JP7012559B2 - テープ貼着方法及びテープ貼着装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係るテープ貼着方法及びテープ貼着装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るテープ貼着方法の加工対象の被加工物等を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係るテープ貼着装置の構成例を示す斜視図である。図3は、図2に示されたテープ貼着装置のテープ貼着切断ユニットの要部の断面図である。図4は、実施形態1に係るテープ貼着方法の流れを示すフローチャートである。
粘着テープ貼着ステップST1は、被加工物1にフレーム10よりも大きい粘着テープ11を貼着するステップである。粘着テープ貼着ステップST1では、周知のマウンタ装置等が分割予定ライン2に沿った改質層5が形成された被加工物1の裏面6を矩形状の粘着テープ11の中央に貼着する。テープ貼着方法は、被加工物1に粘着テープ11を貼着すると、保持分割ステップST2に進む。
図5は、図4に示されたテープ貼着方法の保持分割ステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。保持分割ステップST2は、テープ貼着装置20の保持ユニット51-1,51-2,51-3,51-4が被加工物1の裏面6に貼着された粘着テープ11を保持するとともに粘着テープ11を拡張して、被加工物1を個々のデバイス3に分割するステップである。
図6は、図4に示されたテープ貼着方法のフレーム位置付けステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。フレーム位置付けステップST3は、フレーム10の開口12と粘着テープ11に貼着された被加工物1とが対面し、粘着テープ11と離れた位置にフレーム10を位置付けるステップである。
図7は、図4に示されたテープ貼着方法のテープ貼着切断ステップを示すテープ貼着装置の要部の側面図である。図8は、図7中のVIII部の断面図である。テープ貼着切断ステップST4は、フレーム10と離れて対面する粘着テープ11を、フレーム10の開口12に沿って回転するローラー73でフレーム10に向かって押圧して貼着しつつカッター74で、ローラー73の外側でフレーム10に接触していない粘着テープ11を、カッター74の刃先741をフレーム10に接触させずに切断するステップである。
10 フレーム
11 粘着テープ
12 開口
20 テープ貼着装置
50 粘着テープ固定ユニット
54 テープ移動ユニット
60 フレーム固定ユニット
70 テープ貼着切断ユニット
73 ローラー
74 カッター
731 硬質樹脂ローラー(硬質領域)
733 軟質樹脂ローラー(軟質領域)
741 刃先
ST1 粘着テープ貼着ステップ
ST3 フレーム位置付けステップ
ST4 テープ貼着切断ステップ
Claims (5)
- 環状のフレームに粘着テープを装着して該フレームの開口に板状の被加工物を支持するテープ貼着方法であって、
被加工物に該フレームより大きい粘着テープを貼着する粘着テープ貼着ステップと、
該フレームの該開口と該粘着テープに貼着された該被加工物とが対面し、該粘着テープと離れた位置に該フレームを位置付けるフレーム位置付けステップと、
該フレームと離れて対面する該粘着テープを、該フレームの該開口に沿って回転するローラーで該フレームに向かって押圧して貼着しつつ、該ローラーより該フレームの径方向外側に該ローラーと並んで設置されるカッターで、該ローラーの外側で該フレームに接触していない該粘着テープを、該カッターの刃先を該フレームに接触させずに切断するテープ貼着切断ステップと、を備えるテープ貼着方法。 - 該ローラーは、該フレームの径方向内側の硬質領域と、径方向外側で該硬質領域より柔軟に形成された柔軟領域とを備える請求項1に記載のテープ貼着方法。
- 環状のフレームに粘着テープを装着して該フレームの開口に板状の被加工物を支持するテープ貼着装置であって、
被加工物を貼着し、該フレームより大きい粘着テープを保持する粘着テープ固定ユニットと、
該フレームの該開口と貼着した該被加工物とが対面し、該粘着テープから間隔を空けた位置に該フレームを固定するフレーム固定ユニットと、
保持された該フレームに、該粘着テープを貼着しつつ該粘着テープを該フレームに沿って切断するテープ貼着切断ユニットと、を備え、
該テープ貼着切断ユニットは、
該フレームの該開口に沿って回転し、該フレームと離れて対面する該粘着テープを該フレームに向かって押圧するローラーと、
該フレームの径方向で該ローラーより外側に該ローラーと並んで設置され、該粘着テープを該フレームへ押しつける該ローラーの外側で該フレームに接触していない該粘着テープをカッターの刃先を該フレームに接触させずに切断するカッターと、を備えるテープ貼着装置。 - 該ローラーは、該フレームの径方向内側の硬質領域と、径方向外側で該硬質領域より柔軟に形成された柔軟領域とを備える請求項3に記載のテープ貼着装置。
- 該粘着テープ固定ユニットは、該フレーム固定ユニットに対して該粘着テープを引き離す方向に移動するテープ移動ユニットを備える請求項3または請求項4に記載のテープ貼着装置。
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