JP6320198B2 - テープ拡張装置 - Google Patents
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Description
4 筐体
11 半導体ウェーハ
13 分割予定ライン
14,14A チャックテーブル
16 枠体
16a テープ保持領域
17 DAF
18 吸引保持部
18a ウェーハ保持領域
19 ウェーハユニット
20 環状吸引溝
21 改質層
23 チップ
25 弛み部分
26 昇降機構
28 エアシリンダ
32 テーブル
34 プレート
36 ヒーター
T エキスパンドテープ
F 環状フレーム
Claims (1)
- 板状の被加工物が貼着され外周部が環状フレームに装着されたエキスパンドテープを拡張した後、該環状フレームの内周縁と被加工物の外周縁との間の該エキスパンドテープの弛み領域を収縮させるテープ拡張装置であって、
該エキスパンドテープを介して分割予定ラインに分割起点が形成された被加工物又は複数のチップに分割された被加工物を開口に支持する環状フレームを保持するフレーム保持手段と、
該環状フレームに支持された被加工物を該エキスパンドテープを介して保持面で吸引保持するチャックテーブルと、
該フレーム保持手段と該チャックテーブルとを該保持面と直交する方向に相対移動させて該エキスパンドテープを拡張する拡張手段と、
該エキスパンドテープの該弛み領域に外的刺激を付与して該エキスパンドテープを収縮させる収縮手段と、を備え、
該チャックテーブルの該保持面は、被加工物に対応する被加工物保持領域と、該被加工物保持領域を囲繞し該エキスパンドテープを吸引するテープ保持領域と、を有し、
前記テープ保持領域は、前記被加工物保持領域に対して段差を持って低い位置に形成され、前記エキスパンドテープに発生した弛みの隆起によって該エキスパンドテープが前記保持面からめくれるのを防止するテープ拡張装置。
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