JP7277239B2 - 厚み測定装置および厚み測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、厚み測定装置および厚み測定方法に関する。

従来、測定対象物の厚みを測定する厚み測定装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２－１４５４３９号公報

しかしながら、特許文献１に記載された従来の基板厚み測定装置１０（厚み測定装置）では、接触センサ１３（測定手段）に対する基準棒１２（押付手段）の位置が固定されているため、１つのキャリアプレート１（測定対象物）における厚み測定位置が複数である場合、その厚み測定位置の数に応じた測定手段を用意しなければならないという不都合がある。

本発明の目的は、１つの測定対象物における厚み測定位置が複数であっても、その厚み測定位置の数よりも少ない数の測定手段で、それら複数の厚み測定位置全ての厚み測定が可能な厚み測定装置および厚み測定方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、第１押付機構と第２押付機構とを相対移動させ、測定対象物の複数の測定位置の厚みを単一の測定手段で測定することができるのでので、１つの測定対象物における厚み測定位置が複数であっても、その厚み測定位置の数よりも少ない数の測定手段で、それら複数の厚み測定位置全ての厚み測定が可能となる。

本発明の厚み測定装置の説明図。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の厚み測定装置ＥＡは、測定対象物ＷＫの厚みを測定する装置であって、測定対象物ＷＫを支持する支持手段３８に当該測定対象物ＷＫを押し付ける押付手段１０と、測定対象物ＷＫの厚みを測定する測定手段２０とを備え、測定対象物ＷＫに接着シートＡＳを貼付するシート貼付手段３０とでシート貼付装置ＥＡ１を形成している。
なお、本実施形態の測定対象物ＷＫは、一方の面（上面）における外縁部ＷＫ１を除く中央部ＷＫ２に凸部ＢＰが形成されたものが採用される。

押付手段１０は、測定対象物ＷＫの所定の第１測定位置としての外縁部ＷＫ１を支持手段３８に押し付ける第１押付機構１１と、測定対象物ＷＫの所定の第２測定位置としての中央部ＷＫ２を支持手段３８に押し付ける第２押付機構１２と、第１押付機構１１と第２押付機構１２とを相対移動させる押付機構移動手段１３と、測定対象物ＷＫを支持手段３８方向に付勢する流体としての気体を吹き付ける流体吹付手段１４とを備えている。
第１押付機構１１は、駆動機器としての直動モータ１１Ａと、当該直動モータ１１Ａの出力軸１１Ｂに支持され、下面が第１接触面１１Ｄとされた第１押付部材１１Ｃとを備えている。
第２押付機構１２は、第１押付機構１１と共有する直動モータ１１Ａと、押付機構移動手段１３に支持され、下面が第２接触面１２Ｂとされた第２押付部材１２Ａとを備えている。
押付機構移動手段１３は、第１押付部材１１Ｃの下面に形成された凹部１１Ｅに支持され、その出力軸１３Ｂで第２押付部材１２Ａを支持する駆動機器としての直動モータ１３Ａを備えている。
流体吹付手段１４は、加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段に接続され、第１押付部材１１Ｃと第２押付部材１２Ａとの間隙１４Ｂから気体を吹き付ける吹出口１４Ａを備えている。

測定手段２０は、第１押付部材１１Ｃに支持された接触式変位センサ２１を備え、図示しない付勢手段によって下方に付勢され、本体２１Ａに対して昇降可能に設けられた測定軸２１Ｂを備えている。
なお、測定手段２０は、単一とされ、支持手段３８の所定の位置としての保持面３８Ａと、第１押付機構１１の所定の位置としての第１接触面１１Ｄとの間隔を測定することで外縁部ＷＫ１の厚みを測定し、保持面３８Ａと、第２押付機構の所定の位置としての第２接触面１２Ｂとの間隔を測定することで中央部ＷＫ２の厚みを測定する構成となっている。本実施形態では、測定対象物ＷＫには接着シートＡＳが貼付され、測定手段２０は、接着シートＡＳが貼付された中央部ＷＫ２の厚みを測定するようになっている。

シート貼付手段３０は、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２と、剥離縁３３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３３と、測定対象物ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３４と、駆動機器としての回動モータ３５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ３５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ３５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ３６と、駆動機器としてのリニアモータ３７と、そのスライダ３７Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって保持面３８Ａで吸着保持が可能な支持手段３８とを備えている。

以上の厚み測定装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ３５Ａの駆動を停止する。また、押付手段１０が直動モータ１１Ａを駆動し、第１押付部材１１Ｃを下降させ、図１（Ｂ）に示すように、第１接触面１１Ｄを保持面３８Ａに所定の押付力で押し付けた状態で、測定手段２０が接触式変位センサ２１を駆動し、本体２１Ａに対する測定軸２１Ｂの位置を検出することで原点出し動作を行う。この原点出し動作において、接触式変位センサ２１の検出結果をパーソナルコンピュータやシーケンサ等の図示しない制御手段が厚み０として記憶すると、押付手段１０が直動モータ１１Ａを駆動し、第１押付部材１１Ｃを初期位置に復帰させる。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、保持面３８Ａ上に測定対象物ＷＫを載置すると、シート貼付手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、当該保持面３８Ａでの測定対象物ＷＫの吸着保持を開始する。その後、押付手段１０が図示しない加圧手段および直動モータ１１Ａを駆動し、間隙１４Ｂから気体を吹き出しつつ、第１押付部材１１Ｃを下降させる。これにより、測定対象物ＷＫは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように反り返っていたとしても、図１（Ｃ）に示すように、間隙１４Ｂから吹き出される気体によって、保持面３８Ａで全面が吸着保持されるようになる。次に、第１押付部材１１Ｃの下降が続行され、第１接触面１１Ｄが外縁部ＷＫ１に当接する直前で押付手段１０が図示しない加圧手段の駆動を停止した後、図１（Ｄ）に示すように、第１接触面１１Ｄで外縁部ＷＫ１を保持面３８Ａに所定の押付力で押し付ける。そして、外縁部ＷＫ１を保持面３８Ａに所定の押付力で押し付けた状態で、測定手段２０が接触式変位センサ２１を駆動し、本体２１Ａに対する測定軸２１Ｂの位置を検出し、先に検出した厚み０の位置との差から外縁部ＷＫ１の厚みを測定し、図示しない制御手段が当該外縁部ＷＫ１の厚みを記憶する。

次いで、押付手段１０が直動モータ１１Ａを駆動し、第１押付部材１１Ｃを初期位置に復帰させた後、シート貼付手段３０がリニアモータ３７を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、測定対象物ＷＫの左端部が剥離板３３の剥離縁３３Ａよりも右方の位置となるまで支持手段３８を移動させる。その後、シート貼付手段３０がリニアモータ３７を駆動し、支持手段３８を左方に移動させ、当該支持手段３８が所定の位置に到達すると、回動モータ３５Ａを駆動し、当該支持手段３８の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ３４によって、測定対象物ＷＫの上面に押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シートＡＳに次ぐ次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定長さ剥離されると、シート貼付手段３０が回動モータ３５Ａの駆動を停止する。

そして、測定対象物ＷＫに接着シートＡＳ全体が貼付され、支持手段３８が初期位置に復帰すると、シート貼付手段３０がリニアモータ３７の駆動を停止した後、押付手段１０が直動モータ１３Ａを駆動し、第２押付部材１２Ａを下降させ、第２接触面１２Ｂを第１接触面１１Ｄと同一平面内に位置させる。次いで、押付手段１０が直動モータ１１Ａを駆動し、第２押付部材１２Ａを下降させ、図１（Ｅ）に示すように、接着シートＡＳが貼付された中央部ＷＫ２を第２接触面１２Ｂで保持面３８Ａに所定の押付力で押し付ける。その後、中央部ＷＫ２を保持面３８Ａに所定の押付力で押し付けた状態で、測定手段２０が接触式変位センサ２１を駆動し、本体２１Ａに対する測定軸２１Ｂの位置を検出し、先に検出した厚み０の位置との差から接着シートＡＳが貼付された中央部ＷＫ２の厚みを測定し、図示しない制御手段が当該接着シートＡＳが貼付された中央部ＷＫ２の厚みを記憶する。

次に、押付手段１０が直動モータ１１Ａ、１３Ａを駆動し、第２押付部材１２Ａを初期位置に復帰させた後、シート貼付手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面３８Ａでの測定対象物ＷＫの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付された測定対象物ＷＫを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
なお、測定装置ＥＡは、図示しない制御手段が記憶した外縁部ＷＫ１の厚みや、接着シートＡＳが貼付された中央部ＷＫ２の厚みを、例えば、測定対象物ＷＫを所定の厚みにまで研削する研削装置や、測定対象物ＷＫを所定の大きさに切断する切断装置等の次工程を実施する他の装置にデータとして送信してもよいし、接着シートＡＳや測定対象物ＷＫに記載したり、刻印したり、他の接着シートに記載して当該他の接着シートを接着シートＡＳや測定対象物ＷＫに貼付したりしてもよいし、他の装置に送信したり、接着シートＡＳや測定対象物ＷＫに記載したり、刻印したり、貼付したりしなくてもよい。

以上のような実施形態によれば、第１押付機構１１と第２押付機構１２とを相対移動させ、測定対象物ＷＫの複数の測定位置の厚みを単一の測定手段２０で測定することができるのでので、１つの測定対象物ＷＫにおける厚み測定位置が複数であっても、その厚み測定位置の数よりも少ない数の測定手段２０で、それら複数の厚み測定位置全ての厚み測定が可能となる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１押付機構は、測定対象物の所定の第１測定位置を支持手段に押し付けることが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

押付手段１０は、外縁部ＷＫ１を全体的または部分的に支持手段３８に押し付ける第１押付機構１１を備えていてもよいし、中央部ＷＫ２を全体的または部分的に支持手段３８に押し付ける第２押付機構１２を備えていてもよいし、接着シートＡＳが貼付された外縁部ＷＫ１を第１接触面１１Ｄで支持手段３８に所定の押付力で押し付け、測定手段２０で接着シートＡＳが貼付された外縁部ＷＫ１の厚みを測定してもよいし、接着シートＡＳが貼付されていない中央部ＷＫ２を第２接触面１２Ｂで支持手段３８に所定の押付力で押し付け、測定手段２０で接着シートＡＳが貼付されていない中央部ＷＫ２の厚みを測定してもよいし、外縁部ＷＫ１以外の位置（例えば、測定対象物ＷＫの中心位置や内縁部等）を第１測定位置としてもよいし、中央部ＷＫ２以外の位置（例えば、測定対象物ＷＫの外縁部や内縁部等）を第２測定位置としてもよいし、第１、第２押付機構１１、１２を左右方向や前後方向やそれらの成分を含む方向等に移動させてもよいし、凹部１１Ｅに支持されていない駆動機器で押付機構移動手段１３を構成してもよいし、第２接触面１２Ｂを第１接触面１１Ｄと同一平面内に位置させる際、停止または移動している第２押付部材１２Ａに対し、第１押付部材１１Ｃを移動させる押付機構移動手段１３を採用してもよいし、３体以上の押付機構を備えていてもよいし、間隙１４Ｂ、第１接触面１１Ｄ、第２接触面１２Ｂまたはその他の位置から測定対象物ＷＫを支持手段３８方向に付勢する流体を吹き付ける流体吹付手段を採用してもよいし、流体として単体、複合ガス、液体またはジェル状体を吹き付ける流体吹付手段を採用してもよいし、流体吹付手段が備わっていなくてもよい。
押付手段１０は、原点出し動作の際に、保持面３８Ａに第１押付部材１１Ｃを押し付ける所定の押付力と、外縁部ＷＫ１の厚みを測定する際に、第１押付部材１１Ｃで保持面３８Ａに外縁部ＷＫ１を押し付ける所定の押付力と、中央部ＷＫ２のシート貼付厚みを測定する際に、第２押付部材１２Ａで保持面３８Ａに中央部ＷＫ２を押し付ける所定の押付力とを同じ押圧力としてもよいし、異なる押圧力としてもよく、それら各々の所定の押付力は、使用者が任意に決定することができる。

測定手段２０は、接触式変位センサ２１に代えてまたは併用して光電センサやレーザセンサ等の非接触型のセンサを採用してもよいし、支持手段３８の所定の位置として、例えば、当該支持手段の下面の位置やその他の位置を基準とし、第１押付機構１１の所定の位置として、例えば、第１押付部材１１Ｃの上面の位置やその他の位置を基準として外縁部ＷＫ１の厚みを測定してもよいし、第２押付機構１２の所定の位置として、例えば、第２押付部材１２Ａの上面の位置やその他の位置を基準として中央部ＷＫ２の厚みを測定してもよい。

シート貼付手段３０は、帯状の接着シートを測定対象物ＷＫの上面に貼付する構成でもよいし、支持ローラ３１やガイドローラ３２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、支持手段３８を移動させずにまたは移動させつつ、剥離板３３、押圧ローラ３４、駆動ローラ３５等を移動させて測定対象物ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、剥離シートＲＬが仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して測定対象物ＷＫに貼付してもよいし、シート貼付装置ＥＡ１や本発明の厚み測定装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

本発明の厚み測定装置ＥＡは、自動運転開始の信号が入力された際に１回だけ原点出し動作を行ってもよいし、１つの測定対象物ＷＫの厚みを測定する度に原点出し動作を行ってもよいし、複数の測定対象物ＷＫの厚みを測定する度に原点出し動作を行ってもよいし、原点出し動作を行わなくてもよいし、中央部ＷＫ２の厚みを測定してから外縁部ＷＫ１の厚みを測定してもよいし、接着シートＡＳが貼付された外縁部ＷＫ１の厚みと、接着シートＡＳが貼付されていない外縁部ＷＫ１の厚みとの差から、接着シートＡＳの厚みを算出してもよいし、接着シートＡＳが貼付されていない中央部ＷＫ２の厚みと、接着シートＡＳが貼付されていない外縁部ＷＫ１の厚みとの差から、凸部ＢＰの厚みを算出してもよいし、接着シートＡＳが貼付された中央部ＷＫ２の厚みと、接着シートＡＳが貼付されていない外縁部ＷＫ１の厚みと、算出された接着シートＡＳの厚みとの差から、凸部ＢＰの厚みを算出してもよいし、外縁部ＷＫ１の厚みや中央部ＷＫ２の厚みを図示しない制御手段が記憶しなくてもよいし、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、接着シートＡＳを積層するシート積層装置や、接着シートＡＳに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート貼付装置ＥＡ１や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
測定対象物ＷＫは、外縁部ＷＫ１に凸部ＢＰが形成され、その他の中央部ＷＫ２に凸部ＢＰが形成されていないものでもよいし、凸部ＢＰとして例えば半導体ウエハのバンプでもよいし、凹部が形成された位置を第１測定位置や第２測定位置としてもよいし、凸部ＢＰや凹部は、１つでもよいし複数でもよいし、凸部ＢＰや凹部が形成されていなくてもよく、第１測定位置や第２測定位置は、使用者が任意に決定することができる。

本発明における接着シートＡＳおよび測定対象物ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状でもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、測定対象物ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。

ＥＡ 厚み測定装置
１０ 押付手段
１１ 第１押付機構
１１Ｄ 第１接触面（第１押付機構の所定の位置）
１２ 第２押付機構
１２Ｂ 第２接触面（第２押付機構の所定の位置）
１３ 押付機構移動手段
２０ 測定手段
３８ 支持手段
３８Ａ 保持面（支持手段の所定の位置）
ＡＳ 接着シート
ＷＫ 測定対象物
ＷＫ１ 外縁部（第１測定位置）
ＷＫ２ 中央部（第２測定位置）

Claims (4)

1. 測定対象物の厚みを測定する厚み測定装置において、
   前記測定対象物を支持する支持手段に当該測定対象物を押し付ける押付手段と、
   前記測定対象物の厚みを測定する測定手段とを備え、
   前記押付手段は、前記測定対象物の所定の第１測定位置を前記支持手段に押し付ける第１押付機構と、前記測定対象物の所定の第２測定位置を前記支持手段に押し付ける第２押付機構と、前記第１押付機構と第２押付機構とを相対移動させる押付機構移動手段とを有し、
   前記測定手段は、単一とされ、前記支持手段の所定の位置と、前記第１押付機構の所定の位置との間隔を測定することで前記第１測定位置の厚みを測定し、前記支持手段の所定の位置と、前記第２押付機構の所定の位置との間隔を測定することで前記第２測定位置の厚みを測定することを特徴とする厚み測定装置。
2. 前記測定対象物には接着シートが貼付され、前記測定手段は、前記接着シートが貼付された前記第１測定位置の厚みおよび、前記接着シートが貼付された前記第２測定位置の厚みのうち少なくとも一方を測定することを特徴とする請求項１に記載の厚み測定装置。
3. 前記押付手段は、前記測定対象物を前記支持手段の方向に付勢する流体を吹き付ける流体吹付手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の厚み測定装置。
4. 測定対象物の厚みを測定する厚み測定方法において、
   前記測定対象物を支持する支持手段に当該測定対象物を押し付ける押付工程と、
   前記測定対象物の厚みを測定手段で測定する測定工程とを実施し、
   前記押付工程では、前記測定対象物の所定の第１測定位置を第１押付機構で前記支持手段に押し付ける第１押付工程と、前記測定対象物の所定の第２測定位置を第２押付機構で前記支持手段に押し付ける第２押付工程と、前記第１押付機構と第２押付機構とを相対移動させる押付手段移動工程とを行い、
   前記測定工程では、単一の前記測定手段を用い、前記支持手段の所定の位置と、前記第１押付機構の所定の位置との間隔を測定することで前記第１測定位置の厚みを測定し、前記支持手段の所定の位置と、前記第２押付機構の所定の位置との間隔を測定することで前記第２測定位置の厚みを測定することを特徴とする厚み測定方法。

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