JP2002205293A - 吸着ノズル及びそれを用いたワーク搬送装置 - Google Patents

吸着ノズル及びそれを用いたワーク搬送装置

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JP2002205293A
JP2002205293A JP2001001374A JP2001001374A JP2002205293A JP 2002205293 A JP2002205293 A JP 2002205293A JP 2001001374 A JP2001001374 A JP 2001001374A JP 2001001374 A JP2001001374 A JP 2001001374A JP 2002205293 A JP2002205293 A JP 2002205293A
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JP
Japan
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suction
nozzle
suction nozzle
holder
work
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JP2001001374A
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English (en)
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Kosuke Narita
幸輔 成田
Susumu Takeuchi
進 竹内
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着成功率の低下やコストアップの問題を生
じることなく、吸引時及び解放時のワークの損傷を防止
できる吸着ノズルを提供する。 【解決手段】 真空吸引源に吸引通路を介して連通接続
される吸着孔１９ｄが形成されたノズル１６と、該ノズ
ル１６を摺動可能に保持する摺動凹部（摺動領域）１８
ａが形成されたホルダ１５とを有する吸着ノズル７にお
いて、吸引通路２６，２７，２９を上記ホルダ１５内部
に上記摺動凹部１８ｂとは独立して形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークを真空吸引
により吸着保持するようにした吸着ノズル，及び該吸着
ノズルによりワークをプレイスステージに搬送するよう
にしたワーク搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の吸着ノズルとして、従来、例え
ば図１０に示す構造のものがある。これはホルダ５０の
摺動凹部５０ａ内にノズル５１を摺動自在に挿入すると
ともに、該ノズル５１を部品吸着時に反吸引方向に付勢
するコイルバネ５２を配設し、上記ノズル５１の吸着孔
５１ａとロッド５３の軸心に形成された吸引孔５４とを
上記摺動凹部５０ａを介して連通接続した構造のもので
ある。なお、５５はロッド５３を昇降自在に支持する軸
受であり、５６はロッド５３を昇降駆動するカムであ
る。
【０００３】上記コイルバネ５２は、部品吸着時，部品
装着時にノズル５１をワークＷに押し付けたときの押し
付け荷重を吸収するためのものである。
【０００４】また真空吸引装置により発生した負圧はロ
ッド５３の吸引孔５４，摺動凹部５０ａを介してノズル
５１の吸着孔５１ａに達し、該吸着孔５１ａに作用する
吸引力によってワークＷを吸着保持する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
摺動凹部５０ａにより吸引通路の一部が構成された構造
とした場合には、部品吸着時に摺動凹部５０ａ内の負圧
がノズル５１をコイルバネ５２を圧縮する方向に引き上
げるように作用し、ノズル５１が移動してしまう。この
移動を阻止するには、上記コイルバネ５２を、上記ノズ
ル５１の引き上げ力に対応した予圧をノズル５１に作用
し得るよう設定することが必要となる。
【０００６】しかし、このようにコイルバネ５２を設定
した場合、部品吸着時には上記予圧に相当する力がワー
クＷに作用する。また部品装着時に真空吸引を解放する
と、装着時の部品押し付け力にコイルバネ５２の予圧に
よる力が加算されてワークＷに加わり、場合によってワ
ークＷが損傷するおそれがある。
【０００７】このようなワークの損傷を回避するため、
ワークとノズルとの間にクリアランスを設けることによ
り吸引力を小さくする方法があるが、この方法では吸着
ミスが発生し、良品率の低下を生じる。
【０００８】また、部品吸着時と部品装着時とでは、装
着時の押し付け力を吸着時より大幅に大きく設定するこ
ととなるが、上記コイルバネを使用する方法では吸着時
と装着時とで押し付け力を大幅に変えることはできず、
従って大きい力を要する装着時に対応した設定となる。
このため、吸着時には非接触で吸い上げる方法や、力を
分散するために弾性体を敷設した特殊トレイにワークを
載置して押し付け荷重を吸収したりする方法が採用され
る。しかし、これらの方法では吸着成功率が低下した
り、特殊トレイの採用でコストアップするといった問題
が生じる。
【０００９】本発明は、上記従来の状況に鑑みてなされ
たもので、吸着成功率の低下やコストアップの問題を生
じることなく、吸引時及び解放時のワークの損傷を防止
できる吸着ノズル及びそれを用いたワーク搬送装置を提
供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、真空
吸引源に吸引通路を介して連通接続される吸着孔が形成
されたノズルと、該ノズルを摺動可能に保持する摺動領
域が形成されたホルダとを有する吸着ノズルにおいて、
上記吸引通路が、上記摺動領域に解放されることなく上
記ホルダの内部に独立して形成されていることを特徴と
している。
【００１１】ここで本発明において、吸引通路が摺動領
域に解放されることなく、とは、負圧が摺動領域に導入
されることのないように構成するとの意味である。
【００１２】請求項２の発明は、請求項１において、上
記吸引通路が、上記吸着孔の軸線に対して対称をなすよ
うに複数に分岐されていることを特徴としている。
【００１３】請求項３の発明は、請求項１又は２におい
て、上記ホルダが、外筒内にホルダ本体を挿入してなる
２分割構造のものからなり、該外筒とホルダ本体との間
に上記吸引通路が形成されていることを特徴としてい
る。
【００１４】請求項４の発明は、請求項１と同様の吸着
ノズルにおいて、上記吸引通路が、上記ノズルの上記摺
動領域以外の部分に独立して形成されていることを特徴
としている。
【００１５】請求項５の発明は、請求項１ないし４の何
れかにおいて、少なくとも上記ノズルが合成樹脂部材に
より構成されており、該樹脂部材の摺動面のみ金属化さ
れていることを特徴としている。
【００１６】請求項６の発明は、請求項１ないし５の何
れかにおいて、上記ホルダに摺動領域を外部に解放する
通気窓が形成されていることを特徴としている。
【００１７】請求項７の発明は、請求項１ないし６の何
れかにおいて、上記摺動領域内に、上記ノズルが少なく
とも１変位点に移動したときに該ノズルを付勢する付勢
手段が配設されていることを特徴としている。
【００１８】請求項８の発明は、請求項７において、上
記付勢手段が、弾性部材であり、請求項９の発明は、上
記付勢手段が、コイルバネであり、請求項１０の発明
は、上記付勢手段が、付勢力を変化させることが可能な
リニアモータであり、請求項１１の発明は、上記付勢手
段が、付勢力を変化させることが可能なエアシリンダで
あることを特徴としている。
【００１９】請求項１２の発明は、請求項１ないし１１
の何れかに記載の吸着ノズルを用い、該吸着ノズルでワ
ークを吸着保持した状態で搬送することを特徴とするワ
ーク搬送装置である。
【００２０】請求項１３の発明は、請求項１０又は１１
に記載の吸着ノズルを用い、該吸着ノズルでワークを吸
着保持した状態で搬送するとともに、上記ノズルを付勢
する付勢力が、ワークのピックアップ時とプレイス時と
で異なる値に設定されていることを特徴としている。
【００２１】
【発明の作用効果】請求項１の発明では、吸引通路をホ
ルダ内部の摺動領域以外の部分に独立して形成し、請求
項４の発明では、吸引通路をノズルの摺動領域以外の部
分に独立して形成したので、吸引によって摺動領域が負
圧になることはなく、ノズルに吸引力による引き上げ力
が作用するのを回避できる。これにより吸引を解放した
ときのワークに加わる荷重をほとんどなくすことがで
き、またピックアップ時，プレイス時の押し付け荷重を
小さくすることができる。その結果、上述の吸引力を小
さくするためにクリアランスを設けたり、弾性体が敷設
された特殊トレイを設けたりするのを不要にでき、吸着
成功率の低下やコストアップの問題を防止することがで
きる。
【００２２】請求項２の発明では、吸引通路をノズルの
軸線に対して対称をなすよう複数に分岐させたので、吸
引力を均等に分散させることができ、ノズルの偏りによ
るホルダとの摺動抵抗を小さくできる。
【００２３】請求項３の発明では、ホルダを外筒と該外
筒内に挿入されるホルダ本体とに分割し、該ホルダ本体
と外筒との間に吸引通路を形成したので、ホルダ内部に
簡単に形成することができ、ホルダ単体に吸引通路を形
成する場合の特殊な孔明け加工を不要にでき、コストを
低減できる。
【００２４】請求項５の発明では、ノズルを合成樹脂部
材により形成し、該ノズルの摺動面のみ金属化したの
で、摺動部のがたつきを防止しながら、ノズル重量を小
さくでき、押し付け荷重を小さくすることができる。
【００２５】請求項６の発明では、ホルダに摺動領域と
外部とを連通する通気窓を形成したので、摺動領域内を
大気圧に保持でき、ノズルの摺動による圧力変動を防止
でき、それだけノズルの押し付け荷重を小さくすること
ができる。
【００２６】請求項７の発明では、摺動領域内にノズル
を付勢する付勢手段を設けたので、ノズルをワークに押
し付ける際の荷重を吸収することができる。これにより
ノズルの高速動作が可能となり、生産性を向上できると
ともに製造コストを削減できる。
【００２７】請求項８の発明では、上記付勢手段として
弾性部材を配設し、請求項９の発明では、コイルバネを
配設したので、簡単な構造でもって押し付け荷重を吸収
することができるとともに、押し付け荷重の管理を数値
的に行なうことができ、繰り返しの押し付け動作にも対
応できる。
【００２８】請求項１０の発明では、上記付勢手段とし
て、付勢力を可変できるリニアモータを配設し、請求項
１１の発明では、付勢力を可変できるエアシリンダを配
設したので、ノズルの付勢力を押し付け荷重に応じて広
範囲に渡って設定することが可能となる。またピックア
ップ時とプレイス時とで付勢力を変化させることも可能
となり、ピックアップミスや割れ，欠けの問題を確実に
防止できる。
【００２９】請求項１２の発明では、上述の吸着ノズル
を用いてワークを搬送し、請求項１３の発明では、ノズ
ルの付勢力をピックアップ時とプレイス時とで異なる値
に設定したので、例えば、強い押し付け荷重が要求され
るプレイス側と、弱い押し付け荷重が要求されるピック
アップ側とでノズルの付勢力を変えることができ、ワー
クの損傷をより確実に防止できる。即ち、従来のように
バネを採用した場合には、押し付け荷重をピックアップ
時とプレイス時とで大きく変えることは困難である。こ
のため強い荷重が要求されるプレイス側にバネ定数を合
わせることから、弱い荷重が要求されるピックアップ側
では上述したようにクリアランスを設けた非接触ピック
アップや緩衝材を配設した特殊トレイの採用が必要とな
り、吸着成功率の低下やコストアップといった問題があ
った。
【００３０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて説明する。
【００３１】図１ないし図５は、請求項１，２，３，
５，６，７，９，１２，１３の発明の一実施形態（第１
実施形態）による吸着ノズル及び該吸着ノズルを用いた
ワーク搬送装置を説明するための図であり、図１は吸着
ノズルの断面図、図２，図３はそれぞれ吸着ノズルの断
面平面図（図１のII-II 線断面図,III-III線断面図）、
図４はホルダの分解斜視図、図５はワーク搬送装置の概
略構成図である。
【００３２】図５において、１はワーク搬送装置を示し
ており、これは固定ベッド２上にピックアップステージ
３及びプレイスステージ４をそれぞれＹ軸方向（図５の
紙面垂直方向）に移動可能に並列配置し、上記固定ベッ
ド２の両ステージ３，４の上方に門形の搬送架台５を架
設し、該搬送架台５にスライド部材６をＸ軸方向（図５
の紙面左右方向）に移動可能に配置し、該スライド部材
６に吸着ノズル７をＺ軸方向（図５の紙面上下方向）に
昇降可能に配置して構成されている。
【００３３】上記スライド部材６は、固定ベッド２に対
して垂直方向に向けて配置されたロッド８を軸受９によ
りＺ軸方向に移動可能に支持し、該軸受９を固定ブロッ
ク１０に取付け固定してなるものである。上記ロッド８
の上端面には駆動カム１１が配設されており、下端部に
は上記吸着ノズル７が装着されている。なお、上記ロッ
ド８の駆動に関してはサーボモータとボールネジとの組
み合わせでもよい。
【００３４】上記吸着ノズル７は、図１ないし図４に示
すように、ホルダ１５とノズル１６とを備えている。こ
のホルダ１５は、金属製の外筒１７内に同じく金属製の
ホルダ本体１８を挿着してなる２分割構造のものであ
り、このホルダ本体１８の下部には軸方向に延びる摺動
凹部（摺動領域）１８ａが形成されており、この摺動凹
部１８ａ内に上記ノズル１６が摺動自在に挿入されてい
る。また上記ホルダ本体１８の上部には軸方向に延びる
吸引凹部１８ｂが上記摺動凹部１８ａとは独立して形成
されており、この吸引凹部１８ｂ内に上記ロッド８の下
端部が螺着固定されている。
【００３５】上記ノズル１６は合成樹脂からなるノズル
本体１９に金属キャップ２０を装着してなるものであ
る。このノズル本体１９は細径の吸引部１９ａとこれよ
り大径の配管部１９ｃとの間に該配管部１９ｃより大径
のフランジ部１９ｂを形成した構造のものであり、上記
ノズル本体１９の軸心には吸着孔１９ｄが形成されてい
る。
【００３６】上記金属キャップ２０は上端が閉塞された
筒状のものであり、上記配管部１９ｃに挿着固定されて
いる。該金属キャップ２０は上記摺動凹部１８ａ内に極
僅かなクリアランスを設けて摺動可能に挿入されてい
る。
【００３７】また上記配管部１９ｃ及び金属キャップ２
０には直径方向に延びる棒状のストッパ２２が貫通する
よう挿着されており、該ストッパ２２の両端部はホルダ
本体１８のストッパ孔１８ｇ内に挿通支持されている。
これによりノズル１６は上記ストッパ２２とストッパ孔
１８ｇの径差分だけ上下動のみ許容され、下方への抜け
及び軸回りの回転が阻止されている。
【００３８】上記摺動凹部１８ａ内には付勢手段として
のコイルバネ２１が配設されており、このコイルバネ２
１によりノズル１６は下方に付勢されている。また上記
ホルダ本体１８には摺動凹部１８ａ内と外部とを連通す
る通気窓１８ｃが形成されており、該通気窓１８ｃによ
り摺動凹部１８ａ内は常時大気に解放されている。
【００３９】上記ホルダ本体１８の上部外周面には雄ね
じ１８ｄが形成され、下端部には上記外筒１７の下端面
１７ｂが当接する鍔状のフランジ部１８ｅが形成されて
おり、また上記外筒１７の上部内周面には雌ねじ１７ａ
が形成されている。そして上記外筒１７内にホルダ本体
１８を挿入し、外筒１７の下端面１７ｂがフランジ部１
８ｅに当接するまでねじ込むことによって両者１７，１
８は位置決め固定されている。
【００４０】上記ロッド８の軸心には上記吸引凹部１８
ｂに連通する吸引孔８ａが形成されており、該吸引孔８
ｂの延長端部には吸引チューブ２５を介して真空吸引装
置（不図示）が接続されている。
【００４１】そして上記ノズル１９の吸着孔１９ｄと上
記ロッド８の吸引孔８ｂとは本実施形態の特徴をなす吸
引通路を介して連通接続されており、この吸引通路は以
下の構造となっている。
【００４２】上記ホルダ本体１８の軸方向中央部には外
筒１７の内径より少し小径の小径部１８ｆが形成されて
おり、この小径部１８ｆと外筒１７の内周面１７ｃとで
円筒状の第１吸引通路２６が形成されている。この第１
吸引通路２６は摺動凹部１８ａの外方を囲むように該摺
動凹部１８ａとは独立して形成されている。また上記第
１吸引通路２６は外筒１７とホルダ本体１８との間に嵌
装されたＯリング３２，３２により気密にシールされて
いる。
【００４３】上記ホルダ本体１８の第１吸引通路２６の
上端部に臨む部分には直径方向に延び、かつ互いに直交
する２つの第２吸引通路２７，２７が形成されている。
この各第２吸引通路２７の外端口は第１吸引通路２６に
連通しており、交差部である内端口は連通孔２８を介し
て上記吸引凹部１８ｂに連通している。
【００４４】また上記ホルダ本体１８の第１吸引通路２
６の下端部に臨む部分には径方向に延び、かつ９０度間
隔をあけて４つの第３吸引通路２９が形成されている。
この各第３吸引通路２９の外端口は上記第１吸引通路２
６に連通しており、各内端口は上記摺動凹部１８ａのノ
ズル１６摺動面に開口している。
【００４５】そして上記ノズル１６の各第３吸引通路２
９に臨む部分には径方向に延び、かつ互いに直交する２
つの第４吸引通路３０，３０が形成されている。この各
第４吸引通路３０の外端口は上記第３吸引通路２９に連
通しており、交差部である内端口は上記ノズル１６の吸
着孔１９ｄに連通している。このようにして真空吸引装
置により発生した負圧は、ロッド８の吸引孔８ａ，吸引
凹部１８ｂから各第２吸引通路２７に達し、該第２吸引
通路２７から第１吸引通路２６を介して各第３，第４吸
引通路２９，３０を通って吸着孔１９ｄに達する。
【００４６】本実施形態のワーク搬送装置１によりピッ
クアップステージ３のワークＷをプレイスステージ４に
搬送するには、ピックアップステージ３にワークＷを供
給し、スライド部材６，ピックアップテージ３がそれぞ
れＸ軸，Ｙ軸方向に相対移動してピックアップ位置（吸
着ノズル７の中心がワークＷの中心に一致する位置）に
位置決めを行なう。
【００４７】このピックアップ位置にて駆動カム１１が
回転してロッド８を下降させ、吸着ノズル７のノズル１
６がワークＷを押圧するとともに真空吸引し、該ワーク
Ｗを吸着保持した状態で上昇する。この場合、上記ノズ
ル１６のワークＷへの押し付け時の荷重はコイルバネ２
１の収縮によって吸収される。この収縮はノズル１６の
上昇により元に戻る。また上記吸引力（負圧）はワーク
Ｗのみに作用し、ノズル１６を引き上げる方向に作用す
ることはなく、従ってコイルバネ２１が吸引力によって
圧縮変形することはない。
【００４８】次にスライド部材６がプレイスステージ４
の上方まで直線移動し、ワークＷがプレイスステージ４
の所定のプレイス位置と一致するように、スライド部材
６，プレイスステージ４がＸ軸，Ｙ軸方向に相対移動し
て位置決めを行なう。そしてプレイス位置にて吸着ノズ
ル７が下降してワークＷを押圧するとともに吸引を解放
し、該ワークＷを載置する。この後、次のワークのピッ
クアップを行なうべき位置まで戻り、同様の動作を繰り
返す。
【００４９】このように本実施形態によれば、ホルダ１
５内に摺動凹部１８ａとは別個に独立した吸引通路２
６，２７，２９を形成したので、吸引によって摺動凹部
１８ａ内が負圧になることはなく、ノズル１６に吸引力
による引き上げ力が作用するのを防止できる。これによ
りプレイスステージ４にて吸引を解放したことによりワ
ークＷに加わる荷重をなくすことができる。
【００５０】またコイルバネ２１の付勢力を吸引力より
小さくすることが可能となるので、ピックアップ時，プ
レイス時の押し付け荷重を小さくでき、ワークＷの損傷
を防止できるとともに、薄膜，微小ワークの吸着保持が
可能となる。その結果、吸引力を小さくするためのクリ
アランスを設けたり、弾性体が敷設された特殊トレイを
設けたりする必要はなく、吸着成功率の低下やコストア
ップの問題を回避することができる。
【００５１】また第２，第３吸引通路２７，２９をノズ
ル１６の軸線に対して対称をなすよう４つに分岐させた
ので、吸引力を均等に分散させることができ、ノズル１
６の偏りによるホルダ１５との摺動抵抗を小さくでき
る。
【００５２】上記ホルダ１５を外筒１７と該外筒１７内
に装着されたホルダ本体１８とに分割し、該ホルダ本体
１８と外筒１７との間に円筒状の第１吸引通路２６を形
成したので、ホルダ１５内に吸引通路２６を簡単に形成
することができ、特殊な孔明け加工を不要にでき、コス
トを低減できる。
【００５３】本実施形態では、ノズル１６を樹脂製のノ
ズル本体１９と摺動凹部１８ａに摺接する金属キャップ
２０とから構成したので、摺動部のがたつきを防止しな
がらノズル重量を小さくでき、それだけ押し付け荷重を
小さくすることができる。
【００５４】また上記ホルダ本体１８に摺動凹部１８ａ
と大気とを連通する通気窓１８ｃを形成したので、ノズ
ル１６の摺動による圧力変動を防止でき、この点からも
ノズル１６の押し付け荷重を小さくすることができる。
【００５５】上記摺動凹部１８ａ内にコイルバネ２１を
配設したので、ノズル１６をワークＷに押し付ける際の
荷重を簡単な構造でもって吸収することができるととも
に、押し付け荷重の管理を数値的に行なうことができ、
繰り返しの押し付け動作にも対応できる。これによりノ
ズルの高速動作が可能となり、生産性を向上できるとと
もに製造コストを削減できる。
【００５６】図６は、請求項８の発明の一実施形態（第
２実施形態）による吸着ノズルを説明するための図であ
る。図中、図１と同一符号は同一又は相当部分を示す。
【００５７】本実施形態の吸着ノズル７は、ホルダ１５
に形成された摺動凹部１８ａ内にノズル１６を摺動自在
に挿入し、該ホルダ１５内に摺動凹部１８ａとは独立し
て吸引通路３５を形成し、該吸引通路３５の一端をノズ
ル１６の吸着孔１９ｄに連通するとともに、他端をロッ
ド８の吸引孔８ａに連通して構成されている。なお、１
８ｃは大気に連通する通気窓であり、２２はノズルの抜
け，回転を阻止するストッパであり、これらは第１実施
形態と略同様のものである。
【００５８】上記摺動凹部１８ａ内には付勢手段として
の弾性部材３６が配設されている。この弾性部材３６は
シリコンゴム，ウレタンゴム等のヤング率の小さい低弾
性材料からなるものである。
【００５９】本実施形態では、低弾性材料からなる弾性
部材３６を配置したので、付勢手段の重量を軽減できる
とともに、押し付け荷重を小さくすることができる。こ
れによりピックアップ，プレイス動作をより高速化で
き、生産性を向上できるとともに製造コストを低減で
き、さらには薄膜，微小ワークを破損することなく吸着
保持できる。
【００６０】図７は、請求項１０の発明の一実施形態
（第３実施形態）による吸着ノズルを説明するための図
であり、図中、図６と同一符号は同一又は相当部分を示
す。
【００６１】本実施形態の吸着ノズル７は、ホルダ１５
の摺動凹部１８ａ内に付勢手段として付勢力を変化させ
ることが可能なリニアモータ３７を配設して構成されて
いる。このリニアモータ３７はボイスコイルモータから
なり、ホルダ１５側に配置固定されたコア３８にノズル
１６側に配置固定されたコイル３９を対向させた概略構
造のものである。
【００６２】上記ボイスコイルモータ３７は電流制御を
行なうことにより、付勢力を０〜１００ｇ程度の範囲で
もって可変制御するように構成されている。そしてピッ
クアップ時には付勢力を小さく、プレイス時にはピック
アップ時より付勢力が大きくなるように設定されてい
る。
【００６３】本実施形態では、ボイスコイルモータ３７
によりノズル１６を付勢するようにしたので、ノズル１
６の付勢力をピックアップ時とプレイス時とで任意に変
化させることができ、また押し付け荷重を加えるタイミ
ングを他の動作とは独立して行なうことができ、ピック
アップミスや割れ，欠けによる実装不良を確実に防止で
きる。
【００６４】また上記ボイスコイルモータ３７を備えた
吸着ノズル７を上述のワーク搬送装置に用いることによ
り、強い押し付け荷重が要求されるプレイス側と、弱い
押し付け荷重が要求されるピックアップ側とでノズルの
付勢力を変えることができ、ワークの損傷をより確実に
防止できる。例えば、ピンによる突き上げやゲルパック
によるワーク供給方式を採用した場合には、ピックアッ
プ時の押し付け力を大きくすると再粘着によるピックア
ップミスが発生し易い。またペーストをワーク全体に押
し広げるようにマウントする実装方式を採用した場合、
例えば大型ワークをダイボンドするときなどのように大
きな押し付け力が要求される場合には、ピックアップ時
の押し付け力ではペーストを押し広げることができな
い。これに対して本実施形態では、ピックアップ時は小
さい押し付け荷重に設定し、プレイス時には押し付け荷
重を大きく設定することができるので、高い良品率で実
装することができ、製造コストの低減が可能となる。
【００６５】図８は、請求項１１の発明の一実施形態
（第４実施形態）による吸着ノズルを説明するための図
であり、図中、図６と同一符号は同一又は相当部分を示
す。
【００６６】本実施形態の吸着ノズル７は、ホルダ１５
の摺動凹部１８ａに付勢手段として付勢力を変化させる
ことが可能なエアシリンダを設けて構成されている。即
ち、シリンダとしての摺動凹部１８ａ内に圧縮空気を供
給する圧縮空気供給チューブ４０をホルダ１５に接続し
て構成されている。これは摺動凹部１８ａ内への圧縮空
気を０〜１００ｇ程度の範囲でもって可変でき、ピック
アップ時には荷重を小さく、プレイス時にはピックアッ
プ時より荷重が大きくなるよう設定されている。
【００６７】本実施形態では、摺動凹部１８ａ内に圧縮
空気を供給するようにしたので、ノズル１６の付勢力を
ピックアップ時とプレイス時とで任意に変化させること
ができ、ピックアップミスや割れ，欠けによる実装不良
を確実に防止でき、上記第３実施形態と同様の効果が得
られる。また空気圧により付勢力を可変制御するので、
ノズル１６への荷重負担を極めて小さくすることがで
き、ピックアップ，プレイス動作の高速化に対応でき
る。
【００６８】図９は、請求項４の発明の一実施形態（第
５実施形態）による吸着ノズルを説明するための図であ
る。
【００６９】本実施形態の吸着ノズル４５は、ホルダ４
６の摺動凹部４６ａ内にノズル４７を摺動自在に挿入す
るとともに、該ノズル４７の摺動面以外の下部に吸着孔
４７ａに連通する吸引通路４９を形成して構成されてお
り、この吸引通路４９には真空吸引装置に接続された吸
引チューブ４８が直接接続されている。
【００７０】本実施形態では、ノズル４７の摺動面とは
独立した部分に吸引通路４９を形成し、該吸引通路４９
に吸引チューブ４８を直接接続したので、ノズル４７に
吸引力による引き上げ力が作用するのを確実に防止で
き、ピックアップ時，プレイス時の押し付け荷重をさら
に小さくでき、薄膜，微小ワークの吸着保持が可能とな
る。
【００７１】また上記ノズル４７の吸着孔４７ａと真空
吸引装置とを吸引チューブ４８で直接接続することがで
き、吸引経路内での吸引漏れをなくすことが可能とな
り、吸引効率を高めることができ、ひいては真空吸引装
置を小型化でき、コストダウンが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態による吸着ノズルを説明
するための断面図である。
【図２】上記吸着ノズルの断面平面図（図１のII-II 線
断面図）である。
【図３】上記吸着ノズルの断面平面図（図１のIII-III
線断面図）である。
【図４】上記吸着ノズルのホルダの分解斜視図である。
【図５】上記吸着ノズルを用いたワーク搬送装置の概略
構成図である。
【図６】本発明の第２実施形態による吸着ノズルを説明
するための概略図である。
【図７】本発明の第３実施形態による吸着ノズルを示す
概略図である。
【図８】本発明の第４実施形態による吸着ノズルを示す
概略図である。
【図９】本発明の第５実施形態による吸着ノズルを示す
概略図である。
【図１０】従来の吸着ノズルを示す概略図である。
【符号の説明】
１ ワーク搬送装置 ７，４５ 吸着ノズル １５，４６ ホルダ １６，４７ ノズル １７ 外筒 １８ ホルダ本体 １８ａ，４６ａ 摺動凹部（摺動領域） １８ｃ 通気窓 １９ｄ，４７ａ 吸着孔 ２１ コイルバネ（付勢手段） ２６，２７，２９ 吸引通路 ３５ 吸引通路 ３６ 弾性部材（付勢手段） ３７ リニアモータ（付勢手段） ４９ 吸引通路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 DS01 FS01 FT01 FT17 FU01 FU10 GU03 NS09 3F061 AA01 CA01 CB01 CB13 CC01 DB04 DC03 DD07 5E313 AA03 AA11 AA23 CC03 CC07 CC08 EE01 EE02 EE24 EE33 EE34 EE35 EE38 EE50

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 真空吸引源に吸引通路を介して連通接続
    される吸着孔が形成されたノズルと、該ノズルを摺動可
    能に保持する摺動領域が形成されたホルダとを有する吸
    着ノズルにおいて、上記吸引通路が、上記摺動領域に解
    放されることなく上記ホルダの内部に独立して形成され
    ていることを特徴とする吸着ノズル。
  2. 【請求項２】 請求項１において、上記吸引通路が、上
    記吸着孔の軸線に対して対称をなすように複数に分岐さ
    れていることを特徴とする吸着ノズル。
  3. 【請求項３】 請求項１又は２において、上記ホルダ
    が、外筒内にホルダ本体を挿入してなる２分割構造のも
    のからなり、該外筒とホルダ本体との間に上記吸引通路
    が形成されていることを特徴とする吸着ノズル。
  4. 【請求項４】 真空吸引源に吸引通路を介して連通接続
    される吸着孔が形成されたノズルと、該ノズルを摺動可
    能に保持する摺動領域が形成されたホルダとを有する吸
    着ノズルにおいて、上記吸引通路が、上記ノズルの上記
    摺動領域以外の部分に独立して形成されていることを特
    徴とする吸着ノズル。
  5. 【請求項５】 請求項１ないし４の何れかにおいて、少
    なくとも上記ノズルが合成樹脂部材により構成されてお
    り、該樹脂部材の摺動面のみ金属化されていることを特
    徴とする吸着ノズル。
  6. 【請求項６】 請求項１ないし５の何れかにおいて、上
    記ホルダに摺動領域を外部に解放する通気窓が形成され
    ていることを特徴とする吸着ノズル。
  7. 【請求項７】 請求項１ないし６の何れかにおいて、上
    記摺動領域内に、上記ノズルが少なくとも１変位点に移
    動したときに該ノズルを付勢する付勢手段が配設されて
    いることを特徴とする吸着ノズル。
  8. 【請求項８】 請求項７において、上記付勢手段が、弾
    性部材であることを特徴とする吸着ノズル。
  9. 【請求項９】 請求項７において、上記付勢手段が、コ
    イルバネであることを特徴とする吸着ノズル。
  10. 【請求項１０】 請求項７において、上記付勢手段が、
    付勢力を変化させることが可能なリニアモータであるこ
    とを特徴とする吸着ノズル。
  11. 【請求項１１】 請求項７において、上記付勢手段が、
    付勢力を変化させることが可能なエアシリンダであるこ
    とを特徴とする吸着ノズル。
  12. 【請求項１２】 請求項１ないし１１の何れかに記載の
    吸着ノズルを用い、該吸着ノズルでワークを吸着保持し
    た状態で搬送することを特徴とするワーク搬送装置。
  13. 【請求項１３】 請求項１０又は１１に記載の吸着ノズ
    ルを用い、該吸着ノズルでワークを吸着保持した状態で
    搬送するとともに、上記吸着ノズルを付勢する付勢力
    が、ワークのピックアップ時とプレイス時とで異なる値
    に設定されていることを特徴とするワーク搬送装置。
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