JP2008119794A - 半導体ウエハの保護テープ切断方法および保護テープ切断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWからはみ出た保護テープTの外端部をテープ保持部47で固定保持し、はみ出た保護テープ部分を、カッタ走行溝13の外側に設けた難接着面のテープ支持部48で受け止め支持し、テープ保持部47とテープ支持部48との間に位置させて設けたテープ入れ込み凹部46に、外端部がテープ保持部47で固定保持された保護テープ部分を強制的に入れ込み変形させることでカッタ走行溝13に位置する保護テープ部分を外方に向けて緊張する。この緊張部分にカッタ刃12を突き刺してウエハ全周に沿って切断する。
【選択図】図9
Description
半導体ウエハからはみ出た保護テープの外端部をテープ保持部で固定保持し、はみ出た保護テープの半導体ウエハ寄りの部分を、前記カッタ走行溝の外側に設けた難接着面のテープ支持部で受け止め支持し、
前記テープ保持部とテープ支持部との間に位置させて設けたテープ入れ込み凹部に、外端部がテープ保持部で固定保持された保護テープ部分を強制的に入れ込み、変形させることでカッタ走行溝に位置する保護テープ部分を外方に向けて緊張することを特徴とする。
前記テープ入れ込み凹部に負圧を印加して保護テープをテープ入れ込み凹部に引き込み変形させることを特徴とする。
前記保護テープを押圧部材によって前記テープ入れ込み凹部に押し込み変形させることを特徴とする。
前記カッタ刃とともに走行する押圧ローラによって前記保護テープを切断箇所近傍において前記テープ入れ込み凹部に押し込み変形させることを特徴とする。
前記テープ入れ込み凹部に負圧を印加することを特徴とする。
前記保持テーブルにおける前記カッタ走行溝の外側に沿って、表面が難接着面に形成されたテープ支持部を設け、
前記テープ支持部の外側にテープ入れ込み凹部を形成するとともに、テープ入れ込み凹部の外側に保護テープの外端部を保持固定するテープ保持部を形成し、半導体ウエハに貼付けられた保護テープの外方へのはみ出し部位を前記テープ入れ込み凹部に入れ込み変形させるテープ緊張手段を備えたことを特徴とする。
前記テープ緊張手段は、前記テープ入れ込み凹部を吸引装置に接続して、テープ入れ込み凹部に印加した負圧によって保護シートをテープ入れ込み凹部に引き込み変形させるよう構成したことを特徴とする。
前記テープ入れ込み凹部を、周方向に複数に仕切られた複数の区画凹部で形成し、各区画凹部に異なった負圧を印加可能に構成したことを特徴とする。
前記テープ緊張手段は、テープ入れ込み凹部の上方に昇降自在に配備した押圧部材を備え、前記押圧部材を下降させて保護シートをテープ入れ込み凹部に押し込み変形させるように構成したことを特徴とする。
前記テープ緊張手段は、前記カッタ刃の近傍においてテープ入れ込み凹部の上方で昇降自在に構成されるとともに、カッタ刃とともに保持テーブルに対して旋回走行可能に配備した押圧ローラで構成され、
前記押圧ローラを下降させて保護シートをテープ入れ込み凹部に押し込み変形させるように構成したことを特徴とする。
図8〜図10に、テープ緊張手段の第1例が示されている。
図11および図12に、テープ緊張手段の第2例が示されている。
図13〜図15に、テープ緊張手段の第3例が示されている。
12 … カッタ刃
13 … カッタ走行溝
46 … テープ入れ込み凹部
47 … テープ保持部
48 … テープ支持部
49 … 吸引装置
57 … 押圧部材
64 … 押圧ローラ
T … 保護テープ
W … 半導体ウエハ
Claims (10)
- カッタ走行溝を備えた保持テーブル上に半導体ウエハを載置保持し、カッタ走行溝に突入させたカッタ刃を半導体ウエハの外周に沿って旋回走行させることで、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープをウエハ外形に沿って切り抜く半導体ウエハの保護テープ切断方法であって、
半導体ウエハからはみ出た保護テープの外端部をテープ保持部で固定保持し、はみ出た保護テープの半導体ウエハ寄りの部分を、前記カッタ走行溝の外側に設けた難接着面のテープ支持部で受け止め支持し、
前記テープ保持部とテープ支持部との間に位置させて設けたテープ入れ込み凹部に、外端部がテープ保持部で固定保持された保護テープ部分を強制的に入れ込み、変形させることでカッタ走行溝に位置する保護テープ部分を外方に向けて緊張する
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 請求項1に記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法において、
前記テープ入れ込み凹部に負圧を印加して保護テープをテープ入れ込み凹部に引き込み変形させる
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 請求項1に記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法において、
前記保護テープを押圧部材によって前記テープ入れ込み凹部に押し込み変形させる
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 請求項1に記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法において、
前記カッタ刃とともに走行する押圧ローラによって前記保護テープを切断箇所近傍において前記テープ入れ込み凹部に押し込み変形させる
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - 請求項3または請求項4に記載の半導体ウエハの保護テープ切断方法において、
前記テープ入れ込み凹部に負圧を印加する
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断方法。 - カッタ走行溝を備えた保持テーブル上に半導体ウエハを載置保持し、カッタ走行溝に突入させたカッタ刃を半導体ウエハの外周に沿って走行させることで、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープをウエハ外形に沿って切り抜く半導体ウエハの保護テープ切断装置であって、
前記保持テーブルにおける前記カッタ走行溝の外側に沿って、表面が難接着面に形成されたテープ支持部を設け、
前記テープ支持部の外側にテープ入れ込み凹部を形成するとともに、テープ入れ込み凹部の外側に保護テープの外端部を保持固定するテープ保持部を形成し、半導体ウエハに貼付けられた保護テープの外方へのはみ出し部位を前記テープ入れ込み凹部に入れ込み変形させるテープ緊張手段を備えた
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断装置。 - 請求項6に記載の半導体ウエハの保護テープ切断装置において、
前記テープ緊張手段は、前記テープ入れ込み凹部を吸引装置に接続して、テープ入れ込み凹部に印加した負圧によって保護シートをテープ入れ込み凹部に引き込み変形させるよう構成した
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断装置。 - 請求項7に記載の半導体ウエハの保護テープ切断装置において、
前記テープ入れ込み凹部を、周方向に複数に仕切られた複数の区画凹部で形成し、各区画凹部に異なった負圧を印加可能に構成した
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断装置。 - 請求項6に記載の半導体ウエハの保護テープ切断装置において、
前記テープ緊張手段は、テープ入れ込み凹部の上方に昇降自在に配備した押圧部材を備え、
前記押圧部材を下降させて保護シートをテープ入れ込み凹部に押し込み変形させるように構成した
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断装置。 - 請求項6に記載の半導体ウエハの保護テープ切断装置において、
前記テープ緊張手段は、前記カッタ刃の近傍においてテープ入れ込み凹部の上方で昇降自在に構成されるとともに、カッタ刃とともに保持テーブルに対して旋回走行可能に配備した押圧ローラで構成され、
前記押圧ローラを下降させて保護シートをテープ入れ込み凹部に押し込み変形させるように構成した
ことを特徴とする半導体ウエハの保護テープ切断装置。
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