JPH073952U - ブレード着脱用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイシング装置等のブレード装着部にブレー
ドを容易に着脱出来るようにした、ブレード着脱用治具
を得る。 【構成】 フランジ部材を挟持する挟持部と、前記フラ
ンジ部材を介して磁着する磁石が前記挟持部に隣接して
配設されて成る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ダイシング装置等のスピンドルの先端にフランジ部材を介して取り 付けるブレードを、容易に着脱出来るようにしたブレード着脱用治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ダイシング装置等においては、従来図９に示すようにスピンドルａの先端部に ブレード装着部が形成され、このブレード装着部はフランジｂとシャフトｃを有 し、シャフトｃの先端部にはおねじｄが設けられており、このシャフトｃに超薄 リング状のブレードｅを嵌めると共に、軸孔ｆ′を有するフランジ部材ｆを嵌め 込み、フランジ部材ｆから突出したシャフトｃのおねじｄにナットｇを螺合し締 着することで、ブレードｅを固定するようになっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来のブレード装着手段によると、ブレードｅをブレード装着部のシャフ トｃに嵌める際に、フランジ部材ｆのブレードガイド部ｆ″にブレードｅを指で 摘むかピンセットで摘んで係合し、ブレードｅと一体になったフランジ部材ｆを シャフトｃに挿入している。それ故にブレードｅの装着に時間が掛かり面倒であ ると共に、ブレードｅを汚染したり曲げや変形等損傷することがある。又、交換 時にブレードｅを外す際も、ナットｇとフランジ部材ｆを外してからブレードｅ を手で外さねばならず着脱作業が面倒である。 本考案は、このような従来の問題点を解決するためになされ、ブレード装着部 にブレードを容易に着脱出来るようにした、ブレード着脱用治具を提供すること を課題としたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、フランジ部材を挟 持する挟持部と、前記フランジ部材を介してブレードを磁着する磁石が前記挟持 部に配設されているブレード着脱用治具を要旨とするものである。

【０００５】

【作 用】

ブレード着脱用治具でフランジ部材を挟持し、そのフランジ部材をブレード（ ダイヤモンド等の砥粒をニッケルメッキで固定した形態のもので磁着可能）に近 付けて前記磁石によりフランジ部材（透磁性）にブレードを磁着し、そのままス ピンドルのシャフトにフランジ部材を嵌合し、この後ブレード着脱用治具を外す と共にナットをシャフトのおねじに螺合し締着すればブレードの装着作業が完了 する。 一方、ブレードの交換時には、ナットを外してフランジ部材をブレード着脱用 治具で挟持すると、前記磁石により再びブレードをフランジ部材に磁着すること が出来る。従って、ブレード着脱用治具を手に持ってフランジ部材及びブレード をシャフトから同時に外すことが出来、着脱作業が容易になる。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の一実施例について添付図面に基づいて詳説する。 図１はブレード着脱用治具１の外観図であって、弾性を有する合成樹脂で形成さ れた治具本体２と、その内側に取り付けられた板ばね３と、治具本体２の外周部 に取り付けられた複数個の磁石４とから構成されている。

【０００７】 前記治具本体２は、一定の間隔をあけて円周方向に配設された３つの円弧状湾 曲板２ａと、中間部よりやや下方部で前記３つの円弧状湾曲板２ａを結合する底 板２ｂとが一体に成形され、あたかも竹筒を円周方向に沿って一定の間隔をあけ て３箇所Ｈ型に切り取ったような形態で、底板は竹筒の節に相当するような外観 を呈している。

【０００８】 前記３つの円弧状湾曲板２ａの外面には、断面半円弧状の突起２ｃを円周方向 に設けて前記底板２ｂを補強してあり、内面の下端部にはフランジ部材への係合 用溝２ｄを円周方向に設け、更に底板２ｂの中心部には孔２ｅを設け、前記ブレ ード着脱用治具１の下部に挟持部１ａを形成してある。

【０００９】 前記板ばね３は前記底板２ｂとほぼ同じ形の基板３ａがリベット５により底板 ２ｂに固定され、その基板３ａの三方の端部からそれぞれ立ち上げられた弾性板 片３ｂは前記３つの円弧状湾曲板２ａの内側面にそれぞれ圧接係止してある。従 って、３つの円弧状湾曲板２ａの上部外面に指を添え弾性板片３ｂに抗して同時 に窄めると、下端部の径が拡径して前記挟持部１ａが開き、窄める力を解除する と弾性板片３ｂの復元力により挟持部１ａが閉じて元の状態に復帰する。

【００１０】 本考案に係るブレード着脱用治具１は上記のように構成され、これを使用する には、先ず図３に示すように親指と人差し指とやや横にした中指とで治具本体２ の３つの円弧状湾曲板２ａの上部を窄め、挟持部１ａを開いて下端部をフランジ 部材６に接触させてから指の窄め力を解除すると、前記のように挟持部１ａが閉 じてフランジ部材６を挟持することが出来る。

【００１１】 この時、図４に示すように挟持部１ａの先端部がフランジ部材６の周溝６ｂに 嵌り込むと同時に、突起部６ａの外周縁部が前記係合用溝２ｄに係合するのでブ レード着脱用治具１によるフランジ部材６の挟持状態がガタ付かず確実に遂行さ れ、フランジ部材６を持ち上げても滑り落ちるようなことはない。

【００１２】 次に、図５に示すようにフランジ部材６を挟持したままブレード着脱用治具１ をリング状のブレード７に近付けると、フランジ部材６はチタン製で透磁性を有 するため前記磁石４によりフランジ部材６にブレード７を磁着することが出来る 。

【００１３】 前記磁石４の磁力は、強すぎて超薄ブレード７に曲りや変形等を起こさないよ うにブレード７を軽く吸着する程度に予め設定しておく。磁着の際、ブレード７ の中心がフランジ部材６のガイド部６ｃの中心から少しずれたような場合には、 ブレード着脱用治具１を上向きにして手首を軽く叩けば、その振動によりブレー ド７が少し動いて中心を一致させることが出来る。 尚、磁石４を電磁石で構成すれば磁力の調整が容易に出来るというメリットが あり、本明細書における磁石には永久磁石だけでなく電磁石も含まれる。

【００１４】 又、図６に示すようにブレード７は収納ケース８の蓋を外した状態のまま、前 記と同じ要領でブレード着脱用治具１に挟持されたフランジ部材６に磁着させる ことも可能である。

【００１５】 このようにしてフランジ部材６にブレード７を磁着させた後、図７に示すよう にブレード着脱用治具１を横にしてダイシング装置等のスピンドル９の先端部に 設けられたブレード装着部１０のシャフト１０ａにフランジ部材６を嵌合し、ブ レード７をフランジ１０ｂに当接させる。

【００１６】 この後、治具本体２の３つの円弧状湾曲板２ａの上部を指で窄めると、挟持部 １ａが開いてフランジ部材６の挟持を解除し、その状態でブレード着脱治具１を 手前に引けばフランジ部材６から離脱させることが出来る。前記のようにフラン ジ部材６の材質はチタンで磁性がなく、ブレード着脱用治具１の磁石４により吸 引されないため、そのままブレード装着部１０のシャフト１０ａに残留する。

【００１７】 ブレード着脱用治具１の離脱により、ブレード７はフランジ部材６から解放さ れ、前記ブレード装着部１０のフランジ１０ｂにより保持される。この時、実験 によりブレード７の磁化は全く無いことが判明した。

【００１８】 次に、フランジ部材６の軸孔から突出したシャフト１０ａのおねじ１０ｃにナ ット１１（図８）を螺合締着すれば、フランジ部材６とブレード装着部１０のフ ランジ１０ｂとでブレード７を挟持し固定することが出来、ブレード７の装着作 業は完了する。

【００１９】 図８はダイシング装置での使用例を示すもので、Ｘ軸移動機構１２によって移 動されるチャックテーブル１３上に被切削物であるウェーハ１４を載置固定し、 Ｙ軸移動機構１５及びＺ軸移動機構１６により移動されるスピンドルユニット１ ７のスピンドル９におけるブレード装着部１０にブレード７が装着され、このブ レード７によりウェーハ１４をダイシングするように構成されている。

【００２０】 このブレード７の交換作業も前記ブレード着脱用治具１を使って容易に遂行す ることが出来る。即ち、前記ナット１１を緩めて外した後、ブレード着脱用治具 １でフランジ部材６を挟持すると、磁石４によりブレード７を再びフランジ部材 ６に磁着することが出来、そのままブレード着脱用治具１を手前に引けば、フラ ンジ部材６及びブレード７をブレード装着部１０のシャフト１０ａから同時に外 すことが出来る。従って、作業が簡単且つ能率的である。

【００２１】 フランジ部材６及びブレード７を同時に外した後、ブレード着脱用治具１の挟 持を解除すると、ブレード７がフランジ部材６から離れる。そのブレード７を除 去した後、ブレード着脱用治具１で再びフランジ部材６を挟持し、新品のブレー ド（図略）をフランジ部材６に磁着して前記と同じ要領によりブレード装着部１ ０に装着することが出来る。 尚、本考案に係るブレード着脱用治具は挟持部１ａの外側に磁石４が配設され ているが、これに限らず内側に配設しても良い。又、必要とあれば挟持部１ａを 磁石で構成しても良い。

【００２２】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、ブレード着脱用治具でフランジ部材を 挟持すると共に、そのフランジ部材にブレードを磁着した状態でダイシング装置 等のブレード装着部にブレードを着脱出来るようにしたので、ブレードの着脱作 業を著しく容易にすると共に、ブレードを汚染したり損傷したりすることがない 等の優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例を示すブレード着脱用治具
の斜視図である。

【図２】 (イ) は図１の底面図、(ロ) は(イ) のＡ−Ａ線
断面図である。

【図３】 ブレード着脱用治具でフランジ部材を挟持す
る時の状態図である。

【図４】 同、ブレード着脱用治具でフランジ部材を挟
持した時の断面図である。

【図５】 フランジ部材を挟持したままブレードを磁着
する時の状態図である。

【図６】 同、収納ケースの蓋を外したままブレードを
磁着する時の状態図である。

【図７】 ダイシング等のブレード装着部にブレードを
取り付ける時の状態図である。

【図８】 ダイシング装置での使用例を示す説明図であ
る。

【図９】 従来のブレード装着例を示す説明図である。

【符号の説明】

１…ブレード着脱用治具 １ａ…挟持部 ２…治具
本体 ２ａ…円弧状湾曲板 ２ｂ…底板 ２ｃ…
突起 ２ｄ…係合用溝 ２ｅ…孔 ３…板ばね
３ａ…基板 ３ｂ…弾性板片 ４…磁石 ５…
リベット ６…フランジ部材 ６ａ…突起部 ６
ｂ…周溝 ６ｃ…ガイド部 ７…ブレード ８…
収納ケース ９…スピンドル １０…ブレード装着
部 １０ａ…シャフト １０ｂ…フランジ １０
ｃ…おねじ １１…ナット １２…Ｘ軸移動機構 １３…チャックテーブル １
４…ウェーハ １５…Ｙ軸移動機構 １６…Ｚ軸移
動機構 １７…スピンドルユニット

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 フランジ部材を挟持する挟持部と、前記
   フランジ部材を介してブレードを磁着する磁石が前記挟
   持部に配設されている、ブレード着脱用治具。