JP3246203B2 - ガラス基板の搬送装置および搬送方法 - Google Patents
ガラス基板の搬送装置および搬送方法Info
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- JP3246203B2 JP3246203B2 JP17072894A JP17072894A JP3246203B2 JP 3246203 B2 JP3246203 B2 JP 3246203B2 JP 17072894 A JP17072894 A JP 17072894A JP 17072894 A JP17072894 A JP 17072894A JP 3246203 B2 JP3246203 B2 JP 3246203B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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- B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルなどのガラ
ス基板を搬送するガラス基板の搬送装置および搬送方法
に関するものである。
ス基板を搬送するガラス基板の搬送装置および搬送方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、液晶パネルなどのガラス基板にＴ
ＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）デ
バイスを自動実装する実装装置が実用化されるに至って
いる。このような実装装置には、ガラス基板を搬送する
ガラス基板の搬送装置が用いられている。
ＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）デ
バイスを自動実装する実装装置が実用化されるに至って
いる。このような実装装置には、ガラス基板を搬送する
ガラス基板の搬送装置が用いられている。
【０００３】図２０は従来のガラス基板の搬送装置の斜
視図であり、１は液晶パネルなどのガラス基板、２はガ
ラス基板１の上面を吸着する吸着パット３を有し、Ｘテ
ーブルＸＴ、ＹテーブルＹＴによりＸＹ方向に移動する
移載ヘッドである。即ち従来のガラス基板の搬送装置
は、吸着パット３、移載ヘッド２、ＸテーブルＸＴ、Ｙ
テーブルＹＴを備える。Ａはガラス基板１を位置決めす
る位置決め装置である。位置決め装置Ａのうち、４はＸ
モータ５により駆動されるＸテーブル、６はＹモータ７
により駆動されるＹテーブル、８はＹテーブル６上に設
けられ、ガラス基板１の下面を接地させる口字状の接地
面８ａを有する治具、８ｂは接地面８ａに開口する吸引
孔である。
視図であり、１は液晶パネルなどのガラス基板、２はガ
ラス基板１の上面を吸着する吸着パット３を有し、Ｘテ
ーブルＸＴ、ＹテーブルＹＴによりＸＹ方向に移動する
移載ヘッドである。即ち従来のガラス基板の搬送装置
は、吸着パット３、移載ヘッド２、ＸテーブルＸＴ、Ｙ
テーブルＹＴを備える。Ａはガラス基板１を位置決めす
る位置決め装置である。位置決め装置Ａのうち、４はＸ
モータ５により駆動されるＸテーブル、６はＹモータ７
により駆動されるＹテーブル、８はＹテーブル６上に設
けられ、ガラス基板１の下面を接地させる口字状の接地
面８ａを有する治具、８ｂは接地面８ａに開口する吸引
孔である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
のガラス基板の搬送装置は、ガラス基板１の上面を上方
から吸着パット３で吸着し移載ヘッド２と共にガラス基
板１を所定位置へ送り、吸着を解除して搬送を完了する
ようになっていた。
のガラス基板の搬送装置は、ガラス基板１の上面を上方
から吸着パット３で吸着し移載ヘッド２と共にガラス基
板１を所定位置へ送り、吸着を解除して搬送を完了する
ようになっていた。
【０００５】しかしながら、吸着パット３の吸着が不完
全であったり、搬送中に停電などの不測の事態が生ずる
と、吸着パット３からガラス基板１が外れて落下してし
まうおそれがある。ことにガラス基板１は非常にこわれ
やすい部材であって、このような落下事故が発生する
と、ガラス基板１の損傷は免れない。
全であったり、搬送中に停電などの不測の事態が生ずる
と、吸着パット３からガラス基板１が外れて落下してし
まうおそれがある。ことにガラス基板１は非常にこわれ
やすい部材であって、このような落下事故が発生する
と、ガラス基板１の損傷は免れない。
【０００６】そこで本発明は、落下事故のおそれなく安
全にガラス基板を搬送できるガラス基板の搬送装置およ
び搬送方法を提供することを目的とする。
全にガラス基板を搬送できるガラス基板の搬送装置およ
び搬送方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のガラス基板の搬
送装置は、ガラス基板の下面の一部を露呈した状態でこ
のガラス基板の下面を吸着して保持し、第１位置と目的
位置の間及び第２位置と目的位置の間を移動する作業テ
ーブルと、第１軌道上を移動し、第１位置に位置する作
業テーブルへガラス基板を搬送する第１支持部と、第２
軌道上を移動し、第２位置に位置する作業テーブル上の
ガラス基板を受け取って搬出する第２支持部と、作業テ
ーブルから露呈するガラス基板の下面を吸着する吸引部
と、前記作業テーブルをＸＹ移動させるＸモータとＹモ
ータとを備え、このＸモータとＹモータによって前記作
業テーブルを前記第１位置と目的位置及び第２位置と目
的位置の間を移動させる。また本発明のガラス基板の搬
送方法は、ガラス基板の下面の一部を露呈した状態でこ
のガラス基板の下面を吸着して保持する作業テーブル
と、この作業テーブルを第１位置と目的位置及び第２位
置と目的位置の間で移動させるＸモータとＹモータを備
えたガラス基板の搬送装置におけるガラス基板の搬送方
法であって、第１載置台上のガラス基板の下面を第１支
持部の上面に設けた吸引孔で吸着して第１支持部上に受
け取る第１工程と、ガラス基板を保持した前記第１支持
部を前記第１位置に位置する作業テーブル側へ移動させ
て作業テーブルの上面の吸引孔にこのガラス基板を吸引
して保持する第２工程と、前記Ｘモータ及びＹモータに
よりガラス基板を保持した作業テーブルを前記目的位置
へ移動させる第３工程と、この目的位置において前記作
業テーブルのガラス基板にノズルに吸着されたＴＣＰデ
バイスを実装する第４工程と、前記ＴＣＰデバイスが実
装されたガラス基板を保持する支持テーブルを前記Ｘモ
ータ及びＹモータにより前記第２位置へ移動させる第５
工程と、この第２位置において前記支持テーブルから露
呈するガラス基板の下面を第２支持部の上面に設けた吸
引孔で吸着してこのガラス基板を第２支持部に受け取る
第６工程と、前記第２支持部を前記第２載置台側へ移動
させてこの第２支持部に保持されたガラス基板を第２載
置台に受け渡す第７工程を含むものである。
送装置は、ガラス基板の下面の一部を露呈した状態でこ
のガラス基板の下面を吸着して保持し、第１位置と目的
位置の間及び第２位置と目的位置の間を移動する作業テ
ーブルと、第１軌道上を移動し、第１位置に位置する作
業テーブルへガラス基板を搬送する第１支持部と、第２
軌道上を移動し、第２位置に位置する作業テーブル上の
ガラス基板を受け取って搬出する第２支持部と、作業テ
ーブルから露呈するガラス基板の下面を吸着する吸引部
と、前記作業テーブルをＸＹ移動させるＸモータとＹモ
ータとを備え、このＸモータとＹモータによって前記作
業テーブルを前記第１位置と目的位置及び第２位置と目
的位置の間を移動させる。また本発明のガラス基板の搬
送方法は、ガラス基板の下面の一部を露呈した状態でこ
のガラス基板の下面を吸着して保持する作業テーブル
と、この作業テーブルを第１位置と目的位置及び第２位
置と目的位置の間で移動させるＸモータとＹモータを備
えたガラス基板の搬送装置におけるガラス基板の搬送方
法であって、第１載置台上のガラス基板の下面を第１支
持部の上面に設けた吸引孔で吸着して第１支持部上に受
け取る第１工程と、ガラス基板を保持した前記第１支持
部を前記第１位置に位置する作業テーブル側へ移動させ
て作業テーブルの上面の吸引孔にこのガラス基板を吸引
して保持する第２工程と、前記Ｘモータ及びＹモータに
よりガラス基板を保持した作業テーブルを前記目的位置
へ移動させる第３工程と、この目的位置において前記作
業テーブルのガラス基板にノズルに吸着されたＴＣＰデ
バイスを実装する第４工程と、前記ＴＣＰデバイスが実
装されたガラス基板を保持する支持テーブルを前記Ｘモ
ータ及びＹモータにより前記第２位置へ移動させる第５
工程と、この第２位置において前記支持テーブルから露
呈するガラス基板の下面を第２支持部の上面に設けた吸
引孔で吸着してこのガラス基板を第２支持部に受け取る
第６工程と、前記第２支持部を前記第２載置台側へ移動
させてこの第２支持部に保持されたガラス基板を第２載
置台に受け渡す第７工程を含むものである。
【０００８】
【作用】上記構成により、ガラス基板の搬送中に停電な
どの不測の事態を生じても、ガラス基板は、第１支持
部、第２支持部及び作業テーブルの少なくとも１つ以上
に下面を保持されており、落下することはない。
どの不測の事態を生じても、ガラス基板は、第１支持
部、第２支持部及び作業テーブルの少なくとも１つ以上
に下面を保持されており、落下することはない。
【０００９】
【実施例】次に図面を参照しながら本発明の実施例を説
明する。図１は本発明の第１の実施例におけるガラス基
板の搬送装置の斜視図、図２（ａ）〜（ｃ）、図３
（ａ）〜（ｃ）は本発明の第１の実施例におけるガラス
基板の搬送装置の移載動作説明図、図４〜図１１は本発
明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送装置の動作
説明図である。
明する。図１は本発明の第１の実施例におけるガラス基
板の搬送装置の斜視図、図２（ａ）〜（ｃ）、図３
（ａ）〜（ｃ）は本発明の第１の実施例におけるガラス
基板の搬送装置の移載動作説明図、図４〜図１１は本発
明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送装置の動作
説明図である。
【００１０】図１中、９は基台であり、その両脇に第１
副台１０及び第２副台１１が配設される。１３は第１副
台１０に立設される支柱１２により水平に支持され、Ｙ
方向に向かって開くコ字状をなす第１載置台、１５は第
２副台に立設される支柱１４により水平に支持され、第
１載置台１３と同形状をなす第２載置台である。１６は
Ｘ方向を長手方向として基台９上に載置されるベーステ
ーブル、１８はＹ方向を長手方向とし、ベーステーブル
１６上にＸ方向移動自在に載置され、ベーステーブル１
６に設けられたＸモータ１７に駆動されてＸ方向に移動
するＸテーブル、２０はＸテーブル１８上にＹ方向移動
自在に載置され、Ｘテーブル１８に設けられたＹモータ
１９によりＹ方向に移動する移動板、２１は移動板２０
の中央に設けられ、ガラス基板７０（図２参照）の下面
中央を吸着保持する作業テーブルである。ここで作業テ
ーブル２１は図示しないθモータを内蔵し、吸着保持し
たガラス基板Ｄを９０度、１８０度というように水平回
転させ、ガラス基板Ｄの向きを変更できるように構成さ
れている。図１に示す状態では、作業テーブル２１は受
渡ステーションＳ１に位置している。また作業テーブル
２１にガラス基板Ｄを吸着保持させ、Ｘモータ１７、Ｙ
モータ１９を駆動すると、ガラス基板Ｄを基台９上にお
いてＸＹ移動させることができる。なお第１載置台１
３、第２載置台１５は、作業テーブル２１の移動エリア
の両脇に位置している。
副台１０及び第２副台１１が配設される。１３は第１副
台１０に立設される支柱１２により水平に支持され、Ｙ
方向に向かって開くコ字状をなす第１載置台、１５は第
２副台に立設される支柱１４により水平に支持され、第
１載置台１３と同形状をなす第２載置台である。１６は
Ｘ方向を長手方向として基台９上に載置されるベーステ
ーブル、１８はＹ方向を長手方向とし、ベーステーブル
１６上にＸ方向移動自在に載置され、ベーステーブル１
６に設けられたＸモータ１７に駆動されてＸ方向に移動
するＸテーブル、２０はＸテーブル１８上にＹ方向移動
自在に載置され、Ｘテーブル１８に設けられたＹモータ
１９によりＹ方向に移動する移動板、２１は移動板２０
の中央に設けられ、ガラス基板７０（図２参照）の下面
中央を吸着保持する作業テーブルである。ここで作業テ
ーブル２１は図示しないθモータを内蔵し、吸着保持し
たガラス基板Ｄを９０度、１８０度というように水平回
転させ、ガラス基板Ｄの向きを変更できるように構成さ
れている。図１に示す状態では、作業テーブル２１は受
渡ステーションＳ１に位置している。また作業テーブル
２１にガラス基板Ｄを吸着保持させ、Ｘモータ１７、Ｙ
モータ１９を駆動すると、ガラス基板Ｄを基台９上にお
いてＸＹ移動させることができる。なお第１載置台１
３、第２載置台１５は、作業テーブル２１の移動エリア
の両脇に位置している。
【００１１】２２は基台９の後部に立設される支柱２
３，２４によりＸ方向を長手方向として水平に横架され
る基板下受杆であり、基板下受杆２２は、作業ステーシ
ョンＳ２においてガラス基板ＤにＴＣＰデバイスＰの実
装動作が行われる際、ガラス基板Ｄの実装部分（縁部）
付近を下方から支持する部材である。なおガラス基板の
搬送装置以外の構成要素であるが、４０は回転する装着
ヘッド、４１，４２は装着ヘッド４０の円周部に下向き
に設けられ、ＴＣＰデバイスＰを吸着するノズルであ
る。
３，２４によりＸ方向を長手方向として水平に横架され
る基板下受杆であり、基板下受杆２２は、作業ステーシ
ョンＳ２においてガラス基板ＤにＴＣＰデバイスＰの実
装動作が行われる際、ガラス基板Ｄの実装部分（縁部）
付近を下方から支持する部材である。なおガラス基板の
搬送装置以外の構成要素であるが、４０は回転する装着
ヘッド、４１，４２は装着ヘッド４０の円周部に下向き
に設けられ、ＴＣＰデバイスＰを吸着するノズルであ
る。
【００１２】２５は基台９の前部にＸ方向を移動方向と
して設けられるリニアモータ、２６はリニアモータ２５
によりＸ方向に移動する第１移動体、２７は第１移動体
２６に設けられ、その昇降杆２８を昇降させるエアシリ
ンダなどの第１アクチュエータ、２９は基端部が昇降杆
２８の上端部に連結された第１アーム、３０はＸ方向に
ほぼ平行で且つ、作業テーブル２１側に開いた開口部３
０ａを備えた第１支持部でありアーム２９の先端部に連
結している。３１はリニアモータ２５により第１移動体
２６とは独立に移動する第２移動体、３２は第２移動体
３１に設けられる第２アクチュエータ、３３は第２アク
チュエータ３２の昇降杆、３４は昇降杆３３と第２支持
部３５を連結する第２アームである。３５は第１支持部
３０と同じ形状を有し、且つ第１支持部３０と水平面内
での方向が１８０°異なる姿勢で第２アーム３４の先端
部に連結された第２支持部である。従って第２支持部３
５の開口部３５ａも作業テーブル２１側に向かって開い
ている。また図示しているように、第１載置台１３、第
２載置台１５、作業テーブル２１、第１支持部３０及び
第２支持部３５の上面には、ガラス基板Ｄの下面を着脱
自在に吸着する吸引孔ｈ（吸引部）が開口している。そ
して第１支持部３０と第２支持部３５は各々の開口部３
０ａ，３５ａの内側に作業テーブル２１を遊嵌すること
ができ、作業テーブル２１の周囲から露呈するガラス基
板Ｄの下面を吸着保持することができる。
して設けられるリニアモータ、２６はリニアモータ２５
によりＸ方向に移動する第１移動体、２７は第１移動体
２６に設けられ、その昇降杆２８を昇降させるエアシリ
ンダなどの第１アクチュエータ、２９は基端部が昇降杆
２８の上端部に連結された第１アーム、３０はＸ方向に
ほぼ平行で且つ、作業テーブル２１側に開いた開口部３
０ａを備えた第１支持部でありアーム２９の先端部に連
結している。３１はリニアモータ２５により第１移動体
２６とは独立に移動する第２移動体、３２は第２移動体
３１に設けられる第２アクチュエータ、３３は第２アク
チュエータ３２の昇降杆、３４は昇降杆３３と第２支持
部３５を連結する第２アームである。３５は第１支持部
３０と同じ形状を有し、且つ第１支持部３０と水平面内
での方向が１８０°異なる姿勢で第２アーム３４の先端
部に連結された第２支持部である。従って第２支持部３
５の開口部３５ａも作業テーブル２１側に向かって開い
ている。また図示しているように、第１載置台１３、第
２載置台１５、作業テーブル２１、第１支持部３０及び
第２支持部３５の上面には、ガラス基板Ｄの下面を着脱
自在に吸着する吸引孔ｈ（吸引部）が開口している。そ
して第１支持部３０と第２支持部３５は各々の開口部３
０ａ，３５ａの内側に作業テーブル２１を遊嵌すること
ができ、作業テーブル２１の周囲から露呈するガラス基
板Ｄの下面を吸着保持することができる。
【００１３】次に図２を参照しながら、第１載置台１３
にガラス基板Ｄが供給されてからこのガラス基板Ｄが作
業テーブル２１に保持されるまでの上下方向の動作につ
いて説明する。まず図２（ａ）に示すように、第１載置
台１３にガラス基板Ｄが載置されると、第１アクチュエ
ータ２７の昇降杆２８を引込ませ第１支持部３０の上面
の高さを第１載置台１３よりも下げた状態においてリニ
アモータ２５を駆動し、矢印Ｎ１で示すように第１支持
部３０を第１載置台１３の直下に移動させる。次に図２
（ｂ）の矢印Ｎ２で示すように第１アクチュエータ２７
を駆動し、昇降杆２８を突出させることにより第１支持
部３０を第１載置台１３よりも上方へ移動させ、第１支
持部３０の吸引孔ｈによってガラス基板Ｄを吸着保持す
る。勿論この際第１載置台１３の吸引孔ｈの吸引を停止
する。そしてリニアモータ２５を駆動して、矢印Ｎ３で
示すように、第１支持部３０の開口部３０ａを作業テー
ブル２１の真上に至らせる。次に作業テーブル２１の吸
引孔ｈからの吸引を開始し、第１支持部３０の吸引孔ｈ
からの吸引を停止する。そして図２（ｃ）の矢印Ｎ４で
示すように第１アクチュエータ２７を駆動し昇降杆２８
を引込ませ、作業テーブル２１の上面の高さよりも第１
支持部３０を下降させ、開口部３０ａの内側へ作業テー
ブル２１に遊嵌させる。これにより開口部３０ａから露
呈するガラス基板Ｄの下面が作業テーブル２１の上面に
着地し、ガラス基板Ｄは作業テーブル２１により吸着保
持される。しかる後、矢印Ｎ５で示すように第１支持部
３０を作業テーブル２１から離し、次のガラス基板が第
１載置台１３に供給するまで待機させる。
にガラス基板Ｄが供給されてからこのガラス基板Ｄが作
業テーブル２１に保持されるまでの上下方向の動作につ
いて説明する。まず図２（ａ）に示すように、第１載置
台１３にガラス基板Ｄが載置されると、第１アクチュエ
ータ２７の昇降杆２８を引込ませ第１支持部３０の上面
の高さを第１載置台１３よりも下げた状態においてリニ
アモータ２５を駆動し、矢印Ｎ１で示すように第１支持
部３０を第１載置台１３の直下に移動させる。次に図２
（ｂ）の矢印Ｎ２で示すように第１アクチュエータ２７
を駆動し、昇降杆２８を突出させることにより第１支持
部３０を第１載置台１３よりも上方へ移動させ、第１支
持部３０の吸引孔ｈによってガラス基板Ｄを吸着保持す
る。勿論この際第１載置台１３の吸引孔ｈの吸引を停止
する。そしてリニアモータ２５を駆動して、矢印Ｎ３で
示すように、第１支持部３０の開口部３０ａを作業テー
ブル２１の真上に至らせる。次に作業テーブル２１の吸
引孔ｈからの吸引を開始し、第１支持部３０の吸引孔ｈ
からの吸引を停止する。そして図２（ｃ）の矢印Ｎ４で
示すように第１アクチュエータ２７を駆動し昇降杆２８
を引込ませ、作業テーブル２１の上面の高さよりも第１
支持部３０を下降させ、開口部３０ａの内側へ作業テー
ブル２１に遊嵌させる。これにより開口部３０ａから露
呈するガラス基板Ｄの下面が作業テーブル２１の上面に
着地し、ガラス基板Ｄは作業テーブル２１により吸着保
持される。しかる後、矢印Ｎ５で示すように第１支持部
３０を作業テーブル２１から離し、次のガラス基板が第
１載置台１３に供給するまで待機させる。
【００１４】次に図３を参照しながら、作業テーブル２
１上のガラス基板Ｄを第２載置台１５に保持させるまで
の動作を説明する。この動作は、図２の動作を逆にした
ものと基本的に同じである。即ち、作業テーブル２１に
ガラス基板Ｄが保持されたら、図３（ａ）の矢印Ｎ６で
示すように第２支持部３５をガラス基板Ｄよりも低い高
さで水平方向に移動させて開口部３５ａに作業テーブル
２１を遊嵌し、作業テーブル２１の吸引孔ｈからの吸引
を停止し、第２支持部３５の吸引孔からの吸引を開始し
た後に矢印Ｎ７で示すように第２支持部３５を上昇さ
せ、第２支持部３５により作業テーブル２１の周囲に露
呈しているガラス基板Ｄの下面を保持する。矢印Ｎ８で
示すように第２支持部３５を第２載置台１５の真上に至
らせる。そして図３（ｃ）の矢印Ｎ９で示すように、第
２支持部３５を下降させ、ガラス基板Ｄを第２載置台１
５に保持させ、矢印Ｎ１０で示すように第２支持部３５
を第２載置台１５から離す。
１上のガラス基板Ｄを第２載置台１５に保持させるまで
の動作を説明する。この動作は、図２の動作を逆にした
ものと基本的に同じである。即ち、作業テーブル２１に
ガラス基板Ｄが保持されたら、図３（ａ）の矢印Ｎ６で
示すように第２支持部３５をガラス基板Ｄよりも低い高
さで水平方向に移動させて開口部３５ａに作業テーブル
２１を遊嵌し、作業テーブル２１の吸引孔ｈからの吸引
を停止し、第２支持部３５の吸引孔からの吸引を開始し
た後に矢印Ｎ７で示すように第２支持部３５を上昇さ
せ、第２支持部３５により作業テーブル２１の周囲に露
呈しているガラス基板Ｄの下面を保持する。矢印Ｎ８で
示すように第２支持部３５を第２載置台１５の真上に至
らせる。そして図３（ｃ）の矢印Ｎ９で示すように、第
２支持部３５を下降させ、ガラス基板Ｄを第２載置台１
５に保持させ、矢印Ｎ１０で示すように第２支持部３５
を第２載置台１５から離す。
【００１５】次に図４〜図１１を参照しながら、第１の
実施例におけるガラス基板の搬送装置の全体の動作を説
明する。ここで図４において、ＣＯは第１位置、第２位
置として共通の基準点であり、図４中作業テーブル２１
の中心は基準点ＣＯにある。また第１載置台１３の中心
を第１原点Ｃ１、第２載置台１５の中心を第２原点Ｃ２
と呼ぶことにする。すると、第１支持部３０の第１軌道
は、線分Ｃ１ＣＯであり、第２支持部３５の第２軌道は
線分Ｃ２ＣＯである。また本実施例では、第１軌道、第
２軌道がＸ方向と平行な直線上に存在している。このた
め、本実施例では第１支持部３０と第２支持部３５とを
共通のＸ方向移動手段としてのリニアモータ２５により
１ライン上において移動させるように構成することがで
き、装置全体をシンプルかつコンパクトに形成すること
ができる。
実施例におけるガラス基板の搬送装置の全体の動作を説
明する。ここで図４において、ＣＯは第１位置、第２位
置として共通の基準点であり、図４中作業テーブル２１
の中心は基準点ＣＯにある。また第１載置台１３の中心
を第１原点Ｃ１、第２載置台１５の中心を第２原点Ｃ２
と呼ぶことにする。すると、第１支持部３０の第１軌道
は、線分Ｃ１ＣＯであり、第２支持部３５の第２軌道は
線分Ｃ２ＣＯである。また本実施例では、第１軌道、第
２軌道がＸ方向と平行な直線上に存在している。このた
め、本実施例では第１支持部３０と第２支持部３５とを
共通のＸ方向移動手段としてのリニアモータ２５により
１ライン上において移動させるように構成することがで
き、装置全体をシンプルかつコンパクトに形成すること
ができる。
【００１６】さて図４に示すように第１載置台１３にガ
ラス基板Ｄが供給されると、図５に示すように第１支持
部３０によりガラス基板Ｄの下面を保持する。そして図
２で説明した動作により、第１支持部３０を基準点ＣＯ
まで至らせ、ガラス基板Ｄを作業テーブル２１へ受渡
す。ここで図６に示すように、第１支持部３０は作業テ
ーブル２１に干渉することなく、しかもガラス基板Ｄの
重心の回りを均等に保持することができ、ガラス基板Ｄ
の傾きや位置ずれなどを生ぜず、正確に受渡動作を行う
ことができる。次に図７に示すようにガラス基板Ｄを作
業テーブル２１に受渡した後第１支持部３０は作業テー
ブル２１を離れ、図８に示すようにＸモータ１７、Ｙモ
ータ１９が駆動され、作業テーブル２１と共にガラス基
板Ｄが作業ステーションＳ２側へ移送される。本例で
は、図８のＣ３が目的位置とされている。そして目的位
置Ｃ３にガラス基板Ｄが至ると、ガラス基板Ｄの縁部は
基板下受杆２２により下受けされる。そして図１に示し
たノズル４１などによりガラス基板ＤにＴＣＰデバイス
Ｐの実装動作が行われる。なお目的位置Ｃ３は複数ケ所
でもよい。
ラス基板Ｄが供給されると、図５に示すように第１支持
部３０によりガラス基板Ｄの下面を保持する。そして図
２で説明した動作により、第１支持部３０を基準点ＣＯ
まで至らせ、ガラス基板Ｄを作業テーブル２１へ受渡
す。ここで図６に示すように、第１支持部３０は作業テ
ーブル２１に干渉することなく、しかもガラス基板Ｄの
重心の回りを均等に保持することができ、ガラス基板Ｄ
の傾きや位置ずれなどを生ぜず、正確に受渡動作を行う
ことができる。次に図７に示すようにガラス基板Ｄを作
業テーブル２１に受渡した後第１支持部３０は作業テー
ブル２１を離れ、図８に示すようにＸモータ１７、Ｙモ
ータ１９が駆動され、作業テーブル２１と共にガラス基
板Ｄが作業ステーションＳ２側へ移送される。本例で
は、図８のＣ３が目的位置とされている。そして目的位
置Ｃ３にガラス基板Ｄが至ると、ガラス基板Ｄの縁部は
基板下受杆２２により下受けされる。そして図１に示し
たノズル４１などによりガラス基板ＤにＴＣＰデバイス
Ｐの実装動作が行われる。なお目的位置Ｃ３は複数ケ所
でもよい。
【００１７】次に、この実装動作が完了したら、図９で
示すように再びＸモータ１７、Ｙモータ１９が駆動さ
れ、作業テーブル２１の中心は基準点ＣＯまで戻る。ま
た本例ではこの時点で次のガラス基板ＤＮが第１載置台
１３上に供給されている。
示すように再びＸモータ１７、Ｙモータ１９が駆動さ
れ、作業テーブル２１の中心は基準点ＣＯまで戻る。ま
た本例ではこの時点で次のガラス基板ＤＮが第１載置台
１３上に供給されている。
【００１８】次に図３において説明した動作により、第
２支持部３５が作業テーブル２１に遊嵌され、実装済の
ガラス基板Ｄが第２支持部３５に保持される。一方、第
１載置台１３上に供給された次のガラス基板ＤＮはこの
動作と並行して第１支持部３０が移動することにより、
第１支持部３０により保持されている。次に、第１支持
部３０及び第２支持部３５を一緒に図１１の右方へ移動
させ、作業テーブル２１上のガラス基板Ｄを瞬時に次の
ガラス基板ＤＮに入れ換える。これにより無駄な動作時
間を極力抑制することができる。なお第２載置台１５上
に移った実装済のガラス基板Ｄは順次次工程へ搬出され
る。
２支持部３５が作業テーブル２１に遊嵌され、実装済の
ガラス基板Ｄが第２支持部３５に保持される。一方、第
１載置台１３上に供給された次のガラス基板ＤＮはこの
動作と並行して第１支持部３０が移動することにより、
第１支持部３０により保持されている。次に、第１支持
部３０及び第２支持部３５を一緒に図１１の右方へ移動
させ、作業テーブル２１上のガラス基板Ｄを瞬時に次の
ガラス基板ＤＮに入れ換える。これにより無駄な動作時
間を極力抑制することができる。なお第２載置台１５上
に移った実装済のガラス基板Ｄは順次次工程へ搬出され
る。
【００１９】次に本発明の第２の実施例を説明する。図
１２は本発明の第２の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の斜視図、図１３〜図１９は本発明の第２の実施例
におけるガラス基板の搬送装置の動作説明図である。第
２の実施例において第１の実施例と相違する点は、第２
支持部５０のみである。即ち、第２支持部５０は第１支
持部３０を反時計方向に９０度水平回転させた形状をな
し、作業ステーションＳ２に向けて開いた開口部５０ａ
を有する馬蹄形をなす。ここで第２支持部５０は、実装
済のガラス基板Ｄを作業テーブル２１から第２載置台１
５へ搬出する側の支持部であるが、このような向きにす
ることにより、次に述べるように第１の実施例よりもタ
クトタイムを一層短縮できる。
１２は本発明の第２の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の斜視図、図１３〜図１９は本発明の第２の実施例
におけるガラス基板の搬送装置の動作説明図である。第
２の実施例において第１の実施例と相違する点は、第２
支持部５０のみである。即ち、第２支持部５０は第１支
持部３０を反時計方向に９０度水平回転させた形状をな
し、作業ステーションＳ２に向けて開いた開口部５０ａ
を有する馬蹄形をなす。ここで第２支持部５０は、実装
済のガラス基板Ｄを作業テーブル２１から第２載置台１
５へ搬出する側の支持部であるが、このような向きにす
ることにより、次に述べるように第１の実施例よりもタ
クトタイムを一層短縮できる。
【００２０】次に図１３〜図１９を参照しながら第２の
実施例のガラス基板の搬送装置の動作を説明する。まず
図１３〜図１６は、第１の実施例の図４〜図７の動作と
同様の動作であり説明を省略する。そして図１７に示す
ようにガラス基板Ｄが作業テーブル２１と共に目的位置
Ｃ３へ移動する際、第２の実施例では、第２の支持部５
０を基準点ＣＯに位置させ、作業テーブル２１が基準点
ＣＯに戻るのを待ち構えておく。そしてガラス基板Ｄの
実装が終了し、作業テーブル２１が基準点ＣＯに戻って
くる際、図１８に示すように第２の支持部５０の開口部
５０ａは作業ステーションＳ２に向けて開いた形状をな
しているので、作業テーブル２１は第２支持部５０と何
ら干渉することなく、第２支持部５０の開口部の内側に
入り込むことができ基準点ＣＯに至る。このとき第１支
持部３０が次のガラス基板ＤＮを保持する点は第１の実
施例の通りである。以下図１９に示すように、第１の実
施例の図１１に相当する動作が行われる。即ち、第２の
実施例では、第１の実施例の図９の状態から図１０の状
態へ変化する第２支持部５０の退避動作を省略できるの
であって、それだけ一層タクトタイムを短縮できる。
実施例のガラス基板の搬送装置の動作を説明する。まず
図１３〜図１６は、第１の実施例の図４〜図７の動作と
同様の動作であり説明を省略する。そして図１７に示す
ようにガラス基板Ｄが作業テーブル２１と共に目的位置
Ｃ３へ移動する際、第２の実施例では、第２の支持部５
０を基準点ＣＯに位置させ、作業テーブル２１が基準点
ＣＯに戻るのを待ち構えておく。そしてガラス基板Ｄの
実装が終了し、作業テーブル２１が基準点ＣＯに戻って
くる際、図１８に示すように第２の支持部５０の開口部
５０ａは作業ステーションＳ２に向けて開いた形状をな
しているので、作業テーブル２１は第２支持部５０と何
ら干渉することなく、第２支持部５０の開口部の内側に
入り込むことができ基準点ＣＯに至る。このとき第１支
持部３０が次のガラス基板ＤＮを保持する点は第１の実
施例の通りである。以下図１９に示すように、第１の実
施例の図１１に相当する動作が行われる。即ち、第２の
実施例では、第１の実施例の図９の状態から図１０の状
態へ変化する第２支持部５０の退避動作を省略できるの
であって、それだけ一層タクトタイムを短縮できる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、停
電等の不測の事態を生じてもガラス基板の落下等を招く
おそれがなく、安全な搬送を実現できる。
電等の不測の事態を生じてもガラス基板の落下等を招く
おそれがなく、安全な搬送を実現できる。
【図１】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬
送装置の斜視図
送装置の斜視図
【図２】（ａ）本発明の第１の実施例におけるガラス基
板の搬送装置の移載動作説明図 （ｂ）本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の移載動作説明図 （ｃ）本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の移載動作説明図
板の搬送装置の移載動作説明図 （ｂ）本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の移載動作説明図 （ｃ）本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の移載動作説明図
【図３】（ａ）本発明の第１の実施例におけるガラス基
板の搬送装置の移載動作説明図 （ｂ）本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の移載動作説明図 （ｃ）本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の移載動作説明図
板の搬送装置の移載動作説明図 （ｂ）本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の移載動作説明図 （ｃ）本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬送
装置の移載動作説明図
【図４】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬
送装置の動作説明図
送装置の動作説明図
【図５】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬
送装置の動作説明図
送装置の動作説明図
【図６】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬
送装置の動作説明図
送装置の動作説明図
【図７】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬
送装置の動作説明図
送装置の動作説明図
【図８】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬
送装置の動作説明図
送装置の動作説明図
【図９】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の搬
送装置の動作説明図
送装置の動作説明図
【図１０】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図１１】本発明の第１の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図１２】本発明の第２の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の斜視図
搬送装置の斜視図
【図１３】本発明の第２の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図１４】本発明の第２の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図１５】本発明の第２の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図１６】本発明の第２の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図１７】本発明の第２の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図１８】本発明の第２の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図１９】本発明の第２の実施例におけるガラス基板の
搬送装置の動作説明図
搬送装置の動作説明図
【図２０】従来のガラス基板の搬送装置の斜視図
１３ 第１載置台 １５ 第２載置台 ２１ 作業テーブル ３０ 第１支持部 ３５ 第２支持部 Ｄ ガラス基板 ＣＯ 第１位置（第２位置） Ｃ１ＣＯ 第１軌道 Ｃ２ＣＯ 第２軌道 Ｃ３ 目的位置
Claims (6)
- 【請求項１】ガラス基板の下面の一部を露呈した状態で
このガラス基板の下面を吸着して保持し、第１位置と目
的位置の間及び第２位置と前記目的位置の間を移動する
作業テーブルと、第１軌道上を移動し、前記第１位置に
位置する前記作業テーブルへガラス基板を搬送する第１
支持部と、第２軌道上を移動し、前記第２位置に位置す
る前記作業テーブル上のガラス基板を受け取って搬出す
る第２支持部と、前記作業テーブルから露呈するガラス
基板の下面を吸着するために前記第１支持部及び第２支
持部に設けた吸引部と、前記作業テーブルをＸＹ移動さ
せるＸモータとＹモータとを備え、このＸモータとＹモ
ータによって前記作業テーブルを前記第１位置と目的位
置及び第２位置と目的位置の間を移動させることを特徴
とするガラス基板の搬送装置。 - 【請求項２】前記第１位置と前記第２位置が同一位置で
あり、かつ前記第１軌道と前記第２軌道が同一直線上に
存在していることを特徴とする請求項１記載のガラス基
板の搬送装置。 - 【請求項３】前記第１軌道上にガラス基板が一時的に載
置される第１載置台を設け、前記第２軌道上にガラス基
板が一時的に載置される第２載置台を設けたことを特徴
とする請求項１記載のガラス基板の搬送装置。 - 【請求項４】前記第１支持部を昇降させる第１アクチュ
エータを備え、この第１アクチュエータの駆動により前
記第１支持部を下降させることにより、前記作業テーブ
ル上にガラス基板を受け渡すようにし、また前記第２支
持部を昇降させる第２アクチュエータを備え、この第２
アクチュエータの駆動により前記第２支持部を上昇させ
ることにより、前記作業テーブル上のガラス板を受け取
るようにしたことを特徴とする請求項１〜３の何れかに
記載のガラス基板の搬送装置。 - 【請求項５】前記目的位置において前記作業テーブルに
保持されたガラス基板にＴＣＰデバイスを実装するノズ
ルを備え、実装が完了したガラス基板を前記Ｘモータ及
び前記Ｙモータによって前記第２位置へ移動することを
特徴とする請求項１記載のガラス基板の搬送装置。 - 【請求項６】ガラス基板の下面の一部を露呈した状態で
このガラス基板の下面を吸着して保持する作業テーブル
と、この作業テーブルを第１位置と目的位置及 び第２位
置と目的位置の間で移動させるＸモータとＹモータを備
えたガラス基板の搬送装置におけるガラス基板の搬送方
法であって、 第１載置台上のガラス基板の下面を第１支持部の上面に
設けた吸引孔で吸着して第１支持部上に受け取る第１工
程と、 ガラス基板を保持した前記第１支持部を前記第１位置に
位置する作業テーブル側へ移動させて作業テーブルの上
面の吸引孔にこのガラス基板を吸引して保持する第２工
程と、 前記Ｘモータ及びＹモータによりガラス基板を保持した
作業テーブルを前記目的位置へ移動させる第３工程と、 この目的位置において前記作業テーブルのガラス基板に
ノズルに吸着されたＴＣＰデバイスを実装する第４工程
と、 前記ＴＣＰデバイスが実装されたガラス基板を保持する
支持テーブルを前記Ｘモータ及びＹモータにより前記第
２位置へ移動させる第５工程と、 この第２位置において前記支持テーブルから露呈するガ
ラス基板の下面を第２支持部の上面に設けた吸引孔で吸
着してこのガラス基板を第２支持部に受け取る第６工程
と、 前記第２支持部を前記第２載置台側へ移動させてこの第
２支持部に保持されたガラス基板を第２載置台に受け渡
す第７工程を含むことを特徴とする ガラス基板の搬送方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17072894A JP3246203B2 (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | ガラス基板の搬送装置および搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17072894A JP3246203B2 (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | ガラス基板の搬送装置および搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0826475A JPH0826475A (ja) | 1996-01-30 |
| JP3246203B2 true JP3246203B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=15910296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17072894A Expired - Lifetime JP3246203B2 (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | ガラス基板の搬送装置および搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3246203B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6518410B2 (en) | 1999-02-26 | 2003-02-11 | Toyo Suisan Kaisha, Ltd. | Sulfoquinovosylacylglycerol derivative, and use thereof as medicaments |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10206833A (ja) * | 1997-01-24 | 1998-08-07 | Sharp Corp | 液晶パネル基板の搬送方法、その搬送装置及びその位置決め方法 |
| JP4701712B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2011-06-15 | パナソニック株式会社 | パネル供給装置およびパネル供給方法 |
| JP4581679B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2010-11-17 | パナソニック株式会社 | パネル組立装置およびパネル組立方法 |
| JP4747618B2 (ja) * | 2005-03-16 | 2011-08-17 | パナソニック株式会社 | パネル供給装置およびパネル搬送方法 |
| JP2008134439A (ja) * | 2006-11-28 | 2008-06-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フラットパネル供給方法及びフラットパネル組立装置 |
| JP5506203B2 (ja) * | 2009-02-03 | 2014-05-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表示パネル基板搬送装置及び表示パネルモジュール組立装置 |
| JP5317618B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2013-10-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表示パネルモジュール組立装置及び基板搬送装置 |
-
1994
- 1994-07-22 JP JP17072894A patent/JP3246203B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6518410B2 (en) | 1999-02-26 | 2003-02-11 | Toyo Suisan Kaisha, Ltd. | Sulfoquinovosylacylglycerol derivative, and use thereof as medicaments |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0826475A (ja) | 1996-01-30 |
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