JP2024036089A - シート供給装置およびシート供給方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接着シートが形成されているか否かを確実に検知することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供する。【解決手段】帯状の接着シート基材ＡＢを繰り出す繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出される接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されているか否かを検知する検知手段２０と、検知手段２０によって接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されていないことが検知されたときに、当該接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳを形成する接着シート形成手段３０と、接着シート基材ＡＢから接着シートＡＳを抜き取って供給する供給手段４０とを備え、接着シート基材ＡＢには、所定の間隔ＥＤで貫通孔ＡＰが形成されており、検知手段２０は、貫通孔ＡＰの存在を確認し、繰出手段１０によって接着シート基材ＡＢが所定の間隔ＥＤ以上繰り出されても、接着シート基材ＡＢに貫通孔ＡＰの存在が確認されないことで、接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されていないことを検知する。【選択図】図１

Description

本発明は、シート供給装置およびシート供給方法に関する。

接着シートの有無を検知し、その存在が確認されなかった場合、接着シート基材に接着シートを形成して当該接着シートを供給するシート供給装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７－１６５３６４号公報

特許文献１に記載されたマウント装置１０（シート供給装置）では、テープ基材ＴＢ（接着シート基材）にダイシングテープＤＴ（接着シート）が形成されているか否かを検知するために、接着シート基材における接着シートとその外側の不要テープ部分との間の細い切込みＣを検知しなければならず、接着シートが形成されていてもその存在を確認することができずに接着シートを形成してしまう可能性がある。

本発明の目的は、接着シートが形成されているか否かを確実に検知することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、接着シート基材が所定の間隔以上繰り出されても、当該接着シート基材に貫通孔の存在が確認されないことで、接着シート基材に接着シートが形成されていないことを検知するため、接着シートが形成されているか否かを確実に検知することができる。

本発明の一施形態に係るシート供給装置を備えたシート貼付装置の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

シート供給装置ＥＡは、帯状の接着シート基材ＡＢを繰り出す繰出工程を実施する繰出手段１０と、繰出手段１０で繰り出される接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されているか否かを検知する検知工程を実施する検知手段２０と、検知手段２０によって接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されていないことが検知されたときに、当該接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳを形成する接着シート形成工程を実施する接着シート形成手段３０と、接着シート基材ＡＢから接着シートＡＳを抜き取って供給する供給工程を実施する供給手段４０とを備えている。シート供給装置ＥＡは、被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５０とでシート貼付装置ＥＡ１を構成し、被着体ＷＫを支持する支持手段６０の近傍に配置されている。
なお、図１中ＡＡを付した図に示すように、接着シート基材ＡＢには、予め所定の間隔ＥＤで閉ループ状の切込ＣＵが形成され、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳ、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳが形成されており、不要シートＵＳに所定の間隔ＥＤで貫通孔ＡＰも形成されている。この貫通孔ＡＰは、接着シート基材ＡＢに形成されている各接着シートＡＳに対して１個ずつ対をなして設けられている。

繰出手段１０は、剥離シートＲＬに接着シート基材ＡＢが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、接着シート形成手段３０よりも原反ＲＳの繰出方向上流側で原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、接着シート形成手段３０よりも原反ＲＳの繰出方向下流側で原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、駆動機器としての回動モータ１４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１４と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ１４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１５とを備えている。ガイドローラ１２の外周面には、周方向に延びる溝１２Ａが形成されている。
なお、図１中ＡＡを付した図に示すように、本実施形態の接着シート基材ＡＢには、不要シートＵＳから独立することのない蓋ＡＢ１付きの貫通孔ＡＰが形成されており、当該接着シート基材ＡＢが仮着されている剥離シートＲＬにも、蓋ＡＢ１付きの貫通孔ＡＰと同じ位置に同様の蓋付きの貫通孔が形成されている。

検知手段２０は、本体２１Ａから離間する方向に付勢された検知アーム２１Ｂを有するリミットスイッチ２１と、検知アーム２１Ｂに回転可能に支持され、変位して貫通孔ＡＰに嵌まり込む変位手段としての変位ローラ２２とを備え、貫通孔ＡＰの存在を確認し、繰出手段１０によって接着シート基材ＡＢが所定の間隔ＥＤ以上繰り出されても、当該接着シート基材ＡＢに貫通孔ＡＰの存在が確認されないことで、接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されていないことを検知する構成となっている。

接着シート形成手段３０は、駆動機器としての回動モータ３１の出力軸３１Ａに支持されたダイカットローラ３２と、ダイカットローラ３２の外周面に支持され、原反ＲＳにおける接着シート基材ＡＢに閉ループ状の切込ＣＵを形成することで、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、当該切込ＣＵの外側に不要シートＵＳを形成する切断手段としての第１切断刃３３と、ダイカットローラ３２と同期回転するプラテンローラ３４とを備えている。

供給手段４０は、剥離縁４１Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離して供給する剥離板４１を備えている。

支持手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１と、リニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面６２Ａを有するテーブル６２とを備えている。

以上のシート供給装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、図１中実線で示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板４１の剥離縁４１Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１４Ａの駆動を停止する。なお、繰出手段１０によって接着シート基材ＡＢが繰り出される間、図１中ＢＢを付した図の二点鎖線で示すように、変位ローラ２２が変位して貫通孔ＡＰに嵌まり込むので、検知手段２０は、接着シート基材ＡＢが所定の間隔ＥＤ以上繰り出される間に貫通孔ＡＰの存在を確認し、接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されていることを検知する。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、支持面６２Ａ上の所定の位置に被着体ＷＫを載置すると、支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面６２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を左方へ移動させ、当該テーブル６２が所定の位置に到達すると、繰出手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、テーブル６２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、剥離シートＲＬから剥離されることで接着シート基材ＡＢから抜き取られ、当該接着シート基材ＡＢから抜き取られた接着シートＡＳは、図１中二点鎖線で示すように、押圧ローラ５０によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。次に、接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫに貼付され、先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板４１の剥離縁４１Ａで所定長さ剥離されると、繰出手段１０が回動モータ１４Ａの駆動を停止する。そして、テーブル６２が押圧ローラ５０の左方所定位置に到達すると、支持手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面６２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次工程に搬送すると、支持手段６０がリニアモータ６１を駆動し、テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

ここで、接着シート基材ＡＢに貫通孔ＡＰが形成されていない場合、繰出手段１０によって接着シート基材ＡＢが繰り出される間、変位ローラ２２が変位して貫通孔ＡＰに嵌まり込むことはない。すると、検知手段２０は、接着シート基材ＡＢが所定の間隔ＥＤ以上繰り出される間に貫通孔ＡＰの存在を確認することができないので、接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されていないことを検知することとなる。このように、接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されていないことを検知手段２０が検知すると、接着シート形成手段３０が回動モータ１４Ａ、３１を駆動し、原反ＲＳの繰出速度に合わせてダイカットローラ３２を回転させる。これにより、接着シート基材ＡＢに切込ＣＵが形成され、当該接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成される。その後、形成された接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板４１の剥離縁４１Ａで所定長さ剥離されると、接着シート形成手段３０が回動モータ１４Ａ、３１の駆動を停止し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、接着シート基材ＡＢが所定の間隔ＥＤ以上繰り出されても、当該接着シート基材ＡＢに貫通孔ＡＰの存在が確認されないことで、接着シート基材ＡＢに接着シートＡＳが形成されていないことを検知するため、接着シートＡＳが形成されているか否かを確実に検知することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、繰出手段１０は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された図示しない停止位置検知手段によって、剥離板４１の剥離縁４１Ａで蓋ＡＢ１または貫通孔ＡＰが検知されると、接着シート基材ＡＢの繰り出しを停止して被着体ＷＫの到着を待機する構成としてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シート基材ＡＢを繰り出してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにした接着シート基材ＡＢから当該接着シート基材ＡＢを繰り出してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよい。

検知手段２０は、検知アーム２１Ｂに代えてプランジャで変位ローラ２２を回転可能に支持するプランジャタイプのリミットスイッチ２１を採用してもよいし、変位ローラ２２を採用せず、検知アーム２１Ｂやプランジャを変位手段として採用してもよいし、変位手段を備えていなくてもよいし、例えば、接触式または非接触式のセンサを採用してもよいし、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等を採用してもよい。

接着シート形成手段３０は、出力軸で回動モータ３１を支持する直動モータ等の駆動機器によって、ダイカットローラ３２を原反ＲＳに離間接近させて接着シートＡＳを形成してもよいし、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切込ＣＵを形成して接着シートＡＳを形成してもよいし、切断手段としてカッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等を採用してもよいし、多関節ロボット等の駆動機器で切断手段を移動させて切込ＣＵを形成し、接着シートＡＳを形成してもよいし、図１中二点鎖線で示すように、貫通孔ＡＰが形成されていない接着シート基材ＡＢに当該貫通孔ＡＰを形成する第２切断刃３５を備えていてもよく、例えば、接着シート形成手段３０よりも原反ＲＳの繰出方向上流側にも検知手段２０と同等のものを設け、接着シート基材ＡＢに貫通孔ＡＰが形成されていないことを検知する構成としてもよい。

供給手段４０は、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シート基材ＡＢが採用された場合（剥離シートＲＬに仮着されている接着シート基材ＡＢが採用された場合でも）、例えば、剥離板４１に代えてまたは併用して、駆動機器としての直動モータと、直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な接着シート保持部材とを備えたものを採用し、当該接着シート保持部材で保持した接着シートＡＳを接着シート基材ＡＢから抜き取って供給してもよい。

押圧手段は、駆動機器としての直動モータと、直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材とを備え、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する構成を採用してもよいし、繰出手段１０、供給手段４０、押圧ローラ５０等を天地反転して配置したり横置きに配置したりして、被着体ＷＫの下面や側面等に接着シートＡＳを押圧して貼付するように構成してもよいし、押圧ローラ５０を被着体ＷＫに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよいし、本発明のシート供給装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付ししてもよい。

支持手段６０は、支持面６２Ａで吸着保持ができないテーブル６２が採用されてもよいし、本発明のシート供給装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体ＷＫを移動させてもよい。

シート供給装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢから抜き取った接着シートＡＳを押圧手段以外の例えば、公知の印刷装置や検査装置等の他の装置に供給したり、使用者に供給したりしてもよい。
接着シート基材ＡＢには、当該接着シート基材ＡＢの繰出方向に直交する幅方向全体に形成された切込で仕切られた接着シートＡＳが形成されていてもよいし、不要シートＵＳから独立した蓋ＡＢ１付きの貫通孔ＡＰが形成されていてもよいし、蓋ＡＢ１のない貫通孔ＡＰが形成されていてもよい。
貫通孔ＡＰは、接着シート基材ＡＢの幅方向の端部が切り抜かれて形成されてもよいし、接着シート基材ＡＢに形成されている各接着シートＡＳに対して１個ずつまたは複数個ずつ対をなし設けられていてもよいし、接着シート基材ＡＢに形成されている各接着シートＡＳに対して対をなさずに設けられていてもよいし、Ｕ字形状、Ｖ字形状、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。
原反ＲＳは、貫通孔ＡＰと同じ位置に同様の貫通孔が剥離シートＲＬに形成されていなくてもよいし、接着シート基材ＡＢおよび剥離シートＲＬの両方に蓋のない貫通孔が形成されていてもよいし、接着シート基材ＡＢに蓋のない貫通孔ＡＰが形成され、剥離シートＲＬに蓋付きの貫通孔が形成されていてもよいし、接着シート基材ＡＢに蓋付きの貫通孔ＡＰが形成され、剥離シートＲＬに蓋のない貫通孔が形成されていてもよい。

接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シート基材ＡＢは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ＡＢが採用された場合は、接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シート基材ＡＢは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、接着シート基材から接着シートを抜き取って供給するものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂または駆動機器等で構成してもよい。

ＥＡ…シート供給装置
１０…繰出手段
２０…検知手段
２２…変位ローラ（変位手段）
３０…接着シート形成手段
４０…供給手段
ＡＢ…接着シート基材
ＡＰ…貫通孔
ＡＳ…接着シート
ＥＤ…間隔

Claims (4)

1. 帯状の接着シート基材を繰り出す繰出手段と、
   前記繰出手段で繰り出される前記接着シート基材に接着シートが形成されているか否かを検知する検知手段と、
   前記検知手段によって前記接着シート基材に前記接着シートが形成されていないことが検知されたときに、当該接着シート基材に前記接着シートを形成する接着シート形成手段と、
   前記接着シート基材から前記接着シートを抜き取って供給する供給手段とを備え、
   前記接着シート基材には、所定の間隔で貫通孔が形成されており、
   前記検知手段は、前記貫通孔の存在を確認し、前記繰出手段によって前記接着シート基材が前記所定の間隔以上繰り出されても、当該接着シート基材に前記貫通孔の存在が確認されないことで、前記接着シート基材に前記接着シートが形成されていないことを検知することを特徴とするシート供給装置。
2. 前記検知手段は、変位して前記貫通孔に嵌まり込む変位手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。
3. 前記接着シート形成手段は、前記貫通孔が形成されていない前記接着シート基材に当該貫通孔を形成することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート供給装置。
4. 帯状の接着シート基材を繰り出す繰出工程と、
   前記繰出工程で繰り出される前記接着シート基材に接着シートが形成されているか否かを検知する検知工程と、
   前記検知工程によって前記接着シート基材に前記接着シートが形成されていないことが検知されたときに、当該接着シート基材に前記接着シートを形成する接着シート形成工程と、
   前記接着シート基材から前記接着シートを抜き取って供給する供給工程とを実施し、
   前記接着シート基材には、所定の間隔で貫通孔が形成されており、
   前記検知工程では、前記貫通孔の存在を確認し、前記繰出工程によって前記接着シート基材が前記所定の間隔以上繰り出されても、当該接着シート基材に前記貫通孔の存在が確認されないことで、前記接着シート基材に前記接着シートが形成されていないことを検知することを特徴とするシート供給方法。

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