JP7313219B2 - エキスパンド方法及びエキスパンド装置 - Google Patents
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Description
前記エキスパンド方法では、該エキスパンドシートは、該第2方向の方が該第1方向よりも熱収縮性が低くても良い。
本発明の実施形態1に係るエキスパンド装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るエキスパンド装置の構成例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係るエキスパンド装置の加工対象の被加工物ユニットの一例を示す斜視図である。図3は、図2に示された被加工物ユニットを構成する帯状のエキスパンドシートの構成例を示す斜視図である。図4は、図1に示されたエキスパンド装置のエキスパンドユニットを示す斜視図である。図5は、図1に示されたエキスパンド装置の加熱ユニットを示す斜視図である。
図7は、図6に示されたエキスパンド方法のフレーム固定ステップにおいてエキスパンドユニットのフレーム載置プレートの上面に被加工物ユニットの環状フレームが載置された状態の断面図である。図8は、図6に示されたエキスパンド方法のフレーム固定ステップにおいてエキスパンドユニットのフレーム固定部が被加工物ユニットの環状フレームを固定した状態の断面図である。
図9は、図6に示されたエキスパンド方法のエキスパンドステップにおいてエキスパンドユニットの拡張ドラムが上昇しエキスパンドシートが拡張した状態の断面図である。図10は、図6に示されたエキスパンド方法のエキスパンドステップにおいてエキスパンドステップの拡張後に拡張ドラムが下降した状態の断面図である。
図11は、図6に示されたエキスパンド方法の第2フレーム固定ステップにおいて加熱ユニットのフレーム載置プレートの上面に被加工物ユニットの環状フレームが載置された状態の断面図である。図12は、図6に示されたエキスパンド方法の第2フレーム固定ステップにおいて加熱ユニットのフレーム固定部が被加工物ユニットの環状フレームを固定した状態の断面図である。
図13は、図6に示されたエキスパンド方法の第2エキスパンドステップにおいてエキスパンドシート拡張後、保持テーブルでエキスパンドシートを吸引保持した状態の断面図である。第2エキスパンドステップST4は、エキスパンドシート3の環状領域102を突き上げ部材371で押圧して、エキスパンドシート3を拡張し、保持テーブル32でエキスパンドシート3を吸引保持して、チップ9間の間隔を維持するステップである。
加熱ステップST5は、エキスパンドステップST2を実施した後、エキスパンドシート3が拡張させて形成されたエキスパンドシート3の弛み部分3-5を加熱して収縮させるステップである。加熱ステップST5は、全周加熱ステップST51と、追加加熱ステップST52とを含む。
図14は、図6に示されたエキスパンド方法の加熱ステップの全周加熱ステップにおいて弛み部分を加熱している状態の断面図である。図15は、図6に示されたエキスパンド方法の加熱ステップの全周加熱ステップにおいて弛み部分を加熱する加熱手段の各加熱部を示す平面図である。
図16は、図6に示されたエキスパンド方法の加熱ステップの追加加熱ステップにおいて加熱開始時の加熱手段の各加熱部を示す平面図である。図17は、図6に示されたエキスパンド方法の加熱ステップの追加加熱ステップにおいて加熱中の加熱手段の各加熱部を示す平面図である。図18は、図6に示されたエキスパンド方法の加熱ステップの追加加熱ステップにおいて加熱終了時の加熱手段の各加熱部を示す平面図である。
洗浄ステップST6は、加熱ステップST5を実施した後、被加工物2を洗浄ユニット40で洗浄するステップである。洗浄ステップST6では、エキスパンド装置10は、加熱ユニット30の保持テーブル32の吸引保持等を停止した後、第2搬送ユニット52で被加工物ユニット1を洗浄ユニット40まで搬送する。洗浄ステップST6では、エキスパンド装置10は、被加工物ユニット1を洗浄ユニット40で洗浄した後、第1搬送ユニット51でカセット13内に収容する。エキスパンド装置10は、カセット13内の被加工物ユニット1のエキスパンドシート3を順に拡張して被加工物2を個々のチップ9に分割し、カセット13内の全ての被加工物ユニット1のエキスパンドシート3を拡張して被加工物2を個々のチップ9に分割すると、加工動作を終了する。
2 被加工物
3 エキスパンドシート
3-1 第1方向
3-2 第2方向
3-3 帯状のエキスパンドシート
3-5 弛み部分
4 環状フレーム
10 エキスパンド装置
21 フレーム固定部(フレーム固定手段)
22 拡張ドラム(押圧手段)
38 加熱手段
100 制御ユニット(制御手段)
102 環状領域
382 回転移動ユニット(回転手段)
383 回転軸
391 第1加熱部
392 第2加熱部
ST1 フレーム固定ステップ
ST2 エキスパンドステップ
ST5 加熱ステップ
ST51 全周加熱ステップ
ST52 追加加熱ステップ
Claims (5)
- 被加工物と、該被加工物に貼着されたエキスパンドシートと、該エキスパンドシートの外周が貼着された環状フレームとからなる被加工物ユニットの該エキスパンドシートを拡張するエキスパンド方法であって、
フレーム固定手段で被加工物ユニットの該環状フレームを固定するフレーム固定ステップと、
該フレーム固定ステップを実施した後、被加工物の外周と該環状フレームの内周との間の該エキスパンドシートを押圧手段で押圧して拡張するエキスパンドステップと、
該エキスパンドステップを実施した後、該エキスパンドシートが拡張されて形成された該エキスパンドシートの弛み部分を加熱して収縮させる加熱ステップと、を備え、
該加熱ステップは、被加工物の外周の該弛み部分の全周を加熱する全周加熱ステップと、
被加工物の外周の該弛み部分の一部を加熱する追加加熱ステップと、を含み、該全周加熱ステップを実施した後、該追加加熱ステップを実施する、エキスパンド方法。 - 被加工物ユニットの該エキスパンドシートは、一定の幅を有した帯状のエキスパンドシートから切り出され、
帯状の該エキスパンドシートの幅方向を第1方向とし、該第1方向に直交した方向を第2方向とし、
該追加加熱ステップでは、該第2方向における被加工物の両外側を加熱する、請求項1に記載のエキスパンド方法。 - 該エキスパンドシートは、該第2方向の方が該第1方向よりも熱収縮性が低い、請求項2に記載のエキスパンド方法。
- 被加工物と、該被加工物に貼着されたエキスパンドシートと、該エキスパンドシートの外周が貼着された環状フレームとからなる被加工物ユニットの該エキスパンドシートを拡張するエキスパンド装置であって、
被加工物ユニットの該環状フレームを固定するフレーム固定手段と、
該フレーム固定手段で該環状フレームが固定された被加工物ユニットの被加工物の外周と該環状フレームの内周との間の該エキスパンドシートを押圧する押圧手段と、
該エキスパンドシートが拡張されて形成された該エキスパンドシートの弛み部分を加熱して収縮させる加熱手段と、
少なくとも該加熱手段を制御する制御手段と、を備え、
該加熱手段は、該環状フレームの内周と被加工物の間の環状領域に対応した円上に配置され該環状領域の該エキスパンドシートに対面する第1加熱部と第2加熱部と、
該円の中心を通る回転軸回りに該加熱部を回転させる回転手段と、を含み、
該制御手段は、該回転手段による回転中、該第1加熱部と該第2加熱部とのうち一方の加熱を停止する、エキスパンド装置。 - 被加工物ユニットの該エキスパンドシートは、一定の幅を有した帯状のエキスパンドシートから切り出され、
帯状の該エキスパンドシートの幅方向を第1方向とし、該第1方向に直交した方向を第2方向とすると、
該制御手段は、該回転手段により回転中、該第1加熱部と該第2加熱部とのうち該エキスパンドシートの該第1方向の両端部に対面する一方の加熱を停止する、請求項4に記載のエキスパンド装置。
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