JP2005045149A - エキスパンド方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシング加工後に、粘着シートSをエキスパンドして個々のチップT間の間隔を拡大するエキスパンドは、粘着シートSに熱収縮性のシートを用い、粘着シートSの板状物WとフレームFとの間を加熱することにより加熱部分の粘着シートSを収縮させて、板状物Wの貼付された部分の粘着シートSを引き伸ばし、個々のチップ間隔を拡大するようにした。
【選択図】 図1
Description
Claims (5)
- 粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、個々のチップにダイシング加工された板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップ間隔を拡大するエキスパンド方法において、
前記粘着シートに熱収縮性のシートを用い、
前記粘着シートの前記板状物と前記フレームとの間を加熱して収縮させることにより、前記粘着シートの前記板状物が貼着された部分を引き伸ばし、前記個々のチップ間隔を拡大することを特徴とするエキスパンド方法。 - 前記粘着シートの前記板状物の外側を環状に加熱することを特徴とする、請求項1に記載のエキスパンド方法。
- 前記板状物のダイシングラインと平行に配置され、前記板状物を挟む少なくとも1対のエリアで前記粘着シートを加熱することを特徴とする、請求項1に記載のエキスパンド方法。
- 前記板状物の一方向のダイシングラインと平行に配置され前記板状物を挟む少なくとも1対のエリアと、前記一方向のダイシングラインと直交するダイシングラインと平行に配置され前記板状物を挟む少なくとも1対のエリアとで前記粘着シートを加熱し、
前記個々のチップ間隔の拡大状況に応じて前記エリアの加熱温度を個々に制御することを特徴とする請求項1に記載のエキスパンド方法。 - 前記板状物をダイシング加工後、前記板状物をチャックステージから取り外さずに前記粘着シートをエキスパンドすることを特徴とする請求項1、2、3、又は4のうちいずれか1項に記載のエキスパンド方法。
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