JP5055509B2 - 基板への接着シートの貼付け装置 - Google Patents
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Description
R リングフレーム
1 ウエハマウント装置
2 ウエハ供給部
3 ウエハ載置台
4 原接着シート貼付け部
5 セパレータ剥離部
6 接着シート再加熱部
7 下チャンバ
8 リングフレーム供給部
9 上チャンバ
10 保護テープ剥離部
11 マウント済ウエハ収納部
12 多関節ロボット
13 吸着搬送体
14 アライメントセンサ
15 接着シート供給部
16 貼付けローラ
17 剥離ローラ
18 テープチャック
19 カッタ
20 貼付けテーブル
21 原接着シート巻取部
22 吸着搬送体
23 剥離テーブル
24 剥離ユニット
25 加熱テーブル
26 吸着搬送体
27 マウントテーブル
28 吸着搬送アーム
29 ダイシングテープ巻取部
30 カッタユニット
31 ダイシングテープ
32 貼付けローラ
33 ダイシングテープ供給部
34 吸着搬送アーム
35 モータ
36 剥離テーブル
37 剥離ユニット
38 保護テープ
39 吸着部
40 基板載置テーブル
41 吸引凹溝
42 外周テーブル
43 原接着シート
44 モータ
45 シリンダ
46 ガイドローラ
47 ガイドローラ
48 モータ
49 プーリ
50 ベルト
51 プーリ
52 ネジ部材
53 テーブルベース
54 ベルト
56 レール
57 昇降シリンダ
58 機台
59 レール
60 ガイド
61 接着シート
62 セパレータ
63 吸引孔
64 密着シート
65 プーリ
66 面取り部
67 支持板
68 ガイド
69 ベアリング
70 ガイドローラ
71 アライメント部
72 ウエハマウント部
73 ダイシングテープ貼付け部
74 マウント済ウエハ
75 マウント済ウエハ
76 ダンサローラ
77 支持枠
78 側壁
Claims (1)
- 接着シートとセパレータの少なくとも2層構造からなり、かつ基板よりも広幅に形成された原接着シートを貼付けテーブルに吸着保持された基板上に貼付けローラで貼付けた後、原接着シートを基板外周に沿って切断し、切断後、原接着シートの切断縁部分を基板外周縁から分離するようにした基板への接着シート貼付け装置において、
前記貼付けテーブルを昇降可能に機台上に配設し、この貼付けテーブルを前記基板を加熱し吸着保持する基板載置テーブルと、該基板載置テーブルの外周側に適宜な間隔を在して配置され、基板載置テーブルに対して上昇可能に設けられた外周テーブルとから構成するとともに、前記外周テーブル面には、その全周縁に沿って吸引凹溝を形成し、前記基板に貼付けられた原接着シートの切断時に前記吸引凹溝内に作用させた吸引力によって切断途上の原接着シートの切断縁付近を吸着し、切断後、前記外周テーブルを前記基板載置テーブルから上昇せしめることによって原接着シートの切断縁部分を基板外周縁から分離するようにしたことを特徴とする基板への接着シート貼付け装置。
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JP2007338564A JP5055509B2 (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 基板への接着シートの貼付け装置 |
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