JPH05109791A - ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置 - Google Patents
ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置Info
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- JPH05109791A JPH05109791A JP27160191A JP27160191A JPH05109791A JP H05109791 A JPH05109791 A JP H05109791A JP 27160191 A JP27160191 A JP 27160191A JP 27160191 A JP27160191 A JP 27160191A JP H05109791 A JPH05109791 A JP H05109791A
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- Japan
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- pellet
- flange
- bonder
- prism
- square hole
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ペレットボンダにおいて、位置決めおよびそ
の調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を要せず、
位置決め精度のばらつきをなくし、再現性およびスルー
プットを向上させる。 【構成】 ペレットボンダ１において、真空路１０を有
するボンディングホルダ３と、このボンディングホルダ
３の下端に形成されるフランジ６と、このフランジ６に
ペレット吸着部１２を着脱自在に装着する装着機構２０
と備え、この装着機構２０は、前記フランジ６またはペ
レット吸着部１２の一方に角柱８を形成し、他方に角孔
１３を形成し、角孔１３と角柱８との嵌着により位置決
めを行い、この位置決め状態をマグネット９の磁気的吸
着により保持する構造とした。
の調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を要せず、
位置決め精度のばらつきをなくし、再現性およびスルー
プットを向上させる。 【構成】 ペレットボンダ１において、真空路１０を有
するボンディングホルダ３と、このボンディングホルダ
３の下端に形成されるフランジ６と、このフランジ６に
ペレット吸着部１２を着脱自在に装着する装着機構２０
と備え、この装着機構２０は、前記フランジ６またはペ
レット吸着部１２の一方に角柱８を形成し、他方に角孔
１３を形成し、角孔１３と角柱８との嵌着により位置決
めを行い、この位置決め状態をマグネット９の磁気的吸
着により保持する構造とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ペレットボンダおよび
ペレット吸着部交換装置に関し、特に、ペレット吸着部
の着脱および交換構造に適用して有効な技術に関する。
ペレット吸着部交換装置に関し、特に、ペレット吸着部
の着脱および交換構造に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のペレットボンダでは、ペレット
のサイズが異なるごとにペレット吸着部を交換しなけれ
ばならない。
のサイズが異なるごとにペレット吸着部を交換しなけれ
ばならない。
【０００３】このペレット吸着部はボンディングホルダ
と一体構造で、板ばね方式あるいはテーパシャンク方式
を用いた装着機構によりボンディングホルダとともに交
換する構造となっている。
と一体構造で、板ばね方式あるいはテーパシャンク方式
を用いた装着機構によりボンディングホルダとともに交
換する構造となっている。
【０００４】なお、他のペレットボンダとしては、たと
えば特開平２−１４４９２９号公報に開示されたものが
ある。
えば特開平２−１４４９２９号公報に開示されたものが
ある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記した従来
のペレット吸着部の構造では、ペレット吸着部はボンデ
ィングホルダと一体構造で、板ばね方式あるいはテーパ
シャンク方式を用いた装着機構によりボンディングホル
ダとともに交換する構造となっているので、交換のたび
に位置決めおよびその調整に多くの時間を要し、交換に
熟練を要するという問題があった。
のペレット吸着部の構造では、ペレット吸着部はボンデ
ィングホルダと一体構造で、板ばね方式あるいはテーパ
シャンク方式を用いた装着機構によりボンディングホル
ダとともに交換する構造となっているので、交換のたび
に位置決めおよびその調整に多くの時間を要し、交換に
熟練を要するという問題があった。
【０００６】このため、位置決め精度にばらつきが生
じ、再現性およびスループットが低下するという問題が
あった。
じ、再現性およびスループットが低下するという問題が
あった。
【０００７】本発明の目的は、位置決めおよびその調整
に要する時間を減少させ、交換に熟練を要しないペレッ
トボンダを提供することにある。
に要する時間を減少させ、交換に熟練を要しないペレッ
トボンダを提供することにある。
【０００８】本発明の他の目的は、位置決め精度のばら
つきをなくし、再現性およびスループットを向上させる
ことのできるペレットボンダを提供することにある。
つきをなくし、再現性およびスループットを向上させる
ことのできるペレットボンダを提供することにある。
【０００９】また、本発明の他の目的は、ペレット吸着
部の交換の自動化を図ることのできるペレットボンダを
提供することにある。
部の交換の自動化を図ることのできるペレットボンダを
提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
【００１１】すなわち、本発明のペレットボンダは、真
空路を有するボンディングホルダと、このボンディング
ホルダの下端部に形成されるフランジと、このフランジ
にペレット吸着部を着脱自在に装着する装着機構と備
え、この装着機構は、前記フランジまたはペレット吸着
部の一方に角柱を形成し、他方に角孔を形成した構造と
したものである。
空路を有するボンディングホルダと、このボンディング
ホルダの下端部に形成されるフランジと、このフランジ
にペレット吸着部を着脱自在に装着する装着機構と備
え、この装着機構は、前記フランジまたはペレット吸着
部の一方に角柱を形成し、他方に角孔を形成した構造と
したものである。
【００１２】この場合、前記角柱および角孔は断面長方
形の形状を有する構造とすることができる。
形の形状を有する構造とすることができる。
【００１３】また、本発明のペレット吸着部交換装置
は、使用前のペレット吸着部を各種収納する収納皿を有
するローダと、使用後のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するアンローダとを備えた構造としたもので
ある。
は、使用前のペレット吸着部を各種収納する収納皿を有
するローダと、使用後のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するアンローダとを備えた構造としたもので
ある。
【００１４】
【作用】本発明のペレットボンダによれば、真空路を有
するボンディングホルダと、このボンディングホルダの
下端部に形成されるフランジと、このフランジにペレッ
ト吸着部を着脱自在に装着する装着機構と備え、この装
着機構は、前記フランジまたはペレット吸着部の一方に
角柱を形成し、他方に角孔を形成した構造としたので、
角孔と角柱との嵌着により位置決めを行い、この位置決
め状態をマグネットの磁気的吸着により保持することが
できる。
するボンディングホルダと、このボンディングホルダの
下端部に形成されるフランジと、このフランジにペレッ
ト吸着部を着脱自在に装着する装着機構と備え、この装
着機構は、前記フランジまたはペレット吸着部の一方に
角柱を形成し、他方に角孔を形成した構造としたので、
角孔と角柱との嵌着により位置決めを行い、この位置決
め状態をマグネットの磁気的吸着により保持することが
できる。
【００１５】したがって、位置決めおよびその調整に要
する時間を減少させ、交換に熟練を要しない。
する時間を減少させ、交換に熟練を要しない。
【００１６】その結果、位置決め精度のばらつきをなく
し、再現性およびスループットを向上させることができ
る。
し、再現性およびスループットを向上させることができ
る。
【００１７】この場合、前記角柱および角孔は断面長方
形の形状を有する構造としたので、逆チャージを防止
し、方向性を向上させることができる。
形の形状を有する構造としたので、逆チャージを防止
し、方向性を向上させることができる。
【００１８】また、本発明のペレット吸着部交換装置
は、使用前のペレット吸着部を各種収納する収納皿を有
するローダと、使用後のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するアンローダとを備えた構造としたので、
多種にわたってペレット吸着部を自動的に交換すること
ができる。
は、使用前のペレット吸着部を各種収納する収納皿を有
するローダと、使用後のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するアンローダとを備えた構造としたので、
多種にわたってペレット吸着部を自動的に交換すること
ができる。
【００１９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【００２０】
【実施例１】図１は本発明の実施例１であるペレットボ
ンダを示す断面図である。
ンダを示す断面図である。
【００２１】本実施例１におけるペレットボンダ１は、
ペレット２をトレーあるいは粘着シート上の半導体ウエ
ハから一個ずつボンディングステージ５上に移載し、Ｔ
ＡＢ（Tape Automated Bonding) テープあるいはリード
フレーム７に取付けるためのもので、ボンディングアー
ム４を有している。
ペレット２をトレーあるいは粘着シート上の半導体ウエ
ハから一個ずつボンディングステージ５上に移載し、Ｔ
ＡＢ（Tape Automated Bonding) テープあるいはリード
フレーム７に取付けるためのもので、ボンディングアー
ム４を有している。
【００２２】このボンディングアーム４はアクチュエー
タによりＸＹＺ方向に移動できるもので、水平方向に延
在し、先端部にボンディングホルダ３が止めねじ３ａを
介して垂設され、下端部にフランジ６が形成され、この
フランジ６にペレット吸着部１２を着脱自在に装着する
装着機構２０が設けられ、この装着機構２０はボンディ
ングホルダ３側の角孔１３とペレット吸着部１２側の角
柱８との嵌着により位置決めを行い、この位置決め状態
をマグネット９の磁気的吸着により保持する構造となっ
ている。
タによりＸＹＺ方向に移動できるもので、水平方向に延
在し、先端部にボンディングホルダ３が止めねじ３ａを
介して垂設され、下端部にフランジ６が形成され、この
フランジ６にペレット吸着部１２を着脱自在に装着する
装着機構２０が設けられ、この装着機構２０はボンディ
ングホルダ３側の角孔１３とペレット吸着部１２側の角
柱８との嵌着により位置決めを行い、この位置決め状態
をマグネット９の磁気的吸着により保持する構造となっ
ている。
【００２３】詳しくは、前記フランジ６の下端面から角
柱８が軸方向に一体に突起し、この角柱８は断面長方形
の形状を有し、フランジ６の周縁部には、マグネット９
が周方向に等間隔で装着されている。
柱８が軸方向に一体に突起し、この角柱８は断面長方形
の形状を有し、フランジ６の周縁部には、マグネット９
が周方向に等間隔で装着されている。
【００２４】また、ボンディングホルダ３の内部には、
真空路１０が軸方向に沿って形成され、上端部にポート
１１が形成され、角柱８の下端面に開口され、前記ポー
ト１１に継手を介して真空チューブが接続される構造と
なっている。
真空路１０が軸方向に沿って形成され、上端部にポート
１１が形成され、角柱８の下端面に開口され、前記ポー
ト１１に継手を介して真空チューブが接続される構造と
なっている。
【００２５】前記ペレット吸着部１２は、磁性材料であ
る超鋼で形成され、逆四角錐台の形状をなし、中心に前
記角柱８を嵌合させる角孔１３が形成され、この角孔１
３にペレット吸着穴１４が連通して形成され、このペレ
ット吸着穴１４は各種ペレット２に対応した形状を有す
る。
る超鋼で形成され、逆四角錐台の形状をなし、中心に前
記角柱８を嵌合させる角孔１３が形成され、この角孔１
３にペレット吸着穴１４が連通して形成され、このペレ
ット吸着穴１４は各種ペレット２に対応した形状を有す
る。
【００２６】前記角柱８および角孔１３は断面長方形の
形状を有し、逆チャージを防止し、方向性を向上させる
構造となっている。
形状を有し、逆チャージを防止し、方向性を向上させる
構造となっている。
【００２７】次に、本実施例１の作用について説明す
る。
る。
【００２８】ボンディングホルダ３にペレット吸着部１
２を装着する場合、ボンディングホルダ３の角孔１３に
ペレット吸着部１２の角柱８を嵌合させ、ＸＹ方向の位
置決めを行う。
２を装着する場合、ボンディングホルダ３の角孔１３に
ペレット吸着部１２の角柱８を嵌合させ、ＸＹ方向の位
置決めを行う。
【００２９】次いで、ペレット吸着部１２の上端面をボ
ンディングホルダ３のフランジ６の下端面に当接させ、
Ｚ方向の位置決めを行う。
ンディングホルダ３のフランジ６の下端面に当接させ、
Ｚ方向の位置決めを行う。
【００３０】前記したＸＹＺ方向の位置決め状態をマグ
ネット９の磁気的吸着により保持する。
ネット９の磁気的吸着により保持する。
【００３１】また、ボンディングホルダ３からペレット
吸着部１２を取り外す場合、マグネット９の磁気的吸着
力に抗してペレット吸着部１２を取り外す。
吸着部１２を取り外す場合、マグネット９の磁気的吸着
力に抗してペレット吸着部１２を取り外す。
【００３２】このように、ボンディングホルダ３へのペ
レット吸着部１２の着脱をワンタッチで行い、位置決め
およびその調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を
要しない。
レット吸着部１２の着脱をワンタッチで行い、位置決め
およびその調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を
要しない。
【００３３】したがって、位置決め精度のばらつきをな
くし、再現性およびスループットを向上させることがで
きる。
くし、再現性およびスループットを向上させることがで
きる。
【００３４】
【実施例２】図２は本発明の実施例２であるペレット吸
着部交換装置を示す断面図である。
着部交換装置を示す断面図である。
【００３５】本実施例２におけるペレット吸着部交換装
置１５は、前記実施例１のペレットボンダ１に適用した
もので、ＸＹ座標上を移動するローダ１６およびアンロ
ーダ１７を有している。前記ローダ１６に収納板１８ａ
が搭載され、この収納板１８ａには収納皿１９ａが形成
され、この収納皿１９ａは使用前のペレット吸着部１２
を各種収納する機能を有する。
置１５は、前記実施例１のペレットボンダ１に適用した
もので、ＸＹ座標上を移動するローダ１６およびアンロ
ーダ１７を有している。前記ローダ１６に収納板１８ａ
が搭載され、この収納板１８ａには収納皿１９ａが形成
され、この収納皿１９ａは使用前のペレット吸着部１２
を各種収納する機能を有する。
【００３６】また、前記アンローダ１７に収納板１８ｂ
が搭載され、この収納板１８ｂには収納皿１９ｂが形成
され、この収納皿１９ｂは使用後のペレット吸着部１２
を各種収納する機能を有する。アンローダ１７にはペレ
ット吸着部１２の離脱を行うストッパを設けた構造とし
たものである。
が搭載され、この収納板１８ｂには収納皿１９ｂが形成
され、この収納皿１９ｂは使用後のペレット吸着部１２
を各種収納する機能を有する。アンローダ１７にはペレ
ット吸着部１２の離脱を行うストッパを設けた構造とし
たものである。
【００３７】次に、本実施例２の作用について説明す
る。
る。
【００３８】使用前のペレット吸着部１２を装着する場
合、ローダ１６をＸＹ座標上を移動させ、特定の収納皿
１９ａをボンディングホルダ３の真下の位置に設定す
る。この特定の収納皿１９ａ内のペレット吸着部１２に
向かってボンディングホルダ３を下降させ、その角柱８
をペレット吸着部１２の角孔１３に嵌合させ、フランジ
６の下端面をペレット吸着部１２の上端面に当接させ、
この位置決め状態をマグネット９の磁気的吸着力で保持
し、ボンディングホルダ３とともにペレット吸着部１２
を上昇させる。
合、ローダ１６をＸＹ座標上を移動させ、特定の収納皿
１９ａをボンディングホルダ３の真下の位置に設定す
る。この特定の収納皿１９ａ内のペレット吸着部１２に
向かってボンディングホルダ３を下降させ、その角柱８
をペレット吸着部１２の角孔１３に嵌合させ、フランジ
６の下端面をペレット吸着部１２の上端面に当接させ、
この位置決め状態をマグネット９の磁気的吸着力で保持
し、ボンディングホルダ３とともにペレット吸着部１２
を上昇させる。
【００３９】また、使用後のペレット吸着部１２を収納
する場合、アンローダ１７をＸＹ方向に移動させ、前記
ペレット吸着部１２に対応した収納皿１９ｂをボンディ
ングホルダ３の真下の位置に設定する。ボンディングホ
ルダ３を下降させ、収納皿１９ｂにペレット吸着部１２
を収納する。この収納したペレット吸着部１２をストッ
パで抑え、ボンディングホルダ３のみ上昇させ、使用後
のペレット吸着部１２を対応した収納皿１９ｂにセット
する。
する場合、アンローダ１７をＸＹ方向に移動させ、前記
ペレット吸着部１２に対応した収納皿１９ｂをボンディ
ングホルダ３の真下の位置に設定する。ボンディングホ
ルダ３を下降させ、収納皿１９ｂにペレット吸着部１２
を収納する。この収納したペレット吸着部１２をストッ
パで抑え、ボンディングホルダ３のみ上昇させ、使用後
のペレット吸着部１２を対応した収納皿１９ｂにセット
する。
【００４０】したがって、多種にわたってペレット吸着
部１２の交換を自動的に行うことができる。
部１２の交換を自動的に行うことができる。
【００４１】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施
例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４２】たとえば、前記実施例では、角柱と角孔と
の嵌合により位置決めを行う場合について説明したが、
これに限らず、角柱の両外側面にＶ状の突起を形成し、
角孔の両内側面にＶ状の溝を形成し、前記突起と溝との
嵌合により位置決め精度をより一層向上させることがで
きる。
の嵌合により位置決めを行う場合について説明したが、
これに限らず、角柱の両外側面にＶ状の突起を形成し、
角孔の両内側面にＶ状の溝を形成し、前記突起と溝との
嵌合により位置決め精度をより一層向上させることがで
きる。
【００４３】また、前記実施例では、フランジに角柱を
形成し、ペレット吸着部に角孔を形成した場合について
説明したが、これに限らず、フランジに角孔を形成し、
ペレット吸着部に角柱を形成することができる。
形成し、ペレット吸着部に角孔を形成した場合について
説明したが、これに限らず、フランジに角孔を形成し、
ペレット吸着部に角柱を形成することができる。
【００４４】また、前記実施例では、フランジにマグネ
ットを装着した場合について説明したが、これに限ら
ず、ペレット吸着部にマグネットを装着することができ
る。
ットを装着した場合について説明したが、これに限ら
ず、ペレット吸着部にマグネットを装着することができ
る。
【００４５】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００４６】(1).真空路を有するボンディングホルダ
と、このボンディングホルダの下端部に形成されるフラ
ンジと、このフランジにペレット吸着部を着脱自在に装
着する装着機構と備え、この装着機構は、前記フランジ
またはペレット吸着部の一方に角柱を形成し、他方に角
孔を形成した構造としたので、前記角孔と角柱との嵌着
により位置決めを行い、この位置決め状態をマグネット
の磁気的吸着により保持することができる。
と、このボンディングホルダの下端部に形成されるフラ
ンジと、このフランジにペレット吸着部を着脱自在に装
着する装着機構と備え、この装着機構は、前記フランジ
またはペレット吸着部の一方に角柱を形成し、他方に角
孔を形成した構造としたので、前記角孔と角柱との嵌着
により位置決めを行い、この位置決め状態をマグネット
の磁気的吸着により保持することができる。
【００４７】(2).前記(1) の効果により、位置決めおよ
びその調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を要し
ない。
びその調整に要する時間を減少させ、交換に熟練を要し
ない。
【００４８】(3).前記(2) の効果により、位置決め精度
のばらつきをなくし、再現性およびスループットを向上
させることができる。
のばらつきをなくし、再現性およびスループットを向上
させることができる。
【００４９】(4).前記(1) 場合、前記角柱および角孔は
断面長方形の形状を有する構造としたので、逆チャージ
を防止し、方向性を向上させることができる。
断面長方形の形状を有する構造としたので、逆チャージ
を防止し、方向性を向上させることができる。
【００５０】(5).使用前のペレット吸着部を各種収納す
る収納皿を有するローダと、使用後のペレット吸着部を
各種収納する収納皿を有するアンローダとを備えた構造
としたので、多種にわたってペレット吸着部を自動的に
交換することができる。
る収納皿を有するローダと、使用後のペレット吸着部を
各種収納する収納皿を有するアンローダとを備えた構造
としたので、多種にわたってペレット吸着部を自動的に
交換することができる。
【図１】本発明の実施例１であるペレットボンダを示す
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明の実施例２であるペレット吸着部交換装
置を示す断面図である。
置を示す断面図である。
１ ペレットボンダ ２ ペレット ３ ボンディングホルダ ３ａ 止めねじ ４ ボンディングアーム ５ ボンディングステージ ６ フランジ ７ リードフレーム ８ 角柱 ９ マグネット １０ 真空路 １１ ポート １２ ペレット吸着部 １３ 角孔 １４ ペレット吸着穴 １５ ペレット吸着部交換装置 １６ ローダ １７ アンローダ １８ａ 収納板 １８ｂ 収納板 １９ａ 収納皿 １９ｂ 収納皿 ２０ 装着機構
Claims (3)
- 【請求項１】 真空路を有するボンディングホルダと、
このボンディングホルダの下端部に形成されるフランジ
と、このフランジにペレット吸着部を着脱自在に装着す
る装着機構と備え、この装着機構は、前記フランジまた
はペレット吸着部の一方に角柱を形成し、他方に角孔を
形成し、角孔と角柱との嵌着により位置決めを行い、こ
の位置決め状態をマグネットの磁気的吸着により保持し
た構造としたことを特徴とするペレットボンダ。 - 【請求項２】 前記角柱および角孔は断面長方形の形状
を有する構造としたことを特徴とする請求項１記載のペ
レットボンダ。 - 【請求項３】 使用前のペレット吸着部を各種収納する
収納皿を有するローダと、使用後のペレット吸着部を各
種収納する収納皿を有するアンローダとを備え、ペレッ
ト吸着部を自動的に交換することを特徴とするペレット
吸着部交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27160191A JPH05109791A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27160191A JPH05109791A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05109791A true JPH05109791A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17502354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27160191A Pending JPH05109791A (ja) | 1991-10-21 | 1991-10-21 | ペレツトボンダおよびペレツト吸着部交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05109791A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100431185B1 (ko) * | 1997-07-03 | 2005-09-28 | 삼성전자주식회사 | 반도체 칩 패키지의 언로딩 장치 및 방법 |
| JP2015200635A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-12 | 株式会社デンソー | 流量センサ及びその製造方法 |
| CN108247661A (zh) * | 2016-12-28 | 2018-07-06 | 林彦全 | 连接吸嘴的组装结构 |
-
1991
- 1991-10-21 JP JP27160191A patent/JPH05109791A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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