JP5235111B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
1 保持手段
2 繰出手段
3 貼付手段
31 貼付ヘッド
4 把持手段
5 移動手段
6 把持部形成手段
7 切断手段
PT 剥離用テープ
G 把持部
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 被着体に貼付された接着シートに帯状の剥離用テープを貼付し、前記被着体及び剥離用テープを相対移動させることで接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、前記繰出手段から繰り出された剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、前記剥離用テープを把持する把持手段と、前記保持手段及び把持手段を相対移動する移動手段とを備え、
前記繰出手段は、前記被着体と剥離用テープとが相対移動する方向に対して直交し、当該被着体の面に沿うY軸方向に沿って剥離用テープを繰り出すと共に、
前記貼付手段は、剥離用テープの幅方向一側を前記接着シートの外縁から延出させると共に、前記被着体における前記Y軸方向の幅に亘って当該剥離用テープを接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。 - 被着体に貼付された接着シートに帯状の剥離用テープを貼付し、前記被着体及び剥離用テープを相対移動させることで接着シートを剥離するシート剥離方法において、
接着シートが貼付された被着体を保持する工程と、
前記被着体及び剥離用テープが相対移動する方向に対して直交し、当該被着体の面に沿うY軸方向に沿って剥離用テープを繰り出す工程と、
繰出手段から繰り出された剥離用テープの幅方向一側を前記接着シートの外縁から延出させると共に、前記被着体における前記Y軸方向の幅に亘って前記接着シートに貼付する工程と、
前記剥離用テープを把持する工程と、
前記被着体と剥離用テープとを相対移動させる工程とを有することを特徴とするシート剥離方法。
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