによって保護テープＰＴの一端側を粘着および吸着させると、図１２（ａ）に示すように、平坦面４５を下向きにした状態で粘着ローラ２７Ａをテープ剥離方向Ｐの前方へ斜め上向きに移動させる。当該移動により、粘着ローラ２７ＡはウエハＷに対してテープ剥離方向Ｐへ相対的に移動し、保護テープＰＴはウエハＷから剥離されていく（ステップＳ４）。

そして粘着ローラ２７Ａは保護テープＰＴを保持した状態で回収ボックス４１の上方へと移動する。回収ボックス４１の上方へ移動した後、図１２（ｂ）に示すように負圧から正圧に切り換えて吸着孔４７から気体Ｎを排出させる。吸着孔４７から気体Ｎを排出させることにより、保護テープＰＴは粘着ローラ２７Ａから離れて除去される。除去された保護テープＰＴは回収ボックス４１に落下して回収される（ステップＳ５）。

保護テープＰＴが除去された後、粘着ローラ２７Ａの粘着面を洗浄ノズル４３で洗浄し、粘着力を回復させるとともに、保護テープＰＴが剥離された後のウエハＷを搬出する（ステップＳ６）。

実施例１では粘着ローラ２７の外周に設けられた粘着面の粘着力によって保護テープＰＴを粘着保持する。一方、実施例２に係る粘着ローラ２７Ａはさらに吸着孔４７が配設されており、粘着ローラ２７Ａの粘着力で保護テープを粘着保持すると同時に、吸着孔を介して保護テープＰＴを吸着保持する。そのため、実施例２の構成では粘着ローラ２７Ａによる保護テープＰＴの保持力をより高めることができるので、保護テープＰＴを剥離する際に粘着ローラ２７Ａから保護テープＰＴが落下する事態をより確実に防止できる。

また、実施例２では吸着孔４７から気体Ｎを排出させることによって、粘着ローラ２７Ａによる保護テープＰＴの保持を解除させる。この場合、粘着ローラ２７Ａが保護テープＰＴを吸着する際に、保護テープＰＴの一部が吸着孔４７の内部に引き込まれていた場合であっても、吸着孔４７から保護テープＰＴを確実に排出できる。よって、保護テープＰＴを粘着ローラ２７Ａから除去する動作にエラーが発生する事態を確実に回避できる。

次に、本発明の実施例３を説明する。実施例３に係る粘着テープ剥離装置１の構成は実施例１の構成と共通するので、装置構成については説明を省略する。但し、実施例３は、保護テープＰＴに粘着させる構成として粘着ローラ２７を用いる。また、実施例３に係る剥離過程は、保護テープＰＴを粘着させた粘着ローラ２７を転動させながら保護テープＰＴをウエハＷから剥離させるという点で、実施例１に係るステップＳ４の剥離過程と相違する。そこで、実施例３に係るステップＳ４以降の動作について、以下説明する。

ステップＳ４（テープの剥離）
実施例３に係る工程を開始すると、まず、実施例１と同様にステップＳ１からステップＳ３までの工程を行う。ステップＳ３の工程が完了することにより、粘着ローラ２７は保護テープＰＴの一端側を適度に押圧し、粘着ローラ２７の外周に設けられている粘着面に当該保護テープＰＴの一端側が粘着される（図６（ｂ））。

実施例１に係るステップＳ４の工程では、粘着ローラ２７に保護テープＰＴを粘着させた状態で粘着ローラ２７を斜め前方へ移動させることにより、保護テープＰＴをウエハＷから剥離する（図７（ａ））。一方、実施例３に係るステップＳ４の工程では、図１３（ａ）に示すように、粘着ローラ２７に保護テープＰＴを粘着させた状態で、粘着ローラ２７を転動させながらテープ剥離方向Ｐの前方へ移動させる。

実施例３では粘着ローラ２７を転動させることにより、保護テープＰＴは粘着ローラ２７の外周面に設けられている粘着面に粘着していくことにより、ウエハＷから剥離される。つまり粘着面が外周面に設けられている粘着ローラを転動させることにより、ウエハＷから剥離された保護テープＰＴは、粘着ローラ２７の外周面に密着するように巻き取られていく。

そのため、粘着ローラ２７が転動しながら保護テープＰＴの剥離終了端に到達することにより、保護テープＰＴの全体がウエハＷから剥離され、粘着ローラ２７に密着するように巻き取られることとなる。すなわち、保護テープＰＴの全体をウエハＷから剥離するために、保持テーブル３から粘着ローラ２７を大きく離れさせる必要がない。

ステップＳ５（テープの除去）
保護テープＰＴをウエハＷから剥離した後、粘着ローラ２７に巻き取られた保護テープＰＴを粘着ローラ２７から除去する。粘着ローラ２７を、ステップＳ４において転動させた回転方向とは逆方向に自転させながら、粘着ローラ２７をテープ回収部７の上方へと移動させる。

保護テープＰＴの粘着力は低減されているので、粘着ローラ２７を逆方向に自転させることにより、保護テープＰＴの他端は粘着ローラ２７から離れて垂れ下がる（図１４（ａ））。そして図１４（ｂ）に示すように、粘着ローラ２７から垂れ下がっている保護テープＰＴの他端部分を把持ユニット３９で把持させる。当該把持を維持した状態で粘着ローラ２７をさらに逆回転させつつテープ剥離方向Ｐの後方へ移動させることにより、保護テープＰＴは粘着ローラ２７の粘着面から離れて除去される（図８（ｂ）を参照）。

ステップＳ６（粘着ローラの洗浄）
粘着ローラ２７から保護テープＰＴを除去した後、他の実施例と同様に、洗浄ノズル４３から吐出される洗浄液によって粘着ローラ２７の粘着面を洗浄する。そして保護テープＰＴが剥離されたウエハＷを搬出する。以上の動作により、実施例３に係る一連の工程は完了する。

実施例３では粘着性を有する粘着面を備えた粘着ローラ２７を用いて、粘着ローラ２７の粘着力によって保護テープＰＴをウエハＷから剥離する。すなわち他の実施例と同様に、把持部材や剥離テープなどの副部材を用いることなく保護テープＰＴの剥離を行えるので、装置のランニングコストを低減する効果を得ることができる。

また実施例３では、外周に粘着面を有する粘着ローラ２７を転動させて保護テープＰＴを粘着面に粘着させながら保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる。そのため、ウエハＷから剥離された保護テープＰＴは粘着ローラ２７の外周面に密着するように巻き取られていくので、剥離された保護テープＰＴは粘着ローラ２７を中心にコンパクトにまとまった形状となる（図１３（ｂ））。すなわち、図７（ｂ）のような、剥離された保護テープＰＴの他端側が粘着ローラ２７から大きく垂れ下がるという事態を、実施例３では回避できる。

保護テープＰＴが粘着ローラ２７から大きく垂れ下がる場合、垂れ下がった保護テープＰＴが装置の構成に接触して粘着し、保護テープＰＴの搬送エラーが発生する事態が懸念される。当該事態を回避するためには、剥離された保護テープＰＴを保持・搬送する粘着ローラ２７の周囲に広いスペースを確保する必要がある。その結果、装置の大型化を回避することは困難となる。

一方で実施例３では、剥離された保護テープＰＴの他端側は粘着ローラ２７に巻き取られており、粘着ローラ２７から離れていない。よって、広い空間を確保しなくとも、保護テープＰＴがウエハＷや装置の構成に粘着して搬送エラーが発生するリスクを回避できる。

また、実施例１では保護テープＰＴを粘着させた粘着ローラ２７を前方または上方へ引っ張るようにして保護テープＰＴを剥離させる。このような構成では、保護テープＰＴの全体を剥離するには、保持テーブル３の他端（保護テープＰＴの剥離終了端）から前方または上方へ離れた位置まで粘着ローラ２７を移動させる必要がある。

一方、実施例３では粘着ローラ２７を転動させて保護テープＰＴを密着するように巻き取って剥離させるので保護テープＰＴの剥離終了端へ移動した時点で保護テープＰＴは全て剥離される。よって、保持テーブル３の周囲に広い空間を確保しなくとも、粘着ローラ２７による保護テープＰＴの剥離を確実に実行できる。

さらに、実施例３では保護テープＰＴの上を転動しながら粘着させて当該保護テープＰＴをウエハＷから剥離するので、保護テープＰＴの剥離エラーが発生する事態や、保護テープＰＴまたはウエハＷの破損が発生する事態を回避できる。当該効果について、図を用いて説明する。

ステップＳ４の開始直後において、保護テープＰＴの一端側に相当する位置Ｔ１において、粘着ローラ２７は保護テープＰＴに粘着している（図１３（ａ））。位置Ｔ１において保護テープＰＴが粘着ローラ２７に当接して粘着する範囲Ｍ１は比較的狭いので、保護テープＰＴに対する粘着ローラ２７の粘着力は比較的小さい（図１３（ｃ）、図１４（ｃ））。

しかし、範囲Ｍ１は位置Ｔ１において保護テープＰＴとウエハＷとが粘着する範囲にも相当する。すなわち、位置Ｔ１における保護テープＰＴとウエハＷとの粘着力も小さい。従って、保護テープＰＴに対する粘着ローラ２７の粘着力が小さくとも、当該粘着力によって保護テープＰＴをウエハＷから剥離できる。

そして粘着ローラ２７がテープ剥離方向Ｐへ転動することにより、保護テープＰＴの中央部に相当する位置Ｔ２へと移動する。このとき、位置Ｔ２において保護テープＰＴとウエハＷとが粘着する範囲Ｍ２は比較的広いので、中央部である位置Ｔ２では保護テープＰＴとウエハＷとの粘着力は比較的大きくなる。

しかし、範囲Ｍ２は位置Ｔ２において保護テープＰＴが粘着ローラ２７に当接して粘着する範囲にも相当する。すなわち、位置Ｔ２において保護テープＰＴに対する粘着ローラ２７の粘着力も大きくなる。従って、保護テープＰＴとウエハＷとの粘着力が大きい中央部Ｔ２であっても、当該比較的大きい粘着力によって保護テープＰＴをウエハＷから剥離できる。

このように、実施例３では粘着ローラ２７が保護テープＰＴの端部から中央部に向かうにつれて発生する、保護テープＰＴとウエハＷとの粘着力の変化に応じて、粘着ローラ２７と保護テープＰＴとの粘着力も適宜変化させることができる。そのため、保護テープＰＴを剥離しにくい中央部分においても、保護テープＰＴを確実にウエハＷから剥離できる。

さらに、実施例３では特に保護テープＰＴの端部を剥離する際に保護テープＰＴやウエハＷが破損する事態を回避できる。すなわち、保護テープＰＴの端部においては保護テープＰＴとウエハＷとの粘着力は比較的低い。そのため、当該端部に対して過度に大きい力を作用させて保護テープＰＴを剥離しようとすると、保護テープＰＴとともにウエハＷまで引き上げられる。その結果、ウエハＷが変形・破損する事態が懸念される。また、保護テープＰＴに対して過度に大きい力が作用することにより、保護テープＰＴが破損する事態も懸念される。

従来のように保護テープを吸着または把持によって保持しつつ保護テープをウエハから剥離する場合、保護テープの保持力は保護テープの端部であっても中央部であっても一定である。そのため、従来の剥離方法では保護テープの端部に対して過度に大きい力が作用して保護テープやウエハが破損する場合がある。また、保護テープの中央部では保護テープの保持力が保護テープとウエハとの粘着力が下回り、保護テープの剥離エラーが発生する場合もある。

これに対し、実施例３では粘着面を有する粘着ローラ２７を保護テープＰＴの上で転動させながら保護テープＰＴを粘着させつつ巻き取って剥離する。この場合、保護テープＰＴの端部では、粘着ローラ２７の粘着力すなわち保護テープＰＴを剥離する力を小さくしつつ、中央部では粘着ローラ２７の粘着力を大きくできる。

よって、実施例３では保護テープＰＴの端部において、剥離する力が過度に大きくなってウエハＷなどを破損させる事態を回避できる。かつ、保護テープＰＴの中央部において、保護テープＰＴを剥離する力が不足することに起因して保護テープＰＴの剥離エラーが発生する事態も回避できる。

次に、本発明の実施例４を説明する。実施例４の構成は、実施例２の構成に実施例３に係る剥離過程を適用させたものである。すなわち実施例４では保護テープＰＴを保持する構成として、実施例２と同様に図１０に示すような粘着ローラ２７Ａを用いる。すなわち、粘着ローラ２７Ａの外周面に設けられた吸着孔４７を介した吸着と、同じく外周面に設けられた粘着面を介した粘着とによって、保護テープＰＴを保持しつつ当該保護テープＰＴを剥離する。

そして実施例４では、ステップＳ４において、実施例３のように保護テープＰＴの上で粘着ローラ２７Ａを転動させ、保護テープＰＴを粘着面に粘着させて巻き取ることにより、当該保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる。そのため、実施例４に係る粘着ローラ２７Ａにおいて、粘着性を有する粘着面は粘着ローラ２７Ａの外周面全体に設けられているものとする。

実施例３および実施例４において粘着ローラの外周面全体を粘着面とする構成は、粘着ローラ２７Ａの外周に保護テープＰＴを粘着させつつ密着するように巻き取る工程をより好適に実行できるという点で好ましい。なお、実施例４に係る粘着テープ剥離装置１において、粘着ローラ２７Ａの粘着面以外の構成は実施例２と共通する。

実施例４に係る一連の工程について、以下説明する。ステップＳ１ないしステップＳ３の工程は、実施例２と共通する。すなわち、操作部を操作してヒータ１４の加熱条件などを設定する（ステップＳ１）。そして粘着テープ剥離装置１を作動させ、保護テープＰＴが貼り付けられているウエハＷを保持テーブル３に搬送して吸着保持させるとともに、ヒータ１４を作動させて保護テープＰＴを加熱し、保護テープＰＴの粘着力を低減させる（ステップＳ２）。

保護テープＰＴの加熱が完了すると、テープ剥離機構５を作動させて剥離ユニット２３を剥離開始位置へ移動させ、冷却ノズル３７を作動させて粘着ローラ２７Ａの粘着面を冷却しつつ粘着ローラ２７Ａを保護テープＰＴに押圧させる（図１１（ｂ））。そして平坦面４５に設けられている粘着面に保護テープＰＴを粘着させるとともに、吸引装置を作動させて吸着孔４７を介して保護テープＰＴを粘着ローラ２７Ａの平坦面４５に吸着させる（ステップＳ３）。吸着孔４７を介した吸着力と、粘着面を介した粘着力とがそれぞれ作用することにより、粘着ローラ２７Ａは保護テープＰＴを安定に保持する。

ステップＳ４（テープの剥離）
実施例２に係るステップＳ４では、保護テープＰＴを保持した状態で粘着ローラ２７Ａをテープ剥離方向Ｐの前方へ斜め上向きに移動させることにより保護テープＰＴをウエハＷから剥離する（図１２（ａ））。一方、実施例４に係るステップＳ４が開始されると、吸着と粘着とによって保護テープＰＴを保持した状態の粘着ローラ２７Ａを、保護テープＰＴの上でテープ剥離方向Ｐへ転動させる（図１５（ａ））。

粘着ローラ２７Ａが転動するにつれて、粘着ローラ２７Ａの外周面に設けられた粘着面に対して、保護テープＰＴが粘着されていく。その結果、粘着ローラ２７Ａの外周に密着するように保護テープＰＴが巻き取られ、保護テープＰＴはウエハＷから剥離されていく。

粘着ローラ２７Ａが保護テープＰＴの一端部Ｔ１から中央部分Ｔ２へ向かうにつれて、粘着ローラ２７Ａと保護テープＰＴとの粘着力も増大していく。そのため、保護テープＰＴとウエハＷとの粘着力が比較的強い中央部分Ｔ２においても、粘着ローラ２７Ａは当該粘着力により保護テープＰＴを確実にウエハＷから剥離できる。

また、粘着ローラ２７Ａが保護テープＰＴの中央部分Ｔ２から他端部へ向かうにつれて、粘着ローラ２７Ａと保護テープＰＴとの粘着力は、保護テープＰＴとウエハＷとの粘着力とともに減少する。そのため、保護テープＰＴの端部において、保護テープＰＴを剥離するための力が過剰に作用して保護テープＰＴやウエハＷが破損する事態を回避できる。粘着ローラ２７Ａが保護テープＰＴの他端部まで転動することにより、保護テープＰＴの全体がウエハＷから剥離され、粘着ローラ２７Ａに密着するように巻き取られる（図１５（ｂ））。

ステップＳ５（テープの除去）
保護テープＰＴをウエハＷから剥離した後、粘着ローラ２７ＡをステップＳ４において転動させた回転方向とは逆方向に自転させながら、粘着ローラ２７Ａをテープ回収部７の上方へと移動させる。粘着ローラ２７Ａを逆方向に自転させることにより、保護テープＰＴの他端は粘着ローラ２７Ａから離れて垂れ下がる（図１４（ａ）を参照）。

そして粘着ローラ２７から垂れ下がっている保護テープＰＴの他端部分を把持ユニット３９で把持させる（図１４（ｂ）を参照）。当該把持を維持した状態で粘着ローラ２７Ａをさらに逆回転させつつテープ剥離方向Ｐの後方へ移動させる。また当該移動と同期的に、負圧から正圧に切り換えて吸着孔４７から気体Ｎを排出させる。気体Ｎの排出と粘着ローラ２７Ａの回転および移動とにより、保護テープＰＴは粘着ローラ２７Ａの粘着面から離れて除去される（図１５（ｃ））。除去された保護テープＰＴは、回収ボックス４１に落下して回収される。

ステップＳ６（粘着ローラの洗浄）
粘着ローラ２７Ａから保護テープＰＴを除去した後、他の実施例と同様に、洗浄ノズル４３から吐出される洗浄液によって粘着ローラ２７Ａの粘着面を洗浄する。そして保護テープＰＴが剥離されたウエハＷを搬出する。以上の動作により、実施例４に係る一連の工程は完了する。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上記実施例１および実施例２において、保護テープＰＴに粘着してウエハＷから剥離させる粘着部材として、粘着ローラ２７を用いたがこれに限られない。粘着ローラ２７に代わる構成の一例として、図１６（ａ）に示すようなブロック状の粘着スタンプ６１が挙げられる。本変形例において、粘着スタンプ６１は本発明における粘着部材に相当する。

粘着スタンプ６１は外周面のうち、少なくとも一面において平坦面６３を有している。粘着スタンプ６１のうち、少なくとも平坦面６３は粘着性を有する粘着面となっている。粘着スタンプ６１の平坦面６３は粘着性を有する材料で構成されており、粘着スタンプ６１は平坦面６３を介して保護テープＰＴに粘着する。また平坦面６３の幅Ｂ５は、粘着範囲Ｖにおける保護テープＰＴの幅より広く構成されることが好ましく、保護テープＰＴの径より広く構成されることが特に好ましい。なお、実施例２において粘着スタンプ６１を用いる場合、平坦面６３に吸着孔４７を適宜配設する。

粘着スタンプ６１を用いて保護テープＰＴを剥離する場合、ステップＳ３およびステップＳ４の工程は以下のようになる。すなわち各実施例と同様にステップＳ１およびＳ２を完了させた後、ステップＳ３を開始させ、保護テープＰＴの剥離開始端の上方へと粘着スタンプ６１を移動させる（図１６（ｂ））。このとき、粘着スタンプ６１の平坦面６３が下向きになるように調整させておく（ステップＳ３）。

その後、図１６（ｃ）に示すように粘着スタンプ６１を下降させ、粘着面となっている平坦面６３を保護テープＰＴに押圧させる。当該押圧により、平坦面６３に保護テープＰＴが粘着される。保護テープＰＴを粘着スタンプ６１に粘着させた状態で、粘着スタンプ６１をテープ剥離方向Ｐの前方へ斜め上向きに移動させる（図１６（ｄ））。粘着スタンプ６１がウエハＷに対してテープ剥離方向Ｐへ相対的に移動することにより、保護テープＰＴはウエハＷから剥離される（ステップＳ４）。

粘着スタンプ６１によって保護テープＰＴが剥離された後、把持ユニット３９などによって粘着スタンプ６１から保護テープＰＴを除去する（ステップＳ５）。そして粘着スタンプ６１の平坦面６３を洗浄ノズル４３で洗浄し、ウエハＷを搬出する（ステップＳ６）。

粘着スタンプ６１はブロック状であるため、保護テープＰＴと粘着する粘着面をより広くかつ平坦な面とすることが容易である。そのため、保護テープＰＴとの粘着力を向上できるので、保護テープＰＴをより安定に保持できるとともに、保護テープＰＴを確実にウエハＷから剥離できる。

（２）上記各実施例および変形例において、剥離対象である保護テープＰＴが円形である場合を例示したがこれに限られない。他の一例として、矩形状や多角形状などの保護テープＰＴを剥離対象とする場合にも、本発明の構成を適用できる。その場合、粘着ローラ２７に設けられる粘着面の配置や、粘着ローラ２７Ａに設けられる吸着孔４７の配置は、保護テープＰＴの形状に応じて適宜変更できる。

例えば実施例２に係る粘着ローラ２７Ａを用いて矩形状の保護テープＰＴを剥離する場合、粘着ローラ２７Ａに設けられる吸着孔４７は、図１７（ａ）に示すように、二次元マトリクス状に配設されることが好ましい。この場合、ステップＳ３において保護テープＰＴを粘着ローラ２７Ａで粘着および吸着する際における吸着孔４７と保護テープＰＴとの位置関係は、図１７（ｂ）に示すようになる。すなわち、矩形状の保護テープＰＴと吸着孔４７の配置とが好適に対応するので、粘着ローラ２７Ａに設けられている粘着面と吸着孔４７とが協働して保護テープＰＴをより安定に保持できる。

（３）上記各実施例および各変形例において、加熱剥離性の保護テープＰＴを例として用い、加熱によって保護テープＰＴの粘着力を低減させる構成を例示したがこれに限られない。すなわち、紫外線硬化性の保護テープＰＴを用いて紫外線照射によって粘着力を低減させてもよいし、保護テープＰＴの粘着力を低減させることなく保護テープＰＴの端部を把持して当該保護テープＰＴをウエハＷから剥離してもよい。

（４）上記各実施例および各変形例に係る実装装置において、剥離対象となる粘着テープの一例として回路保護用の保護テープＰＴを例にとって説明したが、剥離対象となる粘着テープは保護テープに限ることはなく、ダイシングテープなど他の用途に用いる粘着テープをも剥離対象とすることができる。

（５）上記各実施例および変形例において、ステップＳ４では粘着ローラ２７をテープ剥離方向Ｐへ移動させて保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる構成を例示している。しかし、粘着ローラ２７をウエハＷに対してテープ剥離方向Ｐへ相対的に移動させて保護テープＰＴをウエハＷから剥離させる構成であれば当該構成に限られない。すなわちウエハＷを保持している保持テーブル３を移動させることにより、粘着ローラ２７をウエハＷに対してテープ剥離方向Ｐへ相対的に移動させてもよい。また、粘着ローラ２７と保持テーブル３とを同期的に移動させてもよい。

（６）上記各実施例および各変形例に係る構成において、保護テープＰＴを例とする粘着テープが貼り付けられている対象、すなわちワークとしてウエハＷを例示したがこれに限られない。ワークとして用いられる構成としては、ガリウムや砒素の化合物またはシリコンなど各種材料からなるウエハＷの他に、リングフレーム、ガラス基板、セラミック基板、ＦＰＣを例とする有機材料基板、精密部品等の金属材料など種々の物品が挙げられる。また、リングフレームとウエハとにわたって支持用の粘着テープを貼り付けてマウントフレームを作製する装置に本発明の構成を適用する場合、リングフレームおよびウエハがワークに相当する。

１ … 粘着テープ剥離装置
３ … 保持テーブル
５ … テープ剥離機構
７ … テープ回収部
１９ … 可動部
２３ … 剥離ユニット
２５ … モータ
２７ … 粘着ローラ
３７ … 冷却ノズル（冷却機構）
３９ … 把持部材
４１ … 回収ボックス
４３ … 洗浄ノズル（粘着力回復機構）
Ｗ … 半導体ウエハ
ＰＴ … 保護テープ

Claims (10)

1. ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離方法であって、
   外周面の少なくとも一部に粘着性を有する粘着面を備える粘着部材を、前記粘着テープの表面に粘着させる粘着過程と、
   前記粘着テープを粘着させた前記粘着部材を、前記ワークに対して所定のテープ剥離方向へ相対移動させ、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離過程と、
   剥離された前記粘着テープを前記粘着部材から除去する除去過程と、
   を備えたことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
2. 請求項１に記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記粘着部材は粘着ローラであり、
   前記剥離過程は、前記粘着テープを粘着させた前記粘着ローラを転動させ、前記粘着テープを前記粘着面に粘着させつつ巻き取ることによって前記ワークから前記粘着テープを剥離させる
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
3. 請求項１または請求項２に記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記粘着過程は、
   前記粘着面に吸着孔が設けられている前記粘着部材を前記粘着テープに当接させ、前記粘着テープを前記粘着面に粘着させつつ前記粘着テープを前記吸着孔で吸着する
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記粘着テープが除去された前記粘着部材の前記粘着面を洗浄して前記粘着面の粘着力を回復させる粘着力回復過程を備える
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の粘着テープ剥離方法において、
   前記粘着過程は、前記粘着部材の前記粘着面を冷却させる冷却過程を有する
   ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。
6. ワークに貼り付けられた粘着テープを前記ワークから剥離する粘着テープ剥離装置であって、
   前記粘着テープが貼り付けられた前記ワークを載置保持する保持テーブルと、
   外周面の少なくとも一部に粘着性を有する粘着面を備える粘着部材と、
   前記粘着部材を前記粘着テープの表面に粘着させる粘着制御機構と、
   前記粘着テープを粘着させた前記粘着部材を、前記ワークに対して所定のテープ剥離方向へ相対移動させ、前記ワークから前記粘着テープを剥離させる剥離機構と、
   剥離された前記粘着テープを前記粘着部材から除去する除去機構と、
   を備えたことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
7. 請求項６に記載の粘着テープ剥離装置において、
   前記粘着部材は粘着ローラであり、
   前記剥離機構は、前記粘着テープを粘着させた前記粘着ローラを転動させ、前記粘着テープを前記粘着面に粘着させつつ巻き取ることによって前記ワークから前記粘着テープを剥離させる
   ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
8. 請求項６または請求項７に記載の粘着テープ剥離装置において、
   前記粘着部材は前記粘着テープを吸着する吸着孔を前記粘着面に備えており、
   前記粘着制御機構は、
   前記粘着部材を前記粘着テープに当接させ、前記粘着テープを前記粘着面に粘着させつつ前記粘着テープを前記吸着孔で吸着する
   ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
9. 請求項６ないし請求項８のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置において、
   前記粘着テープが除去された前記粘着部材の前記粘着面を洗浄して前記粘着面の粘着力を回復させる粘着力回復機構を備える
   ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
10. 請求項６ないし請求項９のいずれかに記載の粘着テープ剥離装置において、
    前記粘着部材の前記粘着面を冷却させる冷却機構を有する
    ことを特徴とする粘着テープ剥離装置。

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