JP2003124762A - 水晶振動子組立装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 準備にかかる手間を抑制でき、破損させるこ
となく水晶片をパッケージに取り付けることができる水
晶振動子組立装置を提供する。 【解決手段】 水晶振動子組立装置１は回転テーブル１
１と第１計測カメラ１４ａと１次塗布ユニット１５と水
晶載置ユニット１７を備えている。回転テーブル１１は
保持治具２２を複数設けている。保持治具２２はセラミ
ックパッケージを載置する。第１計測カメラ１４ａは保
持治具２２上のセラミックパッケージを撮像する。１次
塗布ユニット１５はセラミックパッケージに接着剤を塗
布する。水晶載置ユニット１７は水晶片を吸着する先細
部と水晶計測カメラとを備えている。水晶計測カメラは
先細部に吸着された水晶片を撮像する。水晶振動子組立
装置１は、保持治具２２とセラミックパッケージとの相
対的な位置と、先細部と水晶片との相対的な位置と、に
基づいてセラミックパッケージに水晶片を重ねる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電振動素子とし
ての水晶片をパッケージに取り付けて、電子機器として
の携帯電話などに用いられる水晶振動子を組み立てる水
晶振動子組立装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子機器としての携帯電話には、圧電振
動素子としての水晶片を、パッケージ内に収容して構成
される水晶振動子（水晶発振器ともいう）が用いられて
いる。前記パッケージは、絶縁性を有する基板と、この
基板上に実装される回路素子などを備えている。前述し
たパッケージに、前記水晶片を取り付ける装置として従
来から種々の組立装置が用いられてきた。

【０００３】前述した従来の組立装置は、前記パッケー
ジの電極に導電性を有する接着剤を塗布し、この接着剤
が硬化する前に前記水晶片を前記パッケージに重ねる。
塗布した接着剤が硬化すると、前記水晶片は前記パッケ
ージに固定される。このように従来の組立装置は、前記
パッケージに水晶片を取り付けてきた。

【０００４】また、前記水晶片は、前記パッケージの所
定の位置に固定される必要がある。このため、前述した
従来の組立装置は、例えば、特開平５−１９８９７４号
公報、特開平３−６３０００号公報及び特開昭６３−３
０６７００号公報などに示された位置決め装置を用い
て、前記パッケージ及び水晶片を位置決めしてきた。

【０００５】前述した公報に示された位置決め装置は、
四方から互いに接離自在な四つの爪を備え、これら四つ
の爪間に前記パッケージ及び水晶片を挟んで位置決めし
ていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た公報に示された位置決め装置は、前述したように四つ
の爪間にパッケージ及び水晶片を挟んで位置決めするた
め、前記爪が摩耗する。すると、前記パッケージ及び水
晶片を所定の位置に位置決めすることが困難となって、
前記爪を交換する必要が生じる。

【０００７】また、前述した公報に示された位置決め装
置は、パッケージ及び水晶片の品番が変化して、これら
パッケージ及び水晶片の外形寸法が変化すると、前記爪
を交換する必要が生じる。このように、前述した公報に
示された位置決め装置は、位置決めするパッケージ及び
水晶片の品番毎に、爪を交換する必要があった。さら
に、爪が直接、パッケージ及び水晶片に接触するので、
前記四つの爪間にパッケージ及び水晶片を挟む際など
に、パッケージ及び水晶片が破損する恐れがあった。

【０００８】このように、従来の位置決め装置を用いる
と、組立装置は、爪を交換する必要が生じるなどの組立
作業の準備にかかる手間が増加する。さらに、従来の位
置決め装置は、パッケージ及び水晶片を破損させる恐れ
があった。

【０００９】したがって、本発明の目的は、取付作業の
準備にかかる手間を抑制でき、かつ破損させることなく
水晶片をパッケージに取り付けることができる水晶振動
子組立装置を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１に記載の本発明の水晶振動子
組立装置は、パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動
子組立装置において、前記パッケージを載置する保持治
具と、前記パッケージと該パッケージを載置した保持治
具とを撮像可能な第１の撮像手段と、前記パッケージに
導電性を有する接着剤を塗布する塗布手段と、前記第１
の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パッケージ
と該パッケージを載置した保持治具との相対的な位置を
求め、この相対的な位置に基づいて前記塗布手段に前記
パッケージの適切な位置に前記接着剤を塗布させる制御
手段と、を備えたことを特徴としている。

【００１１】請求項２に記載の本発明の水晶振動子組立
装置は、パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組
立装置において、前記水晶片を保持して前記パッケージ
に重ねる載置手段と、前記水晶片と該水晶片を保持した
載置手段とを撮像可能な第２の撮像手段と、を備え、第
２の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記水晶片と
該水晶片を保持した載置手段との相対的な位置を求め、
この相対的な位置に基いて前記載置手段に前記パッケー
ジの適切な位置に前記水晶片を重ねさせる前記制御手段
と、を備えたことを特徴としている。

【００１２】請求項３に記載の本発明の水晶振動子組立
装置は、パッケージに水晶片を取り付ける水晶振動子組
立装置において、前記パッケージを載置する保持治具
と、前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具
とを撮像可能な第１の撮像手段と、前記パッケージに導
電性を有する接着剤を塗布する塗布手段と、前記水晶片
を保持して前記パッケージに重ねる載置手段と、前記水
晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能な第２
の撮像手段と、前記第１の撮像手段が撮像して得た画像
情報から前記パッケージと該パッケージを載置した保持
治具との相対的な位置を求め、この相対的な位置に基づ
いて前記塗布手段に前記パッケージの適切な位置に導電
性を有する接着剤を塗布させるとともに、第２の撮像手
段が撮像して得た画像情報から前記水晶片と該水晶片を
保持した載置手段との相対的な位置を求め、前記保持治
具と前記パッケージとの相対的な位置と、前記載置手段
と前記水晶片との相対的な位置と、に基いて前記載置手
段に前記パッケージの適切な位置に前記水晶片を重ねさ
せる制御手段と、を備えたことを特徴としている。

【００１３】請求項４に記載の本発明の水晶振動子組立
装置は、請求項１または請求項３に記載の水晶振動子組
立装置において、前記保持治具は、前記パッケージが載
置される載置面と、前記載置面に開口した貫通孔と、を
備え、前記貫通孔を通して外気を吸引することにより前
記載置面に前記パッケージを吸着することを特徴として
いる。

【００１４】請求項５に記載の本発明の水晶振動子組立
装置は、請求項２または請求項３に記載の水晶振動子組
立装置において、前記載置手段は、前記水晶片を保持す
る保持面と、前記保持面に開口した第２の貫通孔と、を
備え、前記第２の貫通孔を通して外気を吸引することに
より前記保持面に前記水晶片を吸着することを特徴とし
ている。

【００１５】請求項１に記載された本発明によれば、第
１の撮像手段が撮像して得たパッケージと保持治具との
相対的な位置に基いて、パッケージに接着剤を塗布す
る。このため、パッケージを位置決めすることなく、パ
ッケージの適切な位置に接着剤を塗布できる。

【００１６】請求項２に記載された本発明によれば、第
２の撮像手段が撮像して得た載置手段と水晶片との相対
的な位置に基いて、水晶片をパッケージに重ねる。この
ため、パッケージと水晶片を位置決めすることなく、パ
ッケージの適切な位置に水晶片を重ねることができる。

【００１７】請求項３に記載された本発明によれば、第
１の撮像手段が撮像して得た保持治具とパッケージとの
相対的な位置と、第２の撮像手段が撮像して得た載置手
段と水晶片との相対的な位置と、に基いて、水晶片をパ
ッケージに重ねる。このため、パッケージと水晶片とを
位置決めすることなく、より確実にパッケージの適切な
位置に水晶片を重ねることができる。

【００１８】請求項４に記載された本発明によれば、保
持治具が載置面にパッケージを吸着するので、保持治具
に載置されたパッケージが位置ずれすることを防止でき
る。このため、水晶片をパッケージに取り付ける作業中
に、第１の撮像手段が撮像して得た位置からパッケージ
が位置ずれすることを防止できる。

【００１９】請求項５に記載された本発明によれば、載
置手段が保持面に水晶片を吸着するので、載置手段に保
持された水晶片が位置ずれすることを防止できる。この
ため、水晶片をパッケージに取り付ける作業中に、第２
の撮像手段が撮像して得た位置から水晶片が位置ずれす
ることを防止できる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態にかか
る水晶振動子組立装置１を、図１ないし図４９を参照し
て説明する。図１などに示す水晶振動子組立装置１は、
図３及び図４などに示すパッケージとしてのセラミック
パッケージ２に、圧電振動素子としての水晶片３（図５
及び図６に示す）を取り付けて、水晶振動子（水晶発振
器ともいう）を組み立てる装置である。

【００２１】セラミックパッケージ２は、平面形状が矩
形状に形成されており、セラミックなどからなる周知の
絶縁基板と、回路素子などが積層されて構成されてい
る。セラミックパッケージ２は、図３及び図４に示すよ
うに、外縁部が、他の部分より厚く形成されており、前
記外縁部の内側に前記回路素子などと電気的に接続した
電極５を複数設けている。

【００２２】図５及び図６に示すように、セラミックパ
ッケージ２の電極５に導電性を有する接着剤６が塗布さ
れる。該接着剤６によって水晶片３が、電極５と固定さ
れる。そして、接着剤６によって、電極５と水晶片３と
は、電気的に接続する。

【００２３】水晶振動子組立装置１は、前記セラミック
パッケージ２の電極５に接着剤６を塗布して、水晶片３
を電極５に固定する装置である。水晶振動子組立装置１
は、図１及び図２に示すように、装置本体としてのフレ
ーム１０と、搬送手段としての回転テーブル１１と、パ
ッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット
１３と、計測カメラ１４と、塗布手段としての１次塗布
ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユ
ニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット
１９と、取り出しユニット２０と、制御手段としての制
御装置６０と、を備えている。

【００２４】フレーム１０は、図１などに示すように、
工場などのフロア７上に載置される。フレーム１０は、
板状のベース板８ａと、板状の天井板８ｂと、複数の扉
９などを備えている。ベース板８ａは、水平方向に沿っ
て略平坦に形成されている。

【００２５】ベース板８ａ上には、回転テーブル１１
と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユ
ニット１３と、計測カメラ１４と、１次塗布ユニット１
５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載置ユニット１７
と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニット１９と、取
り出しユニット２０と、が設置されている。

【００２６】なお、ベース板８ａ上には、回転テーブル
１１を中心として、時計回りに順に、パッケージ搬入ユ
ニット１２及びパッケージ載置ユニット１３と、後述の
第１計測カメラ１４ａと、１次塗布ユニット１５と、後
述の第２計測カメラ１４ｂと、水晶搬入ユニット１６及
び水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、
後述の第３計測カメラ１４ｃと、搬出ユニット１９及び
取り出しユニット２０と、が設置されている。

【００２７】天井板８ｂは、ベース板８ａの上方に間隔
を存して設けられている。天井板８ｂは、水平方向に沿
って略平坦に形成されている。扉９は、ベース板８ａと
天井板８ｂとの間に設けられている。扉９は、ベース板
８ａと天井板８ｂとの間の空間を、解放する位置と覆う
位置とに亘って、ベース板８ａと天井板８ｂに回転自在
に支持されている。即ち、扉９は、フレーム１０内を開
閉する。又、フレーム１０は、制御装置６０を取り付け
ている。

【００２８】回転テーブル１１は、図２に示すように、
ベース板８ａの略中央に設けられている。回転テーブル
１１は、図７及び図８に示すように、円板状のテーブル
本体２１と、複数の保持治具２２と、駆動モータ２３
と、を備えている。テーブル本体２１は、表面が水平方
向に沿っている。テーブル本体２１は、その中心を通り
かつ鉛直方向に沿う軸線Ｑ回りに回転自在に、ベース板
８ａに支持されている。テーブル本体２１は、ベース板
８ａに取り付けられた前述した駆動モータ２３によっ
て、前記軸線Ｑ回りに回転される。

【００２９】保持治具２２は、テーブル本体２１の外縁
部に設けられている。保持治具２２は、軸線Ｑを中心と
した周方向に沿って並設されている。なお、図示例で
は、保持治具２２は、前記周方向に沿って等間隔に、８
個設けられている。保持治具２２は、図９などに示すよ
うに、治具本体２２ａと、該治具本体２２ａから立設し
た円柱部２４と、治具本体２２ａと円柱部２４とを貫通
した貫通孔２５（図９ないし図１１に示す）と、を備え
ている。

【００３０】治具本体２２ａは、方体状に形成されかつ
テーブル本体２１の表面に、ボルトなどによって固定さ
れる。治具本体２２ａは、テーブル本体２１に固定され
ると、このテーブル本体２１の表面から上方に突出す
る。円柱部２４は、円柱状に形成されかつ治具本体２２
ａから立設している。円柱部２４の治具本体２２ａから
離れた上面２４ａは、平面形状が円形でかつ水平方向に
沿って平坦に形成されている。なお、この上面２４ａ
は、本明細書の特許請求の範囲などに記載された載置面
をなしているとともに、保持治具２２の上面をなしてい
る。

【００３１】また、貫通孔２５の一端は、図１０に示す
ように、テーブル本体２１に固定された治具本体２２ａ
の上面２４ａに開口している。貫通孔２５の他端側に
は、吸引手段を構成する吸引配管２６が連結している。
吸引配管２６は、各保持治具２２からテーブル本体２１
の中心方向に向かって延びている。吸引配管２６は、テ
ーブル本体２１の中央部で、各保持治具２２に連結した
もの同士が一体となって、吸引装置２７（図８に示す）
に連結している。吸引装置２７として周知の真空ポンプ
を用いることができる。

【００３２】吸引装置２７が、吸引配管２６及び貫通孔
２５を通して、外気を吸引する。すると、後述するよう
に、セラミックパッケージ２が、治具本体２２ａ即ち保
持治具２２の上面２４ａに吸着される。

【００３３】前述した構成の回転テーブル１１は、駆動
モータ２３によって軸線Ｑを中心として、時計回り（図
中の矢印Ｒに沿う方向）に回転されることによって、保
持治具２２に保持したセラミックパッケージ２を、パッ
ケージ搬入ユニット１２及びパッケージ載置ユニット１
３の近傍と、第１計測カメラ１４ａの近傍と、１次塗布
ユニット１５の近傍と、第２計測カメラ１４ｂの近傍
と、水晶搬入ユニット１６及び水晶載置ユニット１７の
近傍と、２次塗布ユニット１８の近傍と、第３計測カメ
ラ１４ｃの近傍と、搬出ユニット１９及び取り出しユニ
ット２０の近傍に、順に搬送する。

【００３４】即ち、回転テーブル１１は、セラミックパ
ッケージ２を、パッケージ搬入ユニット１２及びパッケ
ージ載置ユニット１３と、１次塗布ユニット１５と、水
晶載置ユニット１７と、搬出ユニット１９及び取り出し
ユニット２０に、順に搬送する。

【００３５】パッケージ搬入ユニット１２は、図２に示
すように、回転テーブル１１の外周側に設けられてい
る。パッケージ搬入ユニット１２には、回転テーブル１
１の外周側から、トレー３６が供給される。トレー３６
は、矩形状の平板状に形成されている。トレー３６は、
表面に、多数のセラミックパッケージ２を、２次元のマ
トリック状に並べる。

【００３６】パッケージ搬入ユニット１２は、図１２及
び図１３に示すように、スライドシリンダ２８と、一対
のガイドレール２９と、シリンダ３０と、一対のチャッ
ク３１ａ，３１ｂと、を備えている。スライドシリンダ
２８は、長手方向が回転テーブル１１のテーブル本体２
１の径方向に沿った直線状のロッド３２と、ロッド３２
に対しスライドするシリンダ本体３３と、を備えてい
る。一対のガイドレール２９は、ロッド３２と平行であ
る。シリンダ３０は、シリンダ本体３３に固定されたシ
リンダ本体３４と、このシリンダ本体３４から鉛直方向
に沿って伸縮自在な伸縮ロッド３５と、を備えている。
一対のチャック３１ａ，３１ｂは、伸縮ロッド３５が伸
縮すると、互いに接離して、互いの間にトレー３６を挟
む。

【００３７】前述した構成のパッケージ搬入ユニット１
２は、シリンダ本体３３が、回転テーブル１１のテーブ
ル本体２１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド３５が伸
長した後、縮小して、チャック３１ａ，３１ｂ間にトレ
ー３６を挟む。そして、シリンダ本体３３内に加圧され
た気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体３３
が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かって移動
する。こうして、パッケージ搬入ユニット１２は、トレ
ー３６即ちセラミックパッケージ２を、回転テーブル１
１の近傍に搬入する。

【００３８】パッケージ載置ユニット１３は、図２及び
図１４などに示すように、パッケージ搬入ユニット１２
の近傍に設けられている。パッケージ載置ユニット１３
は、図１４及び図１５に示すように、移動部３７と、載
置ヘッド部３８と、を備えている。

【００３９】移動部３７は、図１４及び図１５に示すよ
うに、Ｙ軸駆動部３９と、Ｘ軸駆動部４０と、を備えて
いる。Ｙ軸駆動部３９は、駆動モータ４１と、ボールね
じ４２などを備えている。駆動モータ４１は、ベース板
８ａに固定されている。

【００４０】ボールねじ４２は、リードスクリュー４３
と、ナット４４などを備えている。リードスクリュー４
３は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー
４３は、長手方向が、一対のガイドレール２９とロッド
３２と平行である。リードスクリュー４３は、周知の転
がり軸受などによって、ベース板８ａに、軸芯回りに回
転自在に支持されている。リードスクリュー４３には、
駆動モータ４１の出力軸が連結している。

【００４１】ナット４４は、リードスクリュー４３の外
周に螺合している。ナット４４は、リードスクリュー４
３がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー４
３の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット４４は、
リードスクリュー４３が回転すると、回転テーブル１１
のテーブル本体２１に接離する。

【００４２】Ｘ軸駆動部４０は、駆動モータ４５と、ボ
ールねじ４６などを備えている。駆動モータ４５は、Ｙ
軸駆動部３９のナット４４に固定されている。ボールね
じ４６は、リードスクリュー４７と、ナット４８などを
備えている。リードスクリュー４７は、一方向に沿って
延在している。リードスクリュー４７は、長手方向が、
一対のガイドレール２９とロッド３２に交差している。
なお、図示例では、リードスクリュー４７の長手方向
と、一対のガイドレール２９とロッド３２との双方の長
手方向は、互いに直交している。

【００４３】リードスクリュー４７は、周知の転がり軸
受などによって、ナット４４に、軸芯回りに回転自在に
支持されている。リードスクリュー４７には、駆動モー
タ４５の出力軸が連結している。

【００４４】ナット４８は、リードスクリュー４７の外
周に螺合している。ナット４８は、リードスクリュー４
７がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー４
７の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット４８は、
リードスクリュー４７が回転すると、回転テーブル１１
のテーブル本体２１に接線に沿って、移動する。

【００４５】載置ヘッド部３８は、図１４及び図１５な
どに示すように、Ｘ軸駆動部４０のナット４８に固定さ
れている。載置ヘッド部３８は、図１６及び図１７に示
すように、ヘッド部本体４９と、リニアガイドシリンダ
５０と、吸着部５１と、チャックシリンダ５２と、一対
のパッケージチャック５３と、を備えている。

【００４６】ヘッド部本体４９は、断面Ｔ状の柱状に形
成されており、長手方向が鉛直方向に沿っている。ヘッ
ド部本体４９は、ナット４８に固定されており、該ナッ
ト４８から立設している。リニアガイドシリンダ５０
は、ヘッド部本体４９に固定されたシリンダ本体５４
と、鉛直方向に沿いかつシリンダ本体５４に固定された
レール５５と、レール５５に移動自在に支持されたスラ
イダ５６と、を備えている。

【００４７】リニアガイドシリンダ５０は、シリンダ本
体５４内に加圧された気体が供給されると、スライダ５
６がレール５５に沿って移動する。即ち、リニアガイド
シリンダ５０は、シリンダ本体５４内に加圧された気体
が供給されると、スライダ５６が昇降する。なお、スラ
イダ５６は、図１６及び図１７に示す一対のパッケージ
チャック５３間に吸着部５１の後述する下端面５１ａが
位置する上死点と、図１９及び図２０に示す下端面５１
ａが一対のパッケージチャック５３間から下方に向かっ
て突出した下死点と、に亘って、移動する。

【００４８】吸着部５１は、リニアガイドシリンダ５０
のスライダ５６に固定されている。吸着部５１は、リニ
アガイドシリンダ５０のスライダ５６から下方即ちトレ
ー３６に向かって延在している。吸着部５１のトレー３
６寄りの下端部には、貫通孔５７（図１８に示す）が設
けられている。

【００４９】貫通孔５７は、一端が吸着部５１のトレー
３６寄りの下端面５１ａに開口しており、他端には配管
が連結する。該配管は、例えば、周知の真空ポンプなど
の吸引装置などと連結している。吸着部５１は、前記真
空ポンプが貫通孔５７などを通して外気を吸い込んで、
セラミックパッケージ２を前記下端面５１ａに吸着す
る。

【００５０】チャックシリンダ５２は、ヘッド部本体４
９に固定されている。チャックシリンダ５２は、一対の
パッケージチャック５３を接離させる。一対のパッケー
ジチャック５３は、水平方向に沿って並設されている。
一対のパッケージチャック５３は、図１８に示すよう
に、互いの間に吸着部５１の下端部を挟む位置に設けら
れている。一対のパッケージチャック５３は、互いに近
づくと、図１８に示すように、吸着部５１に吸着したセ
ラミックパッケージ２を挟む。

【００５１】前述した構成のパッケージ載置ユニット１
３は、Ｙ軸駆動部３９の駆動モータ４１とＸ軸駆動部４
０の駆動モータ４５を駆動して、吸着部５１の下端面５
１ａを、トレー３６上の所望のセラミックパッケージ２
に相対させる。このとき、スライダ５６は前述した上死
点に位置している。

【００５２】そして、リニアガイドシリンダ５０を駆動
して、スライダ５６を下死点に移動させるとともに、吸
引装置を駆動して貫通孔５７を通して外気を吸い込む。
すると、下端面５１ａは、図１９及び図２０に示すよう
に、一対のパッケージチャック５３から下方に突出し、
該下端面５１ａにセラミックパッケージ２が吸着する。

【００５３】そして、リニアガイドシリンダ５０を駆動
して、スライダ５６を上死点に移動させるとともに、Ｙ
軸駆動部３９の駆動モータ４１とＸ軸駆動部４０の駆動
モータ４５を駆動して、吸着部５１の下端面５１ａ即ち
セラミックパッケージ２を、回転テーブル１１の保持治
具２２に相対させる。スライダ５６を下死点に移動させ
るとともに、吸引装置を停止する。下端面５１ａに吸着
されていたセラミックパッケージ２が、保持治具２２上
に載置される。

【００５４】このように、パッケージ載置ユニット１３
は、パッケージ搬入ユニット１２によって搬入されたセ
ラミックパッケージ２を、トレー３６から保持治具２２
即ち回転テーブル１１に移送して、該保持治具２２に載
置する。なお、前記パッケージ搬入ユニット１２とパッ
ケージ載置ユニット１３とは、本明細書に記した搬入手
段を構成している。

【００５５】計測カメラ１４は、図２及び図２１に示す
ように、回転テーブル１１の外周側に設けられている。
計測カメラ１４は、図示例では、三つ設けられている。
一つの計測カメラ１４（以下第１計測カメラ１４ａと呼
ぶ）は、回転テーブル１１の周方向に沿って、パッケー
ジ搬入ユニット１２と１次塗布ユニット１５との間に設
けられている。

【００５６】他の一つの計測カメラ１４（以下第２計測
カメラ１４ｂと呼ぶ）は、回転テーブル１１の周方向に
沿って、１次塗布ユニット１５と水晶搬入ユニット１６
との間に設けられている。残りの計測カメラ１４（以下
第３計測カメラ１４ｃと呼ぶ）は、回転テーブル１１の
周方向に沿って、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニッ
ト１９との間に設けられている。なお、これらの計測カ
メラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃは、構成及び機能が同一で
ある。

【００５７】計測カメラ１４（１４ａ，１４ｂ，１４
ｃ）は、図２１及び図２２に示すように、ユニット本体
６１と、ＣＣＤカメラ６２と、光源ランプ６３と、を備
えている。ユニット本体６１は、ベース板８ａに固定さ
れている。ユニット本体６１は、ベース板８ａから立設
した柱状に形成されている。ＣＣＤカメラ６２は、保持
治具２２に載置されたセラミックパッケージ２を撮像可
能である。光源ランプ６３は、ハーフミラー６４などを
介して、保持治具２２に載置されたセラミックパッケー
ジ２に光を当てることが可能である。

【００５８】第１計測カメラ１４ａは、パッケージ載置
ユニット１３によって保持治具２２上に載置されたセラ
ミックパッケージ２を撮像して、該保持治具２２上のセ
ラミックパッケージ２の画像を制御装置６０に向かって
出力する。第１計測カメラ１４ａは、本明細書の特許請
求の範囲などに記載された第１の撮像手段をなしてい
る。

【００５９】第２計測カメラ１４ｂは、１次塗布ユニッ
ト１５によって電極５に接着剤６が塗布されたセラミッ
クパッケージ２を撮像して、該セラミックパッケージ２
の画像を制御装置６０に向かって出力する。第３計測カ
メラ１４ｃは、水晶載置ユニット１７によって水晶片３
が重ねられたセラミックパッケージ２を撮像して、該セ
ラミックパッケージ２の画像を制御装置６０に向かって
出力する。

【００６０】１次塗布ユニット１５は、図２に示すよう
に、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１
の周方向に沿って第１計測カメラ１４ａの隣りに設けら
れている。１次塗布ユニット１５は、図２３ないし図２
５に示すように、移動部６５と、塗布ヘッド部６６と、
調整部６７と、を備えている。

【００６１】移動部６５は、図２３ないし図２５に示す
ように、Ｘ軸駆動部６８と、Ｙ軸駆動部６９と、を備え
ている。Ｘ軸駆動部６８は、駆動モータ７０と、ボール
ねじ７１と、を備えている。駆動モータ７０は、ベース
板８ａに固定されている。

【００６２】ボールねじ７１は、リードスクリュー７２
と、ナット７３などを備えている。リードスクリュー７
２は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー
７２は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体
２１の接線方向に沿っている。リードスクリュー７２
は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、
軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュ
ー７２には、駆動モータ７０の出力軸が連結している。

【００６３】ナット７３は、リードスクリュー７２の外
周に螺合している。ナット７３は、リードスクリュー７
２がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７
２の長手方向に沿って移動する。

【００６４】Ｙ軸駆動部６９は、駆動モータ７４と、ボ
ールねじ７５などを備えている。駆動モータ７４は、Ｘ
軸駆動部６８のナット７３に固定されている。ボールね
じ７５は、リードスクリュー７６と、ナット７７などを
備えている。リードスクリュー７６は、一方向に沿って
延在している。リードスクリュー７６は、長手方向が、
回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿って
いる。このため、Ｘ軸駆動部６８のリードスクリュー７
２と、Ｙ軸駆動部６９のリードスクリュー７６とは、互
いに直交している。

【００６５】リードスクリュー７６は、周知の転がり軸
受などによって、ナット７３に、軸芯回りに回転自在に
支持されている。リードスクリュー７６には、駆動モー
タ７４の出力軸が連結している。

【００６６】ナット７７は、リードスクリュー７６の外
周に螺合している。ナット７７は、リードスクリュー７
６がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７
６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット７７は、
リードスクリュー７６が回転すると、回転テーブル１１
のテーブル本体２１に接離する。

【００６７】塗布ヘッド部６６は、図２３ないし図２５
に示すように、ヘッド部本体７８と、リニアガイドシリ
ンダ７９と、塗布部８０と、を備えている。ヘッド部本
体７８は、一端がナット７７に固定された板状に形成さ
れている。ヘッド部本体７８は、ナット７７から立設し
ている。

【００６８】リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本
体８１と、レール８２と、スライダ８３と、を備えてい
る。シリンダ本体８１は、ヘッド部本体７８に固定され
ている。シリンダ本体８１内には、加圧された気体が供
給される。レール８２は、鉛直方向に沿って延在してい
る。レール８２は、シリンダ本体８１に固定されてい
る。スライダ８３は、レール８２の長手方向に沿って移
動自在に、該レール８２に支持されている。

【００６９】リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本
体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８
３がレール８２に沿って移動する。即ち、リニアガイド
シリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体
が供給されると、スライダ８３が昇降する。

【００７０】なお、スライダ８３は、上死点と下死点と
に亘って移動する。上死点では、塗布部８０の後述する
注射筒８４の針先８９ａが保持治具２２上に載置された
セラミックパッケージ２から十分に離れる。下死点で
は、前記針先８９ａがセラミックパッケージ２に近づい
て前記針先８９ａと前記セラミックパッケージ２の電極
５との間隔が、接着剤６の塗布に適切な間隔となる。

【００７１】塗布部８０は、注射筒支持部８５と、注射
筒８４などを備えている。注射筒支持部８５は、スライ
ダ８３に固定されている。注射筒支持部８５は、内側に
注射筒８４を通すことのできる孔８６と、ボルト８７と
を備えている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ
込まれている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ
込まれると、前記孔８６を縮小させる。ボルト８７は、
注射筒支持部８５からゆるめられると、前記孔８６を拡
大させる。

【００７２】注射筒８４は、筒部８８と、針８９とを備
えている。筒部８８は、有底筒状に形成されている。針
８９は、その長手方向に沿って貫通した孔を備えてお
り、一端が筒部８８の底部に接続している。針８９は、
その孔が、前記底部に開口しており、筒部８８の内外を
連通している。注射筒８４内には、セラミックパッケー
ジ２に水晶片３を取り付けるための導電性を有する接着
剤６が収容される。また、筒部８８の前記針８９から離
れた基端部には、加圧された気体を供給する加圧気体供
給源と連結した配管９０が連結している。

【００７３】調整部６７は、図２３に示すように、Ｘ軸
駆動部６８と、回転テーブル１１との間に設けられてい
る。調整部６７は、図２６及び図２７に示すように、ベ
ース８ａに固定された調整部本体９１と、調整部本体９
１に昇降自在に支持された調整台９２と、第１マイクロ
メータヘッド９３と、第２マイクロメータヘッド９４
と、を備えている。

【００７４】第１マイクロメータヘッド９３は、筒状の
ケース１００と、つまみ１０１と、スピンドル１０２
と、を備えている。ケース１００は、長手方向が、鉛直
方向に沿っている。ケース１００は、調整部本体９１に
取り付けられている。

【００７５】つまみ１０１は、ケース１００の基端部に
回転自在に取り付けられている。スピンドル１０２は、
柱状に形成されかつケース１００内に収容されている。
スピンドル１０２は、ケース１００と同軸的に配されて
いる。

【００７６】スピンドル１０２は、つまみ１０１が回転
するのに連動して、ケース１００から外方向に突出した
り、ケース１００内に収容されたりする。スピンドル１
０２は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンド
ル１０２は、その先端部が、調整台９２に固定されてい
る。

【００７７】第１マイクロメータヘッド９３は、つまみ
１０１が回転操作されると、スピンドル１０２がケース
１００から突没して、調整台９２を昇降させる。なお、
スピンドル１０２をケース１００内に収容して、調整台
９２が最も下方に位置すると、調整台９２の上面９８ａ
は、保持治具２２の上面２４ａと同一平面上に位置す
る。

【００７８】第２マイクロメータヘッド９４は、筒状の
ケース１０３と、つまみ１０４と、スピンドル１０５
と、を備えている。ケース１０３は、長手方向が、鉛直
方向に沿っている。ケース１０３は、調整台９２に取り
付けられている。

【００７９】つまみ１０４は、ケース１０３の基端部に
回転自在に取り付けられている。スピンドル１０５は、
柱状に形成されかつケース１０３内に収容されている。
スピンドル１０５は、ケース１０３と同軸的に配されて
いる。

【００８０】スピンドル１０５は、つまみ１０４が回転
するのに連動して、ケース１０３から外方向に突出した
り、ケース１０３内に収容されたりする。スピンドル１
０５は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンド
ル１０５は、その先端部が、調整台９２を貫通した貫通
孔９８ｂ内に挿入されている。

【００８１】第２マイクロメータヘッド９４は、つまみ
１０４が回転操作されると、スピンドル１０５をケース
１０３から突没させる。なお、ケース１０３内に収容し
て、スピンドル１０５が最も下方に位置すると、スピン
ドル１０５の先端面１０５ａは、調整台９２の上面９８
ａと同一平面上に位置する。

【００８２】前述した構成の１次塗布ユニット１５は、
保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２の電
極５に導電性を有する接着剤６を塗布する前に、前記ス
ライダ８３の下死点での針先８９ａの高さを調整する。
このとき、注射筒支持部８５に支持された注射筒８４
は、針先８９ａが、第２マイクロメータヘッド９４のス
ピンドル１０５の先端面１０５ａに相対している。さら
に、前記スライダ８３は下死点に位置している。

【００８３】まず、第１マイクロメータヘッド９３のス
ピンドル１０２と、第２マイクロメータヘッド９４のス
ピンドル１０５と、を下死点まで下げる。すると、調整
台９２の上面９８ａと保持治具２２の上面２４ａとが同
一平面上に位置し、スピンドル１０５の先端面１０５ａ
と調整台９２の上面９８ａとが同一平面上に位置する。

【００８４】セラミックパッケージ２の底面から電極５
までの高さ分、第１マイクロメータヘッド９３のスピン
ドル１０２を上昇させる。すると、前記電極５と、調整
台９２の上面９８ａと、が同一平面上に位置する。さら
に、接着剤６を塗布する際の適切な針先８９ａと電極５
との間隔分、第２マイクロメータヘッド９４のスピンド
ル１０５を上昇させる。

【００８５】その後、ボルト８７をゆるめて、針先８９
ａを第２マイクロメータヘッド９４のスピンドル１０５
の先端面１０５ａに当接させる。この状態で、再度ボル
ト８７を閉めて、注射筒８４をスライダ８３に固定す
る。このように、針先８９ａと電極５との間隔を、塗布
する接着剤６に応じて定められる適切な間隔とする。

【００８６】そして、１次塗布ユニット１５は、セラミ
ックパッケージ２の電極５に接着剤６を塗布する際に
は、まず、リニアガイドシリンダ７９を駆動してスライ
ダ８３を上死点まで上昇させる。その後、Ｘ軸駆動部６
８の駆動モータ７０と、Ｙ軸駆動部６９の駆動モータ７
４を駆動して、針先８９ａを保持治具２２上のセラミッ
クパッケージ２の電極５に相対させる。

【００８７】そして、リニアガイドシリンダ７９を駆動
してスライダ８３を下死点まで下降させるとともに、加
圧気体供給源から注射筒８４内に加圧された気体を供給
する。なお、この加圧気体の供給量は、電極５に塗布さ
れる接着剤６の量に応じて定められる。すると、スライ
ダ８３の下死点での、針先８９ａと電極５との間隔が適
切な間隔となっているので、適切な量の接着剤６が電極
５の適切な位置に塗布される。

【００８８】さらに、Ｘ軸駆動部６８の駆動モータ７０
と、Ｙ軸駆動部６９の駆動モータ７４を駆動するなどし
て、セラミックパッケージ２の他の電極５に、先ほどと
同様に接着剤６を塗布する。

【００８９】水晶搬入ユニット１６は、図２に示すよう
に、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１
の周方向に沿って前記第２計測カメラ１４ｂの隣りに設
けられている。水晶搬入ユニット１６には、回転テーブ
ル１１の外周側からトレー１０６が供給される。トレー
１０６は、矩形状の平板状に形成されている。トレー１
０６は、表面に、多数の水晶片３を、２次元のマトリッ
ク状に並べる。

【００９０】水晶搬入ユニット１６は、図２８及び図２
９に示すように、スライドシリンダ１１０と、一対のガ
イドレール１１１と、シリンダ１１２と、一対のチャッ
ク１１３ａ，１１３ｂと、を備えている。スライドシリ
ンダ１１０は、長手方向が回転テーブル１１のテーブル
本体２１の径方向に沿った直線状のロッド１１４と、ロ
ッド１１４に対しスライドするシリンダ本体１１５と、
を備えている。一対のガイドレール１１１は、ロッド１
１４と平行である。シリンダ１１２は、シリンダ本体１
１５に固定されたシリンダ本体１１６と、このシリンダ
本体１１６から鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド
１１７と、を備えている。一対のチャック１１３ａ，１
１３ｂは、伸縮ロッド１１７が伸縮すると、互いに接離
して、互いの間にトレー１０６を挟む。

【００９１】前述した構成の水晶搬入ユニット１６は、
シリンダ本体１１５が、回転テーブル１１のテーブル本
体２１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド１１７が伸長
した後縮小して、チャック１１３ａ，１１３ｂ間にトレ
ー１０６を挟む。そして、シリンダ本体１１５内に加圧
された気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体
１１５が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かっ
て移動する。こうして、水晶搬入ユニット１６は、トレ
ー１０６即ち水晶片３を、回転テーブル１１の近傍に搬
入する。なお、トレー１０６は、一対のガイドレール１
１１上を搬送される。

【００９２】水晶載置ユニット１７は、図２及び図３０
などに示すように、水晶搬入ユニット１６の近傍に設け
られている。水晶載置ユニット１７は、図３０及び図３
１に示すように、移動部１２７と、載置ヘッド部１２８
と、水晶計測カメラ１２６（図３２に示す）とを備えて
いる。

【００９３】移動部１２７は、図３０及び図３１に示す
ように、Ｙ軸駆動部１２９と、Ｘ軸駆動部１３０と、を
備えている。Ｙ軸駆動部１２９は、駆動モータ１３１
と、ボールねじ１３２などを備えている。駆動モータ１
３１は、ベース板８ａに固定されている。

【００９４】ボールねじ１３２は、リードスクリュー１
３３と、ナット１３４などを備えている。リードスクリ
ュー１３３は、一方向に沿って延在している。リードス
クリュー１３３は、長手方向が、一対のガイドレール１
１１とロッド１１４と平行である。リードスクリュー１
３３は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａ
に、軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスク
リュー１３３には、駆動モータ１３１の出力軸が連結し
ている。

【００９５】ナット１３４は、リードスクリュー１３３
の外周に螺合している。ナット１３４は、リードスクリ
ュー１３３がその軸芯回りに回転すると、該リードスク
リュー１３３の長手方向に沿って移動する。即ち、ナッ
ト１３４は、リードスクリュー１３３が回転すると、回
転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。

【００９６】Ｘ軸駆動部１３０は、駆動モータ１３５
と、ボールねじ１３６などを備えている。駆動モータ１
３５は、Ｙ軸駆動部１２９のナット１３４に固定されて
いる。ボールねじ１３６は、リードスクリュー１３７
と、ナット１３８などを備えている。リードスクリュー
１３７は、一方向に沿って延在している。リードスクリ
ュー１３７は、長手方向が、一対のガイドレール１１１
とロッド１１４に交差している。なお、図示例では、リ
ードスクリュー１３７の長手方向と、一対のガイドレー
ル１１１とロッド１１４との双方の長手方向は、互いに
直交している。

【００９７】リードスクリュー１３７は、周知の転がり
軸受などによって、ナット１３４に、軸芯回りに回転自
在に支持されている。リードスクリュー１３７には、駆
動モータ１３５の出力軸が連結している。

【００９８】ナット１３８は、リードスクリュー１３７
の外周に螺合している。ナット１３８は、リードスクリ
ュー１３７がその軸芯回りに回転すると、該リードスク
リュー１３７の長手方向に沿って移動する。即ち、ナッ
ト１３８は、リードスクリュー１３７が回転すると、回
転テーブル１１のテーブル本体２１に接線に沿って、移
動する。

【００９９】載置ヘッド部１２８は、図３０に示すよう
に、Ｘ軸駆動部１３０のナット１３８に固定されてい
る。載置ヘッド部１２８は、図３３及び図３４に示すよ
うに、ヘッド部本体１３９と、昇降モータ１４０と、吸
着部１４１とを備えている。

【０１００】ヘッド部本体１３９は、ナット１３８に固
定されている。ヘッド部本体１３９は、平板状に形成さ
れており、ナット１３８から立設している。昇降モータ
１４０は、ヘッド部本体１３９に固定されており、その
出力軸１４０ａにピニオン１４２が取付られている。

【０１０１】吸着部１４１は、平板状の吸着部本体１４
３と、ラック１４４と、回転モータ１２５と、吸着ノズ
ル１４５と、を備えている。吸着部本体１４３は、リニ
アガイド１４６を介して、ヘッド部本体１３９に取り付
けられている。

【０１０２】リニアガイド１４６は、レール１４７と、
スライダ１４８とを備えている。レール１４７は、長手
方向が鉛直方向に沿っている。レール１４７は、ヘッド
部本体１３９に取り付けられている。スライダ１４８
は、レール１４７の長手方向に沿って移動自在に、レー
ル１４７に支持されている。スライダ１４８は、吸着部
本体１４３に固定されている。

【０１０３】ラック１４４は、長手方向が鉛直方向に沿
っている。ラック１４４は、吸着部本体１４３に固定さ
れている。ラック１４４は、ピニオン１４２と噛み合っ
ている。このような構成によって、吸着部本体１４３
は、昇降モータ１４０の回転駆動力によって、昇降す
る。即ち、吸着部１４１は、トレー１０６及び保持治具
２２に接離自在となっている。なお、吸着部１４１は、
図３４に示す上死点と図３５に示す下死点とに亘って移
動する。

【０１０４】回転モータ１２５は、出力軸１２５ａが鉛
直方向に沿った状態で、吸着部本体１４３に固定されて
いる。吸着ノズル１４５は、図３４及び図３５に示すよ
うに、ノズル本体２１１と、ノズル部２１２と、を備え
ている。ノズル本体２１１は、方体状に形成されかつ出
力軸１２５ａに連結しているとともに、吸着部本体１４
３に前記出力軸１２５ａ回りに回転自在に支持されてい
る。ノズル本体２１１は、出力軸１２５ａから下方に向
かって延在している。

【０１０５】ノズル部２１２は、ノズル本体２１１の出
力軸１２５ａから離れた端部に取り付けられている。ノ
ズル部２１２は、図３４、図３５及び図４５に示すよう
に、前記出力軸１２５ａから離れるのにしたがって、即
ち保持治具２２に載置されたセラミックパッケージ２に
向かうにしたがって徐々に細くなる載置手段としての先
細部２１３を備えている。

【０１０６】先細部２１３の先端面２１３ａは、水平方
向に沿って平坦に形成されている。先端面２１３ａは、
図４６及び図４７などに示すように、小判状に形成され
ている。なお、この先端面２１３ａは、本明細書の特許
請求の範囲などに記載された保持面をなしている。ま
た、先細部２１３は、図４６に示すように、平面形状が
小判状に形成されている。

【０１０７】また、先細部２１３は、図４６及び図４７
に示すように、複数の第２の貫通孔１４９と、複数の凹
溝２１５と、を備えている。第２の貫通孔１４９は、先
端面２１３ａの長手方向に沿って並設されている。第２
の貫通孔１４９は、小判状の先端面２１３ａの幅方向の
中央に設けられている。なお、図示例では、第２の貫通
孔１４９は、二つ設けられている。

【０１０８】第２の貫通孔１４９は、それぞれ、一端が
先細部２１３の先端面２１３ａに開口している。第２の
貫通孔１４９は、前記先細部２１３内で互いに一対とな
って、他端に図示しない配管が連結する。該配管は、例
えば、周知の真空ポンプなどの吸引装置などと連結して
いる。

【０１０９】凹溝２１５は、先端面２１３ａから凹に形
成されている。凹溝２１５は、図４７などに示すよう
に、一端が第２の貫通孔１４９に開口している。凹溝２
１５は、一つの第２の貫通孔１４９に対し二つ設けられ
ている。一つの第２の貫通孔１４９に設けられた凹溝２
１５は、該第２の貫通孔１４９から先端面２１３ａの幅
方向に沿って間隔を存する外縁２１３ｂに亘って形成さ
れている。凹溝２１５の他端は、先端面２１３ａの外縁
２１３ｂに開口している。即ち、一つの第２の貫通孔１
４９に設けられた凹溝２１５の他端は、先端面２１３ａ
の互いに逆側に位置する外縁２１３ｂに開口している。

【０１１０】水晶載置ユニット１７は、前記真空ポンプ
などの吸引装置が第２の貫通孔１４９などを通して外気
を吸い込んで、水晶片３を前記先端面２１３ａに吸着す
る。このとき、凹溝２１５は、吸着ノズル１４５のノズ
ル部２１２の外側と、前記第２の貫通孔１４９内と、を
互いに連通する。即ち、凹溝２１５は、第２の貫通孔１
４９内と、外気とを連通している。さらに、前記先端面
２１３ａに水晶片３を吸着している間には、前記真空ポ
ンプなどの吸引装置は、前記第２の貫通孔１４９及び凹
溝２１５を通して、外気を吸引している。

【０１１１】また、水晶載置ユニット１７は、前記先端
面２１３ａに吸着した水晶片３を、セラミックパッケー
ジ２に重ねる場合には、前記真空ポンプなどの吸引装置
が吸引を停止するとともに第２の貫通孔１４９などを通
して気体を排出する。このように、先細部２１３は、先
端面２１３ａに水晶片３を吸着して水晶片３を保持す
る。また、先細部２１３は、先端面２１３ａに吸着した
水晶片３を先端面２１３ａから離してセラミックパッケ
ージ２に重ねる。

【０１１２】水晶計測カメラ１２６は、回転テーブル１
１と水晶搬入ユニット１６との双方の近傍に設けられて
いる。水晶計測カメラ１２６は、図３２に示すように、
ＣＣＤカメラ１５２と、光源ランプ１５３と、を備えて
いる。

【０１１３】ＣＣＤカメラ１５２は、ベース板８ａに固
定されている。ＣＣＤカメラ１５２は、ベース板８ａに
対し立設している。ＣＣＤカメラ１５２は、レンズの対
物側が上方に相対している。ＣＣＤカメラ１５２は、上
方に吸着ノズル１４５が位置すると、前記先端面２１３
ａに吸着された水晶片３を撮像可能である。

【０１１４】光源ランプ１５３は、水晶計測カメラ１２
６の上端部に取り付けられている。光源ランプ１５３
は、ハーフミラー１５４などを介して、上方に向かって
光りを照射する。光源ランプ１５３は、上方に吸着ノズ
ル１４５が位置すると、前記先端面２１３ａに吸着され
た水晶片３に光をあてることが可能である。

【０１１５】なお、前述した構成の水晶計測カメラ１２
６は、本明細書の特許請求の範囲に記載された第２の撮
像手段をなしている。

【０１１６】前述した構成の水晶載置ユニット１７は、
Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１３１とＸ軸駆動部１３
０の駆動モータ１３５を駆動して、吸着部１４１の先端
面２１３ａを、トレー１０６上の所望の水晶片３に相対
させる。なお、このとき、スライダ１４８即ち吸着部１
４１は前述した上死点に位置している。

【０１１７】そして、昇降モータ１４０を駆動して、ス
ライダ１４８即ち吸着部１４１を下死点に移動させると
ともに、吸引装置を駆動して第２の貫通孔１４９を通し
て外気を吸い込む。すると、図３５に示すように、吸着
部１４１が下降するとともに、先端面２１３ａに水晶片
３が吸着する。

【０１１８】そして、昇降モータ１４０を駆動して、ス
ライダ１４８即ち吸着部１４１を上死点に移動させると
ともに、Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１３１とＸ軸駆
動部１３０の駆動モータ１３５とを駆動して、先端面２
１３ａを水晶計測カメラ１２６の上方に位置させる。水
晶計測カメラ１２６が撮像した映像に基いて、前記先端
面２１３ａと水晶片３との相対的な位置関係を求める。

【０１１９】その後、Ｙ軸駆動部１２９の駆動モータ１
３１とＸ軸駆動部１３０の駆動モータ１３５と回転モー
タ１２５を駆動して、保持治具２２に載置されたセラミ
ックパッケージ２の所望の位置に、吸着した水晶片３を
相対させる。スライダ１４８を下死点に移動させるとと
もに、吸引装置を停止する。

【０１２０】先端面２１３ａに吸着されていた水晶片３
が、セラミックパッケージ２上に重ねられる。第１計測
カメラ１４ａの映像から得た保持治具２２とセラミック
パッケージ２との相対的な位置と、前記水晶計測カメラ
１２６の映像から得た先端面２１３ａと水晶片３との相
対的な位置と、に基いて、セラミックパッケージ２に水
晶片３を位置決めする。

【０１２１】このように、水晶載置ユニット１７は、水
晶搬入ユニット１６によって搬入された水晶片３を、ト
レー１０６から取り出して、接着剤６が塗布されたセラ
ミックパッケージ２に重ねる。

【０１２２】２次塗布ユニット１８は、図２に示すよう
に、回転テーブル１１の外周側でかつ回転テーブル１１
の周方向に沿って水晶搬入ユニット１６の隣りに設けら
れている。２次塗布ユニット１８は、図３６ないし図３
８に示すように、移動部６５と、塗布ヘッド部６６と、
調整部６７と、を備えている。なお、移動部６５と塗布
ヘッド部６６と調整部６７とは、前述した１次塗布ユニ
ット１５と構成がほぼ同一であるので、同一箇所には同
一符号を付して説明する。

【０１２３】移動部６５は、図３６ないし図３８に示す
ように、Ｘ軸駆動部６８と、Ｙ軸駆動部６９と、を備え
ている。Ｘ軸駆動部６８は、駆動モータ７０と、ボール
ねじ７１と、を備えている。駆動モータ７０は、ベース
板８ａに固定されている。

【０１２４】ボールねじ７１は、リードスクリュー７２
と、ナット７３などを備えている。リードスクリュー７
２は、一方向に沿って延在している。リードスクリュー
７２は、長手方向が、回転テーブル１１のテーブル本体
２１の接線方向に沿っている。リードスクリュー７２
は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａに、
軸芯回りに回転自在に支持されている。リードスクリュ
ー７２には、駆動モータ７０の出力軸が連結している。

【０１２５】ナット７３は、リードスクリュー７２の外
周に螺合している。ナット７３は、リードスクリュー７
２がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７
２の長手方向に沿って移動する。

【０１２６】Ｙ軸駆動部６９は、駆動モータ７４と、ボ
ールねじ７５などを備えている。駆動モータ７４は、Ｘ
軸駆動部６８のナット７３に固定されている。ボールね
じ７５は、リードスクリュー７６と、ナット７７などを
備えている。リードスクリュー７６は、一方向に沿って
延在している。リードスクリュー７６は、長手方向が、
回転テーブル１１のテーブル本体２１の径方向に沿って
いる。このため、Ｘ軸駆動部６８のリードスクリュー７
２と、Ｙ軸駆動部６９のリードスクリュー７６とは、互
いに直交している。

【０１２７】リードスクリュー７６は、周知の転がり軸
受などによって、ナット７３に、軸芯回りに回転自在に
支持されている。リードスクリュー７６には、駆動モー
タ７４の出力軸が連結している。

【０１２８】ナット７７は、リードスクリュー７６の外
周に螺合している。ナット７７は、リードスクリュー７
６がその軸芯回りに回転すると、該リードスクリュー７
６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナット７７は、
リードスクリュー７６が回転すると、回転テーブル１１
のテーブル本体２１に接離する。

【０１２９】塗布ヘッド部６６は、図３６ないし図３８
に示すように、ヘッド部本体７８と、リニアガイドシリ
ンダ７９と、塗布部８０と、を備えている。ヘッド部本
体７８は、一端がナット７７に固定された板状に形成さ
れている。ヘッド部本体７８は、ナット７７から立設し
ている。

【０１３０】リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本
体８１と、レール８２と、スライダ８３と、を備えてい
る。シリンダ本体８１は、ヘッド部本体７８に固定され
ている。シリンダ本体８１内には、加圧された気体が供
給される。レール８２は、鉛直方向に沿って延在してい
る。レール８２は、シリンダ本体８１に固定されてい
る。スライダ８３は、レール８２の長手方向に沿って移
動自在に、該レール８２に支持されている。

【０１３１】リニアガイドシリンダ７９は、シリンダ本
体８１内に加圧された気体が供給されると、スライダ８
３がレール８２に沿って移動する。即ち、リニアガイド
シリンダ７９は、シリンダ本体８１内に加圧された気体
が供給されると、スライダ８３が昇降する。

【０１３２】なお、スライダ８３は、上死点と下死点と
に亘って移動する。上死点では、塗布部８０の後述する
注射筒８４の針先８９ａが保持治具２２上に載置された
セラミックパッケージ２から十分に離れる。下死点で
は、前記針先８９ａがセラミックパッケージ２に近づい
て前記針先８９ａと前記セラミックパッケージ２の電極
５との間隔が、接着剤６の塗布に適切な間隔となる。

【０１３３】塗布部８０は、注射筒支持部８５と、注射
筒８４などを備えている。注射筒支持部８５は、スライ
ダ８３に固定されている。注射筒支持部８５は、内側に
注射筒８４を通すことのできる孔８６と、ボルト８７と
を備えている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ
込まれている。ボルト８７は、注射筒支持部８５にねじ
込まれると、前記孔８６を縮小させる。ボルト８７は、
注射筒支持部８５からゆるめられると、前記孔８６を拡
大させる。

【０１３４】注射筒８４は、筒部８８と、針８９とを備
えている。筒部８８は、有底筒状に形成されている。針
８９は、その長手方向に沿って貫通した孔を備えてお
り、一端が筒部８８の底部に接続している。針８９は、
その孔が、前記底部に開口しており、筒部８８の内外を
連通している。注射筒８４内には、セラミックパッケー
ジ２に水晶片３を取り付けるための導電性を有する接着
剤６が収容される。また、筒部８８の前記針８９から離
れた基端部には、加圧された気体を供給する加圧気体供
給源と連結した配管９０が連結している。

【０１３５】調整部６７は、図３６に示すように、Ｘ軸
駆動部６８と、回転テーブル１１との間に設けられてい
る。調整部６７は、図３７及び図３８に示すように、ベ
ース８ａに固定された調整部本体９１と、調整部本体９
１に昇降自在に支持された調整台９２と、第１マイクロ
メータヘッド９３と、第２マイクロメータヘッド９４
と、を備えている。

【０１３６】第１マイクロメータヘッド９３は、筒状の
ケース１００と、つまみ１０１と、スピンドル１０２
と、を備えている。ケース１００は、長手方向が、鉛直
方向に沿っている。ケース１００は、調整部本体９１に
取り付けられている。

【０１３７】つまみ１０１は、ケース１００の基端部に
回転自在に取り付けられている。スピンドル１０２は、
柱状に形成されかつケース１００内に収容されている。
スピンドル１０２は、ケース１００と同軸的に配されて
いる。

【０１３８】スピンドル１０２は、つまみ１０１が回転
するのに連動して、ケース１００から外方向に突出した
り、ケース１００内に収容されたりする。スピンドル１
０２は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンド
ル１０２は、その先端部が、調整台９２に固定されてい
る。

【０１３９】第１マイクロメータヘッド９３は、つまみ
１０１が回転操作されると、スピンドル１０２がケース
１００から突没して、調整台９２を昇降させる。なお、
スピンドル１０２をケース１００内に収容して、調整台
９２が最も下方に位置すると、調整台９２の上面９８ａ
は、保持治具２２の上面２４ａと同一平面上に位置す
る。

【０１４０】第２マイクロメータヘッド９４は、筒状の
ケース１０３と、つまみ１０４と、スピンドル１０５
と、を備えている。ケース１０３は、長手方向が、鉛直
方向に沿っている。ケース１０３は、調整台９２に取り
付けられている。

【０１４１】つまみ１０４は、ケース１０３の基端部に
回転自在に取り付けられている。スピンドル１０５は、
柱状に形成されかつケース１０３内に収容されている。
スピンドル１０５は、ケース１０３と同軸的に配されて
いる。

【０１４２】スピンドル１０５は、つまみ１０４が回転
するのに連動して、ケース１０３から外方向に突出した
り、ケース１０３内に収容されたりする。スピンドル１
０５は、突没方向が、鉛直方向に沿っている。スピンド
ル１０５は、その先端部が、調整台９２を貫通した貫通
孔９８ｂ内に挿入されている。

【０１４３】第２マイクロメータヘッド９４は、つまみ
１０４が回転操作されると、スピンドル１０５をケース
１０３から突没させる。なお、ケース１０３内に収容し
て、スピンドル１０５が最も下方に位置すると、スピン
ドル１０５の先端面１０５ａは、調整台９２の上面９８
ａと同一平面上に位置する。

【０１４４】前述した構成の２次塗布ユニット１８は、
前記セラミックパッケージ２に接着固定された水晶片３
に、さらに導電性の接着剤６を塗布するユニットであ
る。なお、２次塗布ユニット１８が接着剤６を塗布する
位置は、前記電極５の上方に位置する水晶片３の表面で
ある。

【０１４５】また、２次塗布ユニット１８による接着剤
６の塗布は、セラミックパッケージ２に対する水晶片３
の接着強度を向上させるためなどに行われる。このた
め、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布は、組
み立てる水晶振動子の品番に応じて行われる。したがっ
て、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布が行わ
れる水晶振動子もあり、２次塗布ユニット１８による接
着剤６の塗布が必要ない水晶振動子もある。

【０１４６】２次塗布ユニット１８においても、前述し
た１次塗布ユニット１５と同様に、セラミックパッケー
ジ２の底面からの電極５の高さに応じて、前記調整部６
７を用いて、注射筒８４の位置が調整される。そして、
２次塗布ユニット１８は、１次塗布ユニット１５と同様
に、必要に応じてＹ軸駆動部６９の駆動モータ７４とＸ
軸駆動部６８の駆動モータ７０とを駆動し、加圧気体供
給源から注射筒８４内に加圧された気体を供給して、所
望箇所に、接着剤６を塗布する。

【０１４７】搬出ユニット１９は、図２に示すように、
回転テーブル１１の外周側でかつ、この回転テーブル１
１の周方向に沿って第３計測カメラ１４ｃと、パッケー
ジ搬入ユニット１２と、の間に設けられている。

【０１４８】搬出ユニット１９は、回転テーブル１１の
外周側からトレー１６９が供給される。トレー１６９
は、矩形状の平板状に形成されている。トレー１６９
は、表面に、取り出しユニット２０によって保持治具２
２から取り外された水晶片３付きのセラミックパッケー
ジ２が、２次元のマトリック状に並べられる。

【０１４９】搬出ユニット１９は、図３９及び図４０に
示すように、スライドシリンダ１７０と、一対のガイド
レール１７１と、シリンダ１７２と、一対のチャック１
７３ａ，１７３ｂと、を備えている。スライドシリンダ
１７０は、長手方向が回転テーブル１１から離れる方向
に沿った直線状のロッド１７４と、ロッド１７４に対し
スライドするシリンダ本体１７５と、を備えている。一
対のガイドレール１７１は、ロッド１７４と平行であ
る。シリンダ１７２は、シリンダ本体１７５に固定され
たシリンダ本体１７６と、このシリンダ本体１７６から
鉛直方向に沿って伸縮自在な伸縮ロッド１７７と、を備
えている。一対のチャック１７３ａ，１７３ｂは、伸縮
ロッド１７７が伸縮すると、鉛直方向に沿って互いに接
離して、互いの間にトレー１６９を挟む。

【０１５０】前述した構成の搬出ユニット１９は、シリ
ンダ本体１７５が、回転テーブル１１のテーブル本体２
１から離れた位置で、一旦伸縮ロッド１７７が伸長した
後縮小して、チャック１７３ａ，１７３ｂ間にトレー１
６９を挟む。そして、シリンダ本体１７５内に加圧され
た気体などが供給されるなどして、該シリンダ本体１７
５が回転テーブル１１のテーブル本体２１に向かって移
動する。こうして、搬出ユニット１９は、トレー１６９
を、回転テーブル１１の近傍に搬入する。

【０１５１】また、取り出しユニット２０によって、保
持治具２２上の水晶片３付きのセラミックパッケージ２
が取り外されて、トレー１６９上に載置される。その
後、トレー１６９上に水晶片３付きのセラミックパッケ
ージ２が所定数以上載置されると、シリンダ本体１７５
内に加圧された気体などが供給されるなどして、該シリ
ンダ本体１７５が回転テーブル１１のテーブル本体２１
から離れる。このように、搬出ユニット１９は、水晶片
３付きのセラミックパッケージ２を、水晶振動子組立装
置１の外方向に搬送する。その後、水晶片３付きのセラ
ミックパッケージ２は、水晶振動子の組立工程の後工程
に向かって搬送される。

【０１５２】取り出しユニット２０は、図２及び図４１
に示すように、搬出ユニット１９の近傍に設けられてい
る。取り出しユニット２０は、図４１及び図４２に示す
ように、移動部１８０と、取り出しヘッド部１８１と、
を備えている。移動部１８０は、図４１及び図４２に示
すように、Ｙ軸駆動部１８２と、Ｘ軸駆動部１８３と、
を備えている。Ｙ軸駆動部１８２は、駆動モータ１８４
と、ボールねじ１８５などを備えている。駆動モータ１
８４は、ベース板８ａに固定されている。

【０１５３】ボールねじ１８５は、リードスクリュー１
８６と、ナット１８７などを備えている。リードスクリ
ュー１８６は、一方向に沿って延在している。リードス
クリュー１８６は、長手方向が、一対のガイドレール１
７１とロッド１７４と平行である。リードスクリュー１
８６は、周知の転がり軸受などによって、ベース板８ａ
に回転自在に支持されている。リードスクリュー１８６
には、駆動モータ１８４の出力軸が連結している。

【０１５４】ナット１８７は、リードスクリュー１８６
の外周に螺合している。ナット１８７は、リードスクリ
ュー１８６がその軸芯回りに回転すると、該リードスク
リュー１８６の長手方向に沿って移動する。即ち、ナッ
ト１８７は、リードスクリュー１８６が回転すると、回
転テーブル１１のテーブル本体２１に接離する。

【０１５５】Ｘ軸駆動部１８３は、駆動モータ１８８
と、ボールねじ１８９などを備えている。駆動モータ１
８８は、Ｙ軸駆動部１８２のナット１８７に固定されて
いる。ボールねじ１８９は、リードスクリュー１９０
と、ナット１９１などを備えている。リードスクリュー
１９０は、一方向に沿って延在している。リードスクリ
ュー１９０は、長手方向が、一対のガイドレール１７１
とロッド１７４に交差している。なお、図示例では、リ
ードスクリュー１９０の長手方向と、一対のガイドレー
ル１７１とロッド１７４との双方の長手方向は、互いに
直交している。

【０１５６】リードスクリュー１９０は、周知の転がり
軸受などによって、ナット１８７に、軸芯回りに回転自
在に支持されている。リードスクリュー１９０には、駆
動モータ１８８の出力軸が連結している。ナット１９１
は、リードスクリュー１９０の外周に螺合している。ナ
ット１９１は、リードスクリュー１９０がその軸芯回り
に回転すると、該リードスクリュー１９０の長手方向に
沿って移動する。

【０１５７】取り出しヘッド部１８１は、図４１及び図
４２に示すように、Ｘ軸駆動部１８３のナット１９１に
固定されている。取り出しヘッド部１８１は、図４３及
び図４４に示すように、ヘッド部本体１９２と、リニア
ガイドシリンダ１９３と、ロータリアクチュエータ１９
４と、チャックシリンダ２０１と、一対のチャック１９
５と、を備えている。

【０１５８】ヘッド部本体１９２は、ナット１９１に固
定されている。リニアガイドシリンダ１９３は、ヘッド
部本体１９２に固定されたシリンダ本体１９６と、鉛直
方向に沿いかつシリンダ本体１９６に固定されたレール
１９７と、レール１９７に移動自在に支持されたスライ
ダ１９８と、を備えている。

【０１５９】リニアガイドシリンダ１９３は、シリンダ
本体１９６内に加圧された気体が供給されると、スライ
ダ１９８がレール１９７に沿って移動する。即ち、リニ
アガイドシリンダ１９３は、シリンダ本体１９６内に加
圧された気体が供給されると、スライダ１９８が昇降す
る。

【０１６０】なお、スライダ１９８は、一対のチャック
１９５が保持治具２２及びトレー１６９から十分に離れ
る上死点と、一対のチャック１９５が保持治具２２に近
づいて該保持治具２２に載置されたセラミックパッケー
ジ２を挟むことができる下死点と、に亘って昇降する。

【０１６１】ロータリアクチュエータ１９４は、アクチ
ュエータ本体１９９と、このアクチュエータ本体１９９
に回転自在に支持された出力軸２００とを備えている。
アクチュエータ本体１９９は、スライダ１９８に取り付
けられている。アクチュエータ本体１９９は、その内側
に加圧された気体などが供給されると、出力軸２００を
軸芯回りに回転させる。ロータリアクチュエータ１９４
は、出力軸２００が鉛直方向に沿っている。出力軸２０
０には、チャックシリンダ２０１が連結している。

【０１６２】チャックシリンダ２０１は、一対のチャッ
ク１９５を接離させる。一対のチャック１９５は、水平
方向に沿って並設されている。一対のチャック１９５
は、チャックシリンダ２０１の下方で、かつ保持治具２
２及びトレー１６９に相対することが可能な位置に配さ
れている。一対のチャック１９５は、互いに近づくと、
水晶片３付きのセラミックパッケージ２を挟む。

【０１６３】前述した構成の取り出しユニット２０は、
Ｙ軸駆動部１８２の駆動モータ１８４と、Ｘ軸駆動部１
８３の駆動モータ１８８とを駆動して、一対のチャック
１９５を、保持治具２２に相対させる。このとき、スラ
イダ１９８は、前述した上死点に位置している。

【０１６４】ロータリアクチュエータ１９４を駆動し
て、一対のチャック１９５間にセラミックパッケージ２
を挟める位置まで、チャックシリンダ２０１を回転す
る。リニアガイドシリンダ１９３を駆動して、スライダ
１９８を前記下死点に向かって移動する。一対のチャッ
ク１９５間に、セラミックパッケージ２を位置させる。
チャックシリンダ２０１を駆動して、一対のチャック１
９５間にセラミックパッケージ２を挟む。

【０１６５】リニアガイドシリンダ１９３を駆動してス
ライダ１９８を前記上死点に移動するとともに、駆動モ
ータ１８４，１８８とロータリアクチュエータ１９４を
駆動して、一対のチャック１９５をトレー１６９に相対
させる。チャックシリンダ２０１などを駆動して、トレ
ー１６９の所定位置に、水晶片３付きのセラミックパッ
ケージ２を載置する。

【０１６６】このように、取り出しユニット２０は、水
晶片３付きのセラミックパッケージ２を、吸引装置２７
の吸引する力に抗して、保持治具２２から取り外す。そ
の後、取り出しユニット２０は、トレー１６９に水晶片
３付きのセラミックパッケージ２を載置する。なお、前
記搬出ユニット１９と取り出しユニット２０とは、本明
細書に記した搬出手段を構成している。

【０１６７】また、搬出ユニット１９と、回転テーブル
１１との間には、図２及び図４１に示すように、ＮＧ品
収容部２０３が設けられている。ＮＧ品収容部２０３に
は、制御装置６０が不良品であると判定したセラミック
パッケージ２が、取り出しユニット２０によって搬送さ
れてくる。ＮＧ品収容部２０３は、取り出しユニット２
０によって搬送されてきた不良品と判定されたセラミッ
クパッケージ２を収容する。

【０１６８】制御装置６０は、周知のＲＡＭ、ＲＯＭ及
びＣＰＵなどを備えている。制御装置６０は、回転テー
ブル１１と、パッケージ搬入ユニット１２と、パッケー
ジ載置ユニット１３と、各計測カメラ１４ａ，１４ｂ，
１４ｃと、１次塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット
１６と、水晶載置ユニット１７と、２次塗布ユニット１
８と、搬出ユニット１９と、取り出しユニット２０など
と接続している。

【０１６９】制御装置６０は、回転テーブル１１と、パ
ッケージ搬入ユニット１２と、パッケージ載置ユニット
１３と、各計測カメラ１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、１次
塗布ユニット１５と、水晶搬入ユニット１６と、水晶載
置ユニット１７と、２次塗布ユニット１８と、搬出ユニ
ット１９と、取り出しユニット２０を制御して水晶振動
子組立装置１全体の制御をつかさどる。

【０１７０】制御装置６０は、予め、組み立てる水晶振
動子の品番などを記憶している。制御装置６０は、品番
に応じて定められる、接着剤６を塗布する電極５の位置
と、２次塗布ユニット１８による接着剤６の塗布の有無
などの加工データなどを記録している。

【０１７１】制御装置６０には、図示しない入力手段が
接続しており、この入力手段から入力される水晶振動子
の品番と組立個数などに基いて、水晶振動子組立装置１
の動作を制御する。

【０１７２】入力手段としては、周知のキーボード、各
種のスイッチや操作ボタン及びＣＤ−ＲＯＭ駆動装置な
どの各種の記録媒体駆動装置などの、各種の情報入力用
の装置などを用いることができる。入力手段は、新たな
品番の加工データを制御装置６０に入力するようになっ
ていても良い。

【０１７３】また、制御装置６０は、第１計測カメラ１
４ａが得た画像情報Ｚ１（図４８に示す）から、パッケ
ージ載置ユニット１３によって保持治具２２に載置され
たセラミックパッケージ２と、該セラミックパッケージ
２を載置した保持治具２２と、の相対的な位置を求め
る。

【０１７４】このとき、まず、制御装置６０は、保持治
具２２の上面２４ａの幾何学的な中心Ｃ１と、セラミッ
クパッケージ２の重心ＣＧ１と、セラミックパッケージ
２の長手方向Ｓ１と、を求める。

【０１７５】回転テーブル１１のテーブル本体２１の径
方向Ｋ１と前記長手方向Ｓ１とのなす角θ１を求める。
前記中心Ｃ１と前記重心ＣＧ１との回転テーブル１１の
テーブル本体２１の接線方向に沿った間隔Ｘ１と、前記
中心Ｃ１と前記重心ＣＧ１との回転テーブル１１のテー
ブル本体２１の径方向に沿った間隔Ｙ１と、を求める。
これらの間隔Ｘ１，Ｙ１と角θ１を、保持治具２２とセ
ラミックパッケージ２との相対的な位置とする。

【０１７６】制御装置６０は、第１計測カメラ１４ａか
らの画像情報Ｚ１から求めた保持治具２２とセラミック
パッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基い
て、１次塗布ユニット１５の各駆動モータ７０，７４を
制御して、電極５の適切な位置に、針先８９ａを相対さ
せる。そして、制御装置６０は、１次塗布ユニット１５
に、電極５の適切な位置に、接着剤６を塗布させる。

【０１７７】制御装置６０は、第２計測カメラ１４ｂが
得た画像情報から、電極５への接着剤６の塗布状況の良
否を判定する。制御装置６０は、所定の電極５に接着剤
６が塗布されていれば良品と判定し、所定の電極５に接
着剤６が塗布されていない場合及び誤った電極５に接着
剤６が塗布されている場合には不良品と判定する。ま
た、制御装置６０は、電極５から塗布された接着剤６が
許容される範囲を超えて位置ずれしている場合なども、
不良品と判定する。

【０１７８】さらに、制御装置６０は、水晶計測カメラ
１２６が得た画像情報Ｚ２（図４９に示す）から、吸着
ノズル１４５の先細部２１３と、水晶片３と、の相対的
な位置を算出する。

【０１７９】このとき、まず、制御装置６０は、先細部
２１３の幾何学的な中心Ｃ２と、水晶片３の重心ＣＧ２
と、水晶片３の長手方向Ｓ２と、先細部２１３の長手方
向Ｋ２と、を求める。

【０１８０】前記長手方向Ｋ２と前記長手方向Ｓ２との
なす角θ２を求める。前記中心Ｃ２と前記重心ＣＧ２と
の先細部２１３の幅方向に沿った間隔Ｘ２と、前記中心
Ｃ２と前記重心ＣＧ２との先細部２１３の長手方向に沿
った間隔Ｙ２と、を求める。これらの間隔Ｘ２，Ｙ２と
角θ２を、先細部２１３と水晶片３との相対的な位置と
する。

【０１８１】制御装置６０は、保持治具２２とセラミッ
クパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、
先細部２１３と水晶片３との相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，
θ２とに基いて、水晶載置ユニット１７の各モータ１２
５，１３１，１３５を制御して、セラミックパッケージ
２の適切な位置に先細部２１３を相対させる。そして、
制御装置６０は、先細部２１３に、セラミックパッケー
ジ２の適切な位置に水晶片３を重ねさせる。

【０１８２】制御装置６０は、保持治具２２とセラミッ
クパッケージ２との相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基
いて、２次塗布ユニット１８の各駆動モータ１２４，１
５８を制御して、適切な位置に接着剤６を塗布する。

【０１８３】制御装置６０は、第３計測カメラ１４ｃが
得た画像情報から、セラミックパッケージ２と、該セラ
ミックパッケージ２に取り付けられた水晶片３と、の相
対的な位置を算出する。制御装置６０は、セラミックパ
ッケージ２と水晶片３との位置ずれが所定の範囲内であ
れば、水晶片３付きのセラミックパッケージ２を良品で
あると判定する。制御装置６０は、前記位置ずれが所定
の範囲を超えると水晶片３付きのセラミックパッケージ
２を不良品であると判定する。

【０１８４】また、制御装置６０は、２次塗布ユニット
１８によって接着剤６が塗布されるセラミックパッケー
ジ２においては、この２次塗布ユニット１８による接着
剤６の塗布状況の良否を判定する。このとき、制御装置
６０は、１次塗布ユニット１５による接着剤６の塗布状
況と、同様に良否を判定する。

【０１８５】制御装置６０は、１次塗布ユニット１５に
よる接着剤６の塗布状況と、水晶片３の位置と、２次塗
布ユニット１８による接着剤６の塗布状況と、のうち全
てが良好であるセラミックパッケージ２を、取り出しユ
ニット２０を制御してトレー１６９に載置する。一方、
制御装置６０は、１次塗布ユニット１５による接着剤６
の塗布状況と、水晶片３の位置と、２次塗布ユニット１
８による接着剤６の塗布状況と、のうち少なくとも一つ
が不良であるセラミックパッケージ２を、取り出しユニ
ット２０を制御してＮＧ品収容部２０３まで搬送する。

【０１８６】前述した構成の水晶振動子組立装置１は、
まず、作業員などが前記入力手段などを用いて、組み立
てる水晶振動子の品番と個数などを制御装置６０に入力
する。調整部６７を用いて、１次塗布ユニット１５の注
射筒８４の位置を調整するとともに、必要に応じて２次
塗布ユニット１８の注射筒８４の位置を調整する。

【０１８７】その後、入力手段などから制御装置６０に
作業開始指令を入力する。すると、パッケージ搬入ユニ
ット１２が回転テーブル１１の近傍にトレー３６を搬入
するとともに、水晶搬入ユニット１６が回転テーブル１
１の近傍にトレー１０６を搬入する。パッケージ載置ユ
ニット１３が、トレー３６上のセラミックパッケージ２
を一つずつ保持治具２２上に載置する。回転テーブル１
１が、保持治具２２にセラミックパッケージ２が載置さ
れるのに応じて、矢印Ｒに沿って断続的に回転する。

【０１８８】セラミックパッケージ２が載置された保持
治具２２が、第１計測カメラ１４ａの下方を通ると、該
第１計測カメラ１４ａが保持治具２２とセラミックパッ
ケージ２とを撮像する。そして、１次塗布ユニット１５
が、保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対的
な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１に基いて、保持治具２２に載置
されたセラミックパッケージ２の所定の電極５に接着剤
６を塗布する。

【０１８９】セラミックパッケージ２が載置された保持
治具２２が、第２計測カメラ１４ｂの下方を通ると、該
第２計測カメラ１４ｂが保持治具２２とセラミックパッ
ケージ２とを撮像する。

【０１９０】そして、水晶載置ユニット１７が、水晶片
３を保持し、水晶計測カメラ１２６の上方を通る。水晶
計測カメラ１２６が、先細部２１３と水晶片３とを撮像
する。保持治具２２とセラミックパッケージ２との相対
的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１と、先細部２１３と水晶片３
との相対的な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２とに基いて、水晶片
３をセラミックパッケージ２の適切な位置に重ねる。

【０１９１】必要に応じて、水晶片３が載置されたセラ
ミックパッケージ２に、２次塗布ユニット１８が保持治
具２２とセラミックパッケージ２との相対的な位置Ｘ
１，Ｙ１，θ１に基いて接着剤６を塗布する。セラミッ
クパッケージ２が載置された保持治具２２が、第３計測
カメラ１４ｃの下方を通ると、該第３計測カメラ１４ｃ
が保持治具２２とセラミックパッケージ２とを撮像す
る。

【０１９２】そして、制御装置６０が、第２及び第３計
測カメラ１４ｂ，１４ｃからの画像情報に基いて、水晶
片３付きのセラミックパッケージ２の良否を判定する。
この良否に基いて、取り出しユニット２０が、保持治具
２２から水晶片３付きのセラミックパッケージ２を取り
外して、トレー１６９またはＮＧ品収容部２０３に搬送
する。

【０１９３】本実施形態の水晶振動子組立装置１によれ
ば、第１計測カメラ１４ａが撮像して得た画像情報Ｚ１
から、セラミックパッケージ２と保持治具２２とを相対
的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１を求める。

【０１９４】この求めた相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１
に基いて、セラミックパッケージ２に接着剤６を塗布す
るため、セラミックパッケージ２を位置決めすることな
く、セラミックパッケージ２の適切な位置に接着剤６を
塗布できる。したがって、セラミックパッケージ２に水
晶片３を取り付ける際に、セラミックパッケージ２を位
置決めする必要がない。

【０１９５】また、水晶計測カメラ１２６が撮像して得
た画像情報Ｚ２から先細部２１３と水晶片３とを相対的
な位置Ｘ２，Ｙ２，θ２を求める。前記セラミックパッ
ケージ２と保持治具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，
θ１と、先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ
２，Ｙ２，θ２と、に基いて、水晶片３をセラミックパ
ッケージ２に重ねる。このため、セラミックパッケージ
２と水晶片３を位置決めすることなく、セラミックパッ
ケージ２の適切な位置に水晶片３を重ねることができ
る。

【０１９６】このため、セラミックパッケージ２及び水
晶片３を位置決めするための爪などを用いる必要がなく
なり、勿論該爪を交換する必要がない。したがって、セ
ラミックパッケージ２に水晶片３を取り付ける作業の準
備にかかる手間と時間を抑制できる。また、前述した爪
などを用いる必要がないので、セラミックパッケージ２
に水晶片３を取り付ける作業中に不意にセラミックパッ
ケージ２及び水晶片３などが破損することを防止でき
る。

【０１９７】保持治具２２が、貫通孔２５を通して吸引
することにより上面２４ａにセラミックパッケージ２を
吸着するので、保持治具２２に載置されたセラミックパ
ッケージ２が位置ずれすることを防止できる。このた
め、作業中に、第１計測カメラ１４ａが撮像して得た画
像情報Ｚ１から求めたセラミックパッケージ２と保持治
具２２とを相対的な位置Ｘ１，Ｙ１，θ１から、セラミ
ックパッケージ２が位置ずれすることを防止できる。

【０１９８】先細部２１３が、第２の貫通孔１４９を通
して吸引することにより先端面２１３ａに水晶片３を吸
着するので、先細部２１３に保持された水晶片３が位置
ずれすることを防止できる。このため、作業中に、水晶
計測カメラ１２６が撮像して得た画像情報Ｚ２から求め
た先細部２１３と水晶片３とを相対的な位置Ｘ２，Ｙ
２，θ２から、水晶片３が位置ずれすることを防止でき
る。

【０１９９】このため、位置決めすることなく、セラミ
ックパッケージ２の適切な位置により確実に接着剤６を
塗布でき、セラミックパッケージ２の適切な位置に水晶
片３をより確実に重ねることができる。したがって、セ
ラミックパッケージ２に対する水晶片３の位置が高精度
な水晶振動子を組み立てることができる。

【０２００】

【発明の効果】以上説明したように請求項１に記載の本
発明は、第１の撮像手段が撮像して得たパッケージと保
持治具との相対的な位置に基いて、パッケージに接着剤
を塗布する。このため、パッケージを位置決めすること
なく、パッケージの適切な位置に接着剤を塗布できる。

【０２０１】このため、パッケージを位置決めするため
の爪などを用いる必要がなくなり、勿論該爪を交換する
必要がない。したがって、パッケージに水晶片を取り付
ける作業の準備にかかる手間と時間を抑制できる。ま
た、前述した爪などを用いる必要がないので、パッケー
ジに水晶片を取り付ける作業中に不意にパッケージなど
が破損することを防止できる。

【０２０２】請求項２に記載の本発明は、第２の撮像手
段が撮像して得た載置手段と水晶片との相対的な位置に
基いて、水晶片をパッケージに重ねる。このため、パッ
ケージと水晶片を位置決めすることなく、パッケージの
適切な位置に水晶片を重ねることができる。

【０２０３】このため、水晶片を位置決めするための爪
などを用いる必要がなくなり、勿論該爪を交換する必要
がない。したがって、パッケージに水晶片を取り付ける
作業の準備にかかる手間と時間を抑制できる。また、前
述した爪などを用いる必要がないので、パッケージに水
晶片を取り付ける作業中に不意に水晶片が破損すること
を防止できる。

【０２０４】請求項３に記載の本発明は、第１の撮像手
段が撮像して得た保持治具とパッケージとの相対的な位
置と、第２の撮像手段が撮像して得た載置手段と水晶片
との相対的な位置と、に基いて、水晶片をパッケージに
重ねる。このため、パッケージと水晶片とを位置決めす
ることなく、水晶片をパッケージの適切な位置に重ねる
ことができる。

【０２０５】このため、パッケージ及び水晶片を位置決
めするための爪などを用いる必要がなくなり、勿論該爪
を交換する必要がない。したがって、パッケージに水晶
片を取り付ける作業の準備にかかる手間と時間を抑制で
きる。また、前述した爪などを用いる必要がないので、
パッケージに水晶片を取り付ける作業中に不意にパッケ
ージと水晶片が破損することを防止できる。

【０２０６】請求項４に記載の本発明は、保持治具が載
置面にパッケージを吸着するので、保持治具に載置され
たパッケージが位置ずれすることを防止できる。このた
め、水晶片をパッケージに取り付ける作業中に、第１の
撮像手段が撮像して得た位置からパッケージが位置ずれ
することを防止できる。

【０２０７】このため、位置決めすることなく、パッケ
ージの適切な位置に接着剤を塗布できる。したがって、
準備にかかる手間と時間を抑制でき、パッケージなどが
不意に破損することを防止できることにくわえ、パッケ
ージに高精度に接着剤を塗布できる。

【０２０８】請求項５に記載の本発明は、載置手段が保
持面に水晶片を吸着するので、載置手段に保持された水
晶片が位置ずれすることを防止できる。このため、水晶
片をパッケージに取り付ける作業中に、第２の撮像手段
が撮像して得た位置から水晶片が位置ずれすることを防
止できる。

【０２０９】このため、位置決めすることなく、パッケ
ージの適切な位置に水晶片を重ねることができる。した
がって、準備にかかる手間と時間を抑制でき、パッケー
ジ及び水晶片が不意に破損することを防止できることに
くわえ、パッケージに高精度に水晶片を取り付けること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態にかかる水晶振動子組立装
置を示す側面図である。

【図２】図１に示された水晶振動子組立装置の要部を示
す平面図である。

【図３】図１に示された水晶振動子組立装置によって組
み立てられる水晶振動子のセラミックパッケージを示す
平面図である。

【図４】図３中のＩＶ―ＩＶ線に沿う断面図である。

【図５】図１に示された水晶振動子組立装置によって取
り付けられた水晶片付きセラミックパッケージを示す平
面図である。

【図６】図５中のＶＩ―ＶＩ線に沿う断面図である。

【図７】図１に示された水晶振動子組立装置の回転テー
ブルを示す平面図である。

【図８】図７に示された回転テーブルの側面図である。

【図９】図７に示された回転テーブルの保持治具を示す
平面図である。

【図１０】図９中のＸ―Ｘ線に沿う断面図である。

【図１１】図９中のＸＩ―ＸＩ線に沿う断面図である。

【図１２】図１に示された水晶振動子組立装置のパッケ
ージ搬入ユニットを示す平面図である。

【図１３】図１２中の矢印Ａ方向からみた図である。

【図１４】図１に示された水晶振動子組立装置のパッケ
ージ搬入ユニットとパッケージ載置ユニットを示す平面
図である。

【図１５】図１４中の矢印Ｂ方向からみた図である。

【図１６】図１４に示されたパッケージ載置ユニットの
載置ヘッド部を示す側面図である。

【図１７】図１６中の矢印Ｃ方向からみた図である。

【図１８】図１７中のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。

【図１９】図１６に示された載置ヘッド部の吸着部が下
降した状態を示す側面図である。

【図２０】図１９中の矢印Ｃ１方向からみた図である。

【図２１】図１に示された水晶振動子組立装置の計測カ
メラを示す平面図である。

【図２２】図２１中の矢印Ｅ方向からみた図である。

【図２３】図１に示された水晶振動子組立装置の１次塗
布ユニットを示す平面図である。

【図２４】図２３中の矢印Ｆ方向からみた一部を断面で
示す図である。

【図２５】図２３中の矢印Ｇ方向からみた図である。

【図２６】図２３に示された１次塗布ユニットの調整部
を示す正面図である。

【図２７】図２６中の矢印Ｈ方向からみた図である。

【図２８】図１に示された水晶振動子組立装置の水晶搬
入ユニットを示す平面図である。

【図２９】図２８中の矢印Ｉ方向からみた図である。

【図３０】図１に示された水晶振動子組立装置の水晶搬
入ユニットと水晶載置ユニットを示す平面図である。

【図３１】図３０中の矢印Ｊ方向からみた図である。

【図３２】図３０に示された水晶載置ユニットの水晶計
測カメラを示す側面図である。

【図３３】図３０に示された水晶載置ユニットの載置ヘ
ッド部を示す平面図である。

【図３４】図３３中の矢印Ｋ方向からみた図である。

【図３５】図３３に示された載置ヘッド部の吸着部が下
降した状態を示す側面図である。

【図３６】図１に示された水晶振動子組立装置の２次塗
布ユニットを示す平面図である。

【図３７】図３６中の矢印Ｌ方向からみた一部を断面で
示す図である。

【図３８】図３６中の矢印Ｍ方向からみた図である。

【図３９】図１に示された水晶振動子組立装置の搬出ユ
ニットを示す平面図である。

【図４０】図３９中の矢印Ｎ方向からみた図である。

【図４１】図１に示された水晶振動子組立装置の搬出ユ
ニットと取り出しユニットを示す平面図である。

【図４２】図４１中の矢印Ｏ方向からみた図である。

【図４３】図４１に示された取り出しユニットの取り出
しヘッド部を示す正面図である。

【図４４】図４３中の矢印Ｐ方向からみた図である。

【図４５】図３３に示された載置ヘッド部の吸着ノズル
のノズル部を一部断面で示す正面図である。

【図４６】図４５中の矢印Ｓ方向からみた図である。

【図４７】図４５に示されたノズル部の先端面を示す平
面図である。

【図４８】第１計測カメラが撮像して得た画像情報の一
例を示す説明図である。

【図４９】水晶計測カメラが撮像して得た画像情報の一
例を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 水晶振動子組立装置 ２ セラミックパッケージ（パッケージ） ３ 水晶片 ６ 接着剤 １４ａ 第１計測カメラ（第１の撮像手段） １５ １次塗布ユニット（塗布手段） ２２ 保持治具 ２４ａ 上面（載置面） ２５ 貫通孔 ６０ 制御装置（制御手段） １２６ 水晶計測カメラ（第２の撮像手段） １４９ 第２の貫通孔 ２１３ 先細部（載置手段） ２１３ａ 先端面（保持面） Ｘ１、Ｙ１、θ１ パッケージと保持治具との相対的な
位置 Ｘ２、Ｙ２、θ２ 水晶片と先細部との相対的な位置 Ｚ１ 第１の撮像手段が撮像して得た画像情報 Ｚ２ 第２の撮像手段が撮像して得た画像情報

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 泰 埼玉県鶴ヶ島市富士見６丁目１番１号 株 式会社パイオニアエフ・エー内 (72)発明者 川合 憲人 埼玉県鶴ヶ島市富士見６丁目１番１号 株 式会社パイオニアエフ・エー内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パッケージに水晶片を取り付ける水晶振
   動子組立装置において、 前記パッケージを載置する保持治具と、 前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具とを
   撮像可能な第１の撮像手段と、 前記パッケージに導電性を有する接着剤を塗布する塗布
   手段と、 前記第１の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パ
   ッケージと該パッケージを載置した保持治具との相対的
   な位置を求め、この相対的な位置に基づいて前記塗布手
   段に前記パッケージの適切な位置に前記接着剤を塗布さ
   せる制御手段と、 を備えたことを特徴とする水晶振動子組立装置。
2. 【請求項２】 パッケージに水晶片を取り付ける水晶振
   動子組立装置において、 前記水晶片を保持して前記パッケージに重ねる載置手段
   と、 前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能
   な第２の撮像手段と、を備え、 第２の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記水晶片
   と該水晶片を保持した載置手段との相対的な位置を求
   め、この相対的な位置に基いて前記載置手段に前記パッ
   ケージの適切な位置に前記水晶片を重ねさせる前記制御
   手段と、を備えたことを特徴とする水晶振動子組立装
   置。
3. 【請求項３】 パッケージに水晶片を取り付ける水晶振
   動子組立装置において、 前記パッケージを載置する保持治具と、 前記パッケージと該パッケージを載置した保持治具とを
   撮像可能な第１の撮像手段と、 前記パッケージに導電性を有する接着剤を塗布する塗布
   手段と、 前記水晶片を保持して前記パッケージに重ねる載置手段
   と、 前記水晶片と該水晶片を保持した載置手段とを撮像可能
   な第２の撮像手段と、 前記第１の撮像手段が撮像して得た画像情報から前記パ
   ッケージと該パッケージを載置した保持治具との相対的
   な位置を求め、この相対的な位置に基づいて前記塗布手
   段に前記パッケージの適切な位置に導電性を有する接着
   剤を塗布させるとともに、第２の撮像手段が撮像して得
   た画像情報から前記水晶片と該水晶片を保持した載置手
   段との相対的な位置を求め、前記保持治具と前記パッケ
   ージとの相対的な位置と、前記載置手段と前記水晶片と
   の相対的な位置と、に基いて前記載置手段に前記パッケ
   ージの適切な位置に前記水晶片を重ねさせる制御手段
   と、を備えたことを特徴とする水晶振動子組立装置。
4. 【請求項４】 前記保持治具は、前記パッケージが載置
   される載置面と、前記載置面に開口した貫通孔と、を備
   え、前記貫通孔を通して外気を吸引することにより前記
   載置面に前記パッケージを吸着することを特徴とする請
   求項１または請求項３記載の水晶振動子組立装置。
5. 【請求項５】 前記載置手段は、前記水晶片を保持する
   保持面と、前記保持面に開口した第２の貫通孔と、を備
   え、前記第２の貫通孔を通して外気を吸引することによ
   り前記保持面に前記水晶片を吸着することを特徴とする
   請求項２または請求項３記載の水晶振動子組立装置。