JPH08181194A - シート固定リング - Google Patents
シート固定リングInfo
- Publication number
- JPH08181194A JPH08181194A JP32267994A JP32267994A JPH08181194A JP H08181194 A JPH08181194 A JP H08181194A JP 32267994 A JP32267994 A JP 32267994A JP 32267994 A JP32267994 A JP 32267994A JP H08181194 A JPH08181194 A JP H08181194A
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- JP
- Japan
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- ring
- sheet
- base ring
- pressing
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- Granted
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】シート固定リングにおいて、押えリング２に過
度の力を加える必要がなくシート６に一様のテンション
を与えシート６を容易に取付け取外しができるようにす
る。 【構成】基台リング１のシート載置面であるなだらかな
テーパ面にシート６を押し付け保持し下方に引張る押え
リング２と、この押えリング２に静的な押下げ力を与え
るねじ送り機構とを設け、押えリング２に過度の動的な
力を与えることなくシート６に一様のテンションを与え
てシート６を基台リング１上に張り付けている。
度の力を加える必要がなくシート６に一様のテンション
を与えシート６を容易に取付け取外しができるようにす
る。 【構成】基台リング１のシート載置面であるなだらかな
テーパ面にシート６を押し付け保持し下方に引張る押え
リング２と、この押えリング２に静的な押下げ力を与え
るねじ送り機構とを設け、押えリング２に過度の動的な
力を与えることなくシート６に一様のテンションを与え
てシート６を基台リング１上に張り付けている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング済みの半導
体ウェハを貼り付ける樹脂製のシートをテンションを与
えながら拡張し半導体チップを分離して保持するシート
固定リングに関する。
体ウェハを貼り付ける樹脂製のシートをテンションを与
えながら拡張し半導体チップを分離して保持するシート
固定リングに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来のシート固定リングの一例を
示す斜視図、図３（ａ）および（ｂ）は図２のシート固
定リングにおけるシートの取付け取外しを説明するため
の断面図である。従来、この種のシート固定リングは、
例えば、図２に示すように、一端が面取りされ外周面に
溝５ｂをもつ基台リング５と、この基台リングにはめ込
まれて基台リング５とでシート６を保持し溝５ｂに係止
する突出部４ａをもつキャップ４とから構成される。
示す斜視図、図３（ａ）および（ｂ）は図２のシート固
定リングにおけるシートの取付け取外しを説明するため
の断面図である。従来、この種のシート固定リングは、
例えば、図２に示すように、一端が面取りされ外周面に
溝５ｂをもつ基台リング５と、この基台リングにはめ込
まれて基台リング５とでシート６を保持し溝５ｂに係止
する突出部４ａをもつキャップ４とから構成される。
【０００３】このシート固定リングで樹脂製のシートの
取付け手順は、まず、図３（ａ）に示すように、基台リ
ング５の上にシート６を被せる。次に、シート６が被せ
られた基台リング５にキャップ４をはめ込み矢印の方向
に押し込みキャップ４の突出部４ａを基台リング５の溝
５ｂにはめ込みシート６にテンションを与えながらキャ
ップ４と基台リング５とで挟み保持する。
取付け手順は、まず、図３（ａ）に示すように、基台リ
ング５の上にシート６を被せる。次に、シート６が被せ
られた基台リング５にキャップ４をはめ込み矢印の方向
に押し込みキャップ４の突出部４ａを基台リング５の溝
５ｂにはめ込みシート６にテンションを与えながらキャ
ップ４と基台リング５とで挟み保持する。
【０００４】一方、シートの取外し手順は、図３（ｂ）
に示すように、キャップ固定ステージ８の穴に基台リン
グ５を挿入しキャップ４を乗せる。次に、この状態で、
リング外し爪７を基台リング５の上面を押し基台リング
５からキャップ４を外しシート６を取外す。
に示すように、キャップ固定ステージ８の穴に基台リン
グ５を挿入しキャップ４を乗せる。次に、この状態で、
リング外し爪７を基台リング５の上面を押し基台リング
５からキャップ４を外しシート６を取外す。
【０００５】このようにこのシート固定リングは、単純
な作業でシート６の取付け取外しができるものであっ
た。
な作業でシート６の取付け取外しができるものであっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のシート
固定リングでは、基台リングの外周部に設けられた溝と
キャップの突出部とでシートを挟み込み強力にシートを
保持するもののキャップの装着及び着脱にはキャップ側
に拡大させようとする力が加わり、プラスティックなど
の弾性をもつ素材のキャップの突出部の摩耗が著しくと
きにはキャップが割れることがある。すなわち、キャッ
プの寿命が短かく運用コストが高くなるという欠点があ
る。
固定リングでは、基台リングの外周部に設けられた溝と
キャップの突出部とでシートを挟み込み強力にシートを
保持するもののキャップの装着及び着脱にはキャップ側
に拡大させようとする力が加わり、プラスティックなど
の弾性をもつ素材のキャップの突出部の摩耗が著しくと
きにはキャップが割れることがある。すなわち、キャッ
プの寿命が短かく運用コストが高くなるという欠点があ
る。
【０００７】また、図３の基台リングの面取り部９にシ
ート６の一部分が引掛りシートに一様にテンションを与
えることができず、シートに貼付けられ拡張によって分
離された半導体チップの間隔にばらつき、その後の工程
における半導体チップのピックアップするコレットが半
導体チップ間の間隔が狭いため拾い動作に支障を起すと
いう問題もある。
ート６の一部分が引掛りシートに一様にテンションを与
えることができず、シートに貼付けられ拡張によって分
離された半導体チップの間隔にばらつき、その後の工程
における半導体チップのピックアップするコレットが半
導体チップ間の間隔が狭いため拾い動作に支障を起すと
いう問題もある。
【０００８】従って、本発明の目的は、過度の力を加え
る必要がなくシートに一様のテンションを与えシートを
容易に取付け取外しができるシート固定リングを提供す
ることである。
る必要がなくシートに一様のテンションを与えシートを
容易に取付け取外しができるシート固定リングを提供す
ることである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、円形状
の中空穴をもつとともに一端側から外側に向けてなだら
かに膨らむテーパ面が形成されるとともに該テーパ面と
連らなり垂直な外筒面をもちかつこの外筒面から他端に
かけて複数条の雄ねじが形成される基台リングと、この
基台リングに前記中空穴を塞ぐように被される樹脂シー
トの前記中空穴より外側部分を前記基台リングのテーパ
面に押し付ける突出部を内側に有するとともに該突出部
から下方に垂直に伸び前記基台リングの外筒面と摺動す
る内筒面を有しかつ外周面に鍔をもつ押えリングと、こ
の押えリングの該鍔を係止する内側に係止部を有し該係
止部から下方の内筒面に前記雄ねじと噛み合う雌ねじが
形成される締付リングとを備えるシート固定リングであ
る。
の中空穴をもつとともに一端側から外側に向けてなだら
かに膨らむテーパ面が形成されるとともに該テーパ面と
連らなり垂直な外筒面をもちかつこの外筒面から他端に
かけて複数条の雄ねじが形成される基台リングと、この
基台リングに前記中空穴を塞ぐように被される樹脂シー
トの前記中空穴より外側部分を前記基台リングのテーパ
面に押し付ける突出部を内側に有するとともに該突出部
から下方に垂直に伸び前記基台リングの外筒面と摺動す
る内筒面を有しかつ外周面に鍔をもつ押えリングと、こ
の押えリングの該鍔を係止する内側に係止部を有し該係
止部から下方の内筒面に前記雄ねじと噛み合う雌ねじが
形成される締付リングとを備えるシート固定リングであ
る。
【００１０】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１１】図１（ａ）および（ｂ）は本発明のシート
固定リングの一実施例を示す断面図および分解斜視図で
ある。このシート固定リングは、円形状の中空穴１０を
もつとともに一端側から外側に向けてなだらかに膨らむ
テーパ面１ａが形成されるとともにテーパ面１ａと連ら
なり垂直な外筒面である摺動面１ｃをもちかつこの摺動
面１ｃから他端にかけて複数条の雄ねじ１ｂが形成され
る基台リング１と、この基台リング１に中空穴１０を塞
ぐように被される樹脂のシート６の中空穴１０より外側
部分を基台リング１のテーパ面１ａに押し付ける突出部
２ａを内側に有するとともに突出部２ａから下方に垂直
に伸び基台リング１の摺動面１ｃと摺動する内筒面を有
しかつ外周面に鍔２ｂをもつ押えリング２と、この押え
リング２の鍔２ｂを係止する内側に係止部３ｂを有し係
止部３ｂから下方の内筒面に雄ねじ１ｂと噛み合う雌ね
じ３ａが形成される締付リング３とを備えている。
固定リングの一実施例を示す断面図および分解斜視図で
ある。このシート固定リングは、円形状の中空穴１０を
もつとともに一端側から外側に向けてなだらかに膨らむ
テーパ面１ａが形成されるとともにテーパ面１ａと連ら
なり垂直な外筒面である摺動面１ｃをもちかつこの摺動
面１ｃから他端にかけて複数条の雄ねじ１ｂが形成され
る基台リング１と、この基台リング１に中空穴１０を塞
ぐように被される樹脂のシート６の中空穴１０より外側
部分を基台リング１のテーパ面１ａに押し付ける突出部
２ａを内側に有するとともに突出部２ａから下方に垂直
に伸び基台リング１の摺動面１ｃと摺動する内筒面を有
しかつ外周面に鍔２ｂをもつ押えリング２と、この押え
リング２の鍔２ｂを係止する内側に係止部３ｂを有し係
止部３ｂから下方の内筒面に雄ねじ１ｂと噛み合う雌ね
じ３ａが形成される締付リング３とを備えている。
【００１２】基台リング１はステンレス鋼などで製作さ
れテーパ面１ａはシート６に傷がつかないように研磨さ
れている。また、押えリング２はばね性のある樹脂材で
製作されており突出部２ａは基台リング１のテーパ面１
ａとは逆に凹むテーパ面に形成されている。締付リング
３は基台リング１と同様のステンレス鋼で製作され雌ね
じ３ａは基台リング１の雄ねし１ｂと合うように複数条
に形成されている。これらねじの条数は少なくとも４条
に製作されることが望ましい。何となれば、この複数条
のねじ機構により押えリング２の周囲を一様の力で下方
へ下げるように作用させるためである。
れテーパ面１ａはシート６に傷がつかないように研磨さ
れている。また、押えリング２はばね性のある樹脂材で
製作されており突出部２ａは基台リング１のテーパ面１
ａとは逆に凹むテーパ面に形成されている。締付リング
３は基台リング１と同様のステンレス鋼で製作され雌ね
じ３ａは基台リング１の雄ねし１ｂと合うように複数条
に形成されている。これらねじの条数は少なくとも４条
に製作されることが望ましい。何となれば、この複数条
のねじ機構により押えリング２の周囲を一様の力で下方
へ下げるように作用させるためである。
【００１３】次に、このシート固定リングによるシート
固定手順について図１（ｂ）を参照して説明する。ま
ず、基台リング１の上からシート６を被せる。次に、押
えリング２をシート６の上から基台リング１にはめ込み
突出部２ａをシート６に当てるとともに基台リング１の
摺動面と内側の内筒面と合す。次に、締付リング３を押
えリング２をはめ込み押えリングの鍔２ｂに係止部３ｂ
を載せる。次に、締付リング３を回転し基台リング１の
雄ねじ１ｂと雌ねじ３ａと噛み合せる。このことにより
押えリング２の鍔２ｂを締付リング３の係止部３ｂで下
方に押され、押えリング２の突出部２ａはシート６を基
台リング１のテーパ面１ａに押し付けながら下方に下げ
られシート６の周囲に一様のテンションが与える。そし
て、締付リング３を所定の角度まで回転し切ると、シー
ト６はテンションを与えられた状態で基台リング１の中
空穴１０上に張られる。
固定手順について図１（ｂ）を参照して説明する。ま
ず、基台リング１の上からシート６を被せる。次に、押
えリング２をシート６の上から基台リング１にはめ込み
突出部２ａをシート６に当てるとともに基台リング１の
摺動面と内側の内筒面と合す。次に、締付リング３を押
えリング２をはめ込み押えリングの鍔２ｂに係止部３ｂ
を載せる。次に、締付リング３を回転し基台リング１の
雄ねじ１ｂと雌ねじ３ａと噛み合せる。このことにより
押えリング２の鍔２ｂを締付リング３の係止部３ｂで下
方に押され、押えリング２の突出部２ａはシート６を基
台リング１のテーパ面１ａに押し付けながら下方に下げ
られシート６の周囲に一様のテンションが与える。そし
て、締付リング３を所定の角度まで回転し切ると、シー
ト６はテンションを与えられた状態で基台リング１の中
空穴１０上に張られる。
【００１４】逆に、シート６を取外す場合は、締付リン
グ３を緩め基台リング１から外し、押えリング２を基台
リング１から取り外してから、シート６を取る。このよ
うに締付リング３の回転により静的なねじ推進力で押え
リングの上下動によって、シート６の張り付け取り出し
を行なう結果、従来、過度の力で押し付けテンションを
与えてシートを張付けたりあるいは工具で叩いて動的な
力で取外したりしたときに比べ押え部材の摩耗や破損が
皆無となった。
グ３を緩め基台リング１から外し、押えリング２を基台
リング１から取り外してから、シート６を取る。このよ
うに締付リング３の回転により静的なねじ推進力で押え
リングの上下動によって、シート６の張り付け取り出し
を行なう結果、従来、過度の力で押し付けテンションを
与えてシートを張付けたりあるいは工具で叩いて動的な
力で取外したりしたときに比べ押え部材の摩耗や破損が
皆無となった。
【００１５】また、押えリング２の周囲に均等な力を与
えシート６にテンションを与えるので、シート６は一様
に伸び、貼付けられた半導体チップの間隔は一定とな
り、コレットで半導体チップを拾うときにも、何ら支障
きたさなかった。
えシート６にテンションを与えるので、シート６は一様
に伸び、貼付けられた半導体チップの間隔は一定とな
り、コレットで半導体チップを拾うときにも、何ら支障
きたさなかった。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、基台リン
グのシート載置面であるなだらかな面にシートを押し付
け保持し下方に引張る押えリングと、この押えリングに
静的な押下げ力を与えるねじ送り機構とを設けることに
よって、過度の動的な力を与えることなくシートに一様
のテンションを与え張ることができるという効果があ
る。また、取外す場合でもねじ推進力で押えリングを容
易に取外しシートを取ることができ、従来に比べ押えリ
ングの摩耗や破損が皆無となり、その結果、運用コスト
を大幅に低減できるという効果もある。
グのシート載置面であるなだらかな面にシートを押し付
け保持し下方に引張る押えリングと、この押えリングに
静的な押下げ力を与えるねじ送り機構とを設けることに
よって、過度の動的な力を与えることなくシートに一様
のテンションを与え張ることができるという効果があ
る。また、取外す場合でもねじ推進力で押えリングを容
易に取外しシートを取ることができ、従来に比べ押えリ
ングの摩耗や破損が皆無となり、その結果、運用コスト
を大幅に低減できるという効果もある。
【図１】本発明のシート固定リングの一実施例を示す断
面図および分解斜視図である。
面図および分解斜視図である。
【図２】従来のシート固定リングの一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】図２のシート固定リングにおけるシートの取付
け取外しを説明するための断面図である。
け取外しを説明するための断面図である。
１，５ 基台リング １ａ テーパ面 １ｂ 雄ねじ １ｃ 摺動面 ２ 押えリング ２ａ，４ａ 突出部 ２ｂ 鍔 ３ 締付リング ３ａ 雌ねじ ３ｂ 係止部 ４ キャップ ５ｂ 溝部 ６ シート ７ リング外し用爪 ８ キャップ固定ステージ ９ 面取り部 １０ 中空穴
Claims (1)
- 【請求項１】 円形状の中空穴をもつとともに一端側か
ら外側に向けてなだらかに膨らむテーパ面が形成される
とともに該テーパ面と連らなり垂直な外筒面をもちかつ
この外筒面から他端にかけて複数条の雄ねじが形成され
る基台リングと、この基台リングに前記中空穴を塞ぐよ
うに被される樹脂シートの前記中空穴より外側部分を前
記基台リングのテーパ面に押し付ける突出部を内側に有
するとともに該突出部から下方に垂直に伸び前記基台リ
ングの外筒面と摺動する内筒面を有しかつ外周面に鍔を
もつ押えリングと、この押えリングの該鍔を係止する内
側に係止部を有し該係止部から下方の内筒面に前記雄ね
じと噛み合う雌ねじが形成される締付リングとを備える
ことを特徴とするシート固定リング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32267994A JP2614027B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | シート固定リング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32267994A JP2614027B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | シート固定リング |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08181194A true JPH08181194A (ja) | 1996-07-12 |
| JP2614027B2 JP2614027B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=18146410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32267994A Expired - Lifetime JP2614027B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | シート固定リング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2614027B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007142199A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エキスパンドリング、及び該エキスパンドリングを使用した基板の分割方法 |
| JP2011071432A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハの保持治具 |
| JP2015122461A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-02 | 東洋樹脂株式会社 | フィルム固定型キャリア |
| KR20170045704A (ko) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 한화테크윈 주식회사 | 부품 적재 장치 |
| KR20210132411A (ko) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 김태원 | 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법 |
| KR20210132413A (ko) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 김태원 | 캐리어 필름 클램프 장치 |
| CN117230433A (zh) * | 2023-11-15 | 2023-12-15 | 无锡尚积半导体科技有限公司 | Cvd晶圆承载机构 |
-
1994
- 1994-12-26 JP JP32267994A patent/JP2614027B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007142199A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エキスパンドリング、及び該エキスパンドリングを使用した基板の分割方法 |
| JP4714950B2 (ja) * | 2005-11-18 | 2011-07-06 | 株式会社東京精密 | エキスパンドリング、及び該エキスパンドリングを使用した基板の分割方法 |
| JP2011071432A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハの保持治具 |
| JP2015122461A (ja) * | 2013-12-25 | 2015-07-02 | 東洋樹脂株式会社 | フィルム固定型キャリア |
| KR20170045704A (ko) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 한화테크윈 주식회사 | 부품 적재 장치 |
| KR20210132411A (ko) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 김태원 | 캐리어 필름 클램프 장치 및 그 작동 방법 |
| KR20210132413A (ko) * | 2020-04-27 | 2021-11-04 | 김태원 | 캐리어 필름 클램프 장치 |
| CN117230433A (zh) * | 2023-11-15 | 2023-12-15 | 无锡尚积半导体科技有限公司 | Cvd晶圆承载机构 |
| CN117230433B (zh) * | 2023-11-15 | 2024-03-01 | 无锡尚积半导体科技有限公司 | Cvd晶圆承载机构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2614027B2 (ja) | 1997-05-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970114 |