JP2006075940A - 半導体ウエハの保護テープ切断方法及び保護テープ切断装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体ウエハの保護テープの切断時に切粉が発生しないような保護テープ切断方法及び保護テープ切断装置を提供する。
【解決手段】 半導体ウエハ2の裏面加工前に、半導体ウエハ2の表面に保護テープ4を貼り付け、保護テープ4を半導体ウエハ2の外形に沿って切断する半導体ウエハ2の保護テープ切断方法であって、保護テープ4を半導体ウエハ2表面に貼り付けた後、半導体ウエハ2の外周方向に向けて放射状に張力を付与しつつ保護テープ4を半導体ウエハ2の外形に沿って切断することを特徴とする。
【選択図】 図3
【解決手段】 半導体ウエハ2の裏面加工前に、半導体ウエハ2の表面に保護テープ4を貼り付け、保護テープ4を半導体ウエハ2の外形に沿って切断する半導体ウエハ2の保護テープ切断方法であって、保護テープ4を半導体ウエハ2表面に貼り付けた後、半導体ウエハ2の外周方向に向けて放射状に張力を付与しつつ保護テープ4を半導体ウエハ2の外形に沿って切断することを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
本発明は、半導体ウエハの裏面加工前に半導体ウエハ表面に貼り付けられる保護テープ切断方法及び保護テープ切断装置に関する。
従来、半導体ウエハの製造工程において、半導体ウエハは、機械的あるいは化学的にパターンが形成された表面の裏面側が加工され肉厚が薄くされている。この際、半導体ウエハの表面には、形成されたパターンを保護するために保護テープが貼り付けられている。
この保護テープの貼り付けは、一般的に、次のように行われている。まず、半導体ウエハをチャックテーブルに吸着保持し、その半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける。次いで、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープを半導体ウエハの外形に沿って切断する。その後、不要な保護テープは、剥離回収され、保護テープの貼り付け工程が完了する。
近年、半導体ウエハは高密度実装の要求に伴い、半導体ウエハの厚みがさらに薄くなる傾向にある。半導体ウエハの厚みが薄くなるにつれて半導体ウエハの剛性も低下し、保護テープを貼り付けると、テープの粘着力によって、半導体ウエハが反る等問題が発生するようになってきた。そこで、半導体ウエハに剛性を持たせるとともに、反りを抑制するために硬くて厚い保護テープが半導体ウエハ表面に保護テープとして貼り付けられることが多くなっている(例えば、特許文献1)。
特開2004−63678
しかしながら、硬くて厚い保護テープを使用することによって、保護テープの切断時に大きな負荷がかかり、保護テープの切り粉が発生し、半導体ウエハのエッジ部に付着する場合がある。その結果、半導体ウエハ研削時にこの切り粉が半導体ウエハと研削機の吸着テーブルの間に挟まり、研削時に均一な厚みにならない場合や、場合によっては、半導体ウエハの割れ等が発生することもあった。
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであって、半導体ウエハの保護テープの切断時に切り粉が発生しないような保護テープ切断方法及び保護テープ切断装置を提供することを目的とする。
前記問題点を解決するための本発明に係る半導体ウエハの保護テープ切断方法は、半導体ウエハの裏面加工前に、前記半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付け、前記保護テープを前記半導体ウエハの外形に沿って切断する半導体ウエハの保護テープ切断方法であって、前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に貼り付けた後、前記半導体ウエハの外周方向に向けて放射状に張力を付与しつつ前記保護テープを前記半導体ウエハの外形に沿って切断することを特徴とするものである。
半導体ウエハ表面に貼り付けられた保護テープを、半導体ウエハの外周方向に放射状に張力を付与しつつ半導体ウエハの外形に沿って切断することで、切断抵抗が低減し、保護テープ切断時の切り粉の発生が減少する。
また、本発明に係る半導体ウエハの保護テープ切断方法は、前記半導体ウエハを、昇降自在に設けられている第1テーブルに載置し、前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に貼り付ける際に、前記半導体ウエハと共に、前記第1テーブルの外周部に位置する第2テーブル表面にも貼り付け、前記保護テープを貼り付けた後、前記第1テーブルを上昇または下降させて、前記半導体ウエハの表面と前記第2テーブルとの間に段差を生じさせることによって、前記保護テープに前記半導体ウエハの外周方向に向けて放射状に張力を付与することを特徴とするものである。
半導体ウエハを載置した第1テーブルを、この第1テーブルの外周部に位置する第2テーブルよりも高く上昇させる。あるいは第1テーブルを下降させて第2テーブルよりも低くして両者の間に段差を設けることによって保護テープに半導体ウエハの外周方向に向かって放射状に張力を与えることができる。これによって、保護テープの切断抵抗を低減することが可能となり、保護テープ切断時の切り粉の発生が減少する。
また、本発明に係る半導体ウエハの保護テープ切断方法は、前記段差が、1mm〜5mmであるものが好ましい。
第1テーブルと第2テーブルとの間の段差を1mm〜5mm、好ましくは2mm〜3mmとすることによって、保護テープに適度な張力を付与することが可能となり、切断後に保護テープに張力の付与による残留応力の発生を抑制することができる。
また、本発明に係る半導体ウエハの保護テープ切断装置は、半導体ウエハを載置する昇降自在な第1テーブルと、前記第1テーブルの外周部に位置する第2テーブルと、前記半導体ウエハ表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付手段と、前記保護テープを前記半導体ウエハの外形に沿って切断する保護テープ切断手段と、を少なくとも備えてなり、前記第1テーブルを昇降することによって、前記半導体ウエハの表面と前記第2テーブルの表面との間に1mm〜5mmの段差を設けることができるものである。
このような構成によると、半導体ウエハ表面に貼り付けられた保護テープに半導体ウエハの外周方向に向かって放射状に張力が均等に付与される。これによって、保護テープの切断時の切断抵抗を低減することが可能となり、保護テープの切断時に切り粉の発生が減少する。
本発明は、以上のように、半導体ウエハ表面に貼り付けられた保護テープに半導体ウエハの中心部から外周部に向けて放射状に張力を付与しつつ、保護テープを切断することで、保護テープの切断抵抗を小さくすることが可能となり、切断時の切り粉の発生を抑制することができる。これによって、切り粉等が保護テープの表面に付着することによる半導体ウエハの裏面研削時の半導体ウエハの割れ、クラック発生の低減が可能となる。
以下、本発明の半導体ウエハの保護テープ切断方法の実施形態の一例を図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明の半導体ウエハ(以下、ウエハという。)の保護テープ切断方法を実施する保護テープ切断、貼付装置の一例、図2は、その要部の斜視概略図である。図に示すように、本実施形態例に係る保護テープ切断、貼付装置1は、保護テープが貼り付けられる物品であるウエハ2を収納するウエハ収納部11a、11bと、ウエハ収納部11a、11bからウエハ2を搬送する搬送手段となるロボットアーム12と、ロボットアーム12により搬送されるウエハ2を載置し、位置決めするアライメントステージ14と、位置決めされたウエハ2を保持する物品保持部となるチャックテーブル3と、チャックテーブル3上に載置されたウエハ2に保護テープ4を供給するテープ供給部5と、保護テープ4を離型ライナー6から離型する離型機構部7と、離型機構部7で離型された離型ライナー6を巻き取るライナー巻き取り部8と、テープ供給部5から供給される保護テープ4をウエハ2上に貼り付ける保護テープ貼付手段9と、ウエハ2に貼り付けられた保護テープ4をウエハ2の外周に沿って切り抜く保護テープ切断手段10と、不要となった保護テープ4を巻き取る不要テープ巻き取り部15を主要部として構成されている。
ウエハ収納部11a,11bは、ウエハ2を多段に収納、載置できるようになっている。このとき、ウエハ2はパターン面を上向きにした水平姿勢を保っている。
ロボットアーム12は、図示しない駆動機構によって旋回するように構成されている。そして、その先端に馬蹄形をしたウエハ保持部17を備えている。このウエハ保持部17には図示しない吸着孔が設けられており、ウエハ2を裏面から真空吸着するようになっている。
つまり、ロボットアーム12は、ウエハカセット11a,11bに多段に収納されたウエハ2同士の間隙をウエハ保持部17が進退してウエハ2を裏面から吸着保持するとともに、吸着保持したウエハ2を後述する位置決め手段であるアライメントステージ14、チャックテーブル3、およびウエハカセット11a,11bの順に搬送するようになっている。
アライメントステージ14は、載置されたウエハ2をオリエンテーションフラットなどに基づいて位置合わせを行うようになっている。
チャックテーブル3は、移載されたウエハ2のオリエンテーションフラットなどを基準に位置合わせを行うとともに、ウエハ2を載置し、吸着保持する昇降自在な第1テーブル51と、第1テーブル51の外周部に位置し、この第1テーブル2との間に溝53を形成する第2テーブル52とで構成されている(図3参照)。そして、このチャックテーブル3と、後述する保護テープ貼付手段と、保護テープ切断手段とで保護テープ切断装置が構成されている。
チャックテーブル3に形成されている溝53には、保護テープ切断手段10の刃先20が挿入され、ウエハ2の外周に沿って保護テープ4が切断される。この溝53は、幅1mm〜15mm、好ましくは3mm〜10mmとすることが好ましい。ここで、溝53の幅が1mm未満である場合、ウエハ2の表面の保護テープ4に外周方向に向けて放射状に均等に張力を付与するには、第1テーブル51を上昇させて、第2テーブル52との間に形成される段差tを大きくする必要がある。この場合は、第1テーブル51の周縁部の保護テープ4に局部的に張力が作用することとなり、保護テープ4切断後に残留応力によってウエハ2の反りの発生、割れ、クラック等が発生するおそれがある。このため、溝53の幅は、1mm〜15mmとすることによって、第1テーブル51の上昇距離を抑えつつ、保護テープ4に適度な張力を付与しつつ、これらウエハ2の反り、割れ、クラック等を抑制することができる。
第1テーブル51は、上下に昇降可能に設けられており、上下に昇降することによって、図3(b)に示すように、ウエハ2の表面と第2テーブル52の表面との間に1mm〜5mm、好ましくは2mm〜3mmの段差tを設けることができる。なお、第1テーブル51が、下限位置に下降している場合、この第1テーブル51の表面は、第2テーブル52の表面よりも200μm低い状態となるようにされている。これによって、ウエハ2を第1テーブル51に載置した場合に、ウエハ2の表面高さと第2テーブル52の表面高さとが略同一面高さとなるようになっている。
テープ供給部5は、図2に示すように、テープボビン21から繰り出された離型ライナー6つきの保護テープ4をガイドローラ群で構成される離型機構部7に巻回案内する。なお、テープ供給部5は図示しない装置本体の縦壁に軸支されブレーキ機構などを介して回転規制されている。
離型ライナー巻き取り部8は、モータなどの駆動機構に連動連結された回収ボビン22と、図示しない装置本体の縦壁に軸支されたガイドローラ群で構成されている。
保護テープ貼付手段9は、図4に示すように、そのフレーム23がテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレーム23には貼付ローラ25が回転可能に軸支されているとともに、この貼付ローラ25が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。つまり、貼付ローラ25が保護テープ4の表面を押圧して転動しながらウエハ2の表面に保護テープ4を貼り付けてゆくようになっている。
保護テープ切断手段10は、図2に示すように、ボール軸35に昇降可能に取り付けられたカッターユニット26と、カッターユニット26を昇降移動させる昇降駆動部27と、この昇降駆動部27を制御する図示しない制御部と、で構成されている。
カッターユニット26は、昇降駆動部27に片持ち支持されたアーム28と、アーム28の先端上部に取り付けられたモータ29と、下方に向かってアーム28を貫通するモータ29の回転軸に一端が連結されて旋回可能となる下向きに取り付けられたカッターの刃先20とから構成されている。
昇降駆動部27は、ボール軸35に沿って昇降移動するようになっている。なお、ボール軸35の底部には、図示しないが昇降駆動部27の最下方の位置(高さ)を規制するためのストッパーが設けられている。
モータ29は、回転軸を介して回転力を刃先20に伝達し、この刃先20を旋回させるようになっている。
不要テープ剥離機構部30は、図4に示すように、そのフレーム31がテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレーム31には剥離ローラ32が回転可能に軸支されているとともに、この剥離ローラ32が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。剥離ローラ32はウエハ2の外周に沿って切断された後の不要な保護テープ4をウエハ2から剥離するためのものである。
不要テープ巻き取り部15は、装置1の縦壁に回収ボビン33が軸支され、モータなどの駆動部に連動連結されている。つまり、テープ供給部5から所定量の保護テープ4が繰り出されてウエハ2上に供給されるとともに、駆動部が作動することにより切断後の不要な保護テープ4が回収ボビン33に巻き取られるようになっている。
そして、この回収ボビン33と不要テープ剥離機構部30との間に、中太円筒状の巻き取りローラ16が1本搭載されている。これによって、ウエハ2の形状に沿って切断された不要な保護テープ4の切断された部分が、中太円筒状の太軸部分に入り、切断されていない部分が幅方向に縮まないように幅方向に引っ張られるようにして回収ボビン33に巻き取られる。このため、回収ボビン33に巻き取られる不要テープは、蛇行することもなく、また、中央部分に集まって巻き取られることもなく、保護テープ4のテープ供給部5から供給される保護テープ4を全て巻き取り回収することが可能となる。このため、ウエハ2表面への保護テープ4の貼付処理を連続して行うことができる。
次に、保護テープ4をウエハ2の表面に貼付け、ウエハ2の外形に沿って切断する一連の動作を説明する。
第1テーブル51に載置されたウエハ2は、その中心が第1テーブル51の中心上にあるように位置合わせされて吸着保持される。この時、図4に示すように、保護テープ貼付手段9と保護テープ剥離手段30は左側の初期位置に、また、保護テープ切断手段10のカッターユニット26は上方の初期位置でそれぞれ待機している。
ウエハ2の位置合わせがすむと、図5に示すように、保護テープ貼付手段23の貼付けローラ25が下降されるとともに、この貼付けローラ25で保護テープ4を下方に押圧しながら第2テーブル52の表面及びウエハ2表面上をテープ走行方向と逆方向(図5では左から右方向)に転動し、これによって保護テープTが第2テーブル52表面及びウエハ2の表面全体に均一に貼付けられる。そして、テープ貼付けユニット23が終端位置に達すると貼付けローラ25が上昇される。
次いで、第1テーブル51が上昇し、1mm〜5mm、好ましくは2mm〜3mmの段差tが設けられる(図3(b)参照)。これによって、保護テープ4、特に、第1テーブル51と第2テーブル52との間に形成されている溝53上に位置する保護テープ4には、ウエハ2の外周方向に向けて放射状に均等に張力が付与される。
そして、保護テープ切断手段10が下降され、図6に示すように、上方に待機していたカッターユニット26が切断作用位置まで下降され、カッターの刃先20が第1テーブル51と第2テーブル52間の溝53において保護テープ4に突き刺さり貫通されて、予め設定された所定の高さ位置まで下降されたところで停止される。刃先20が所定の高さ位置で停止されると、刃先20は縦軸心X周りに旋回移動して、保護テープ4がウエハ2の外形に沿って切断される。この際、保護テープ4には、張力が付与されているため切断時に、保護テープ4はウエハ2から離れようとし、切断時の切り粉がウエハ2のエッジに付着することがなくなる。また、切断時の切断抵抗が低減されるため、保護テープ4切断時の切り粉の発生が減少する。これによって、最終的にウエハ2の研削時の割れ、クラックの発生を抑制することが可能となる。なお、刃先20は、本実施例で示すものに限定されるものではなく、丸刃状のカッター刃であってもよい。
ウエハ2の外形に沿った保護テープ4の切断が終了すると、保護テープ切断手段10の回転駆動が停止されるとともに、図7に示すように、カッターユニット26は元の待機位置まで上昇する。そして、第1テーブル51が、ウエハ2の表面と第2テーブル52との表面の高さが略同一となるように下降する。さらに、保護テープ剥離手段30がウエハ2上を保護テープ走行方向と逆方向へ移動しながらウエハ2上で切り抜き切断されて残った不要テープ4’を巻き上げ剥離する。
保護テープ剥離手段30が剥離作業の終了位置に達すると、保護テープ剥離手段30と保護テープ貼付け手段9とが保護テープ走行方向に移動して初期位置に復帰する。このとき、不要テープ4’が回収ボビン33に巻き取られるとともに、一定量の保護テープ4がテープ供給部5から繰り出される。
以上で保護テープ4をウエハ2の表面に貼付ける一連の動作が終了し、以後、この動作が繰り返される。
本発明は、以上のように構成されており、保護テープの切断時に保護テープに半導体ウエハの外周方向に向けて張力を付与しつつ切断するために、切断時に発生する切り粉を低減することが可能となる。また、切り粉が発生した場合であっても、保護テープが離れようと作用するため、半導体ウエハのエッジ部分に付着することを防止することができる。これによって、半導体ウエハ研削時の半導体ウエハの割れやクラックを防止できる。また、保護テープを半導体ウエハに貼り付けた後に、半導体ウエハ部分を上昇させることで保護テープに張力を付与しているため、半導体ウエハに貼り付けられている部分の残留応力の発生を抑制することができるため、保護テープを剥離後に半導体ウエハが反ることも防止できる。
なお、上記実施形態では、第1テーブル51が上昇して第2テーブル52との間に段差tを設ける例について説明したが、第1テーブル51と第2テーブル52との間に段差tを設けることができるのであればその方法は限定されるものではない。例えば、第1テーブル51が下降して第2テーブル52との間に段差を設けるようにすることもできる。また、第2テーブル52を上下に昇降させるようにして第1テーブル51との間に段差を設けるようにすることもできる。
2 半導体ウエハ
4 保護テープ
51 第1テーブル
52 第2テーブル
53 溝
4 保護テープ
51 第1テーブル
52 第2テーブル
53 溝
Claims (4)
- 半導体ウエハの裏面加工前に、前記半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付け、前記保護テープを前記半導体ウエハの外形に沿って切断する半導体ウエハの保護テープ切断方法であって、
前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に貼り付けた後、前記半導体ウエハの外周方向に向けて放射状に張力を付与しつつ前記保護テープを前記半導体ウエハの外形に沿って切断することを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 前記半導体ウエハを、昇降自在に設けられている第1テーブルに載置し、前記保護テープを前記半導体ウエハ表面に貼り付ける際に、前記半導体ウエハと共に、前記第1テーブルの外周部に位置する第2テーブル表面にも貼り付け、前記保護テープを貼り付けた後、前記第1テーブルを上昇または下降させて、前記半導体ウエハの表面と前記第2テーブルとの間に段差を生じさせることによって、前記保護テープに前記半導体ウエハの外周方向に向けて放射状に張力を付与することを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法。
- 前記段差が、1mm〜5mmである請求項2に記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法。
- 半導体ウエハを載置する昇降自在な第1テーブルと、
前記第1テーブルの外周部に位置する第2テーブルと、
前記半導体ウエハ表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付手段と、
前記保護テープを前記半導体ウエハの外形に沿って切断する保護テープ切断手段と、
を少なくとも備えてなり、
前記第1テーブルを昇降することによって、前記半導体ウエハの表面と前記第2テーブルの表面との間に1mm〜5mmの段差を設けることができる半導体ウエハの保護テープ切断装置。
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