JP7217408B2 - 温度付与装置及び温度付与方法 - Google Patents
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図1は、第1実施形態に係るワーク分割装置10Aの要部断面図である。
図6は、第2実施形態のワーク分割装置10Bの要部断面図であり、図1に示した第1実施形態のワーク分割装置10Aと同一又は類似の部材については、同一の符号を付すことで説明は省略する。
図7は、第3実施形態のワーク分割装置10Cの要部断面図であり、図1に示した第1実施形態のワーク分割装置10A、及び図6に示した第2実施形態のワーク分割装置10Bと同一又は類似の部材については、同一の符号を付して説明は省略する。
図8は、第4実施形態のワーク分割装置10Dの要部断面図であり、図1に示した第1実施形態のワーク分割装置10A、及び図7に示した第3実施形態のワーク分割装置10Cと同一又は類似の部材については、同一の符号を付して説明は省略する。
図9は、第5実施形態のワーク分割装置10Eの要部断面図であり、図1に示した第1実施形態のワーク分割装置10A、及び図8に示した第4実施形態のワーク分割装置10Dと同一又は類似の部材については、同一の符号を付して説明は省略する。
Claims (2)
- ウェーハが貼付されたダイシングテープを拡張することにより前記ウェーハを個々のチップに分割する場合に生じる前記ダイシングテープの拡張量の差を低減するための温度付与装置であって、
前記ダイシングテープの全体を含む雰囲気を冷却する雰囲気冷却手段と、
前記ダイシングテープのうち、前記ウェーハが貼付された領域を局所的に加熱する局所加熱手段と、
を備える、温度付与装置。 - ウェーハが貼付されたダイシングテープを拡張することにより前記ウェーハを個々のチップに分割する場合に生じる前記ダイシングテープの拡張量の差を低減するための温度付与方法であって、
前記ダイシングテープの全体を含む雰囲気を冷却する雰囲気冷却工程と、
前記ダイシングテープのうち、前記ウェーハが貼付された領域を局所的に加熱する局所加熱工程と、
を備える、温度付与方法。
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