JP2000174158A - ボールマウント装置 - Google Patents

ボールマウント装置

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    • HELECTRICITY
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    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、マウントヘッドがボールトレイ位置
とボールマウント位置との間の平面上の移動(X軸、Y
軸方向の移動)をする必要をなくし、位置決め精度が高
く、高速なボールマウント装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】本発明は、上記問題点を解決するため、次
のような手段を採用した。マウントヘッドによりワーク
にボールをマウントするボールマウント装置において、
マウントヘッド下方にワークを配置すると共に、マウン
トヘッドに上下方向のみのZ軸駆動機構を設け、ボール
を貯蔵するボールトレイをマウントヘッドとワークの間
の高さ位置に配備し、ボールトレイにはマウントヘッド
下方のボール吸着位置と待避位置間を往復する駆動機構
を設けたことを特徴とするボールマウント装置である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボールマウント装
置の改良に関するものであり、BGA(ボールグリッド
アレー)基板の回路面で端子となる半田ボールをマウン
トヘッドにて吸着して、BGA基板にマウントするBG
Aボールマウント装置を主眼に開発されたものである。
【0002】
【従来の技術】従来のボールマウント装置では、マウン
トヘッドが垂直方向の移動だけでなく平面上の移動も行
っていた。即ち、マウントヘッドが、ボールトレイ位置
へ移動して下降し、半田ボールを吸着し、ピックアップ
検査装置まで移動して検査後、ボールマウント位置へと
更に移動して下降し、BGA基板に半田ボールをマウン
トしていた。更に、必要な場合には、BGA基板の検査
をボールピックアップと並行して行っていた。
【0003】このような機構であると、マウントヘッド
の平面上の移動が多いため、サイクルタイムを速くする
とマウントヘッドの位置決め精度が低下する欠点が生
じ、反対に、位置決め精度を向上させるとサイクルタイ
ムが遅くなるという欠点が生じていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】第1の発明は、マウン
トヘッドがボールトレイ位置とボールマウント位置との
間の平面上の移動(X軸、Y軸方向の移動)をする必要
をなくし、位置決め精度が高く、高速なボールマウント
装置を提供することを目的とする。
【0005】第2の発明は、マウントヘッドが平面上の
移動を伴わず、Z軸一軸上で、ボールの吸着、ミッシン
グボール並びにダブルボールの検査、ボールのマウント
が可能な、高速かつ高精度のボールマウント装置を提供
することを目的とする。
【0006】第3の発明は、マウントヘッドの平面上の
移動を伴わず、Z軸一軸上で、ワークの位置決め、ボー
ルの吸着、ミッシングボール並びにダブルボールの検
査、ボールのマウントが可能な、高速かつ高精度なボー
ルマウント装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するため、次のような手段を採用した。第1の発明
として、マウントヘッドによりワークにボールをマウン
トするボールマウント装置において、マウントヘッド下
方にワークを配置すると共に、マウントヘッドに上下方
向のみのZ軸駆動機構を設け、ボールを貯蔵するボール
トレイをマウントヘッドとワークの間の高さ位置に配備
し、ボールトレイにはマウントヘッド下方のボール吸着
位置と待避位置間を往復する駆動機構を設けたことを特
徴とするボールマウント装置を提供するものである。
【0008】第2の発明として、マウントヘッドにより
ワークにボールをマウントするボールマウント装置にお
いて、マウントヘッド下方にワークを配置すると共に、
マウントヘッドに上下方向のみのZ軸駆動機構を設け、
ボールを貯蔵するボールトレイをマウントヘッドとワー
クの間の高さ位置に配備した支持ベース上に設置し、該
支持ベース上にミッシングボール検査装置及びダブルボ
ール検査装置を設け、該支持ベースにはマウントヘッド
下方のボール吸着位置と待避位置間を往復する駆動機構
を設けたことを特徴とするボールマウント装置を提供す
るものである。
【0009】第3の発明として、マウントヘッドにより
基板ステージ上のワークにボールをマウントするボール
マウント装置において、基板ステージに位置決め用駆動
機構を設け、マウントヘッドに上下方向のみのZ軸駆動
機構を設け、マウントヘッドとワークの間の高さ位置
に、ボールトレイの支持ベースと基板認識カメラを両者
が干渉しないよう配備し、支持ベース上にボールを貯蔵
するボールトレイ、ミッシングボール検査装置及びダブ
ルボール検査装置を設け、該支持ベースにマウントヘッ
ド下方のボール吸着位置と待避位置間を往復する駆動機
構を設け、基板認識カメラに基板ステージ上方の位置と
待避位置間を往復する少なくとも一軸の水平方向駆動機
構を設けたことを特徴とするボールマウント装置を提供
するものである。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図示の実施例と共に発明の
実施の形態について説明する。図1は、本発明が利用さ
れるボールマウンタの全体を示す説明図である。図示の
実施例では、ボールマウンタはBGA半田ボールマウン
タである。
【0011】該BGA半田ボールマウンタは、ワークと
なるBGA基板15にフラックスを転写するためのフラ
ックス供給装置1と、BGA基板15に半田ボールをマ
ウントするボールマウント装置2と、ボールマウントが
正しく行われたかをCCDカメラにて検査するマウント
検査装置3と、BGA基板15をフラックス供給装置1
からボールマウント装置2、マウント検査装置3へと搬
送する搬送装置4と、検査終了後BGA基板15を搬出
する搬出装置5とよりなる。
【0012】BGA基板15は、図示されていない搬入
装置により搬送装置4のコンベヤ(図示されていない)
上に供給される。コンベヤはBGA基板15をフラック
ス供給装置1へと搬送する。フラックスを転写後、BG
A基板15をボールマウント装置2へと搬送する。
【0013】ボールマウント装置2に本発明が現れる。
ボールマウント装置2は、マウントヘッド7によりボー
ルトレイ9内の半田ボール16を吸着し、基板ステージ
14上のBGA基板15に半田ボール16をマウントす
る装置である。図2は、本発明に係る第1実施例の概略
説明図であり、図3は、基板認識カメラ13を付加した
第2実施例の概略説明図である。
【0014】マウントヘッド7は、従来のマウントヘッ
ドと同様のものであるが、Z軸駆動機構のみが設けられ
ている点に特徴を有する。図1中符号6は、Z軸駆動機
構の駆動力となるヘッド昇降モータである。マウントヘ
ッド7は、図2及び図3の矢印に示されるように、ヘッ
ド昇降モータ6により上方の待避位置より基板ステージ
14上のBGA基板15の間をZ軸方向(上下方向)に
のみ昇降可能とされている。
【0015】図2に示す基板ステージ14は、マウント
ヘッド7と事前に位置調整が行われており、マウントヘ
ッド7の下方にBGA基板15が位置するよう設定され
ている。尚、図3及び図4に示されるような基板認識カ
メラ13が配備されている場合には、基板ステージ14
には位置決め補正用のX軸駆動機構、Y軸駆動機構と共
に回転Θ軸駆動機構を設ける。
【0016】半田ボール16を貯蔵するボールトレイ9
には、ボール吸着位置と待避位置間を往復する駆動機構
としてY軸駆動機構が設けられている。該駆動機構とし
ては回転による往復駆動機構等も考えられるが、実施例
ではY軸駆動機構とされている。Y軸駆動機構はボール
トレイ移動用モータ10によりボールトレイ9をY軸方
向(図2及び図3中矢印の示す左右方向)にのみ移動可
能とされている。ボールトレイ9は、ボールトレイ移動
用モータ10によりマウントヘッド7下方の半田ボール
吸着位置と、待避位置との間を往復移動可能である。図
1に示すボールトレイ9の位置は待避位置であり、図2
及び図3に示すボールトレイ9の位置は、マウントヘッ
ド7下方の半田ボール吸着位置である。
【0017】ボールトレイ9は、ボールトレイ移動用モ
ータ10により移動する支持ベース8に取り付けられて
いる。この支持ベース8には、ボールトレイ9の他、ミ
ッシングボール検査装置12、ダブルボール検査装置1
1が配備されている。尚、図2及び図3に示すように、
半田ボール吸着位置から支持ベース8が左方へと待避す
る場合には、左方からボールトレイ9、ミッシングボー
ル検査装置12、ダブルボール検査装置11の順に配備
する。即ち、マウントヘッド7が半田ボール16を吸着
した後に、その下方をミッシングボール検査装置12、
ダブルボール検査装置11が通過するよう配備する。こ
のように、Y軸駆動機構のボールトレイ移動用モータ1
0は検査用にも用いられるので、高精度のものが必要で
ある。
【0018】支持ベース8は、マウントヘッド7とBG
A基板15の間の高さ位置に配置され、支持ベース8の
下方で、やはりマウントヘッド7とBGA基板15の間
の高さ位置に基板認識カメラ13が配備される。
【0019】基板認識カメラ13は、図4に示されるよ
うにX軸及びY軸方向に移動可能である。高精度が要求
される場合にはコーナー毎に拡大画像の取り込みが必要
なため、2軸必要となるのである。高精度が要求されな
い場合には、1ショットでBGA基板15全体の画像を
取り込むので、1軸のみに移動可能な基板認識カメラ1
3でもよい。
【0020】尚、図示されていないが、マウントヘッド
7とBGA基板15の間にマウントヘッド7の半田ボー
ル認識カメラと、基板認識カメラ13を配備することに
より、半田ボール16及びBGA基板15のランドの同
時認識による半田ボール16のマウントが可能となる。
【0021】以下、基板認識カメラ13を有する実施例
の作動手順について説明する。BGA基板15はコンベ
ヤで基板ステージ14に供給され、ボールトレイ9がY
軸駆動機構により待避位置からマウントヘッド7下方の
ボール吸着位置へ移動する。マウントヘッド7が一旦下
降してバキュームにてボールトレイ9内の半田ボール1
6を吸着してからボール検査高さまで上昇する。
【0022】その後、ボールトレイ9の支持ベース8が
マウントヘッド7下部より待避位置に向かって移動す
る。この移動中に先ずミッシングボール検査装置12に
よりミッシングボールの検査を行い、続いてダブルボー
ル検査装置11によりダブルボールの検査を行う。異常
が検知された場合には半田ボール16の吸着動作をもう
一度行う。異常がない場合には支持ベース8が待避位置
まで移動する。
【0023】一方、ミッシングボール並びにダブルボー
ルの検査の間に、基板認識カメラ13が基板ステージ1
4上方に進入し、基板ステージ14上のBGA基板15
の画像認識を行う。基板ステージ14のX軸、Y軸、Θ
軸の各軸を移動させることによりマウントヘッド7の半
田ボール16の位置とBGA基板15のパターンを一致
させ、BGA基板15の位置決め補正を行う。ボールト
レイ9及び基板認識カメラ13の待避完了後、マウント
ヘッド7がBGA基板15まで下降し、半田ボール16
をBGA基板15にマウントする。
【0024】ボールマウントが終了すると、BGA基板
15はマウント検査装置3へ送られる。マウント検査装
置3では、CCDカメラでマウントが正しく行われたか
を判断する。検査終了後、搬出装置5にあるワーク保持
部材によりワークを搬出する。
【0025】
【発明の効果】本発明は、如上のように構成されるた
め、以下のような効果を発揮する。請求項1記載の発明
は、マウントヘッドに上下方向のみのZ軸駆動機構しか
設けず、X軸移動及びY軸移動といった平面上の移動を
させないため、これらの軸方向の停止精度を含まない高
精度のボールマウント装置とすることが可能となった。
このため、マウントヘッドに高速の駆動系を持たせるこ
とができ、高速なボールマウント装置にもなった。
【0026】請求項2記載の発明の効果ではあるが、マ
ウントヘッドには上下方向のみのZ軸駆動機構を設け、
マウントヘッドとワークの間の高さ位置に配備した支持
ベース上にボールトレイ、ミッシングボール検査装置、
ダブルボール検査装置を設け、一軸上で、ボールの吸
着、ミッシングボール並びにダブルボールの検査、ボー
ルのマウントを行うため、高速かつ高精度のボールマウ
ント装置となった。
【0027】請求項3記載の発明の効果ではあるが、基
板ステージには位置決め用駆動機構を設け、マウントヘ
ッドには上下方向のみのZ軸駆動機構を設け、マウント
ヘッドとワークの間の高さ位置に、支持ベースと基板認
識カメラを配備し、支持ベース上にボールトレイ、ミッ
シングボール検査装置、ダブルボール検査装置を設け、
一軸上で、ワークの位置決め、ボールの吸着、ミッシン
グボール並びにダブルボールの検査、ボールのマウント
を行うので、更に高速かつ高精度のボールマウント装置
を提供することができた。
【0028】請求項3記載の発明の第2の効果として、
支持ベースと基板認識カメラが干渉しないよう配備され
ているため、マウントヘッドがボール吸着動作中に、基
板認識カメラによるワークの位置補正を行うことがで
き、高速なボールマウントが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】マウンタの全体を示す説明図
【図2】ボールマウント装置の第1実施例を示す概略説
明図
【図3】ボールマウント装置の第2実施例を示す概略説
明図
【図4】ボールマウント装置の概略斜視図
【符号の説明】
1......フラックス供給装置 2......ボールマウント装置 3......マウント検査装置 4......搬送装置 5......搬出装置 6......ヘッド昇降モータ 7......マウントヘッド 8......支持ベース 9......ボールトレイ 10.....ボールトレイ移動用モータ 11.....ダブルボール検査装置 12.....ミッシングボール検査装置 13.....基板認識カメラ 14.....基板ステージ 15.....BGA基板 16.....半田ボール

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】マウントヘッドによりワークにボールをマ
    ウントするボールマウント装置において、マウントヘッ
    ド下方にワークを配置すると共に、マウントヘッドに上
    下方向のみのZ軸駆動機構を設け、ボールを貯蔵するボ
    ールトレイをマウントヘッドとワークの間の高さ位置に
    配備し、ボールトレイにはマウントヘッド下方のボール
    吸着位置と待避位置間を往復する駆動機構を設けたこと
    を特徴とするボールマウント装置。
  2. 【請求項2】マウントヘッドによりワークにボールをマ
    ウントするボールマウント装置において、マウントヘッ
    ド下方にワークを配置すると共に、マウントヘッドに上
    下方向のみのZ軸駆動機構を設け、ボールを貯蔵するボ
    ールトレイをマウントヘッドとワークの間の高さ位置に
    配備した支持ベース上に設置し、該支持ベース上にミッ
    シングボール検査装置及びダブルボール検査装置を設
    け、該支持ベースにはマウントヘッド下方のボール吸着
    位置と待避位置間を往復する駆動機構を設けたことを特
    徴とするボールマウント装置。
  3. 【請求項3】マウントヘッドにより基板ステージ上のワ
    ークにボールをマウントするボールマウント装置におい
    て、基板ステージに位置決め用駆動機構を設け、マウン
    トヘッドに上下方向のみのZ軸駆動機構を設け、マウン
    トヘッドとワークの間の高さ位置に、ボールトレイの支
    持ベースと基板認識カメラを両者が干渉しないよう配備
    し、支持ベース上にボールを貯蔵するボールトレイ、ミ
    ッシングボール検査装置及びダブルボール検査装置を設
    け、該支持ベースにマウントヘッド下方のボール吸着位
    置と待避位置間を往復する駆動機構を設け、基板認識カ
    メラに基板ステージ上方の位置と待避位置間を往復する
    少なくとも一軸の水平方向駆動機構を設けたことを特徴
    とするボールマウント装置。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100310706B1 (ko) * 1999-10-15 2001-10-18 윤종용 솔더볼 어탯치 시스템 및 그에 따른 솔더볼 어탯치 방법
US6830175B2 (en) 2003-02-05 2004-12-14 Carl T. Ito Solder ball dispenser
US6983872B2 (en) * 2003-06-03 2006-01-10 Asm Assembly Automation Ltd. Substrate alignment method and apparatus
SG126104A1 (en) * 2005-03-31 2006-10-30 Shibuya Kogyo Co Ltd Conductive ball mounting method, and apparatus therefor
US11440117B2 (en) * 2019-09-27 2022-09-13 Jian Zhang Multiple module chip manufacturing arrangement
KR20210101357A (ko) * 2020-02-07 2021-08-19 삼성전자주식회사 볼 배치 시스템 및 기판 상에 볼을 배치하는 방법

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994028580A1 (fr) * 1993-05-31 1994-12-08 Citizen Watch Co., Ltd. Systeme d'alimentation en billes de soudure
US5435482A (en) * 1994-02-04 1995-07-25 Lsi Logic Corporation Integrated circuit having a coplanar solder ball contact array
JP3528264B2 (ja) * 1994-08-19 2004-05-17 ソニー株式会社 ソルダーボールのマウント装置
JP3079921B2 (ja) * 1994-11-28 2000-08-21 松下電器産業株式会社 半田ボールの搭載装置および搭載方法
US5620927A (en) * 1995-05-25 1997-04-15 National Semiconductor Corporation Solder ball attachment machine for semiconductor packages
JP3158966B2 (ja) * 1995-06-19 2001-04-23 松下電器産業株式会社 バンプ付電子部品の製造装置および製造方法
KR100262844B1 (ko) * 1996-04-01 2000-09-01 모리시타 요이찌 도전성 보올의 탑재장치 및 방법
JP3228140B2 (ja) * 1996-08-19 2001-11-12 松下電器産業株式会社 導電性ボールの搭載方法
JP3301347B2 (ja) * 1997-04-22 2002-07-15 松下電器産業株式会社 導電性ボールの搭載装置および搭載方法
US5956134A (en) * 1997-07-11 1999-09-21 Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. Inspection system and method for leads of semiconductor devices
US6048750A (en) * 1997-11-24 2000-04-11 Micron Technology, Inc. Method for aligning and connecting semiconductor components to substrates

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