JP2007142199A - エキスパンドリング、及び該エキスパンドリングを使用した基板の分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エキスパンドリング10は、環状部材の内径より小径の外径であるリング本体12と、リング本体外周上縁より外側下方に向って延設され先端部の外径が環状部材の内径より大径である張り出し片14とより構成される。シート材Sの下方よりエキスパンドリング10を押し込み、シート材Sに張力を加えて引き伸ばした際に、張り出し片14が下方に撓んで先端部が環状部材Fの内径部分を乗り越え、次いで張り出し片14の撓みが回復し、張り出し片14の先端部がシート材Sを介して環状部材Fの上面に係合することにより、シート材Sの引き伸ばされた状態が維持される。
【選択図】図4
Description
Claims (6)
- 環状部材に周縁が固定されたシート材に張力を加えて引き伸ばすエキスパンドリングであって、
該エキスパンドリングは、前記環状部材の内径より小径の外径であるリング本体と、該リング本体外周上縁より外側下方に向って延設され、先端部の外径が前記環状部材の内径より大径である張り出し片と、より構成されており、
前記シート材の下方より前記エキスパンドリングを押し込み、前記シート材に張力を加えて引き伸ばした際に、前記張り出し片が下方に撓んで、該張り出し片の先端部が前記環状部材の内径部分を乗り越え、次いで前記張り出し片の撓みが回復し、該張り出し片の先端部が前記シート材を介して前記環状部材の上面に係合することにより、前記シート材の引き伸ばされた状態が維持されるようになっていることを特徴とするエキスパンドリング。 - 前記張り出し片の厚さが基端部より先端部に向って減少するようになっている請求項1に記載のエキスパンドリング。
- 前記張り出し片が円環状部材である請求項1又は2に記載のエキスパンドリング。
- 前記張り出し片が円環状部材の円周方向に複数の切り欠きが設けられている部材である請求項1又は2に記載のエキスパンドリング。
- 表面又は内部に分割予定線に沿った線状の改質領域が形成されている基板が前記シート材の上面に接着されており、
請求項1〜3のいずれか1項に記載のエキスパンドリングを使用して前記シート材に張力を加えて引き伸ばすことにより前記基板を前記分割予定線に沿って分割することを特徴とする基板の分割方法。 - 前記基板がウェーハであり、該ウェーハを個々のチップに分割する請求項5に記載の基板の分割方法。
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