JPH04115548U - デイスク成膜マスクのハンドリング治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ディスク成膜マスクのハンドリング治具にお
いて、マスクの着脱を確実に行なう。 【構成】 ディスク成膜装置側に取り付けられたディス
クに対して相対的に移動自在に設けられたハンドリング
本体３２と、この本体３２に設けられ、マスク４、６を
吸着するための電磁石４０、３８と、この電磁石４０、
３８を消勢したときに、上記電磁石４０に吸着されてい
たマスク４を押し離すための押圧手段３６も設け、マス
クの着脱を確実に行なうようにした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ディスク成膜マスクのハンドリング治具に係り、特に、構造簡単に してマスクの着脱を確実に行なうことができるハンドリング治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、大きな記憶容量を有する補助記憶装置として、例えば磁気ディスクや 光ディスクなどのディスク記憶装置が知られている。 この種のディスク記憶装置においては、例えば磁気ディスク装置の場合には、 ディスク表面にＦｅ₂Ｏ₃などの強磁性体を塗布またはメッキして磁性面を形成 している。また、光ディスクの場合には、例えばＳｂ−Ｔｅ系のカルコゲナイド 薄膜を蒸着やスパッタなどにより形成したり、各種のアモルファス合金薄膜をス パッタなどにより積層形成して記録膜を形成している。 この場合、ディスク上の記憶エリアに供されない部分、例えばディスクの中心 部や外周部には成膜を施す必要がないので、成膜時にはディスク上のその部分を 覆うようにマスクがハンドリング治具により取り付けられ、不要な部分へ膜が形 成されないようになされている。そして、このハンドリング治具としては、マス クの着脱を確実に行なうことが特に要求されている。

【０００３】 ここで、従来のハンドリング治具について添付図面を参照して説明する。まず 、図２において、円盤状のディスク２は、ディスク成膜を施すトレーのホルダパ レット（図示せず）上に取り付け固定されており、このディスク２上を覆うよう に通常、内周円盤状マスク４と外周リング状マスク６とをホルダパレットに取り 付けて、真空チャンバ内にてスパッタ等により成膜を行なう。上記マスク４、６ の着脱を行なうためのハンドリング治具８は、ハンドリングベース本体１０の前 面に開閉ハンド１２を取り付けて構成され、この開閉ハンド１２の先端に、半径 方向へ伸縮ないし開閉する挟み込みツメ１４を設けて、このツメ１４により上記 マスク４、６のエッジを直接クランプするようになっている。 また、他の従来装置としては、図３に示すごとくハンドリングベース本体１６ には、２分割された外周用の円弧状バキュームハンド１８、１８と内周用の円盤 状のバキュームハンド２０が取り付けられ、各ハンド１８、２０の先端部にはそ れぞれ吸引孔（図示せず）及びゴムパット２２、２４が設けられている。更に、 各ハンドには、スプリング２６、２８が装着されており、ストロークに予圧をか けるように構成されている。そして、バキュームの吸引力で上記各マスク４、６ を吸引保持するようになっている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、図２に示す従来装置にあっては、各マスク４、６を着脱するに際し て、その都度、開閉ハンド１２を開閉乃至伸縮させて、両マスクを別々に着脱し なければならず、作業工程数が増大して生産効率が良好でない。この場合、一括 着脱できる構成も考えられるが、構造が複雑になり、実用的でない。 また、マスクを挟み込みツメ１４により挟み込む構造のために、位置ずれが生 じた場合には、十分に保持できずにマスクが落下する恐れもある。 また、図３に示す従来装置にあっては、各マスク４、６をバキュームハンド２ ０、１８により吸引保持する際に、例えばゴムパット２４、２２の部分において リークが生じた場合には保持力が十分でなくなり、マスクが落下する危険性があ った。これを防ぐために、マスク自体の重量を軽量化したり、或いはバキューム 圧を高くしなければならず、煩雑であった。 また、上述の如き真空リークを防止して両マスクを同時に保持するために、バ キュームハンド１８、２０をスプリング２６、２８の予圧を利用してディスク側 へ強く押してからチャックを行なうこととしているために、作業性が良好でない という問題点もあった。 本考案は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案された ものである。本考案の目的は、マスクの着脱を確実に行なうことができるハンド リング治具を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】 本考案は、上記問題点を解決するために、ディスクに成膜を施す際に使用され るマスクを着脱するためのハンドリング治具において、前記ディスクに向けて相 対的に移動自在になされたハンドリング本体と、前記ハンドリング本体に設けら れ、前記マスクを吸着するための電磁石と、前記電磁石が消勢されたときに、前 記電磁石に吸着されていた前記マスクを押し離すための押圧手段とを備えるよう にしたものである。

【０００６】

【作用】

本考案は、以上のように構成したので、マスクを保持するときには、ハンドリ ング本体に設けた電磁石を付勢することによりこれを行い、少しぐらい位置ずれ が生じていてもマスクを確実に保持することが可能となる。 また、マスクを離すときには電磁石を消勢すればよいが、そのとき押圧手段が 作用してマスクが強制的に電磁石側から離されることになる。

【０００７】

【実施例】

以下に、本考案に係るディスク成膜マスクのハンドリング治具の一実施例を添 付図面に基づいて詳述する。 図１は本考案に係るハンドリング治具の実施例を示す斜視図、図４は内周用電 磁石を示す断面図、図５は外周用電磁石を示す断面図である。図示する如く円盤 状のディスク２は、ディスク成膜装置の成膜を施すトレーのホルダパレット（図 示せず）に取り付け固定されており、このディスク２上の所定部分を被うように 、例えば内周円盤状マスク４と外周リング状マスク６とを上記ホルダパレットに 取り付けて、真空チャンバ内にて成膜処理を行なうようになっている。 そして、上記マスク４、６の着脱を行なう本考案に係るハンドリング治具３０ は、前記ディスク２へ向けて相対的に移動自在になされたハンドリング本体３２ と、このハンドリング本体３２に設けられて上記マスク４、６を吸着するための 電磁石群３４と、この電磁石群３４が消熱されたときに、上記マスク４、６を押 し離すための押圧手段３６とにより主に構成されている。

【０００８】 具体的には上記ハンドリング本体３２の上記ディスク２を臨む側に、前記電磁 石群３４が突出させて設けられている。この電磁石群３４は、直線状に配列され た３つの電磁石よりなり、両側の２つの外周用電磁石３８、３８は、前記リング 状外周マスク６の直径の両端に対応するような位置に取り付けられており、磁性 体よりなる外周マスク６を吸着し得るように構成されている。そして、各電磁石 ３８、３８は、図５に示す如く鉄心４２にコイル４４を巻回することにより構成 されており、強い磁力により比較的重い外周マスク６でも確実に吸着し得るよう になっている。そして、この電磁石３８には、給電線３９が接続されている。

【０００９】 一方、中央部の内周用磁石４０は、前記内周マスク４に対応するように中心部 に位置されており、上記円盤状の内周マスク４を吸収し得るように構成されてい る。図４に示す如くこの内周用電磁石４０は前述の外周用電磁石３８と同様に鉄 心４８にコイル５０を巻回して構成されている。そして、この鉄心４８の中心部 には前記押圧手段３６が取り付けられている。具体的には、この押圧手段３６は 、前方へ出没自在になされたプッシュピン５２と、これを付勢するスプリング５ ４とにより構成され、締付ネジ５６により取り付け固定されている。そして、こ の電磁石４０には、給電線５８が取り付けられている。上記押圧手段３６は、上 記内周用電磁石４０への電流のオン、オフに応じて上記プッシュピン５２を出没 させる構成でもよいし、或いは内周マスク４を保持する時以外は常時、突出する ようになした構成でもよい。

【００１０】 次に、以上のように構成された本実施例の動作について説明する。 まず、各電磁石群３４に電流を流すことにより吸着力を発生させ、これにより 内周用電磁石４０には、円盤状の内周マスク４が吸着され、外周用電磁石３８に はリング状の外周マスクが吸着保持される。 ディスク２へ上記マスク４、６を装着する場合には、上記した状態でハンドリ ング治具３０を上記ディスク２へ近づけて行き、所定の位置でこのマスク４、６ をホルダパレット側へ取り付けてディスク２上の所定の領域を覆う。 その後、電磁石群３４への電流の供給を停止し、各マスク４、６を電磁石３８ 、３８、４０から離す。この時、外周マスク６は比較的良好に外周用電磁石３８ 、３８から外れる傾向にある。これに対して内周マスク４は、残磁力の影響で電 流の供給停止後においても内周用電磁石４０に吸引され続ける傾向にあるが、本 実施例においては、電流の供給停止と同時に押圧手段３６のスプリング５４の作 用によりプッシュピン５２が突出するので、内周マスク４は内周用電磁石４０か ら強制的に引き離されてディスク２側へ押し戻される。従って、このマスク４、 ６は、落下することなく一括して確実に固定されることになる。

【００１１】 また、マスク４、６をディスク２側から取り外す場合には、前記と逆の手順で 操作を行なう。すなわち、ハンドリング治具３０を内外周マスク４、６に接近さ せた状態で電磁石３４に電流を供給することにより各マスク４、６を吸着するこ とができ、従来例と異なり軽いタッチでマスクの吸着を一括して行なうことがで きる。従って、ディスク側へ着脱にともなう振動が伝わることを防止することが できる。 また、電磁力は、従来装置のバキューム力に比較してこの吸着力が一般的に強 いことから、重いマスクであってもこれを容易に着脱することが可能である。 更に、上述のごとく電磁力による吸着力は、比較的強いことから吸着時にマス クとの間に位置ずれが生じてもマスクを落下することなく確実に保持することが 可能となる。

【００１２】 尚、上記実施例にあっては、内周用電磁石４０に押圧手段３６を組み込むよう にして設けたが、これに限定されず、例えば内周用電磁石として外周用電磁石３ ８と同じ構造のものを用い、押圧手段をハンドリング本体側に別個に設けるよう にしてもよい。 更に、吸着物としてマスクに限らず、物体の移動等を行なうに際して複数の物 を保持する場合には全て適用することができ、また、比較的重量のある物体を位 置決めする必要のあるときのセッティング用のハンドリング治具としても適用す ることができる。 また、ハンドリング治具を動かすのでなく、ディスク側を上記治具側へ接近さ せるように構成してもよい。

【００１３】

【考案の効果】

以上要するに、本考案によれば次のような優れた作用効果を発揮することがで きる。 電磁石への電流の供給を停止すると同時に押圧手段がマスクを強制的に引き離 すようにしたので、残磁力による影響をなくすことができ、従って、マスクが誤 って落下することを確実に防止することができ、信頼性、歩留まりを向上させる ことができる。 上記した理由により、高精度な位置合わせが可能となる。 また、電磁力により吸着することとしたので、マスクとの間に位置ずれが生じ ても、これを確実に保持することができる。 装置自体の構造が簡単なので、コンパクト化及びコスト削減に寄与できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るディスク成膜マスクのハンドリン
グ治具を示す斜視図である。

【図２】従来のハンドリング治具を示す斜視図である。

【図３】従来の他のハンドリング治具を示す斜視図であ
る。

【図４】本考案に使用される内周用電磁石を示す断面図
である。

【図５】本考案に使用される外周用電磁石を示す断面図
である。

【符号の説明】

２…ディスク、４…内周マスク、６…外周マスク、３０
…ハンドリング治具、３２…ハンドリング本体、３４…
電磁石群、３６…押圧手段、３８…外周用電磁石、４０
…内周用電磁石、５２…プッシュピン、５４…スプリン
グ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ディスクに成膜を施す際に使用されるマ
   スクを着脱するためのハンドリング治具において、前記
   ディスクに向けて相対的に移動自在になされたハンドリ
   ング本体と、前記ハンドリング本体に設けられ、前記マ
   スクを吸着するための電磁石と、前記電磁石が消勢され
   たときに、前記電磁石に吸着されていた前記マスクを押
   し離すための押圧手段とを備えたことを特徴とするディ
   スク成膜マスクのハンドリング治具。