JP2003023063A - 貼合装置 - Google Patents
貼合装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄型電子部品等の第１の部材とシート材等の
第２の部材とを貼り合わせる際に、当該第２の部材の押
圧面に対する傷付き及び第１の部材の反りを防止する。 【解決手段】 被着体Ｅを保持するテーブル１４と、こ
のテーブル１４に相対移動可能に設けられるとともに、
シート材Ｓを保持するシート材保持手段１５と、テーブ
ル１４及びシート材保持手段１５の相対移動によって被
着体Ｅ１に重ね合わされたシート材Ｓに所定の押圧力を
付与する押圧部材１７とを備えて貼合装置１０が構成さ
れている。前記押圧部材１７は、圧縮空気を吐出可能な
吐出孔３６が外周面に複数形成された回転部材３４を備
え、被着体Ｅに重ね合わされたシート材Ｓの表面Ｓ２に
対して非接触状態で圧縮空気を吐出することによりシー
ト材Ｓに押圧力を付与できるようになっている。
第２の部材とを貼り合わせる際に、当該第２の部材の押
圧面に対する傷付き及び第１の部材の反りを防止する。 【解決手段】 被着体Ｅを保持するテーブル１４と、こ
のテーブル１４に相対移動可能に設けられるとともに、
シート材Ｓを保持するシート材保持手段１５と、テーブ
ル１４及びシート材保持手段１５の相対移動によって被
着体Ｅ１に重ね合わされたシート材Ｓに所定の押圧力を
付与する押圧部材１７とを備えて貼合装置１０が構成さ
れている。前記押圧部材１７は、圧縮空気を吐出可能な
吐出孔３６が外周面に複数形成された回転部材３４を備
え、被着体Ｅに重ね合わされたシート材Ｓの表面Ｓ２に
対して非接触状態で圧縮空気を吐出することによりシー
ト材Ｓに押圧力を付与できるようになっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は貼合装置に係り、更
に詳しくは、所定の第１及び第２の部材を貼合する際
に、当該第２の部材への傷付きを防止することのできる
貼合装置に関する。
に詳しくは、所定の第１及び第２の部材を貼合する際
に、当該第２の部材への傷付きを防止することのできる
貼合装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、薄型半導体ウェハ及び記録基
板等の薄型電子部品に例示される被着体の貼合面に、裏
面側が粘着面となるフィルム等のシート材を貼り合わせ
る貼合装置が知られている。この貼合装置は、前記被着
体の貼合面と前記シート材の粘着面とを対面させた状態
で、前記シート材の表面側からローラを押し当て、当該
ローラをシート材の表面に沿って転動させることによ
り、当該転動方向に沿ってシート材が被着体に次第に貼
り合わされるようになっている。
板等の薄型電子部品に例示される被着体の貼合面に、裏
面側が粘着面となるフィルム等のシート材を貼り合わせ
る貼合装置が知られている。この貼合装置は、前記被着
体の貼合面と前記シート材の粘着面とを対面させた状態
で、前記シート材の表面側からローラを押し当て、当該
ローラをシート材の表面に沿って転動させることによ
り、当該転動方向に沿ってシート材が被着体に次第に貼
り合わされるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記貼
合装置にあっては、シート材の表面上をローラが転動す
る構造であるため、当該ローラやシート材の材質によっ
ては、シート材とローラとの接触により、シート材の表
面に傷が付き易くなるという不都合がある。また、近
年、厚みが４０μｍ〜１２０μｍ程度の極薄型半導体ウ
ェハ及び記録基板が出現するに至っているが、当該極薄
型の被着体に前記貼合装置を適用すると、当該被着体に
対するローラの押圧力によって被着体に反りが発生し易
くなるという不都合もある。
合装置にあっては、シート材の表面上をローラが転動す
る構造であるため、当該ローラやシート材の材質によっ
ては、シート材とローラとの接触により、シート材の表
面に傷が付き易くなるという不都合がある。また、近
年、厚みが４０μｍ〜１２０μｍ程度の極薄型半導体ウ
ェハ及び記録基板が出現するに至っているが、当該極薄
型の被着体に前記貼合装置を適用すると、当該被着体に
対するローラの押圧力によって被着体に反りが発生し易
くなるという不都合もある。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、このような不都合に着目して
案出されたものであり、その目的は、極薄型電子部品等
の第１の部材とシート材等の第２の部材とを貼り合わせ
る際に、当該第２の部材の押圧面への傷付きや第１の部
材の反りを防止できる貼合装置を提供することにある。
案出されたものであり、その目的は、極薄型電子部品等
の第１の部材とシート材等の第２の部材とを貼り合わせ
る際に、当該第２の部材の押圧面への傷付きや第１の部
材の反りを防止できる貼合装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、第１の部材に重ね合わされた第２の部材
に所定の押圧力を付与する押圧部材を備え、当該押圧部
材による押圧力の付与により第１及び第２の部材を貼り
合わせる貼合装置であって、前記押圧部材は、圧縮空気
の吐出孔を備え、前記第２の部材の押圧面に対して非接
触状態で圧縮空気を吐出することにより前記押圧力を付
与する、という構成を採っている。このような構成によ
れば、押圧部材を第２の部材の押圧面に非接触にした状
態で、当該押圧面に押圧力が付与されるため、押圧部材
と押圧面との接触による当該押圧面への傷付きを防止す
ることができるとともに、被着体を極薄化したときにお
ける第１の部材の反りを防止することもできる。
め、本発明は、第１の部材に重ね合わされた第２の部材
に所定の押圧力を付与する押圧部材を備え、当該押圧部
材による押圧力の付与により第１及び第２の部材を貼り
合わせる貼合装置であって、前記押圧部材は、圧縮空気
の吐出孔を備え、前記第２の部材の押圧面に対して非接
触状態で圧縮空気を吐出することにより前記押圧力を付
与する、という構成を採っている。このような構成によ
れば、押圧部材を第２の部材の押圧面に非接触にした状
態で、当該押圧面に押圧力が付与されるため、押圧部材
と押圧面との接触による当該押圧面への傷付きを防止す
ることができるとともに、被着体を極薄化したときにお
ける第１の部材の反りを防止することもできる。
【０００６】また、前記第１の部材を保持する第１保持
手段と、この第１保持手段に相対移動可能に設けられる
とともに、前記第２の部材を保持する第２保持手段とを
備え、前記押圧部材は、前記第１及び第２保持手段の相
対移動によって第１及び第２の部材を重ね合わせた状態
で、当該第１及び第２の部材の面方向に相対移動しなが
ら前記押圧力を付与可能に設けられ、前記相対移動の方
向に沿って前記第１及び第２の部材が次第に貼り合わさ
れる、という構成を採ることができる。このような構成
によって、前記押圧部材の相対移動方向に空気を逃がし
ながら第１及び第２の部材を貼り合わせることができ、
前記押圧面への傷付きを防止しつつも、第１及び第２の
部材間の気泡の混入を防止することができる。
手段と、この第１保持手段に相対移動可能に設けられる
とともに、前記第２の部材を保持する第２保持手段とを
備え、前記押圧部材は、前記第１及び第２保持手段の相
対移動によって第１及び第２の部材を重ね合わせた状態
で、当該第１及び第２の部材の面方向に相対移動しなが
ら前記押圧力を付与可能に設けられ、前記相対移動の方
向に沿って前記第１及び第２の部材が次第に貼り合わさ
れる、という構成を採ることができる。このような構成
によって、前記押圧部材の相対移動方向に空気を逃がし
ながら第１及び第２の部材を貼り合わせることができ、
前記押圧面への傷付きを防止しつつも、第１及び第２の
部材間の気泡の混入を防止することができる。
【０００７】更に、前記押圧部材は、前記吐出孔が外周
面に沿って複数形成された回転部材と、前記外周面を被
覆するカバーとを備え、前記カバーの一部分に開口部が
設けられ、前記圧縮空気は、前記回転部材の回転を伴っ
て前記開口部から吐出される、という構成を採ることが
好ましい。このように構成することで、押圧部材の回転
による遠心力により圧縮空気の吐出圧力を高めることが
でき、第１及び第２の部材の貼合をより確実に行うこと
ができる。
面に沿って複数形成された回転部材と、前記外周面を被
覆するカバーとを備え、前記カバーの一部分に開口部が
設けられ、前記圧縮空気は、前記回転部材の回転を伴っ
て前記開口部から吐出される、という構成を採ることが
好ましい。このように構成することで、押圧部材の回転
による遠心力により圧縮空気の吐出圧力を高めることが
でき、第１及び第２の部材の貼合をより確実に行うこと
ができる。
【０００８】また、前記第１保持手段及び／又は第２保
持手段は、前記第１及び／又は第２の部材の位置決め手
段を更に備える、という構成を併用することもでき、こ
れによって、前記第１及び第２の部材の貼合をより正確
に行うことができる。
持手段は、前記第１及び／又は第２の部材の位置決め手
段を更に備える、という構成を併用することもでき、こ
れによって、前記第１及び第２の部材の貼合をより正確
に行うことができる。
【０００９】更に、前記第１の部材としては、厚みが４
０μｍ〜１２０μｍとなる記録基板を適用することがで
きる。
０μｍ〜１２０μｍとなる記録基板を適用することがで
きる。
【００１０】
【発明の実施の形態】 以下、本発明の実施例について
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
【００１１】図１には、本実施例に係る貼合装置１０を
概念的に表した要部断面図が示されている。この図にお
いて、貼合装置１０は、厚みが４０μｍ〜１２０μｍ程
度の極薄型半導体ウェハ及び記録基板等の薄型電子部品
に例示される第１の部材としての被着体Ｅの表面Ｅ１
に、第２の部材としてのシート材Ｓを押圧しながら貼合
し、貼着体Ｆ（図２参照）を形成する装置である。本実
施例において、被着体Ｅは、円盤状の薄型記録基板であ
り、また、シート材Ｓは、前記被着体Ｅと略同一の平面
形状を備えるとともに、裏面側が粘着面Ｓ１となる保護
シートである。このため、粘着面Ｓ１の略全領域がシー
ト材Ｓ側の貼合面となり、シート材Ｓの表面Ｓ２が非貼
合面すなわち押圧面となる。
概念的に表した要部断面図が示されている。この図にお
いて、貼合装置１０は、厚みが４０μｍ〜１２０μｍ程
度の極薄型半導体ウェハ及び記録基板等の薄型電子部品
に例示される第１の部材としての被着体Ｅの表面Ｅ１
に、第２の部材としてのシート材Ｓを押圧しながら貼合
し、貼着体Ｆ（図２参照）を形成する装置である。本実
施例において、被着体Ｅは、円盤状の薄型記録基板であ
り、また、シート材Ｓは、前記被着体Ｅと略同一の平面
形状を備えるとともに、裏面側が粘着面Ｓ１となる保護
シートである。このため、粘着面Ｓ１の略全領域がシー
ト材Ｓ側の貼合面となり、シート材Ｓの表面Ｓ２が非貼
合面すなわち押圧面となる。
【００１２】前記貼合装置１０は、被着体Ｅを吸着保持
する第１保持手段としてのテーブル１４と、このテーブ
ル１４に相対移動可能に設けられるとともに、シート材
Ｓを吸着保持する第２保持手段としてのシート材保持手
段１５と、当該シート材保持手段１５に一体的に設けら
れるとともに、テーブル１４及びシート材保持手段１５
の相対移動によって被着体Ｅに重ね合わされたシート材
Ｓに所定の押圧力を付与する押圧部材１７とを備えて構
成されている。
する第１保持手段としてのテーブル１４と、このテーブ
ル１４に相対移動可能に設けられるとともに、シート材
Ｓを吸着保持する第２保持手段としてのシート材保持手
段１５と、当該シート材保持手段１５に一体的に設けら
れるとともに、テーブル１４及びシート材保持手段１５
の相対移動によって被着体Ｅに重ね合わされたシート材
Ｓに所定の押圧力を付与する押圧部材１７とを備えて構
成されている。
【００１３】前記テーブル１４は、その載置面１９に被
着体Ｅの裏面Ｅ２を載せた状態で図示しない吸着孔によ
り吸引して吸着保持可能に設けられている。また、テー
ブル１４の載置面１９には、図示しない位置決め手段が
設けられており、被着体Ｅを略一定位置で位置決めでき
るようになっている。ここで、位置決め手段としては、
被着体Ｅを略一定位置で位置決めできる限りにおいて種
々の構造を採用することができる。本実施例では、例え
ば、前記被着体Ｅの外側を囲むように載置面１９上の複
数箇所に突設された位置決め部材が、それぞれ径方向に
移動可能となる構成が採用されている。このような構成
にあっては、各位置決め部材の内側に被着体Ｅを挿入し
た状態で、各位置決め部材を内方に移動させて前記被着
体Ｅの外周部分に接触させることで、被着体Ｅが定位置
に位置決めされることとなる。
着体Ｅの裏面Ｅ２を載せた状態で図示しない吸着孔によ
り吸引して吸着保持可能に設けられている。また、テー
ブル１４の載置面１９には、図示しない位置決め手段が
設けられており、被着体Ｅを略一定位置で位置決めでき
るようになっている。ここで、位置決め手段としては、
被着体Ｅを略一定位置で位置決めできる限りにおいて種
々の構造を採用することができる。本実施例では、例え
ば、前記被着体Ｅの外側を囲むように載置面１９上の複
数箇所に突設された位置決め部材が、それぞれ径方向に
移動可能となる構成が採用されている。このような構成
にあっては、各位置決め部材の内側に被着体Ｅを挿入し
た状態で、各位置決め部材を内方に移動させて前記被着
体Ｅの外周部分に接触させることで、被着体Ｅが定位置
に位置決めされることとなる。
【００１４】前記シート材保持手段１５は、前記テーブ
ル１４に対して図１中左右方向に水平移動可能に設けら
れるとともに、同図中右端側を支点として、同図中左端
側の押圧部材１７を上下方向に回転変位可能に設けられ
ている。このシート材保持手段１５は、シート材Ｓの未
貼合部分Ｎ１における表面Ｓ２側を非接触状態で保持す
る保持体２３と、シート材Ｓが保持体２３に保持されて
いるか否かを確認するためのセンサ２６とを備えて構成
されている。
ル１４に対して図１中左右方向に水平移動可能に設けら
れるとともに、同図中右端側を支点として、同図中左端
側の押圧部材１７を上下方向に回転変位可能に設けられ
ている。このシート材保持手段１５は、シート材Ｓの未
貼合部分Ｎ１における表面Ｓ２側を非接触状態で保持す
る保持体２３と、シート材Ｓが保持体２３に保持されて
いるか否かを確認するためのセンサ２６とを備えて構成
されている。
【００１５】前記保持体２３は、前記未貼合部分Ｎ１に
対向する保持面２８と、この保持面２８に複数設けられ
た排気穴２９と、これら排気穴２９に連なるとともに、
図示しないコンプレッサー等に繋がる配管３１に接続さ
れる通気路３２とを備えている。この保持体２３は、図
３に示されるように、通気路３２から皿型部材３０に向
かって空気を吐出することにより、排気穴２９からシー
ト材Ｓの未貼合部分Ｎ１と保持面２８との間に向かって
空気が流れ、これによって、皿型部材３０の凹部３０Ａ
に負圧が発生してシート材Ｓが前記保持面２８に対して
非接触状態で保持されるようになっている。ここで、シ
ート材Ｓは、その図３中左端縁側が前記押圧部材１７の
最下端側に相対するように、保持体２３の左側にはみ出
した状態で保持体２３に保持されるようになっている。
この際、シート材Ｓの位置決めは、ここでは図示省略し
ているが、テーブル１４側の前記位置決め手段と実質的
に同一となる保持体２３側の位置決め手段によって行わ
れる。
対向する保持面２８と、この保持面２８に複数設けられ
た排気穴２９と、これら排気穴２９に連なるとともに、
図示しないコンプレッサー等に繋がる配管３１に接続さ
れる通気路３２とを備えている。この保持体２３は、図
３に示されるように、通気路３２から皿型部材３０に向
かって空気を吐出することにより、排気穴２９からシー
ト材Ｓの未貼合部分Ｎ１と保持面２８との間に向かって
空気が流れ、これによって、皿型部材３０の凹部３０Ａ
に負圧が発生してシート材Ｓが前記保持面２８に対して
非接触状態で保持されるようになっている。ここで、シ
ート材Ｓは、その図３中左端縁側が前記押圧部材１７の
最下端側に相対するように、保持体２３の左側にはみ出
した状態で保持体２３に保持されるようになっている。
この際、シート材Ｓの位置決めは、ここでは図示省略し
ているが、テーブル１４側の前記位置決め手段と実質的
に同一となる保持体２３側の位置決め手段によって行わ
れる。
【００１６】前記押圧部材１７は、図示しないコンプレ
ッサーから供給される圧縮空気を回転しながら吐出可能
な略円筒状の回転部材３４と、この回転部材３４の外周
面を微小な隙間を隔てて被覆するカバー３５とを備えて
おり、前記シート材保持手段１５と共に移動できるよう
になっている。
ッサーから供給される圧縮空気を回転しながら吐出可能
な略円筒状の回転部材３４と、この回転部材３４の外周
面を微小な隙間を隔てて被覆するカバー３５とを備えて
おり、前記シート材保持手段１５と共に移動できるよう
になっている。
【００１７】前記回転部材３４は、円盤状のシート材Ｓ
の直径と略同一或いはやや長い軸線方向長さを備え、外
周面に沿って圧縮空気の吐出孔３６が多数形成されてい
る。この回転部材３４は、保持体２３の図１、３中左端
側からはみ出したシート材Ｓのはみ出し部分Ｎ２に非接
触となる上方位置に配置されている。
の直径と略同一或いはやや長い軸線方向長さを備え、外
周面に沿って圧縮空気の吐出孔３６が多数形成されてい
る。この回転部材３４は、保持体２３の図１、３中左端
側からはみ出したシート材Ｓのはみ出し部分Ｎ２に非接
触となる上方位置に配置されている。
【００１８】前記カバー３５は、下側位置に開口部３８
が形成されており、これによって、各吐出孔３６から吐
出された圧縮空気は、回転部材３４の回転を伴ってカバ
ー３５の開口部３８から下方に集中的に吐出されるよう
になっている。
が形成されており、これによって、各吐出孔３６から吐
出された圧縮空気は、回転部材３４の回転を伴ってカバ
ー３５の開口部３８から下方に集中的に吐出されるよう
になっている。
【００１９】このように構成された押圧部材１７は、図
４ないし図６に示されるように、シート材保持手段１５
の移動及び回転によってテーブル１４上の被着体Ｅに重
ね合わされたシート材Ｓに対し、非接触状態で圧縮空気
を吐出することで当該シート材Ｓに押圧力を付与し、そ
の押圧位置Ｐが、図５，６中左端側から右端側に向かっ
て次第に移動するようになっている。
４ないし図６に示されるように、シート材保持手段１５
の移動及び回転によってテーブル１４上の被着体Ｅに重
ね合わされたシート材Ｓに対し、非接触状態で圧縮空気
を吐出することで当該シート材Ｓに押圧力を付与し、そ
の押圧位置Ｐが、図５，６中左端側から右端側に向かっ
て次第に移動するようになっている。
【００２０】次に、前記貼合装置１０によるシート材Ｓ
の貼り付け手順について図４〜図６を用いて説明する。
の貼り付け手順について図４〜図６を用いて説明する。
【００２１】図４に示されるように、テーブル１４に被
着体Ｅを保持させるともに、保持体２３に粘着面Ｓ１を
下向きにしたシート材Ｓを保持させる。この状態から、
シート材保持手段１５が押圧部材１７と共に、テーブル
１４の上方位置に向かって略水平方向に移動し、図４中
二点鎖線で示されるように、被着体Ｅの表面Ｅ１とシー
ト材Ｓの粘着面Ｓ１とが略対面する。そして、保持体２
３の同図中右側を支点として、保持体２３の同図中左側
となる押圧部材１７側を下方に傾け、図５に示されるよ
うに、当該押圧部材１７の下方に位置するシート材Ｓの
はみ出し部分Ｎ２を被着体Ｅの左端側に接近させる。
着体Ｅを保持させるともに、保持体２３に粘着面Ｓ１を
下向きにしたシート材Ｓを保持させる。この状態から、
シート材保持手段１５が押圧部材１７と共に、テーブル
１４の上方位置に向かって略水平方向に移動し、図４中
二点鎖線で示されるように、被着体Ｅの表面Ｅ１とシー
ト材Ｓの粘着面Ｓ１とが略対面する。そして、保持体２
３の同図中右側を支点として、保持体２３の同図中左側
となる押圧部材１７側を下方に傾け、図５に示されるよ
うに、当該押圧部材１７の下方に位置するシート材Ｓの
はみ出し部分Ｎ２を被着体Ｅの左端側に接近させる。
【００２２】次いで、回転部材３４が回転し、吐出孔３
６から吐出された圧縮空気がシート材Ｓの表面Ｓ２に非
接触状態で吹き付けられて、シート材Ｓに押圧力が付与
され、シート材Ｓの左端側が被着体Ｅの左端側に貼合さ
れる（図５）。そして、図５に示される保持体２３の傾
斜姿勢を維持したまま、シート材保持手段１５が押圧部
材１７と共に図５中右方（矢印Ａ方向）に移動する。こ
のとき、シート材Ｓは、保持体２３の図５中左方に位置
するはみ出し部分Ｎ２が押圧部材１７によって被着体Ｅ
側に押圧されているため、シート材保持手段１５の移動
に伴って、保持体２３がシート材Ｓの表面Ｓ２上を非接
触状態でその面方向にシフトする（図６）。この結果、
シート材保持手段１５が移動すると、保持体２３による
シート材Ｓの保持領域が次第に減少しながら、シート材
Ｓの表面Ｓ２上に非接触状態で付与される押圧力の押圧
位置Ｐが図６中左端側から右端側に向かって次第に移動
し、シート材Ｓと被着体Ｅとの間の空気を図６中右側に
逃がしながら、略一定の押圧力でこれらシート材Ｓ及び
被着体Ｅが同図中右側に向かって徐々に貼り合わされ
る。
６から吐出された圧縮空気がシート材Ｓの表面Ｓ２に非
接触状態で吹き付けられて、シート材Ｓに押圧力が付与
され、シート材Ｓの左端側が被着体Ｅの左端側に貼合さ
れる（図５）。そして、図５に示される保持体２３の傾
斜姿勢を維持したまま、シート材保持手段１５が押圧部
材１７と共に図５中右方（矢印Ａ方向）に移動する。こ
のとき、シート材Ｓは、保持体２３の図５中左方に位置
するはみ出し部分Ｎ２が押圧部材１７によって被着体Ｅ
側に押圧されているため、シート材保持手段１５の移動
に伴って、保持体２３がシート材Ｓの表面Ｓ２上を非接
触状態でその面方向にシフトする（図６）。この結果、
シート材保持手段１５が移動すると、保持体２３による
シート材Ｓの保持領域が次第に減少しながら、シート材
Ｓの表面Ｓ２上に非接触状態で付与される押圧力の押圧
位置Ｐが図６中左端側から右端側に向かって次第に移動
し、シート材Ｓと被着体Ｅとの間の空気を図６中右側に
逃がしながら、略一定の押圧力でこれらシート材Ｓ及び
被着体Ｅが同図中右側に向かって徐々に貼り合わされ
る。
【００２３】シート材Ｓが被着体Ｅに貼り合わされた後
は、保持体２３の傾斜姿勢が解除され、シート材保持手
段１５及び押圧部材１７が、テーブル１４から右方に水
平移動して図４中実線で示される初期位置に戻るととも
に、シート材Ｓが貼り合わされた被着体Ｅがテーブル１
４から取り除かれ、次の被着体Ｅをテーブル１４に保持
させる一方、シート材Ｓを保持体２３に保持させ、前述
の動作が繰り返し行われる。
は、保持体２３の傾斜姿勢が解除され、シート材保持手
段１５及び押圧部材１７が、テーブル１４から右方に水
平移動して図４中実線で示される初期位置に戻るととも
に、シート材Ｓが貼り合わされた被着体Ｅがテーブル１
４から取り除かれ、次の被着体Ｅをテーブル１４に保持
させる一方、シート材Ｓを保持体２３に保持させ、前述
の動作が繰り返し行われる。
【００２４】従って、このような実施例によれば、シー
ト材Ｓを被着体Ｅに貼合する際に、シート材Ｓの表面Ｓ
２に押圧部材１７が非接触となる状態で、シート材Ｓに
押圧力が付与されるため、シート材Ｓの貼合時における
前記表面Ｓ２の傷付きを防止できるという効果を得る。
ト材Ｓを被着体Ｅに貼合する際に、シート材Ｓの表面Ｓ
２に押圧部材１７が非接触となる状態で、シート材Ｓに
押圧力が付与されるため、シート材Ｓの貼合時における
前記表面Ｓ２の傷付きを防止できるという効果を得る。
【００２５】なお、前記実施例では、押圧部材１７を回
転部材３４とカバー３５とによって構成したが、本発明
はこれに限定されず、図７に示されるように、前記吐出
孔３６を外周面下部のみに設けた回転不能の吐出部材４
６によって構成し、当該吐出部材４６により、被着体Ｅ
１に重ね合わされたシート材Ｓを非接触状態で押圧する
こともできる。但し、前記実施例の回転部材３４の方
が、圧縮空気の吐出圧力の差異による押圧部材１７とシ
ート材Ｓとの接触の虞を回避することができ、より効果
的である。
転部材３４とカバー３５とによって構成したが、本発明
はこれに限定されず、図７に示されるように、前記吐出
孔３６を外周面下部のみに設けた回転不能の吐出部材４
６によって構成し、当該吐出部材４６により、被着体Ｅ
１に重ね合わされたシート材Ｓを非接触状態で押圧する
こともできる。但し、前記実施例の回転部材３４の方
が、圧縮空気の吐出圧力の差異による押圧部材１７とシ
ート材Ｓとの接触の虞を回避することができ、より効果
的である。
【００２６】また、前記シート材保持手段１５として
は、前述の構成に限定されず、図８に示される他のシー
ト材保持手段４７を採用することもできる。このシート
材保持手段４７は、前記保持体２３の代わりに、シート
材Ｓの表面Ｓ２を吸着可能となる構造の保持体４９を備
え、当該保持体４９には、株式会社トシカ製のトシカル
Ｓ−ＵＮＡ３１０ＣＲ等の剥離コーティングが表面に施
されたガイド部材５０が設けられている。このガイド部
材５０は、保持体４９の下面側となる吸着面５１との間
に隙間を形成した状態で、シート材Ｓを粘着面Ｓ１側か
ら支持可能に設けられており、前記実施例のように保持
体４９がシート材Ｓに対して面方向にシフトしたとき
に、シート材Ｓの未貼合部分Ｎ１における粘着面Ｓ１を
ガイドしながら相対移動可能となっている。このような
シート材保持手段４７は、保持体４９によりシート材Ｓ
を吸着保持した状態で、テーブル１４における前記位置
決め手段と実質的に同等の構造をなす図示しない位置決
め手段によりシート材Ｓの位置決めをする一方、当該シ
ート材Ｓの貼合時には、保持体４９によるシート材Ｓの
吸着保持が解除され、その表面Ｓ２と保持体４９とを非
接触状態にしてシート材Ｓがガイド部材５０の上面に載
った状態で保持されるようになっている。
は、前述の構成に限定されず、図８に示される他のシー
ト材保持手段４７を採用することもできる。このシート
材保持手段４７は、前記保持体２３の代わりに、シート
材Ｓの表面Ｓ２を吸着可能となる構造の保持体４９を備
え、当該保持体４９には、株式会社トシカ製のトシカル
Ｓ−ＵＮＡ３１０ＣＲ等の剥離コーティングが表面に施
されたガイド部材５０が設けられている。このガイド部
材５０は、保持体４９の下面側となる吸着面５１との間
に隙間を形成した状態で、シート材Ｓを粘着面Ｓ１側か
ら支持可能に設けられており、前記実施例のように保持
体４９がシート材Ｓに対して面方向にシフトしたとき
に、シート材Ｓの未貼合部分Ｎ１における粘着面Ｓ１を
ガイドしながら相対移動可能となっている。このような
シート材保持手段４７は、保持体４９によりシート材Ｓ
を吸着保持した状態で、テーブル１４における前記位置
決め手段と実質的に同等の構造をなす図示しない位置決
め手段によりシート材Ｓの位置決めをする一方、当該シ
ート材Ｓの貼合時には、保持体４９によるシート材Ｓの
吸着保持が解除され、その表面Ｓ２と保持体４９とを非
接触状態にしてシート材Ｓがガイド部材５０の上面に載
った状態で保持されるようになっている。
【００２７】更に、前記シート材保持手段１５の代わり
に、図９に示されるように、特開平１１−３４８１２２
号公報に提案された構造のシート材保持手段５２を採用
することも可能である。このシート材保持手段５２に適
用される保持体５３は、シート材Ｓを吸着可能な吸着面
５４と、この吸着面５４に形成された複数の吸着口５５
と、この吸着口５５から出没可能となるように吸着面５
４の内外間で移動可能な浮上ローラ５６とを備え、シー
ト材Ｓの貼合時には、浮上ローラ５６が吸着面５４から
出没することにより、保持体５３とシート材Ｓとの相対
移動をスムースに行えるようになっている。
に、図９に示されるように、特開平１１−３４８１２２
号公報に提案された構造のシート材保持手段５２を採用
することも可能である。このシート材保持手段５２に適
用される保持体５３は、シート材Ｓを吸着可能な吸着面
５４と、この吸着面５４に形成された複数の吸着口５５
と、この吸着口５５から出没可能となるように吸着面５
４の内外間で移動可能な浮上ローラ５６とを備え、シー
ト材Ｓの貼合時には、浮上ローラ５６が吸着面５４から
出没することにより、保持体５３とシート材Ｓとの相対
移動をスムースに行えるようになっている。
【００２８】また、シート材Ｓを被着体Ｅに正確な位置
で貼合できる限りにおいて、前記位置決め手段をテーブ
ル１４若しくはシート材保持手段１５の何れか一方側を
省略することも可能である。
で貼合できる限りにおいて、前記位置決め手段をテーブ
ル１４若しくはシート材保持手段１５の何れか一方側を
省略することも可能である。
【００２９】なお、本発明における装置各部の構成は図
示構成例に限定されるものではなく、実質的に同様の作
用を奏する限りにおいて、種々の変更が可能である。
示構成例に限定されるものではなく、実質的に同様の作
用を奏する限りにおいて、種々の変更が可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧縮空気の吐出孔を備えた押圧部材により、前記第２の
部材の押圧面に対して非接触状態で圧縮空気を吐出する
ことで第２の部材に押圧力を付与可能な構成としたか
ら、押圧部材と押圧面との接触による当該押圧面への傷
付きを防止することができるともに、貼着体の反りをも
防止することができる。
圧縮空気の吐出孔を備えた押圧部材により、前記第２の
部材の押圧面に対して非接触状態で圧縮空気を吐出する
ことで第２の部材に押圧力を付与可能な構成としたか
ら、押圧部材と押圧面との接触による当該押圧面への傷
付きを防止することができるともに、貼着体の反りをも
防止することができる。
【００３１】また、前記第１の部材を保持する第１保持
手段と、この第１保持手段に相対移動可能に設けられる
とともに、前記第２の部材を保持する第２保持手段とを
備え、前記押圧部材を、前記第１及び第２保持手段の相
対移動によって第１及び第２の部材を重ね合わせた状態
で、当該第１及び第２の部材の面方向に相対移動しなが
ら前記押圧力を付与可能に設けたから、前記押圧部材の
相対移動方向に空気を逃がしながら第１及び第２の部材
を貼り合わせることができる。
手段と、この第１保持手段に相対移動可能に設けられる
とともに、前記第２の部材を保持する第２保持手段とを
備え、前記押圧部材を、前記第１及び第２保持手段の相
対移動によって第１及び第２の部材を重ね合わせた状態
で、当該第１及び第２の部材の面方向に相対移動しなが
ら前記押圧力を付与可能に設けたから、前記押圧部材の
相対移動方向に空気を逃がしながら第１及び第２の部材
を貼り合わせることができる。
【００３２】更に、前記吐出孔が外周面に沿って複数形
成された回転部材と、前記外周面を被覆するカバーとを
備えて前記押圧部材を構成し、前記回転部材の回転を伴
って前記カバーの一部分に設けられた開口部から前記圧
縮空気を吐出可能な構成としたから、第１及び第２の部
材の貼合をより確実に行うことができる。
成された回転部材と、前記外周面を被覆するカバーとを
備えて前記押圧部材を構成し、前記回転部材の回転を伴
って前記カバーの一部分に設けられた開口部から前記圧
縮空気を吐出可能な構成としたから、第１及び第２の部
材の貼合をより確実に行うことができる。
【００３３】また、前記第１及び／又は第２の部材の位
置決め手段を更に備えたから、当該第１及び第２の部材
の貼合をより正確に行うことができる。
置決め手段を更に備えたから、当該第１及び第２の部材
の貼合をより正確に行うことができる。
【図１】本実施例に係る貼合装置を概念的に表した要部
断面図。
断面図。
【図２】第１及び第２の部材が貼合された貼着体の概略
断面図。
断面図。
【図３】図１の部分拡大図。
【図４】貼合前の状態を示す図１と同様の断面図。
【図５】貼合開始時の状態を示す図１と同様の断面図。
【図６】貼合途中の状態を示す図１と同様の断面図。
【図７】変形例に係る貼合装置を概念的に表した要部断
面図。
面図。
【図８】他の変形例に係る貼合装置を概念的に表した要
部断面図。
部断面図。
【図９】更に他の変形例に係る貼合装置を概念的に表し
た要部断面図。
た要部断面図。
１０ 貼合装置
１４ テーブル（第１保持手段）
１５ シート材保持手段（第２保持手段）
１７ 押圧部材
２３ 保持体（シート材保持手段）
３４ 回転部材（押圧部材）
３５ カバー（押圧部材）
３６ 吐出孔
３８ 開口部
４６ 吐出部材（押圧部材）
４７ ５２ シート材保持手段
４９ ５３ 保持体（シート材保持手段）
５０ ガイド部材
Ｅ 被着体（第１の部材）
Ｓ シート材（第２の部材）
Ｓ２ 表面（押圧面）
Ｆ 貼着体
Claims (5)
- 【請求項１】 第１の部材に重ね合わされた第２の部材
に所定の押圧力を付与する押圧部材を備え、当該押圧部
材による押圧力の付与により第１及び第２の部材を貼り
合わせる貼合装置であって、 前記押圧部材は、圧縮空気の吐出孔を備え、前記第２の
部材の押圧面に対して非接触状態で圧縮空気を吐出する
ことにより前記押圧力を付与することを特徴とする貼合
装置。 - 【請求項２】 前記第１の部材を保持する第１保持手段
と、この第１保持手段に相対移動可能に設けられるとと
もに、前記第２の部材を保持する第２保持手段とを備
え、 前記押圧部材は、前記第１及び第２保持手段の相対移動
によって第１及び第２の部材を重ね合わせた状態で、当
該第１及び第２の部材の面方向に相対移動しながら前記
押圧力を付与可能に設けられ、前記相対移動の方向に沿
って前記第１及び第２の部材が次第に貼り合わされるこ
とを特徴とする請求項１記載の貼合装置。 - 【請求項３】 前記押圧部材は、前記吐出孔が外周面に
沿って複数形成された回転部材と、前記外周面を被覆す
るカバーとを備え、 前記カバーの一部分に開口部が設けられ、前記圧縮空気
は、前記回転部材の回転を伴って前記開口部から吐出さ
れることを特徴とする請求項１又は２記載の貼合装置。 - 【請求項４】 前記第１保持手段及び／又は第２保持手
段は、前記第１及び／又は第２の部材の位置決め手段を
更に備えたことを特徴とする請求項２記載の貼合装置。 - 【請求項５】 前記第１の部材は、厚みが４０μｍ〜１
２０μｍとなる記録基板であることを特徴とする請求項
１〜４の何れかに記載の貼合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001207814A JP2003023063A (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | 貼合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001207814A JP2003023063A (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | 貼合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003023063A true JP2003023063A (ja) | 2003-01-24 |
Family
ID=19043731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001207814A Pending JP2003023063A (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | 貼合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003023063A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010024038A (ja) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Kanto Auto Works Ltd | 樹脂シート貼着装置 |
| JP2011025455A (ja) * | 2009-07-22 | 2011-02-10 | Bridgestone Corp | ステッチング装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6374871A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-05 | Toshiba Corp | 保護テ−プラミネ−タ装置 |
| JPS63165271A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 粘着フイルム片の貼付方法 |
| JPH0287545A (ja) * | 1988-09-24 | 1990-03-28 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハのテープ貼付け方法 |
-
2001
- 2001-07-09 JP JP2001207814A patent/JP2003023063A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6374871A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-05 | Toshiba Corp | 保護テ−プラミネ−タ装置 |
| JPS63165271A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-08 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 粘着フイルム片の貼付方法 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010024038A (ja) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Kanto Auto Works Ltd | 樹脂シート貼着装置 |
| JP2011025455A (ja) * | 2009-07-22 | 2011-02-10 | Bridgestone Corp | ステッチング装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080416 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100121 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100525 |