JP7382719B2 - シート切断装置およびシート切断方法 - Google Patents
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- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims description 73
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 148
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 148
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 98
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 32
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 19
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 10
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 9
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- -1 optical disks Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図1(B)~(E)は、図1(A)と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略する。
なお、本実施形態では、内側支持手段10は、被着体WKを介して接着シート基材ABをその面内で支持する構成となっている。
変位手段22は、所定の間隔DTに沿って外側支持面21Aに形成された凹溝22Aと、当該凹溝22Aに引き込み力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の引き込み力付与手段22Bとを備えている。
なお、本実施形態の場合、所定の間隔DTは、内側支持テーブル11を囲う全域に形成されている。また、引き込み力付与手段22Bは、外側支持テーブル21の内部に形成された平面視環状の第1環状通気路21Dから、当該外側支持テーブル21の側壁21Bに連通した第1通気路21Cおよび、第1環状通気路21Dから凹溝22Aに連通した第2通気路21Eによって、当該凹溝22Aに引き込み力を付与する構成となっている。
なお、本実施形態の場合、吹出力付与手段42は、外側支持テーブル21の内部に形成された平面視環状の第2環状通気路21Gから、当該外側支持テーブル21の側壁21Bに連通した第3通気路21Fおよび、第2環状通気路21Gからノズル41の吹出口41Aに連通した第4通気路21Hによって、当該ノズル41から気体を吹き出す構成となっている。
案内手段52は、駆動機器としての直動モータ52Aの出力軸52Bに支持され、原反RSを案内するガイドローラ52Cとの間に原反RSを挟み込む押付部材52Dと、原反RSが掛け回され、接着シートASの張力を検知可能な張力検知手段としてのロードセル52Eの検知軸52Fに回転可能に支持された張力検知ローラ52Gと、剥離縁52Hで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板52Jと、駆動機器としての回動モータ52Kの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ52Lとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ52Mと、上記の各部材52A~52Mを直接的または間接的に支持する案内フレーム52Nとを備えている。
繰出力付与手段56は、駆動機器としてのリニアモータ56Aの第1スライダ56Bに支持された繰出フレーム56Cと、繰出フレーム56Cに支持された駆動機器としてのリニアモータ56Dと、そのスライダ56Eに支持された駆動機器としての回動モータ56Fと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ56Gとで接着シート基材ABを挟み込む駆動ローラ56Hと、繰出フレーム56Cに支持され、シート切断装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ56Gとの間に存在する接着シート基材ABに常に所定の張力を付与し、当該接着シート基材ABを回収する回収手段としての回収ローラ56Jとを備えている。
押圧手段57は、繰出力付与手段56と共用されるリニアモータ56Aと、その第2スライダ56Kに支持された駆動機器としてのリニアモータ57Aと、そのスライダ57Bに回転自在に支持された押圧ローラ57Cとを備えている。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EA1に対し、当該シート貼付装置EA1の使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段50が直動モータ52Aを駆動し、図1(B)に示すように、押付部材52Dとガイドローラ52Cとで原反RSを挟み込んだ後、回動モータ56Fを駆動し、ガイドローラ52Cと駆動ローラ56Hとの間に存在する接着シート基材AB部分である貼付前シート基材AB1が弛まない程度に張力を付与する。次いで、シート貼付手段50が回動モータ56Fの駆動を停止し、駆動ローラ56Hが回転しないように当該回動モータ56Fをロック状態とした後、リニアモータ55を駆動し、案内手段52を左右方向に移動させ、ロードセル52Eの検知結果を基に、貼付前シート基材AB1に所定の張力を付与する。なお、案内手段52内で原反RSが繰り出されると、シート貼付手段50が回動モータ52Kを駆動し、剥離板52Jで接着シート基材ABから剥離された剥離シートRLに所定の張力を付与して当該剥離シートRLを回収ローラ53方向に送る(以降も同じ)。
内側支持手段10は、シート貼付手段50以外の装置や人手で、外縁からはみ出すように接着シート基材ABが貼付された被着体WKを支持してもよいし、被着体WKを介することなく接着シート基材ABを直接支持してもよい。
シート切断装置EAは、シート貼付装置EA1以外に、例えば、接着シートASを積層するシート積層装置や接着シートASに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート貼付装置EA1や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
接着シート基材ABは、剥離シートRLが仮着されていなくてもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
10 内側支持手段
11A 内側支持面
20 外側支持手段
21A 外側支持面
22 変位手段
22A 凹溝
22B 引き込み力付与手段
30 シート切断手段
40 変位補助手段
AB 接着シート基材
ABE 切り抜き縁部
AS 接着シート
ASE (接着シートの)外縁
DT 所定の間隔
Claims (3)
- 接着シート基材の面内で当該接着シート基材を支持する内側支持面を有する内側支持手段と、
前記内側支持面に対して所定の間隔の隙間を形成するように配置され、当該内側支持面からはみ出した前記接着シート基材部分を支持する外側支持面を有する外側支持手段と、
前記所定の間隔に沿って前記接着シート基材を切断し、当該接着シート基材から所定形状の接着シートを形成するシート切断手段とを備え、
前記外側支持手段は、前記接着シートが切り抜かれた切断済み接着シート基材における当該接着シートの切り抜き縁部を、当該接着シートの外縁から遠ざけるように変位させる変位手段を有し、
前記隙間内から前記切り抜き縁部に力を付与し、前記変位手段による切り抜き縁部の変位の補助および、前記切り抜き縁部が変位した状態の維持の少なくとも一方を行う変位補助手段をさらに備えていることを特徴とするシート切断装置。 - 前記変位手段は、前記隙間に沿って前記外側支持面に形成された凹溝と、当該凹溝に引き込み力を付与する引き込み力付与手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート切断装置。
- 接着シート基材の面内で当該接着シート基材を内側支持面で支持する内側支持工程と、
前記内側支持面に対して所定の間隔の隙間を形成するように配置され、当該内側支持面からはみ出した前記接着シート基材部分を外側支持面で支持する外側支持工程と、
前記所定の間隔内で前記接着シート基材を切断し、当該接着シート基材から所定形状の接着シートを形成するシート切断工程とを実施し、
前記外側支持工程では、前記接着シートが切り抜かれた切断済み接着シート基材における当該接着シートの切り抜き縁部を、当該接着シートの外縁から遠ざけるように変位させる変位工程を行い、
前記隙間内から前記切り抜き縁部に力を付与し、前記変位工程における切り抜き縁部の変位の補助および、前記切り抜き縁部が変位した状態の維持の少なくとも一方を行う変位補助工程をさらに実施することを特徴とするシート切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019011055A JP7382719B2 (ja) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | シート切断装置およびシート切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019011055A JP7382719B2 (ja) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | シート切断装置およびシート切断方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020120025A JP2020120025A (ja) | 2020-08-06 |
JP7382719B2 true JP7382719B2 (ja) | 2023-11-17 |
Family
ID=71891278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019011055A Active JP7382719B2 (ja) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | シート切断装置およびシート切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7382719B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002134438A (ja) | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Takatori Corp | 半導体ウェーハへのダイボンドテープ貼り付け方法及び装置 |
JP2009158879A (ja) | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Takatori Corp | 基板への接着シートの貼付け装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6965036B2 (ja) * | 2017-06-20 | 2021-11-10 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
-
2019
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002134438A (ja) | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Takatori Corp | 半導体ウェーハへのダイボンドテープ貼り付け方法及び装置 |
JP2009158879A (ja) | 2007-12-28 | 2009-07-16 | Takatori Corp | 基板への接着シートの貼付け装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020120025A (ja) | 2020-08-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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