JP7075307B2 - テープ剥離方法 - Google Patents
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まず、図1に示すように、ダイシングテープT1を介してリングフレームFに支持されたウエーハWが、図示しない搬送手段によってテープ剥離装置1に搬送され、ウエーハWの中心が保持テーブル30の保持面300aの中心におおよそ位置するように位置付けられる。次いで、ウエーハWの裏面Wb側を、ダイシングテープT1を介して保持テーブル30の保持面300aに接触させ、また、開いた状態となっている挟持クランプ310の一方の挟持部材上にリングフレームFを接触させる。図示しない吸引源を駆動させ、吸引源が生み出す吸引力を 保持面300aに伝達させることにより、保持テーブル30の保持面300a上でダイシングテープT1を介してウエーハWの裏面Wb側を吸引保持する。また、挟持クランプ310のもう一方の挟持部材が回動し、一対の挟持部材の間にリングフレームFを挟み込む。さらに、昇降手段311が、リングフレームFを挟み込んだ挟持クランプ310を-Z方向に下降させることで、リングフレームFがリングフレーム保持部31で保持され、リングフレームFの上面よりも保護テープT2の上面T2aが相対的に高い位置に位置付けられた状態になる。
次に、剥離テープ供給手段40からヒートシールT3が所定の長さだけ供給されて、ヒートシールT3の先端T3cが挟持手段2によって挟持される。また、ヒートシールT3を挟持した挟持手段2が、+X方向側のリングフレーム保持部31の上方に移動するとともに、剥離テープT3が図示しない剥離テープロールからさらに引き出される。また、カッター41及びヒータヘッド42が、例えば、保護テープT2の+X方向側の外周縁の上方にヒートシールT3を挟んで位置付けられる。
図2に示すように、昇降手段43が予め所定の温度まで加熱されているヒータヘッド42を下降させ、ヒータヘッド42が剥離テープT3を下方に押し動かし、ヒートシールT3の粘着面T3bを保護テープT2の上面T2aに接触させ、所定の押し付け圧力で押し付けていく。ヒータヘッド42を押し付ける位置は、バンプBが形成されている位置よりも外周側である。加熱されたヒータヘッドを押し付けることによって、ヒートシールT3の粘着層T3bの粘着性を最適な状態で発現させる。
ヒータヘッド42の押付面は、円弧帯状で外周がウェーハ外周に沿った形で形成され、面積が、18mm2~20mm2で、押し付け圧力は、10N~30Nである。
次に、図5に示すように、カッター41が下降して、カッター41の刃先41aがヒートシールT3に切り込み、図6に示すように、ヒートシールT3を切断し帯状にすることで、ウエーハWに貼着された保護テープT2の外周縁に帯状のヒートシールT3の一端T3c側が貼着された状態にする。カッター41が剥離テープT3を切断した後、カッター41及びヒータヘッド42は、+Z方向に上昇してヒートシールT3から退避する。
また、保護テープT2の粘着糊層を紫外線硬化型の糊で形成すれば、剥離工程を開始する前に、保護テープT2に紫外線を照射して粘着糊層の粘着力を低下させることで、バンプBやウエーハWの表面Waに糊残りが発生する事がない。
11:移動手段 110:可動板 111:ガイドレール
2:把持手段 20:一対の把持板
30:保持テーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
31:リングフレーム保持部 310:挟持クランプ
4:剥離テープ貼着手段
40:剥離テープ供給手段 41:カッター 42:ヒータヘッド 43:昇降手段
44:加熱手段
W:ウエーハ Wa:ウエーハの表面 Wb:ウエーハの裏面
B:バンプ
T1:ダイシングテープ
T2:保護テープ T2a:保護テープの露出面 T2b:保護テープの粘着面
T2c:保護テープの凸凹吸収層
T3:ヒートシール(剥離テープ) T3a:ヒートシールの基材面
T3b:ヒートシールの粘着面
T3c:ヒートシールの先端
F:リングフレーム
Claims (1)
- 表面にバンプを有するウエーハの表面に貼着した、シート状の基材と、ウエーハの表面に貼着する粘着層と、該基材と該粘着層との間でバンプの凸凹を吸収するやわらかい凸凹吸収層とからなる保護テープをウエーハから剥離する保護テープの剥離方法であって、
該保護テープを上側にして該保護テープを貼着したウエーハを保持テーブルで保持する保持工程と、
該保護テープの上にヒートシールを位置づける位置づけ工程と、
所定の温度に加熱されたヒータヘッドを所定の押し付け圧力でウエーハ外周縁上の該ヒートシールに押し当て、該保護テープの該凸凹吸収層を該保護テープの外周縁からはみ出させ、該はみ出した該凸凹吸収層と該ヒートシールとを熱溶着する熱溶着工程と、
該ヒートシールを把持し、該ヒートシールをウエーハから離間する方向に移動させ、ウエーハから該保護テープを剥離する剥離工程と、
を備える保護テープの剥離方法。
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JP2018150167A JP7075307B2 (ja) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | テープ剥離方法 |
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JP2018150167A JP7075307B2 (ja) | 2018-08-09 | 2018-08-09 | テープ剥離方法 |
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JP2020027810A JP2020027810A (ja) | 2020-02-20 |
JP7075307B2 true JP7075307B2 (ja) | 2022-05-25 |
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ID=69620311
Family Applications (1)
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Citations (5)
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JP2005175384A (ja) | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Nitto Denko Corp | 保護テープの貼付方法及び剥離方法 |
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- 2018-08-09 JP JP2018150167A patent/JP7075307B2/ja active Active
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