JP6901909B2 - エキスパンド方法及びエキスパンド装置 - Google Patents
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Description
図1に示すウエーハWは、円形板状の被加工物の一例であって、その表面Waには、格子状の分割予定ラインSによって区画されたそれぞれの領域にデバイスDが形成されている。ウエーハWの表面Waと反対側の面である裏面Wbには、例えばダイアタッチフィルム(DAF)と称される粘着テープ(図示せず)を介してエキスパンドシート2が貼着される。エキスパンドシート2は、少なくともウエーハWよりも大きいサイズを有し、例えばポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン等からなる基材層の上に糊層が積層された2層構造からなり、エキスパンド性を有している。
図2に示すエキスパンド装置10は、図1に示したウエーハユニット1のウエーハWを分割するとともに、環状フレーム4の開口内に配置されたウエーハWの裏面Wbに貼着されるとともに外周縁が環状フレーム4に貼着されたエキスパンドシート2をエキスパンドするエキスパンド装置の一例である。エキスパンド装置10は、装置ベース11を有しており、装置ベース11の上面には、カセット12が載置されるカセット載置ステージ13と、チャンバ200を有しエキスパンドシート2をエキスパンドすることによりウエーハWを分割する分割ユニット20と、分割ユニット20によりエキスパンドされることにより弛みが生じた上記弛み領域3を加熱して熱収縮させるヒートシュリンクユニット30と、ウエーハWを洗浄する洗浄ユニット40と、チャンバ500を有しエキスパンドシート2を紫外線の照射により硬化させる紫外線照射ユニット50とを備えている。
次に、分割ユニット20を用いて、ウエーハWを個々のチップへと分割する動作例を説明するとともに、ヒートシュリンクユニット30を用いて、環状フレーム4の開口内に配置されたウエーハWの裏面Wbに貼着されるとともに外周縁が環状フレーム4に貼着されたエキスパンドシート2をエキスパンドするエキスパンド方法について説明する。
ウエーハWが個々のチップCへと分割された後、ウエーハユニット1は、図3に示したプッシュプル18によってフレーム載置プレート22から一対の第2ガイドレール15上に引き出され、図4に示した搬送ユニット17によりヒートシュリンクユニット30に搬送される。具体的には、搬送ユニット17の吸引パッド171で環状フレーム4の上面を吸引保持して、ウエーハユニット1を第2ガイドレール15から搬出し、図8に示すように、保持手段31のフレーム載置プレート32の保持面320に環状フレーム4を載置する。これにより、環状フレーム4は、開口部32aと同心状に載置され、ウエーハWは開口部32aの中で浮いた状態となる。
図9に示すように、フレーム載置プレート32が上昇することにより、フレーム押さえプレート33とフレーム載置プレート32とに環状フレーム4が挟まれ、その高さ位置で保持される。このとき、ウエーハWは開口部32a,32aの中で浮いた状態となる。このようにして、保持手段31でウエーハユニット1の環状フレーム4を保持する。突き上げ部36の上方には、エキスパンドシート2の弛み領域3が位置づけられている。
図10に示すように、環状フレーム4が保持された状態で、ウエーハWの外周と環状フレーム4の内周との間のエキスパンドシート2の弛み領域3を保持面320と直交する方向に突き上げ部36で押圧してエキスパンドシート2をエキスパンドする。具体的には、移動手段38によって保持テーブル34とともに突き上げ部36が上昇することにより、コロ部36aが回転しながらエキスパンドシート2の弛み領域3を下方から突き上げ、エキスパンドシート2を放射方向にエキスパンドする。その結果、ウエーハWに対して放射方向の外力が作用し、隣り合うチップCの間が拡がって間隔5が形成される。バルブ343は閉じており、ポーラス板340と吸引源344とは連通していない。
エキスパンドステップでエキスパンドシート2をエキスパンドした状態で、図12に示すように、バルブ343を開いてポーラス板340と吸引源344とを連通させ、吸引力を吸引保持面34aに作用させてエキスパンドシート2を介してウエーハWを吸引保持する。このとき、図13に示すように、エキスパンドシート2は、弛み領域3がコロ部36aで上方に突き上げられた状態で、保持テーブル34の吸引保持面34aに吸引保持され、エキスパンドシート2の下面に微小突起部35が入り込んだ状態となる。
吸引保持ステップを実施した後、突き上げ部36による押圧を解除する。具体的には、図14に示すように、保持テーブル34でウエーハWを吸引保持した状態で、移動手段38によって突き上げ部36を下降させ、コロ部36aをエキスパンドシート2の弛み領域3から離反させる。エキスパンドシート2に対して外力が作用しなくなると、図15に示すように、エキスパンドシート2の弛み領域3が例えば矢印Y方向に波打つように動くが、複数の微小突起部35がエキスパンドシート2の下面に入り込んだ状態となっているため、エキスパンドシート2の動きが規制され、エキスパンドシート2が収縮するのを防ぐことができる。これにより、外周側の吸引保持面34aからエキスパンドシート2が浮き上がることはなく、吸引保持面34aから吸引力がリークするおそれがない。
押圧解除ステップを実施した後、エキスパンドシート2は伸びきっており、弛み領域3には弛みが生じている。図16に示すように、加熱手段39が下降することにより、エキスパンドシート2の弛み領域3に接近して、加熱体392から例えば赤外線を弛み領域3に向けて照射して熱収縮させる。赤外線が照射された部分が縮むことにより、エキスパンドシート2が保持テーブル34に対して平行に伸張した状態となり、隣り合うチップCの間隔5を維持することができる。ヒートシュリンクステップを完了後、ウエーハユニット1は、図1に示した洗浄ユニット40に搬送されて、洗浄処理・乾燥処理が施される。その後、ウエーハユニット1は、紫外線照射ユニット50に搬送され、エキスパンドシート2に紫外線が照射されて硬化処理が施される。
4:環状フレーム 5:間隔
10:エキスパンド装置 11:装置ベース 12:カセット
13:カセット載置ステージ 14:第1ガイドレール 15:第2ガイドレール
16:プッシュプル 17:搬送ユニット 170:フレーム支持部
171:吸引パッド 18:プッシュプル
20:分割ユニット 21:保持手段 22:フレーム載置プレート 22a:開口部
23:フレーム押さえプレート 23a:開口部 24:突き上げ部
24a:コロ部 25:昇降機構 26:移動手段
30:ヒートシュリンクユニット 31:保持手段
32:フレーム載置プレート 32a:開口部 320:保持面
321:センタリングガイド 33:フレーム押さえプレート 33a:開口部
33b:長孔 34:保持テーブル 34a:吸引保持面 340:ポーラス板
341:枠体 342:流路 343:バルブ 344:吸引源 345:エア
35:微小突起部 36:突き上げ部 36a:コロ部
37:昇降機構 38:移動手段 39:加熱手段
40:洗浄ユニット 50:紫外線照射ユニット
Claims (2)
- 環状フレームの開口内に配置された被加工物の裏面に貼着されるとともに外周縁が該環状フレームに貼着されたエキスパンドシートをエキスパンドするエキスパンド方法であって、
該環状フレームを保持する保持面を有した保持手段で該環状フレームを保持する環状フレーム保持ステップと、
該環状フレームが保持された状態で被加工物の外周と該環状フレームの内周との間の該エキスパンドシートを該保持面と直交する方向に押圧手段で押圧して該エキスパンドシートをエキスパンドするエキスパンドステップと、
該エキスパンドステップで該エキスパンドシートをエキスパンドした状態で、保持テーブルで該エキスパンドシートを介して被加工物の裏面側全面を吸引保持する吸引保持ステップと、
該吸引保持ステップを実施した後、該押圧手段による押圧を解除する押圧解除ステップと、
を備え、
該保持テーブルの外周側には、該エキスパンドシートの収縮を防止する微小突起部が形成されているエキスパンド方法。 - 環状フレームの開口内に配置された被加工物の裏面に貼着されるとともに外周縁が該環状フレームに貼着されたエキスパンドシートをエキスパンドするエキスパンド装置であって、
該環状フレームを保持する保持面を有した保持手段と、
該保持手段で保持された該環状フレームの内周と被加工物の外周との間の該エキスパンドシートを該保持面と直交する方向に押圧する押圧手段と、
該エキスパンドシートを押圧する押圧位置と該押圧手段を該押圧位置から退避した退避位置とに移動させる移動手段と、
該エキスパンドシートをエキスパンドした状態で該エキスパンドシートを介して被加工物の裏面側全面を吸引保持する吸引保持面を含む保持テーブルと、を備え、
該保持テーブルの外周側には、該エキスパンドシートの収縮を防止する微小突起部が形成されているエキスパンド装置。
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