JP4060641B2 - テープ剥離方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はテープ剥離方法にかかり,特に半導体ウエハ等の被処理体から表面保護テープ及びサポートテープを剥離する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来,半導体ウエハ等の被処理体を研削する工程において,研削前に集積回路の形成されたパターン面に表面保護テープが貼られ,汚れや傷付から集積回路の形成されたパターン面を保護するようにしている。かかる被処理体を研削後に,被処理体を研削装置から搬出し,テープ剥離装置に搬送して,被処理体から表面保護テープを剥離していた。かかるテープ剥離方法及び装置については,特開平11−16862に記載されている。
【0003】
上記テープ剥離方法及び装置では,ポリエチレンテレフタラート(以下PFTと記載する。)等の感熱性接着テープを剥離用テープとして使用し,テープ繰出し部から繰出される剥離用テープをヒーター工具となるヒーターカッター部によって表面保護テープ端部に熱圧着した後,剥離用テープをカッター刃で切断し,かかるヒーターカッター部とテープ繰出し部を上昇させ,テープ剥離作動部で剥離用テープを把持して,テープ剥離作動部を移動させて表面保護テープを引っ張り剥離する。剥離した表面保護テープは剥離テープと共に廃棄ボックスへ廃棄される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら,近年半導体ウエハの薄厚化の要求が高まり,単に表面保護テープを半導体ウエハの表面に貼付するだけでは,十分な強度で半導体ウエハを保護できず,搬送時等に半導体ウエハの分割や欠損等の問題が生じるようになった。
【0005】
かかる問題を解決するために,更に表面保護テープの上に外部からの衝撃を緩衝するサポートテープを貼付することによって,半導体ウエハの表面の保護の強度を高めるようになった。
【0006】
しかしながら,半導体ウエハの上に表面保護テープを貼付した上にサポートテープを貼付することにより,新たな問題が生じた。
【0007】
半導体ウエハ等の被処理体を研削した後に,表面保護テープ及びサポートテープを剥離するが,テープ剥離工程において,かかる表面保護テープ及びサポートテープを剥離用テープで同時に剥離することが望ましい。しかし,サポートテープの材質(例えばPET)によっては,剥離用テープとサポートテープの表面が貼着されず,半導体ウエハから表面保護テープ及びサポートテープが剥離することが困難となった。
【0008】
また,仮に剥離用テープがサポートテープの表面に貼着されたとしても,剥離用テープでサポートテープの表面を引っ張ったとしても,表面保護テープまでを同時に剥離するには至らない。つまり,テープ剥離動作を2回に分けて実行する必要があり,手間がかかる。
【0009】
本発明は,従来の半導体ウエハ等の基板からテープを剥離する方法が有する上記問題点に鑑みてなされたものであり,本発明の目的は,半導体ウエハ等の被処理体上に,順次重なる形で貼付された表面保護テープ及びサポートテープを同時に,かつ容易に剥離することの可能な,新規かつ改良されたテープ剥離方法を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため,本発明の第1の観点によれば,被処理体の表面に順次重ねて貼付された表面保護テープ及びサポートテープをテープ剥離手段により剥離するテープ剥離方法であって,少なくともテープ剥離時に,サポートテープ及び表面保護テープの外縁の少なくとも一部を外径方向に対し斜めに切断することにより,表面保護テープの少なくとも一部を露出させ,前記テープ剥離手段を前記表面保護テープの露出部分の少なくとも一部に熱圧着させ、テープ剥離手段により表面保護テープとサポートテープとを同時に剥離することを特徴とする,テープ剥離方法が提供される。
【0011】
また、上記課題を解決するため,本発明の第2の観点によれば,被処理体の表面に順次重ねて貼付された表面保護テープ及びサポートテープをテープ剥離手段により剥離するテープ剥離方法であって,表面保護テープより小面積のサポートテープを表面保護テープに貼付することにより,表面保護テープの少なくとも一部を露出させ,テープ剥離手段により表面保護テープとサポートテープとを同時に剥離することを特徴とする,テープ剥離方法が提供される。
【0012】
また,テープ剥離手段は,表面保護テープの露出部分の少なくとも一部に熱圧着されることが好ましい。
【0013】
かかる構成とすることにより,露出した表面保護テープの外周縁部に剥離用テープを貼付することが可能になり,表面保護テープ上に貼付されたサポートテープを表面保護テープと同時に剥離用テープで剥離することが可能となる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照しながら,本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に略同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【0015】
(第1の実施の形態)
図1は,本発明の第1の実施の形態のテープ剥離方法を実行するテープ剥離装置100の正面図,図2は側面図,図3は平面図である。本実施形態を実行するテープ剥離装置100では,台200上に,被処理体載置部300と,テープ剥離手段となる剥離用テープT100を繰出す剥離用テープ繰出し部400と,かかる剥離手段の移動手段としてのテープ剥離作動部500と,剥離用テープT100の被処理体への接着手段及び剥離用テープT100の切断手段としてのヒーターカッター部600とを設けている。
【0016】
本実施形態を実行するテープ剥離装置100では,表面保護テープ(図示せず)の貼付された半導体ウエハ等の被処理体(図示せず)は,被処理体載置部300によって搬送される。一方,剥離用テープT100が,剥離用テープ繰出し部400から繰出され,かかる剥離用テープT100の端部を把持するテープ剥離作動部500によって引き出される。剥離用テープT100は,ヒーターカッター部600によって表面保護テープの端部に熱圧着され,所定の長さに切断される。次に,テープ剥離作動部400は,剥離用テープT100を把持して引っ張り,表面保護テープを半導体ウエハ等の被処理体から剥離する方向に移動する。以下,各部の詳細について説明する。
【0017】
被処理体載置部300は,台200上に設置された2本のレール302と,かかるレール302上に設けられた載置台304とを備えている。かかる載置台304は,レール302上を図1及び3に示すX軸方向に移動可能である。台100上には,プーリー306,308が設けられ,かかるプーリー306,308間にベルト310が張設され,一方のプーリー306はモーター312によって回転する。ベルト310は連結具314を介して載置台304と接続され,モーター312の回転と連動してプーリー306が回動することにより,ベルト310が作動し,前記連結具314を介して,かかるベルト310に連動して,載置台304はレール302上を移動する。
【0018】
載置台304中央部には,シリンダ316によって上下に作動する昇降載置台318が具備されている。また載置台304には,昇降載置台318と同心状に環状の吸着溝320が載置される半導体ウエハの口径に合わせて複数形成され,更に各吸着溝320には吸着口(図示せず)が複数形成され,かかる吸着口に負圧を付与することにより,載置された半導体ウエハが吸着保持される。半導体ウエハを載置台304から取り上げるときは,吸着溝320からの吸着を解除した後に,シリンダ316を駆動させて昇降載置台318を上昇させる。
【0019】
剥離用テープT100として,本実施形態では,例えばPETフィルム等の耐熱フィルムに感熱性接着剤を塗布した感熱性接着テープを使用している。剥離用テープT100は,テープ繰出し部400に併設されたリール402に巻着され,テープ繰出し部400に送出される。かかるリール402の回転軸には,図2で示すように付勢手段としてスプリング404が具備され,かかるスプリング404により摩擦板(図示せず)を介してリール402の回転軸に摩擦力が付与される。
【0020】
テープ繰出し部400は,図4のテープ繰出し部400及びテープ剥離作動部500の概略構成図に示すように,互いに圧接するテープ誘導ローラ404及びテープ引張ローラ406と,テープ送出ローラ408とを具備している。テープ繰出し部400の下端部には,前端部にカッター溝410aが形成されたテープ受け板410が,軸412を介して直線往復運動の案内作用を実行するボールブッシュ414に設置されている。テープ受け板410は,図4で示されるX軸方向に移動可能であり,スプリング416によって突出方向(図4における左方向)に常時付勢されている。
【0021】
剥離用テープT100は,テープ誘導ローラ404とテープ引張ローラ406との間に挟持された後,テープ送出ローラ408で方向転換され,テープ受け板410上でテープ押圧板418によって押止されている。かかるテープ押圧板418はシリンダ420によって駆動される。
【0022】
また,テープ引張ローラ406には,間合い調整プーリー422との間に回転調整ベルト424が掛けられ,モーター426で駆動される構成となっている。かかるテープ引張ローラ406は,剥離用テープT100の繰出し方向と逆方向に回転されて,剥離用テープT100にテープの繰出し方向と逆方向の張力が付与される。
【0023】
テープ繰出し部400は上下方向(図に示すZ軸方向)に移動可能である。すなわち,図2に示すように,台100には基盤板428が設置され,かかる基盤板428上に固設されたシリンダ430によって,テープ繰出し部400がZ軸方向に移動する。
【0024】
テープ剥離作動部500は,図2に示すように,剥離ヘッド502と,かかる剥離ヘッド502を支持するアーム504とが具備され,かかるアーム504はガイド506によって,図1及び図3で示されるX軸方向に移動可能な構成となっている。アーム504は動力伝達機構(図示せず)を介して,ガイド506の端部に設置されたモーター508によって駆動される。なお,ガイド506は台100上に支持板510を介して具備されている。
【0025】
剥離ヘッド502は,一対の挟持板512,514から構成されるテープチャック516を備え,上側の挟持板512をテープ剥離作動部500内に具備されたシリンダ518で上下に移動させることによって,テープチャック516は開閉する。
【0026】
ヒーターカッター部600は,図5(a)のヒーターカッター部の拡大平面図,(b)の側面図で示されるように,ヒーターブロック602内に,棒状のヒーター604が埋設され,ヒーターブロック602の下端にはヒーター工具606がネジ608で固定されている。かかるヒーター工具606の下端には,図5(b)に示すような凹凸が形成され,局所的に熱を与えるようになっている。
【0027】
また,ヒーター工具606は取替可能であり,被処理体載置部300に載置された半導体ウエハの大きさや外周の曲率に応じて,異なる形状の工具を使用可能な構造となっている。ヒーターブロック602は,2本のガイド棒610によってフレーム612に上下動(図5(b)でのZ軸方向)自在に設けられ,フレーム612に固設されたヒーター上下シリンダ614によって昇降する。
【0028】
ヒーターブロック602を前後(図5(a)でのX軸方向)から挟むように一対の板状のテープ押圧ガイド616,617がフレーム612に併設されている。かかるテープ押圧ガイド616,617は断熱性を有する部材,例えばポリイミド樹脂等から作成される。テープ押圧ガイド616,617の上端はフレーム612に固定され,下端は丸型に形成され,剥離用テープT100を押止するようになっている。
【0029】
一方のテープ押圧ガイド617の側面には,図5(a)で示されるようにカッター移動シリンダ618が具備され,かかるカッター移動シリンダ618のピストン先端部にカッター刃620が具備され,かかるカッター刃620はシリンダ618の駆動によって,図5(a)で示されるY軸方向に往復動する。シリンダ618の下方には板状のテープ押圧板622が配置され,かかるテープ押圧板622には,前記カッター刃620が挿通するためのスリット622aが形成されている。
【0030】
次に,上記テープ剥離装置を用いて,本実施形態にかかるテープ剥離方法について説明をする。図6は本実施形態にかかるテープ剥離方法の動作説明図である。なお,本図では,本実施形態で使用されるテープ剥離装置の構成要素の内,テープ剥離作動部500及びヒーターカッター部600のみを簡略化して図示し,他の構成要素については省略する。
【0031】
本実施形態では,図6(a)で示すように,形状が例えば略円形の半導体ウエハW100上に表面保護テープT200が貼付され,かかる表面保護テープT200上にサポートテープT300が貼付されている。このとき,表面保護テープT200は,形状が例えば略円形であり,材質は例えばポリオレフィンやエチレン酢酸等から構成され,厚さは例えば約130〜150μmであり,サポートテープT300は,形状が例えば略円形であり,材質は例えばPET等から構成され,厚さは例えば約100〜200μmである。
【0032】
次に,図6(b)で示すように,カッター等の切断手段C100により表面保護テープT200及びサポートテープT300の外縁部を外径方向に対して斜め方向,例えば本図におけるX軸正方向に対して約30〜40度の角度方向に切断し,表面保護テープT200の少なくとも一部を露出させるようにする。このとき,露出されている表面保護テープT200の外縁部の幅wは,上記角度方向で切断した場合は約0.5mm程度となる。
【0033】
なお,本実施形態では表面保護テープT200及びサポートテープT300の外縁部を外径方向に斜め方向に切断しているが,表面保護テープT200の少なくとも一部が外部に露出していれば十分であるので,半導体ウエハW100上に貼付された表面保護テープT200及びサポートテープT300の外周のうちの少なくとも一部のみを外径方向に斜めに切断していれば良い。
【0034】
表面保護テープT200及びサポートテープT300の外縁部を外径方向に斜め方向に切断した後,図6(c)に示すように,テープ繰出し部(図示せず)から繰出される剥離用テープT100の端部を把持したテープ剥離作動部500により剥離用テープT100を,露出された表面保護テープT200及びサポートテープT300の端部T200a,T300aに接近させる。このとき半導体ウエハW100は,ダイシングテープ(図示せず)等で被処理体載置部300上に固定されている。
【0035】
次に,図6(d)に示すように,ヒーターカッター部600を下降し(Z軸正方向に移動し),ヒーターカッター部600を加熱して,剥離用テープT100を表面保護テープT200及びサポートテープT300の端部T200a,T300aに熱圧着させる。
【0036】
本実施形態では,表面保護テープT200の材質として,例えばポリオレフィンが使用されており,かかる材質はサポートテープT300の材質として使用されているPETと比べて軟質である。このため,ヒーターカッター部600で熱圧着したときに,熱によって表面保護テープT200の端部T200aが溶解して外に広がることにより,サポートテープT300越しに剥離用テープT100と表面保護テープT200が接着される。
【0037】
続いて,ヒーターカッター部600に具備されたカッター刃(図示せず)により,剥離用テープT100を所定長に切断した後,図6(e)に示すように,剥離用テープT100を把持したテープ剥離作動部500を本図におけるX軸正方向に移動させ,表面保護テープT200及びサポートテープT300を引っ張りながら剥離していく。
【0038】
本実施形態では,サポートテープT300が剥離用テープT100に接着しない材質であることより,剥離用テープT100との熱圧着が困難であるが,露出した表面保護テープT200の端部T200aに剥離用テープT100を熱圧着させることにより,表面保護テープT200上に貼付されたサポートテープT300を表面保護テープT300と同時に剥離することが可能となる。
【0039】
このとき,テープ剥離作動部500による剥離用テープT100の把持箇所は,できるだけ表面保護テープT200及びサポートテープT300に接近させて,剥離用テープT100を引っ張る方向が水平になることが好ましい。かかる動作により,半導体ウエハW100と被処理体載置部300との接着をテープ剥離動作中に外れにくくすることが可能になる。
【0040】
(第2の実施の形態)
本発明の第2実施の形態のテープ剥離方法を実行するテープ剥離装置100は,第1の実施の形態と同様のテープ剥離装置100を使用するため,以下においてテープ剥離装置100の構成に関する説明は省略する。
【0041】
本実施形態の動作を図7で示す本実施形態の動作説明図を用いて説明する。なお,本図では,本実施形態で使用されるテープ剥離装置100の構成要素のうち,テープ剥離作動部500及びヒーターカッター部600のみを簡略化して図示し,他の構成要素については省略する。
【0042】
本実施形態では,図7(a)で示すように,形状が例えば略円形の半導体ウエハW100上に表面保護テープT200が貼付され,かかる表面保護テープT200上に表面保護テープT200より小面積のサポートテープT300が貼付される。このとき,表面保護テープT200は,形状は例えば略円形であり,材質は例えばポリオレフィンやエチレン酢酸等から構成され,厚さは例えば約130〜150μmであり,サポートテープT300は,形状は例えば略円形であり,材質は例えばPET等から構成され,厚さは例えば約100〜200μmである。
【0043】
また本実施形態では,表面保護テープT200上に表面保護テープT200より小面積のサポートテープT300が貼付されるが,サポートテープT300の外径は,表面保護テープT200の外径より,例えば1mm小さいものとする。このため,表面保護テープT200上にサポートテープT300を貼付したとき,表面保護テープT200の少なくとも一部,例えば外縁部を露出させることとなり,このとき,露出されている表面保護テープT200の外縁部の幅wは例えば約0.5mm程度となる。
【0044】
次に,図7(b)に示すように,テープ繰出し部(図示せず)から繰出される剥離用テープT100の端部を把持したテープ剥離作動部500により剥離用テープT100を,露出された表面保護テープT200及びサポートテープT300の端部T200b,T300bに接近させる。このとき,半導体ウエハW100は,ダイシングテープ(図示せず)等で被処理体載置部300上に固定されている。
【0045】
次に,図7(c)に示すように,ヒーターカッター部600を下降し(Z軸正方向に移動し),かかるヒーターカッター部600を加熱することにより,剥離用テープT100を表面保護テープT200及びサポートテープT300の端部T200b,T300bに熱圧着させる。
【0046】
なお,本実施形態では,第1の実施の形態と同様に,表面保護テープT200の材質として,例えばポリオレフィンが使用されており,かかるポリオレフィンは,サポートテープT300の材質として使用されているPETと比べて軟質である。このため,ヒーターカッター部600で熱圧着したときに,熱によって表面保護テープT200の端部T200aが溶解して外に広がることにより,サポートテープT300越しに剥離用テープT100と表面保護テープT200が接着される。
【0047】
続いて,ヒーターカッター部600に具備されたカッター刃(図示せず)により,剥離用テープT100を所定長に切断した後,図7(d)に示すように,剥離用テープT100を把持したテープ剥離作動部500を本図におけるX軸正方向に移動させ,表面保護テープT200及びサポートテープT300を引っ張りながら剥離していく。
【0048】
本実施形態では,サポートテープT300が剥離用テープT100に接着しない材質であることより,剥離用テープT100との熱圧着が困難であるが,露出した表面保護テープT200の端部T200bに剥離用テープT100を熱圧着させることにより,表面保護テープT200上に貼付されたサポートテープT300を表面保護テープT200と同時に剥離することが可能となる。
【0049】
このとき,テープ剥離作動部500による剥離用テープT100の把持箇所は,できるだけ表面保護テープT200及びサポートテープT300に接近させて,剥離用テープT100を引っ張る方向が水平になることが好ましい。かかる動作により,半導体ウエハW100と被処理体載置部300との接着をテープ剥離動作中に外れにくくすることが可能になる。
【0050】
以上,添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが,本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば,特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【0051】
例えば,本発明の第1及び第2の実施の形態では,半導体ウエハを被処理体としているが,マスクブランク等の他の被処理体に貼付された表面保護テープ及びサポートテープを剥離する場合にも,本発明のテープ剥離方法を使用することが可能である。
【0052】
【発明の効果】
以上説明したように,本発明によれば,半導体ウエハ等の被処理体上に表面保護テープ及びサポートテープが貼付された場合でも,表面保護テープの少なくとも一部を露出させることにより,半導体ウエハ等の被処理体から表面保護テープ及びサポートテープを同時に,かつ容易に剥離することが可能となる。かかる効果により,テープ剥離工程が短縮化され,半導体装置の製造効率の向上が実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1及び第2の実施の形態のテープ剥離方法を実行するテープ剥離装置の正面図である。
【図2】 第1及び第2の実施の形態のテープ剥離方法を実行するテープ剥離装置の側面図である。
【図3】 第1及び第2の実施の形態のテープ剥離方法を実行するテープ剥離装置の平面図である。
【図4】 第1及び第2の実施の形態のテープ剥離方法を実行するテープ剥離装置のテープ繰出し部及びテープ剥離作動部の概略構成図である。
【図5】 第1及び第2の実施の形態のテープ剥離方法を実行するテープ剥離装置の構成図であり,(a)は平面図,(b)は側面図である。
【図6】 第1の実施の形態の動作説明図である。
【図7】 第2の実施の形態の動作説明図である。
【符号の説明】
100 テープ剥離装置
200 台
300 被処理体載置部
400 剥離用テープ繰出し部
500 テープ剥離作動部
600 ヒーターカッター部
W100 半導体ウエハ
T100 剥離用テープ
T200 表面保護テープ
T300 サポートテープ
Claims (3)
- 被処理体の表面に順次重ねて貼付された表面保護テープ及びサポートテープをテープ剥離手段により剥離するテープ剥離方法であって:
少なくともテープ剥離時に,前記サポートテープ及び前記表面保護テープの外縁の少なくとも一部を外径方向に対し斜めに切断することにより,前記表面保護テープの少なくとも一部を露出させ,
前記テープ剥離手段を前記表面保護テープの露出部分の少なくとも一部に熱圧着させ、
前記テープ剥離手段により前記表面保護テープと前記サポートテープとを同時に剥離することを特徴とする,テープ剥離方法。 - 被処理体の表面に順次重ねて貼付された表面保護テープ及びサポートテープをテープ剥離手段により剥離するテープ剥離方法であって:
前記表面保護テープより小面積の前記サポートテープを前記表面保護テープに貼付することにより,前記表面保護テープの少なくとも一部を露出させ、
前記テープ剥離手段により前記表面保護テープと前記サポートテープとを同時に剥離することを特徴とする,テープ剥離方法。 - 前記テープ剥離手段は,前記表面保護テープの露出部分の少なくとも一部に熱圧着されることを特徴とする,請求項2に記載のテープ剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002147520A JP4060641B2 (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | テープ剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002147520A JP4060641B2 (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | テープ剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003338477A JP2003338477A (ja) | 2003-11-28 |
JP4060641B2 true JP4060641B2 (ja) | 2008-03-12 |
Family
ID=29706046
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002147520A Expired - Lifetime JP4060641B2 (ja) | 2002-05-22 | 2002-05-22 | テープ剥離方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4060641B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007036111A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置 |
JP5235111B2 (ja) * | 2008-07-24 | 2013-07-10 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP5102138B2 (ja) * | 2008-07-31 | 2012-12-19 | 株式会社ディスコ | 保護テープ剥離装置 |
WO2014192631A1 (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-04 | 三井化学東セロ株式会社 | 電子部材の剥離方法および積層体 |
JP6580408B2 (ja) * | 2015-07-30 | 2019-09-25 | 株式会社ディスコ | 剥離方法および剥離装置 |
JP6875161B2 (ja) | 2017-03-22 | 2021-05-19 | 株式会社ディスコ | テープ剥離装置 |
JP7075307B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2022-05-25 | 株式会社ディスコ | テープ剥離方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2604899B2 (ja) * | 1990-10-11 | 1997-04-30 | 三井東圧化学株式会社 | 半導体ウエハ加工用フィルムの製造方法 |
JP2726350B2 (ja) * | 1992-02-24 | 1998-03-11 | リンテック株式会社 | ウェハ貼着用粘着シート |
JPH1027836A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法および半導体製造装置 |
JP2000331968A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ保護テープ |
JP3880397B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-02-14 | 日東電工株式会社 | 保護テープの貼付・剥離方法 |
JP2003338474A (ja) * | 2002-05-21 | 2003-11-28 | Lintec Corp | 脆質部材の加工方法 |
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- 2002-05-22 JP JP2002147520A patent/JP4060641B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003338477A (ja) | 2003-11-28 |
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