KR101141806B1 - 도포 장치와 그 도포 위치 보정 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 과제는, 갠트리나 그 도포 헤드의 위치 어긋남의 보정을 가능하게 하는 것이다.
베이스(1) 상에서 기판 적재대(8)를 넘도록 하여, X축 방향으로 이동 가능하게 설치된 갠트리(3L, 3R) 각각에, 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)가 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 기판 적재대(8)의 갠트리(3L, 3R)측에 각각 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)이 설치되고, 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)에 갠트리(3L, 3R)의 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)에 의해 페이스트 마크가 묘화되고, 그들의 위치를 바탕으로, 도포 헤드(5La 내지 5Lc) 사이의, 또한 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc) 사이의 XY축 방향의 위치 어긋남이 검출된다. 또한, 기판 적재대(8)의 중앙부에 기준 위치 마크(9)가 설치되고, 갠트리(3L, 3R)의 이 기준 위치 마크(9)로의 이동 거리를 검출함으로써, 이들 갠트리(3L, 3R)의 X축 방향의 위치 어긋남이 검출된다.

Description

도포 장치와 그 도포 위치 보정 방법 {APPLYING APPARATUS AND APPLYING POSITION CORRECTION METHOD THEREOF}
본 발명은, 액정 패널 등의 플랫 패널의 제조를 위한 도포 장치에 관한 것으로, 특히 도포 헤드가 이동 가능하게 설치된 갠트리를 구비하고, 이들 도포 헤드를 X, Y축 방향으로 이동시키면서, 도포 헤드로부터 기판 상에 접착제 등의 페이스트를 도포하여, 기판 상에 소정의 페이스트 패턴을 묘화하는 도포 장치와 그 도포 위치 보정 방법에 관한 것이다.
LCD(액정 표시 장치) 패널 등의 플랫 패널의 분야에 있어서는, 그 패널의 작성 효율을 도모하기 위해, 1매의 글래스 기판으로부터 복수의 패널 기판이 얻어지도록, 글래스 기판의 사이즈의 대형화가 진행되고 있고, 이것에 수반하여 이러한 플랫 패널을 작성하기 위해 글래스 기판에 접착제 등의 페이스트를 도포하기 위한 도포 장치도 대형화되고 있다. 이러한 도포 장치에서는, 복수의 도포 헤드가 설치된 갠트리가 사용되고, 이들 도포 헤드를 동시에 동일한 궤적을 따라 이동시키면서 페이스트를 도포함으로써, 동일한 글래스 기판 상에 동일한 페이스트 패턴이 동시에 형성되도록 하고 있다.
이러한 도포 장치의 일 종래예로서, 가대 상에 기판이 보유 지지되는 기판 보유 지지부가 설치되고, 이 기판을 넘도록 하여, 일방향(X축 방향)으로 왕복 이동이 가능한 2대의 갠트리가 설치되고, 이들 각각의 갠트리에 그 길이 방향(Y방향)으로 배열되어 그 방향으로 이동 가능한 복수의 도포 헤드가 설치되고, 이들 도포 헤드가 갠트리의 길이 방향(Y축 방향)으로 이동하고, 각각의 갠트리가 그 길이 방향에 수직인 방향(X축 방향)으로 이동함으로써, 이들 도포 헤드가 페이스트를 토출하면서 동일한 궤적을 따라 이동하고, 동일한 기판 상에 복수의 동일한 페이스트 패턴을 묘화하도록 한 기술이 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).
또한, 다른 종래예로서, 복수의 도포 헤드가 설치된 2대 갠트리를 설치한 것이지만, 한쪽의 갠트리를 고정하고, 다른 쪽의 갠트리를 이동 가능하게 하고, 이 갠트리를 이동시킴으로써, 2대의 갠트리를 소정의 간격으로 설치할 수 있도록 하고, 이러한 상태에서 기판을 2방향으로 이동시켜, 각각의 갠트리의 도포 헤드로부터 페이스트를 토출시킴으로써, 이 기판 상에 복수의 동일한 페이스트 패턴을 동시에 묘화하도록 한 도포 장치가 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 2 참조).
또한, 이 특허 문헌 2에 기재된 도포 장치에서는, 갠트리에 설치되어 있는 도포 헤드마다, 그 노즐을 갠트리의 이동 방향에 평행한 방향(Y축 방향)으로 이동시키는 수단도 설치되어 있고, 기판에 θ축 방향의 어긋남이 있는 경우에는, 이러한 수단에 의해 각각의 도포 헤드를 갠트리에 대해 Y축 방향으로 변위(위치 조정)시킴으로써, 기판의 θ축 방향의 어긋남을 보상하도록 하고 있다.
또 다른 종래예로서, 프레임(갠트리)에 복수의 헤드 유닛(도포 헤드)이 설치되고, 이들 헤드 유닛의 노즐을 XYZ의 3방향으로 이동 가능하게 하고, 이러한 프레임은 고정으로 하여, 기판을 평면 상의 XY축 방향으로 이동시킴으로써, 복수의 페이스트 패턴을 묘화하도록 한 페이스트 도포기가 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 3 참조).
이러한 특허 문헌 3에 기재된 기술에서는, X축 방향을 프레임의 길이 방향, Y축 방향을 프레임의 길이 방향에 수직인 방향, Z축 방향을 기판에 대한 노즐의 높이 방향으로 하여, 헤드 유닛이 교환되었을 때에, 교환된 새로운 헤드 유닛에 대해 그 노즐을 XY 방향으로 이동시킴으로써, 헤드 유닛의 교환에 의한 새로운 헤드 유닛의 노즐의 위치 어긋남을 보정하는 것이다.
이러한 교환 노즐의 위치 어긋남의 보정 방법으로서는, 기판이 적재되는 스테이지의 소정의 위치에 계측 수단이 설치되고, 복수의 노즐 중 교환 노즐 이외의 1개를 기준 노즐로 하여, 이 계측 수단을 소정의 위치로 이동시키고, 그 위치에서의 계측 수단과 기준 노즐의 위치 어긋남을 검출하여 계측 수단의 보정 위치를 구하고, 이 보정 위치로 계측 수단을 이동시킨 후, 교환 노즐에 대응하는 소정의 위치로 이동시키고, 이 소정의 위치와 교환 노즐의 위치 어긋남을 검출하여, 이 교환 노즐의 보정 위치를 구하는 것이고, 이에 의해 더미 기판에 페이스트를 도포하는 작업을 행하는 일 없이, 교환 노즐의 위치 어긋남을 보정할 수 있다고 하는 것이다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 출원 공개 제2002-346452호 공보 [특허 문헌 2] 일본 특허 출원 공개 제2003-225606호 공보 [특허 문헌 3] 일본 특허 출원 공개 제2005-7393호 공보
LCD 패널 등의 제조를 위해, 복수의 갠트리에 설치된 복수의 도포 헤드를 사용하여 대형의 동일한 기판에 복수의 동일한 페이스트 패턴을 동시에 묘화하는 경우에는, 이러한 기판으로부터 복수의 패널로 분단하는 등의 후공정의 작업상으로부터, 페이스트 패턴이 묘화된 각각의 기판 상에서, 이들 페이스트 패턴이 각각 항상 기판 상의 정해진 위치에 묘화되는 것이 필요하다. 이것을 위해서는, 동일한 갠트리에 설치되어 있는 복수의 도포 헤드 사이에서 항상 정확한 위치 관계가 설정되어 있는 것이 필요하고, 다른 갠트리에 설치된 도포 헤드 사이에서도 항상 정확한 위치 관계가 설정되어 있는 것이 필요하며, 갠트리 사이에서 항상 위치 관계가 정확하게 설정되어 있는 것도 필요하다. 이로 인해, 각각의 도포 헤드의 노즐의 위치를 감시하여, 위치 어긋남이 발생한 경우에는 그것을 보정하는 것이 필요하다. 특히, 도포 헤드의 시린지(페이스트 수납통)에 수납되어 있는 페이스트를 다 사용하여 새로운 도포 헤드로 교환하는 경우에는, 그 노즐에 위치 어긋남이 발생할 가능성이 있어, 이것을 위한 노즐의 위치 조정이 필요해진다.
이에 대해, 상기 특허 문헌 1에는, 복수의 도포 헤드가 설치된 2대의 갠트리를 사용하여, 기판을 고정하고, 갠트리의 이동과 갠트리에 대한 도포 헤드의 이동에 의해, 이 기판 상에 복수의 동일한 페이스트 패턴을 동시에 묘화하는 기술이 개시되어 있지만, 각각의 도포 헤드의 노즐의 위치 어긋남의 조정에 관해서는 기재되어 있지 않고, 갠트리 사이의 위치 어긋남의 조정에 대해서도 기재되어 있지 않다.
또한, 상기 특허 문헌 2에 기재된 기술은, 갠트리에 설치되어 있는 도포 헤드를 기판면에 평행하고 갠트리의 길이 방향에 수직인 방향으로 위치 조정하는 수단이 설치되어 있어 도포 헤드의 위치 조정을 가능하게 하고 있지만, 이러한 위치 조정은 기판의 θ축 방향의 어긋남을 도포 헤드의 배열로 보정하는 것이며, 기판에 설치된 위치 결정용 마크의 위치 어긋남의 검출 결과에 기초하여 행해지는 것이다.
그러나 도포 장치를 사용하기 위해, 갠트리에 복수의 도포 헤드를 장착하거나, 도포 헤드의 교환을 하거나 하여 도포 헤드에 위치 어긋남이 발생하는 경우가 있지만, 기판의 θ축 방향의 어긋남에 따라서 도포 헤드의 배열을 조정하는 것인, 상기 특허 문헌 2에 기재된 방법에서는 이러한 도포 헤드 사이의 위치 어긋남의 점에 대해서는 배려되어 있지 않다.
또한, 상기 특허 문헌 2에 기재된 발명에서는, 한쪽의 갠트리를 고정하고, 다른 쪽의 갠트리를 이동 가능하게 하여, 이 갠트리를 이동시킴으로써 고정된 한쪽의 갠트리에 대한 다른 쪽의 갠트리의 위치 관계를 설정하는 것이지만, 이들 갠트리 사이의 위치 어긋남을 조정하는 점에 있어서는 배려되어 있지 않다.
동일한 기판 상에 복수의 갠트리에 설치된 복수의 도포 헤드를 사용하여 복수의 페이스트 패턴을 묘화하는 경우, 상기 특허 문헌 1에 기재된 기술과 같이, 2대의 갠트리가 함께 이동 가능한 경우에는, 기판에 대한 각각의 갠트리의 위치 관계가 규정된 관계가 되도록 이들 2대의 갠트리의 위치 관계를 설정하는 것은 매우 곤란하다
또한, 특허 문헌 3에 기재된 기술에서는, 헤드 유닛이 교환되었을 때에, 교환된 새로운 헤드 유닛에 대해, 그 노즐(교환 노즐)을 XY축 방향으로 이동시킴으로써, 교환 노즐의 위치 어긋남을 보정하는 것이지만, 이로 인해 이동 가능한 계측 수단이 설치되고, 이 계측 수단이 교환 노즐의 위치까지 이동하여, 이 계측 수단의 이동 거리로부터 이 교환 노즐의 위치 어긋남을 검출하는 것이며, 계측 수단이나 그것을 이동시키는 수단, 이동시키는 처리 등이 필요해진다.
또한, 특허 문헌 3에 기재된 기술에서는, 갠트리(프레임)는 1대만이 사용되고, 또한 이 갠트리는 고정되어 있는 것이며, 갠트리 사이의 위치 관계의 조정 등의 문제는 발생하지 않는다.
본 발명의 목적은, 이러한 문제를 해소하고, 페이스트 패턴의 묘화시에 이동하는 복수대의 갠트리를 사용하여, 이들 갠트리의 위치 관계의 어긋남이나 이들 갠트리에 설치되어 있는 도포 헤드 사이의 위치 어긋남을 보정할 수 있도록 한 도포 장치와 그 도포 위치 보정 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 가대 상에 제1 방향으로 이동 가능하게 복수의 갠트리가 설치되고, 갠트리마다 갠트리의 길이 방향을 따르는 제2 방향으로 이동 가능하게 복수의 도포 헤드가 설치되고, 갠트리의 제1 방향으로의 이동과 도포 헤드의 갠트리에 대한 제2 방향으로의 이동에 의해, 도포 헤드가 제1, 제2 방향으로 이동하면서, 가대에 설치된 기판 적재대에 적재된 기판 상에 페이스트를 도포하고, 도포 헤드마다 기판 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 도포 장치이며, 도포 헤드는 각각 카메라를 구비하고, 기판 적재대에, 갠트리마다 갠트리에 설치된 복수의 도포 헤드의 위치 정렬을 위한 폐기용 글래스 기판을 설치하는 동시에, 복수의 갠트리의 위치 정렬을 위한 기준 위치 마크를 설치하고, 폐기용 글래스 기판에는, 동일한 갠트리에서의 복수의 도포 헤드로부터 페이스트가 도포되어 페이스트 마크가 묘화되고, 폐기용 글래스 기판 상에 묘화된 페이스트 마크를 카메라에 의해 촬상하여 페이스트 마크의 묘화 위치를 검출함으로써, 갠트리에서의 복수의 도포 헤드 사이의 위치 어긋남을 검출하고, 검출한 위치 어긋남에 따라서, 복수의 도포 헤드 상호간의 위치 정렬을 행하는 제1 수단과, 복수의 갠트리 각각을 기판 적재대 상의 기준 위치 마크가 카메라에 의해 촬상되는 위치까지 제1 방향으로 이동시킴으로써, 갠트리 각각의 기준 위치 마크의 위치까지의 이동 거리를 검출하여, 갠트리마다 페이스트 패턴 묘화를 위한 미리 정해진 대기 위치로부터의 제1 방향의 위치 어긋남을 검출하고, 검출한 위치 어긋남에 따라서, 갠트리마다 대기 위치로의 위치 정렬을 행하는 제2 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 도포 장치는, 기준 위치 마크가, 기판 적재대에 중앙부 부근에 설치된 기판 보유 지지용 흡착 구멍인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 도포 장치는, 도포 헤드가, 갠트리가 이동하는 제1 방향으로 이동 가능하며, 제1 방향의 위치 정렬을 가능하게 한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 도포 장치는, 갠트리마다 갠트리에 설치되어 있는 복수의 도포 헤드 중 1개를 기준 도포 헤드로 하고, 기준 도포 헤드는 제1 방향에 대해서는 위치 고정으로 하여, 기준 도포 헤드 이외의 도포 헤드를 제1 방향으로 이동 가능하게 하고, 기준 도포 헤드 이외의 도포 헤드를, 기준 도포 헤드에 제1 방향의 위치 정렬을 가능하게 한 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 가대 상에 제1 방향으로 이동 가능하게 복수의 갠트리가 설치되고, 갠트리마다 갠트리의 길이 방향을 따르는 제2 방향으로 이동 가능하게 복수의 도포 헤드가 설치되고, 갠트리의 제1 방향으로의 이동과 도포 헤드의 갠트리에 대한 제2 방향으로의 이동에 의해, 도포 헤드가 제1, 제2 방향으로 이동하면서, 가대에 설치된 기판 적재대에 적재된 기판 상에 페이스트를 도포하고, 도포 헤드마다 기판 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 도포 장치의 도포 위치 보정 방법이며, 갠트리마다 기판 적재대에 폐기용 글래스 기판이 설치되어 있고, 폐기용 글래스 기판 상에, 이것에 해당되는 갠트리에 설치된 복수의 도포 헤드마다 페이스트 마크를 묘화하고, 묘화된 각각의 페이스트 마크를 카메라에 의해 촬상함으로써 그 위치를 검출하여 복수의 도포 헤드 상호간의 위치 어긋남을 검출하고, 검출한 위치 어긋남을 바탕으로, 복수의 도포 헤드의 위치 정렬을 행하여, 기판 적재대에 기준 위치 마크가 설치되고, 복수의 갠트리를 각각 기준 위치 마크의 위치까지 이동시켜, 복수의 갠트리마다 기준 위치 마크의 위치에 대한 갠트리의 미리 정해진 대기 위치로부터의 제1 방향의 위치 어긋남을 검출하고, 검출한 위치 어긋남을 바탕으로, 복수의 갠트리를 대기 위치에 위치 정렬을 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 도포 장치의 도포 위치 보정 방법은, 기준 위치 마크가, 기판 적재대에 중앙부 부근에 설치된 기판 보유 지지용 흡착 구멍인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 도포 장치의 도포 위치 보정 방법은, 도포 헤드가, 갠트리가 이동하는 제1 방향으로 이동 가능하며, 제1 방향의 위치 정렬을 가능하게 한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 도포 장치의 도포 위치 보정 방법은, 갠트리마다 갠트리에 설치되어 있는 복수의 도포 헤드 중 1개를 기준 도포 헤드로 하고, 기준 도포 헤드는 제1 방향에 대해서는 위치 고정으로 하여, 기준 도포 헤드 이외의 도포 헤드를 제1 방향으로 이동 가능하게 하고, 기준 도포 헤드 이외의 도포 헤드를, 기준 도포 헤드에 제1 방향의 위치 정렬을 가능하게 한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 기판 적재대에 폐기용 글래스 기판을 설치하고, 이 폐기용 글래스 기판에 갠트리에 설치된 복수의 도포 헤드에 의해 페이스트 마크를 도포하는 것만으로, 이들 도포 헤드 사이의 위치 어긋남을 검출하는 것이므로, 각 갠트리에서의 도포 헤드 사이의 위치 어긋남을 단시간에 정확하게 검출하여, 보정하는 것이 가능해지고, 또한 기판 적재대에 설치된 위치 기준 마크를 바탕으로, 각 갠트리의 위치 어긋남을 검출하는 것이므로, 갠트리 사이의 위치 어긋남을 단시간에 정확하게 검출할 수 있어 그 위치 어긋남을 보정할 수 있고, 따라서 모든 갠트리에서의 도포 헤드 사이의 위치 관계를 단시간에 정확하게 설정할 수 있어, 기판에서의 페이스트 패턴의 도포 정밀도가 대폭으로 향상된다.
도 1은 본 발명에 따른 도포 장치의 일 실시 형태를 도시하는 사시도.
도 2는 도 1에 있어서의 기판 탑재대(8)의 일 구체예를 도시하는 사시도.
도 3은 도 1에 있어서의 도포 헤드의 일 구체예를 도시하는 측면도.
도 4는 도 1 및 도 3의 각 부의 동작을 제어하는 제어계의 일 구체예를 도시하는 블록 구성도.
도 5는 도 1에 있어서의 갠트리와 도포 헤드의 위치 어긋남의 보정(위치 정렬)의 수순의 일 구체예를 나타내는 흐름도.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 의해 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 도포 장치의 일 실시 형태를 도시하는 사시도이며, 부호 1은 가대, 1a는 전방면, 1b는 상면, 1c는 우측면, 1d는 좌측면, 1e는 이면, 2a, 2b는 리니어 레일, 3R, 3L은 갠트리, 4Ra, 4Rb, 4La, 4Lb는 리니어 구동 기구, 5Ra 내지 5Rc, 5La 내지 5Lc는 도포 헤드, 6은 시린지(페이스트 수납통), 7은 CCD 카메라, 8은 기판 탑재대, 9는 기준 위치 마크, 10a, 10b는 폐기용 글래스 기판이다.
도 1에 있어서, 여기서는 가대(1)의 전방면(1a) 및 이면(1e)에 평행한 방향을 X축 방향, 가대(1)의 우측면(1c) 및 좌측면(1d)에 평행한 방향을 Y축 방향, 가대(1)의 상면(1b)에 수직인 방향을 Z축 방향으로 하고 있고, 가대(1)의 상면(1b)에는 그 전방면(1a)측의 변을 따라 X축 방향으로 리니어 레일(2a)이, 또한 그 이면(1e)측의 변을 따라 X축 방향으로 리니어 레일(2b)이 각각 설치되어 있다. 이들 리니어 레일(2a, 2b)은, 우측면(1c)으로부터 좌측면(1d)까지 연신되어 있다.
리니어 레일(2a)에 리니어 구동 기구(4Ra)가, 리니어 레일(2b)에 리니어 구동 기구(4Rb)가 각각 설치되어 있고, 리니어 구동 기구(4Ra)에 갠트리(3R)의 한쪽 단부가, 리니어 구동 기구(4Rb)에 갠트리(3R)의 다른 쪽의 단부가 각각 적재되어, 이들 리니어 레일(2a, 2b) 사이를 넘도록 갠트리(3R)가 설치되어 있다. 리니어 구동 기구(4Ra, 4Rb)는 각각, 리니어 레일(2a, 2b)과 함께, 리니어 모터(X축 리니어 모터)를 구성하고 있고, 리니어 구동 기구(4Ra, 4Rb)가 리니어 레일(2a, 2b)을 따라 이동함으로써 갠트리(3R)가 X축 방향으로 이동한다. 이 경우, 갠트리(3R)는 이러한 이동에 의해 X축 방향의 어느 위치에 있어도, 가대(1)의 우측면(1c)에 평행(즉, Y축 방향에 평행)하고, 이와 같이 리니어 구동 기구(4Ra, 4Rb)가 항상 위치 제어된다.
마찬가지로 하여, 리니어 레일(2a)에 리니어 구동 기구(4La)가, 리니어 레일(2b)에 리니어 구동 기구(4Lb)가 각각 설치되어 있고, 리니어 구동 기구(4La)에 갠트리(3L)의 한쪽 단부가, 리니어 구동 기구(4Lb)에 갠트리(3L)의 다른 쪽 단부가 각각 적재되어, 이들 리니어 레일(2a, 2b) 사이를 넘도록 갠트리(3L)가 설치되어 있다. 리니어 구동 기구(4La, 4Lb)는 각각, 리니어 레일(2a, 2b)과 함께, 리니어 모터(X축 리니어 모터)를 구성하고 있고, 리니어 구동 기구(4La, 4Lb)가 리니어 레일(2a, 2b)을 따라 이동함으로써, 갠트리(3L)가 X축 방향으로 이동한다. 이 경우, 갠트리(3L)는 이러한 이동에 의해 X축 방향의 어느 위치에 있어도, 가대(1)의 좌측면(1d)에 평행(즉, Y축 방향에 평행)하고, 이와 같이 리니어 구동 기구(4La, 4Lb)가 항상 위치 제어된다.
따라서, 갠트리(3R)와 갠트리(3L)는, 항상 Y축 방향으로 연신된 서로 평행한 상태로 제어된다.
갠트리(3R)의 갠트리(3L)에 대향하는 측의 면에, 복수(여기서는, 3개)의 도포 헤드(5Ra, 5Rb, 5Rc)가 갠트리(3R)의 길이 방향(Y축 방향)으로 배열되고, 또한 갠트리(3R)를 따라 이동 가능하게 설치되어 있고, 마찬가지로 갠트리(3R)의 갠트리(3L)에 대향하는 측의 면에도, 갠트리(3R)와 동일한 개수(여기서는, 3개)의 도포 헤드(5La, 5Lb, 5Lc)가 갠트리(3L)의 길이 방향(Y축 방향)으로 배열되고, 또한 갠트리(3L)를 따라 이동 가능하게 설치되어 있다.
여기서, 갠트리(3L)에 설치된 도포 헤드(5La)에 대해 보면, 이것에는 기판(도시하지 않음)에 도포하는 페이스트가 수납된 시린지(6)나 이 도포 헤드(5La)에 의해 도포된 페이스트의 상태를 촬상하기 위한 CCD 카메라(7)가 설치되어 있고, 또한 도시하지 않지만 시린지(6)로부터의 페이스트를 기판 상에 토출하기 위한 노즐이나 노즐과 기판의 간격을 측정하는 센서, 노즐을 상하 방향(Z축 방향)으로 이동시키는 Z축 구동 기구 등도 설치되어 있다. 이 Z축 구동 기구는, 노즐과 함께, 실린더나 CCD 카메라, 센서 등도 Z축 방향으로 이동시킨다. 또한, 이 CCD 카메라는, 도포 헤드(5La)와 함께 이동한다.
다른 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc, 5Lb, 5Lc)도, 설명을 생략하지만, 도포 헤드(5La)와 동일한 상기한 구성을 이루고 있다.
가대(1)의 상면(1b)에는, 리니어 레일(2a, 2b) 사이에 기판(도시하지 않음)이 적재되는 기판 적재대(8)가 설치되어 있다. 이 기판 적재대(8)에는, 도시하지 않지만 탑재된 기판을 이 기판 적재대(8)에 고정하기 위한 기판 흡착 수단이 설치되어 있고, 또한 탑재된 기판의 X, Y축 방향의 위치를 조정하기 위한 도시하지 않은 XY축 방향 위치 조정 수단이나, 탑재된 기판의 θ축 방향의 어긋남을 보정하기 위한 도시하지 않은 θ축 방향 보정 테이블도 설치되어 있다.
도 2는 도 1에 있어서의 기판 탑재대(8)의 일 구체예를 도시하는 사시도이며, 부호 8a는 상면, 8b는 좌측면, 8c는 우측면, 11a, 11b는 연결 부재, 12a, 12b는 홈부이고, 도 1에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다.
도 2에 있어서, 기판 적재대(8)의 상면(8a)에는, X축 방향에 대향하는 좌측면(8b)측의 변과 우측면(8c)측의 변에 각각 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)이 설치되어 있다. 이들 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)은 Y축 방향에 서로 평행하며, 이들 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)의 한쪽 단부가 연결 부재(11a)에 의해 연결되고, 다른 쪽 단부가 연결 부재(11b)에 의해 연결되어 있다.
또한, 기판 적재대(8)의 상면(8a)에는, 우측면(8b)으로부터 좌측면(8c)에 걸쳐, 또한 2개의 연결 부재(11a, 11b)의 간격과 동등한 간격으로 2개의 홈부(12a, 12b)가 설치되어 있다. 이들 홈부(12a, 12b)는, 그들의 횡단면의 형상, 치수가 연결 부재(11a, 11b)의 횡단면의 형상, 치수와 동등하다.
연결 부재(11a, 11b)에 의해 연결된 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)은, 연결 부재(11a)가 홈부(12a)에, 연결 부재(11b)가 홈부(12a)에 각각 끼워 넣어짐으로써 기판 탑재대(8)의 상면(8a)에 장착된다. 이 경우, 폐기용 글래스 기판(10a)이 이 상면(8a)의 좌측면(8b)측의 변을 따라 위치 부여되고, 폐기용 글래스 기판(10b)이 이 상면(8a)의 우측면(8c)측의 변을 따라 위치 부여되도록 연결 부재(11a, 11b)가 각각 홈부(12a, 12b)에 끼워 넣어진다.
폐기용 글래스 기판(10a)은 도 1에서의 갠트리(3L)에 설치된 도포 헤드(5La 내지 5Lc)의 XY축 방향의 위치 어긋남을 검출하기 위해 사용되는 것이다. 이 경우, 이들 도포 헤드(5La 내지 5Lc) 중 어느 하나를 기준 도포 헤드로 하고[이하에서는, 도포 헤드(5La)를 갠트리(3L)측의 기준 도포 헤드로 함], 이 기준 도포 헤드(5La)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc)의 XY축 방향의 위치 어긋남을 검출한다. 이 위치 어긋남의 검출은, 이들 도포 헤드(5La 내지 5Lc)에 의해 폐기용 글래스 기판(10a) 상에 페이스트를 도포하여 소정의 페이스트 마크(예를 들어, 십자 마크)를 묘화하고, 기준 도포 헤드(5La)에 설치된 CCD 카메라(7)(도 1)에 의해 이들 페이스트 마크를 촬상하고, 이들 페이스트 마크의 중심 위치를 검출함으로써, 이들 중심 위치의 검출 위치를 도포 헤드(5La 내지 5Lc)의 위치(보다 구체적으로는, 그들 노즐의 페이스트 토출구의 위치)로 하는 것이며, 이들 검출 위치로부터, 기준 도포 헤드(5La)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc)의 XY축 방향의 위치 어긋남을 검출할 수 있다.
폐기용 글래스 기판(10b)은, 도 1에서의 갠트리(3R)에 설치된 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)의 XY축 방향의 위치 어긋남을 검출하기 위해 사용되는 것이다. 이 경우도, 상기와 마찬가지로 하여, 이들 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc) 중 어느 하나를 기준 도포 헤드로 하고[이하에서는, 도포 헤드(5Ra)를 갠트리(3R)측의 기준 도포 헤드로 함], 이들 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)에 의해 폐기용 글래스 기판(10b) 상에 페이스트 마크를 묘화하고, 이들 페이스트 마크를 기준 도포 헤드(5Ra)의 CCD 카메라에 의해 촬상하고, 이들 페이스트 마크의 중심 위치를 검출함으로써, 상기와 마찬가지로 하여, 이 기준 도포 헤드(5Ra)에 대한 도포 헤드(5Rb, 5Rc)의 XY축 방향의 위치 어긋남을 검출하는 것이다.
이상의 위치 어긋남의 검출 결과를 바탕으로, 갠트리(3L)에서의 도포 헤드(5La 내지 5Lc)의 XY축 방향의 위치 어긋남[즉, 기준 도포 헤드(5La)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc)의 위치 어긋남]이 보정되게 되어, 이들 도포 헤드(5La 내지 5Lc)에서의 노즐의 페이스트 토출구가 Y축 방향을 따라 소정의 간격으로 배열된 상태로 된다. 마찬가지로 하여, 갠트리(3R)에서의 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)에 대해서도, XY축 방향의 위치 어긋남이 보정됨으로써, 이들 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)에서의 노즐의 페이스트 토출구가 Y축 방향을 따라 소정의 간격으로 배열된 상태로 된다.
기판 적재대(8)의 상면(8a)의 중심 위치에는, 기준 위치 마크(9)가 설치되어 있다. 이 기준 위치 마크(9)는, 2대의 갠트리(3L, 3R) 사이의 위치 어긋남을 검출하기 위한 것이다. 갠트리(3L, 3R)는, 이 위치 어긋남을 보정하기 위해, 각각 독립적으로 X축 방향으로 이동시키는 것도 가능하고, 이 위치 어긋남을 보정하기 위해, 도 1에 있어서 갠트리(3L)를 현재의 위치로부터 우측 방향(X축 방향)으로 이동시키고, 또한 기준 도포 헤드(5La)를 Y축 방향으로 이동시켜 이 기준 도포 헤드(5La)에 설치되어 있는 CCD 카메라(7)가 기준 위치 마크(9)를 촬상하는 상태로 한다. 그리고 이 기준 위치 마크(9)를 촬상하여 그 중심 위치를 구한다. 이동 전의 기준 도포 헤드(5La)의 위치와 이 기준 위치 마크(9)의 검출 위치의 X축 방향의 차가 기준 위치 마크(9)에 대한 갠트리(3L)의 위치[갠트리(3L)까지의 거리]가 되고, 미리 설정된 거리와의 차로부터 이 갠트리(3L)의 X축 방향의 위치 어긋남이 검출된다.
마찬가지로 하여, 갠트리(3R)에 대해서도, 그 기준 도포 헤드(5Ra)에 설치된 CCD 카메라를 사용함으로써, 이 갠트리(3R)의 X축 방향의 위치 어긋남을 검출할 수 있다. 그리고 이와 같이 하여 검출된 위치 어긋남량을 사용하여 이들 갠트리(3L, 3R)의 X축 방향의 위치 어긋남을 보정함으로써, 이들 갠트리(3L, 3R)가, 기준 위치 마크(9)에 관하여 대칭인 위치[즉, 기준 위치 마크(9)를 중심으로 하여, 서로 반대측의 등거리의 위치]에 위치 설정되게 되고, 또한 이러한 위치가 기준 위치 마크(9)로부터 상기한 미리 설정된 거리가 되므로, 이들 갠트리(3L, 3R) 사이의 간격은, 갠트리(3L)의 도포 헤드(5La 내지 5Lc)에 의해 묘화되는 페이스트 패턴과 갠트리(3R)의 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)에 의해 묘화되는 페이스트 패턴의 X축 방향의 간격으로서의 미리 정해진 거리가 된다.
또한, 도 2에 있어서, 도시하지 않지만 기판 적재대(8)의 상면(8a)에는, 진공 펌프(도시하지 않음)로부터 부압(負壓)이 공급되는 흡착 구멍이 복수 형성되어 있고, 이에 의해 앞서 설명한 바와 같이, 적재된 기판(도시하지 않음)은 상면(8a)에 흡착되어, 위치 어긋남이 발생하지 않도록 고정된다.
여기서, 기판 적재대(8)에서의 기준 마크(9)로서는, 기판 적재대(8) 상에 특별히 설치된 것으로 해도 좋지만, 이러한 흡착 구멍 중 기판 적재대(8)의 중앙 위치에서의 흡착 구멍으로 해도 좋다.
기판은, 기판 적재대(8)의 상면(8a)의 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)과의 사이에 적재된다. 이 기판에는, 그 4코너 등의 소정의 위치에 위치 마크가 설치되어 있고, 상기한 바와 같이 이들이 위치 어긋남의 보정이 이루어진 소정의 도포 헤드[예를 들어, 도포 헤드(5La, 5Lc, 5Ra, 5Rc)]의 CCD 카메라(7)에 의해 촬상되고, 그 중심 위치가 검출됨으로써, XY축 방향이나 θ축 방향의 위치 어긋남이 검출되고, 이 검출된 위치 어긋남에 따라서 기판 적재대(8)의 XYθ축 방향의 위치를 조정함으로써, 기판의 각 변이 XY축 방향에 평행하고, 또한 위치 보정 후의 갠트리(3L, 3R)에 대한 기판의 중심 위치가, 이러한 위치 조정 전에서의 갠트리(3L, 3R)에 대한 기준 위치 마크(9)의 위치와 동일한 위치로 설정되게 된다.
또한, 연결 부재(11a, 11b)를 홈부(12a, 12b)로부터 제거하는 것이 가능하고, 이들을 제거함으로써 위치 조정을 위해 사용된 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)을 새로운 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)으로 교환할 수 있다.
도 3은 도 1에 있어서의 도포 헤드의 일 구체예를 도시하는 측면도(일부 단면을 도시함)이며, 부호 3은 갠트리[갠트리(3L, 3R)의 총칭], 5는 도포 헤드[도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 총칭], 13은 도포 헤드 장착 테이블, 14는 Z축 테이블 지지부, 14a는 연접부, 15는 Z축 테이블, 16a 내지 16c는 리니어 가이드 기구부, 17은 구동 코일, 18은 리니어 레일, 19a, 19b는 리니어 볼, 20은 모터 적재부, 21은 X축 구동 모터, 22는 샤프트, 23은 베어링, 24는 캠, 25는 관통 구멍, 26은 Z축 구동 모터, 27은 Z축 구동부, 28은 상하 이동 테이블, 29는 광학 거리계, 30은 노즐, 31은 기판이며, 도 1에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙이고 있다.
도 3에 있어서, 갠트리(3)에 대해 그 상면의 일부와 도포 헤드(5)측의 측면의 일부를 덮도록, 횡단면이 L자 형상을 이루는 도포 헤드 장착 테이블(13)이 설치되어 있다. 이 도포 헤드 장착 테이블(13)의 평면 형상 부분의 하면측에는, 갠트리(3)의 상면에 그 길이 방향(Y축 방향)으로 연신하여 설치된 리니어 레일(18)에 대향하여 구동 코일(17)이 설치되어 있고, 또한 이 구동 코일(17)을 끼우도록 하여 소정 개수씩의 리니어 가이드 기구부(16a, 16b)가 설치되어 있다. 여기서는, 구동 코일(17)의 양측에 1개씩 리니어 가이드 기구부(16a, 16b)를 도시하고 있지만, 2개 이상의 개수씩 설치되어 있다. 이들 리니어 가이드 기구부(16a, 16b)는 각각 차륜을 구비하고 있고, 이러한 차륜이 갠트리(3)의 상면에 올라 있는 상태에 있다.
또한, 이 도포 헤드 장착 테이블(13)의 수직 형상 부분의 갠트리(3)측의 면에는, 리니어 가이드 기구부(16a, 16b)와 동일한 구성의 리니어 가이드 기구부(16c)가 설치되어 있고, 리니어 가이드 기구부(16c)의 차륜이 갠트리(3)의 도포 헤드 장착 테이블(13)에 대향하는 측면에 접촉하고 있다.
이상과 같이, 도포 헤드 장착 테이블(13)이, 리니어 가이드 기구부(16a 내지 16c)를 통해, 갠트리(3)를 따른 Y축 방향의 이동을 가능하게 장착되어 있다. 또한, 갠트리(3) 상의 리니어 레일(18)과 이것에 대향하여 도포 헤드 장착 테이블(13)에 설치된 구동 코일(17)은, 도포 헤드(5)를 갠트리(3)의 길이 방향을 따라 Y축 방향으로 이동시키기 위한 리니어 모터(Y축 리니어 모터)를 구성하고 있고, 구동 코일(17)을 구동함으로써, 도포 헤드 장착 테이블(13)이 갠트리(3)를 따라 Y축 방향으로 이동한다.
도포 헤드 장착 테이블(13)에는, 도면상 단면 형상이 역Z자 형상을 이루는 Z축 테이블 지지부(14)가 설치되어 있다. 이 Z축 테이블 지지부(14)의 상측의 평면 형상 부분은 도포 헤드 장착 테이블(13)의 상기한 평면 형상 부분에 장착되고, 이 Z축 테이블 지지부(14)의 수직 형상 부분은 도포 헤드 장착 테이블(13)의 상기한 수직 형상 부분에 장착되고, 이 Z축 테이블 지지부(14)의 하측의 평면 형상 부분이 이 수직 형상 부분의 하단부에 설치되어 있다.
이 Z축 테이블 지지부(14)의 상측에, 마찬가지로 도면상 단면 형상이 역Z자 형상을 이루는 Z축 테이블(15)이 설치되어 있다. 이 Z축 테이블(15)의 상측의 평면 형상 부분의 하면측에는, 리니어에 배열된 복수의 볼(리니어 볼)(19a)이 설치되고, 이 상측의 평면 형상 부분이 이 리니어 볼(19a)을 사이에 두고 Z축 테이블 지지부(14)의 상측의 평면 형상 부분 상에 배치되고, 또한 이 Z축 테이블(15)의 하측의 평면 형상 부분의 하면측에는, 동일한 리니어 볼(19b)이 설치되고, 이 하측의 평면 형상 부분이 이 리니어 볼(19b)을 사이에 두고 Z축 테이블 지지부(14)의 하측의 평면 형상 부분 상에 배치되어 있다. 이 Z축 테이블(15)의 수직 형상 부분은, Z축 테이블 지지부(14)의 수직 형상 부분과 어느 정도의 간격을 두고 배치되어 있다.
이상의 구성에 의해, Z축 테이블(15)은 Z축 테이블 지지부(14), 따라서 갠트리(3)에 대해 X축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.
또한, 이러한 Z축 테이블(15)의 X축 방향의 이동은, 도포 헤드(5)의 상기한 X축 방향의 위치 어긋남을 보정하기 위한 것이고, 이 보정을 위한 X축 방향의 위치 조정량은 ㎜ 단위이다. 이로 인해, 이러한 위치 조정에 의해 Z축 테이블 지지부(14)의 수직 형상 부분과 Z축 테이블(15)의 수직 형상 부분이 충돌하지 않을 정도로, 이들 수직 형상 부분의 상기한 간격이 형성되어 있다.
Z축 테이블 지지부(14)에는, 연접부(14a)를 통해 모터 적재부(20)가 설치되어 있고, 이 모터 적재부(20)에 X축 구동 모터(21)가 설치되어 있다. 이에 의해, 이 X축 구동 모터(21)는 Z축 테이블(15)의 상측에 배치된 상태에 있고, 이 X축 구동 모터(21)의 하향의 회전축이, Z축 테이블(15)의 상측의 평면 형상 부분에 형성된 관통 구멍(25)을 통과하고, 또한 Z축 테이블 지지부(14)의 하측의 평면 형상 부분의 측면에 설치된 베어링(24)과 상기한 모터 적재부(20)에 설치된 도시하지 않은 베어링에 의해 회전 가능하게 지지되는 샤프트(22)에 연결되어 있다. 또한, 이 샤프트(22)에는, Z축 테이블(15)의 하측의 평면 형상 부분의 측면에 대향하는 위치에, 이 측면에 접촉 가능하게 캠(24)이 설치되어 있고, X축 구동 모터(21)가 기동하여 샤프트(22)가 회전함으로써, 이 캠(24)이 회전하여, 그 변위량만큼 Z축 테이블(15)이 Z축 테이블 지지부(14)에 대해 X축 방향으로 이동한다. 또한, 관통 구멍(25)은, Z축 테이블(15)의 X축 방향의 이동 범위의 이동에 대해, 샤프트(22)가 이 관통 구멍(25)의 벽면에 충돌하지 않을 정도의 크기의 직경의 구멍이다[또한, 이 Z축 테이블(15)의 X축 방향의 이동 범위는, 수 ㎜ 정도임].
Z축 테이블(15)의 수직면 형상 부분에 도포 헤드(5)가 장착되고, Z축 테이블(15)의 X축 방향의 이동에 의해 도포 헤드(5)가 X축 방향으로 이동한다.
또한, 갠트리(3L, 3R) 각각 측의 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에는, 이러한 X축 구동 모터(21)는 설치되어 있지 않아, 갠트리(3L, 3R)에 대한 X축 방향의 이동은 할 수 없도록 되어 있다. 따라서, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에서는, Z축 테이블 지지부(14)에 Z축 테이블(15)이 고정되어 설치되고, 이 Z축 테이블(15)에 도포 헤드(5)가 장착된 구성을 이루고 있다. 단, 이하에 설명하는 구성은, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에 대해서도 동일하다.
도포 헤드(5)는, Z축 구동 모터(26)를 구비하고, Z축 테이블(15)의 수직면 형상 부분에 도포 헤드(5)가 장착된 Z축 구동부(27)와, Z축 구동부(27)에 장착되고, Z축 구동 모터(26)의 구동에 의해 상하 방향, 즉 Z축 방향으로 이동하는 상하 이동 테이블(28)을 구비하고, 이 상하 이동 테이블(28)과 함께 상하 이동 가능하게 시린지(6)와 CCD 카메라(7)와 광학 거리계(29) 등이 설치된 구성을 이루고 있다.
시린지(6)에는, 기판 적재대(8)(도 1)에 적재된 기판(31)에 상측으로부터 대향하도록 노즐(30)이 설치되어 있고, 외부로부터 압축 기체(질소 가스나 공기 등)가 시린지(6) 내에 도입됨으로써, 이 시린지(6)에 수납되어 있는 페이스트가 이 노즐(30)의 선단부의 페이스트 토출구로부터 토출된다.
또한, 광학 거리계(29)는 노즐(30)의 페이스트 토출구로부터 기판(31)의 표면까지의 거리(간격)를 측정하는 간격 측정기를 구성하는 것이며, 이 광학 거리계(29)의 간격 측정 결과를 바탕으로, Z축 구동 모터(26)가 기동하고, 이에 의해 상하 이동 테이블(28)이 상하 이동하여 노즐(30)의 페이스트 토출구와 기판(31)의 표면과의 간격이 규정된 간격으로 설정된다.
이상과 같이 하여, 도포 헤드(5)는 갠트리(3)에 장착되어 있고, 구동 코일(17)을 가동시킴으로써, 리니어 모터가 가동하여 도포 헤드(5)[보다 상세하게는, 노즐(30)]를 갠트리(3)의 길이 방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있고, X축 구동 모터(21)를 가동시킴으로써 도포 헤드(5)[보다 상세하게는, 노즐(30)]를 갠트리(3)의 길이 방향에 대해 수직인 X축 방향으로 이동시킬 수 있고, Z축 구동 모터(26)를 가동시킴으로써, 도포 헤드(5)의 노즐(30)을 상하 방향(Z축 방향)으로 이동시킬 수 있다.
통상, 도포 장치가 조립되어 설치된 초기 상태일 때나, 노즐(30)을 구비한 시린지(6)의 교체 등의 메인터넌스시에는, 노즐(30)의 위치가 규정된 위치로부터 어긋나 있는 경우가 있고[이것을, 도포 헤드(5)의 위치 어긋남이라 함], 이로 인해 도 1에서 설명한 바와 같이, 각 도포 헤드(5)의 위치 어긋남을 조정할 필요가 있지만, 갠트리(3)에 대해 X축 방향으로 이동하는 Z축 테이블(15)에 도포 헤드(5)를 설치함으로써, 도포 헤드(5)의 X축 방향의 위치 어긋남을 조정할 수 있다.
모든 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)가 상기한 구성을 이루고 있고[단, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)는 X축 구동 모터(21)를 구비하고 있지 않음], 이에 의해 기준 도포 헤드(5La)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc)의 X축 방향의 위치 어긋남, 기준 도포 헤드(5Ra)에 대한 도포 헤드(5Rb, 5Rc)의 X축 방향의 위치 어긋남을 각각 조정할 수 있어, 이들 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 노즐(30)을 Y축 방향으로 일렬로 배열시키도록 할 수 있다.
도 4는 도 1 및 도 3의 각 부의 동작을 제어하는 제어계의 일 구체예를 도시하는 블록 구성도이며, 부호 32는 주 제어부, 32a는 마이크로컴퓨터, 32b는 외부 인터페이스, 32c는 모터 컨트롤러, 32d는 X축 드라이버, 32e는 Y축 드라이버, 32f는 X-X축 드라이버, 33은 부 제어부, 33a는 마이크로컴퓨터, 33b는 외부 인터페이스, 33c는 모터 컨트롤러, 33d는 Z축 드라이버, 33e는 X축 드라이버, 34는 키보드, 35는 디스플레이 장치, 36은 외부 기억 장치, 37은 화상 처리 장치, 38은 화상 모니터, 39는 X축 리니어 모터, 40은 Y축 리니어 모터이며, 앞에 나온 도면에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.
도 4에 있어서, 이 실시 형태에서는, 주 제어부(32)와 부 제어부(33)를 구비하고 있고, 이들이 연동하여 동작한다. 주 제어부(32)는 갠트리(3L, 3R)를 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 리니어 모터(39)와, 이들 갠트리(3L, 3R)에 설치된 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)를 갠트리(3L, 3R)의 길이 방향을 따라 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 리니어 모터(40)와, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra) 이외의 도포 헤드(5Lb, 5Lc, 5Rb, 5Rc)의 도 3에 도시하는 노즐(30)을 X축 방향으로 이동시키는(이하에서는, 이것을, 도포 헤드를 X축 방향으로 이동시킨다고 함) X축 구동 모터(21)를 구동 제어하는 것이다. 여기서, X축 리니어 모터(39)는, 도 1에 있어서, 갠트리(3L)에 대해서는, 리니어 레일(2a)과 구동 코일로 이루어지는 리니어 구동 기구(4La), 리니어 레일(2b)과 구동 코일로 이루어지는 리니어 구동 기구(4Lb)이며, 갠트리(3R)에 대해서는, 리니어 레일(2a)과 구동 코일로 이루어지는 리니어 구동 기구(4Ra), 리니어 레일(2b)과 구동 코일로 이루어지는 리니어 구동 기구(4Rb)이다. Y축 리니어 모터(40)는, 도 3에 있어서 각 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)에서의 구동 코일(17)과 리니어 레일(18)로 이루어지는 리니어 모터이다. 부 제어부(33)는, 각 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 도 3에 도시하는 노즐(30)을 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 구동 모터(26)를 구동 제어한다.
주 제어부(32)에는, 마이크로컴퓨터(32a), 외부 인터페이스(32b) 및 모터 컨트롤러(32c)가 설치되어 있고, 마이크로컴퓨터(32a)는, 도시하지 않지만 주 연산부나 페이스트 도포 묘화를 행하기 위한 처리 프로그램을 저장한 ROM, 주 연산부에서의 처리 결과나 외부 인터페이스(32b)나 모터 컨트롤러(32c)로부터의 입력 데이터를 저장하는 RAM, 외부 인터페이스(32b)나 모터 컨트롤러(32c)와 데이터의 교환을 하는 입출력부 등을 구비하고 있다.
이 마이크로컴퓨터(32a)에는, 상기한 메모리에 저장되어 있는 데이터나 프로그램 등의 수정 등을 행하기 위한 키보드(34)나 디스플레이 장치(35)가 외부 인터페이스(32b)를 통해 접속되어 있다. 디스플레이 장치(35)에서는, 마이크로컴퓨터(32a)의 메모리에 저장되어 있는 데이터나 프로그램을 표시할 수 있고, 키보드(34)로부터는 이것을 수정하는 데이터를 입력할 수 있다. 또한, 키보드(34)로부터는 페이스트 패턴의 묘화 데이터 등을 입력할 수 있고, 이들 입력 데이터는 디스플레이 장치(35)에 의해 표시되는 동시에 외부 기억 장치(36)에도 기억된다.
또한, 마이크로컴퓨터(32a)에는, 외부 기억 장치(36)나 CCD 카메라(7)로부터의 촬상 데이터를 처리하고, 또한 화상 모니터(38)에의 화상 데이터를 처리하는 화상 처리 장치(37)도 외부 인터페이스(32b)를 통해 접속되어 있다. CCD 카메라(7)가 폐기용 글래스 기판(10a, 10b) 상의 페이스트 마크나 기판 적재대(8)에서의 기준 위치 마크(9)(도 1, 도 2), 기판(31) 상의 위치 마크 등을 촬상하여 얻어지는 화상 데이터는 화상 처리 장치(37)에서 처리된 후, 화상 모니터(38)에 의해 표시되는 동시에, 외부 인터페이스(32b)를 통해 마이크로컴퓨터(32a)에 공급된다. 마이크로컴퓨터(32a)에서는, 그 처리 결과가, 제어 데이터로서 모터 컨트롤러(32c)에 공급되고, 이에 의해 갠트리(3L, 3R)의 X축 방향의 위치 어긋남이나 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 X·Y축 방향의 위치 어긋남[즉, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc, 5Rb, 5Rc)의 X·Y축 방향의 위치 어긋남]의 보정 등을 위한 각 부의 제어가 행해진다.
모터 컨트롤러(32c)는, X축 드라이버(32d)나 Y축 드라이버(32e)나 X-X축 드라이버(32f)를 구동한다. 갠트리(3L, 3R)의 X축 방향의 위치 어긋남을 보정하는 경우에는, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)의 CCD 카메라(7)에 의해 기판 적재대(8)의 기준 위치 마크(9)(도 1, 도 2)를 촬상되어 얻어지는 화상 데이터가, 화상 처리 장치(37)에 의해 처리되어 마이크로컴퓨터(32a)에 공급되고, 거기서 처리되어 모터 컨트롤러(32c)에 공급된다. 모터 컨트롤러(32c)는, 이 처리된 화상 데이터를 바탕으로, X축 드라이버(32d)를 제어하고, X축 리니어 모터(39)를 제어 구동함으로써, 갠트리(3L, 3R)의 X축 방향의 위치 어긋남이 조정된다. 또한, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc, 5Rb, 5Rc)의 Y축 방향의 위치 어긋남을 보정하는 경우에는, 폐기용 글래스 기판(10a, 10b) 상에 형성된 페이스트 마크를 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)의 CCD 카메라(7)에 의해 촬상되어 얻어지는 화상 데이터가, 화상 처리 장치(37)에 의해 처리되어 마이크로컴퓨터(32a)에 공급되고, 거기서 처리되어 모터 컨트롤러(32c)에 공급된다. 모터 컨트롤러(32c)는, 이 처리된 화상 데이터를 바탕으로 Y축 드라이버(32e)를 제어하고, Y축 리니어 모터(40)를 제어 구동함으로써, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc, 5Rb, 5Rc)의 Y축 방향의 위치 어긋남이 조정된다. 또한, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc, 5Rb, 5Rc)의 X축 방향의 위치 어긋남을 보정하는 경우에는, 상기한 바와 같이 폐기용 글래스 기판(10a, 10b) 상에 형성된 페이스트 마크가 촬상되어, 화상 처리 장치(37)와 마이크로컴퓨터(32a)에 의해 처리된 화상 데이터가 모터 컨트롤러(32c)에 공급됨으로써, 모터 컨트롤러(32c)가, 이 처리된 화상 데이터를 바탕으로 X-X축 드라이버(32f)를 제어하고, 도포 헤드(5Lb, 5Lc, 5Rb, 5Rc)의 X축 구동 모터(21)를 제어 구동함으로써, 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc, 5Rb, 5Rc)의 X축 방향의 위치 어긋남이 조정된다.
또한, 기판 적재대(8)에 기판(31)이 적재된 경우에는, 마이크로컴퓨터(32a)의 제어하에서, 상기한 바와 같이 이 기판(31)의 XYθ축 방향의 위치 조정이 행해지지만, 여기서는 이것을 위한 수단을 생략하고 있다.
또한, 기판 상에 페이스트 패턴을 묘화할 때에는, 마이크로컴퓨터(32a)가 외부 기억 장치(36)에 저장되어 있는 페이스트 패턴의 묘화 데이터를 도입하고, 이것을 처리하여 모터 컨트롤러(32c)에 공급한다. 모터 컨트롤러(32c)는, 이 묘화 데이터를 바탕으로 X축 드라이버(32d)와 Y축 드라이버(32e)를 구동하고, X축 리니어 모터(39)를 제어하여 갠트리(3L, 3R)를 동작시키고, Y축 리니어 모터(40)를 제어하여 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)를 동작시켜, 기판 상에 원하는 페이스트 패턴을 묘화시킨다.
또한, 이때에는, 공압 제어계에 의해, 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 시린지(6)에 도입하는 압축 기체를 제어하여, 노즐(30)로부터의 페이스트의 토출 제어가 행해지지만, 이 점에 대해서는 생략하고 있다.
부 제어부(33)는 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)를 상하로(Z축 방향으로) 이동시키고, 이들 도포 헤드(5)의 노즐(30)의 선단부의 기판(31)의 면으로부터의 높이가 미리 규정된 높이가 되도록 Z축 구동 모터(26)를 구동 제어하는 것이다. 부 제어부(33)의 마이크로컴퓨터(33a)는, 외부 인터페이스(33b)를 통해 주 제어부(32)의 외부 인터페이스(32b)와 통신 케이블에 의해 접속되고, 이에 의해 부 제어부(33)는 주 제어부(32)와 연계하여 동작한다. 또한, 마이크로컴퓨터(33a)는, 외부 인터페이스(33b)를 통해 광학 거리계(29)에 접속되는 동시에, 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 Z축 구동 모터(26)를 구동하는 Z축 드라이버(33d)를 제어하는 모터 컨트롤러(33c)에 접속되어 있다.
상기한 바와 같이, 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 X축 방향의 위치 어긋남을 보정하는 경우에는, 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)에 의해 폐기용 글래스 기판(10a, 10b) 상에 형성된 페이스트 마크가 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)의 CCD 카메라(7)에 의해 촬상하여 얻어지고, 화상 처리 장치(37)와 주 제어부(32)의 마이크로컴퓨터(32a)에 의해 처리된 화상 데이터가 모터 컨트롤러(32c)에 공급된다. 모터 컨트롤러(32c)는, 이 공급된 화상 데이터를 바탕으로, X-X축 드라이버(32f)를 제어하고, X축 구동 모터(21)를 구동 제어하여 기준 도포 헤드(5La, 5Ra)에 대한 도포 헤드(5Lb, 5Lc, 5Rb, 5Rc)의 X축 방향의 위치 어긋남을 보정한다.
또한, 기판 적재대(8) 상에 적재된 기판(31)에 페이스트 패턴을 묘화할 때에는, 광학 거리계(29)에 의해 검출된 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 노즐(30)과 기판(31)의 표면과의 간격의 데이터가 외부 인터페이스(33b)를 통해 마이크로컴퓨터(33a)에 공급되고, 거기서 처리되어 모터 컨트롤러(33c)에 공급된다. 모터 컨트롤러(33c)는, 이 공급된 데이터를 바탕으로, Z축 드라이버(33d)를 제어하고, Z축 구동 모터(26)를 구동 제어하여 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)를 Z축 방향으로 이동시켜 노즐(30)과 기판(31)의 표면과의 간격을 규정된 간격으로 제어한다.
또한, 리니어 모터(39, 40)나 구동 모터(26, 21)에는 각각 이동량이나 회전을 검출하기 위한 인코더가 설치되어 있지만, 이들은 생략되어 있다.
이와 같이 하여, 주 제어부(32)와 부 제어부(33)로 이루어지는 제어계에 의한 제어에 의해, 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 XY축 방향의 위치 어긋남이나 갠트리(3L, 3R)의 X축 방향의 위치 어긋남의 보정 등이 행해진다.
도 5는 도 1에 있어서의 갠트리(3L, 3R)와 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 위치 어긋남의 보정(위치 정렬)의 수순의 일 구체예를 나타내는 흐름도이다. 이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여, 이 수순을 설명한다. 또한, 도 5에 있어서,「도포 헤드(5)」는 모든 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 총칭이고,「도포 헤드(5L)」는 도포 헤드(5La 내지 5Lc)의 총칭,「도포 헤드(5R)」는 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)의 총칭이다.
도 5에 있어서, 갠트리(3L, 3R)가 수납 상태에 있을 때에는, 도포 헤드(5La 내지 5Lc)는 그 노즐(30)이 기판 적재대(8)의 폐기용 글래스 기판(10a)보다도 기판 적재대(8)와는 반대측의 위치에 있도록[즉, 노즐(30)은 폐기용 글래스 기판(10a)으로부터 어긋난 위치에 있도록] 위치 부여되어 있고[이 위치를, 이하, 갠트리(3L)의 수납 위치라 함], 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)도 마찬가지로 그 노즐(30)이 기판 적재대(8)의 폐기용 글래스 기판(10b)보다도 기판 적재대(8)와는 반대측의 위치에 있도록[즉, 노즐(30)은 폐기용 글래스 기판(10b)으로부터 어긋난 위치에 있도록] 위치 부여되어 있다[이 위치를, 이하 갠트리(3R)의 수납 위치라 함]. 이와 같이, 갠트리(3L, 3R)가 수납 상태에 있을 때에는, 기판 적재대(8)에서 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)의 장착, 제거를 할 수 있다.
이러한 수납 상태에서, X축 리니어 모터(39)가 구동되고, 갠트리(3L)가 기판 적재대(8)의 방향(즉, X축 방향)으로 미리 정해진 소정의 거리만큼 이동함으로써, 각 도포 헤드(5La 내지 5Lc)의 노즐(30)이 폐기용 글래스 기판(10a)의 바로 위로 이동하고, 도포 헤드(5La 내지 5Lc)가 이때의 위치로 위치 부여된다[이 위치를, 이하 갠트리(3L)의 임시 대기 위치라 함]. 마찬가지로, 갠트리(3R)가 기판 적재대(8)의 방향(즉, X축 방향)으로 미리 결정된 소정의 거리만큼 이동함으로써, 각 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)의 노즐(30)이 폐기용 글래스 기판(10b)의 바로 위로 이동하고, 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)가 이때의 위치로 위치 부여된다[이 위치를, 이하 갠트리(3L)의 임시 대기 위치라 함]. 이들 대기 위치의 데이터는, 마이크로컴퓨터(32a)의 메모리에 보존되어 있다.
그리고 각각의 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)에 있어서, 광학 거리계(29)의 측정 결과를 바탕으로 Z축 구동 모터(26)가 구동됨으로써, 도포 헤드(5La 내지 5Lc)의 노즐(30)의 폐기용 글래스 기판(10a)으로부터의 높이와 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)의 노즐(30)의 폐기용 글래스 기판(10b)으로부터의 높이가 모두 동등하게 소정의 높이로 설정된다. 그런 후에, 갠트리(3L, 3R)의 X축 리니어 모터(39)와 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)의 Y축 리니어 모터(40)가 구동됨으로써, 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)가 XY축 방향으로 이동하고, 이와 함께 시린지(6)에 압축 기체가 송입됨으로써, 각각의 노즐(30)의 토출구로부터 페이스트가 토출된다. 이에 의해, 갠트리(3L)측의 도포 헤드(5La 내지 5Lc)마다 기판 적재대(8)의 일측의 폐기용 글래스 기판(10a) 상에, 중심 위치가 검출 가능한, 예를 들어 십자 형상의 페이스트 마크가 묘화되고, 갠트리(3R)측의 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)마다 기판 적재대(8)의 타측의 폐기용 글래스 기판(10b) 상에 동일한 형상의 페이스트 마크가 묘화된다(단계 100).
다음에, 갠트리(3L)가 상기한 임시 대기 위치로 복귀되어, 이 갠트리(3L)측의 도포 헤드(5La 내지 5Lc) 중 어느 하나, 예를 들어 기준 도포 헤드(5La)에 설치되어 있는 CCD 카메라(7)에 의해 이 기준 도포 헤드(5La)에 의해 폐기용 글래스 기판(10a) 상에 묘화된 페이스트 마크가 촬상되고, 그 화상 데이터가 화상 처리 장치(37)에 의해 처리되어 그 중심점 위치가 검출되고, 이 중심점 위치의 데이터가, L측 헤드 기준 중심점 위치의 데이터로서, 외부 인터페이스(32b)를 통해 마이크로컴퓨터(32a)에 공급되고, 그 메모리에 저장 보존된다. 마찬가지로 하여, 갠트리(3R)가 상기한 임시 대기 위치로 복귀되어, 이 갠트리(3R)측의 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc) 중 어느 하나, 예를 들어 기준 도포 헤드(5Ra)에 설치되어 있는 CCD 카메라(7)에 의해 이 기준 도포 헤드(5Ra)에 의해 폐기용 글래스 기판(10b) 상에 묘화된 페이스트 마크가 촬상되고, 그 화상 데이터가 화상 처리 장치(37)에 의해 처리되어 그 중심점 위치가 검출되고, 이 중심점 위치의 데이터가, R측 헤드 기준 중심점 위치의 데이터로서, 외부 인터페이스(32b)를 통해 마이크로컴퓨터(32a)에 공급되고, 그 메모리에 저장 보존된다(단계 101).
다음에, 갠트리(3L)측에서, 기준 도포 헤드(5La) 이외의 도포 헤드(5Lb, 5Lc)가 갠트리(3L)를 따라 기준 도포 헤드(5La)와는 반대측으로 이동하여 갠트리(3L)의 단부에 치우치고, 기준 도포 헤드(5La)가 갠트리(3L)를 따라 이동함으로써, 이 기준 도포 헤드(5La)에 설치되어 있는 CCD 카메라(7)에 의해 도포 헤드(5Lb, 5Lc)에 의해 폐기용 글래스 기판(10a) 상에 묘화된 각각의 페이스트 마크가 순차 촬상되고, 그들 화상 데이터가 화상 처리 장치(37)에 의해 처리되어 그들의 중심점 위치가 검출되고, 또한 각 도포 헤드(5Lb, 5Lc)마다 이미 구해져 보존되어 있는 기준 도포 헤드(5La)의 L측 헤드 기준 중심 위치와의 X축 방향의 위치 오차량(ΔXL)과 Y축 방향의 위치 오차량(ΔYL)이 구해지고, 이들 X축 방향의 위치 오차량(ΔXL)과 Y축 방향의 위치 오차량(ΔYL)의 데이터가 외부 인터페이스(32b)를 통해 마이크로컴퓨터(32a)에 공급되고, 그 메모리에 저장 보존된다. 마찬가지로 하여, 갠트리(3R)측에서, 기준 도포 헤드(5Ra) 이외의 도포 헤드(5Rb, 5Rc)가 갠트리(3R)를 따라 기준 도포 헤드(5Ra)와는 반대측으로 이동하여 갠트리(3R)의 단부에 치우치고, 기준 도포 헤드(5Ra)가 갠트리(3R)를 따라 이동함으로써, 이 기준 도포 헤드(5Ra)에 설치되어 있는 CCD 카메라(7)에 의해 도포 헤드(5Rb, 5Rc)에 의해 폐기용 글래스 기판(10b) 상에 묘화된 페이스트 마크가 순차 촬상되고, 그들 화상 데이터가 화상 처리 장치(37)에 의해 처리되어 그들의 중심점 위치가 검출되고, 또한 각 도포 헤드(5Rb, 5Rc)마다 이미 구해져 보존되어 있는 기준 도포 헤드(5Ra)의 R측 헤드 기준 중심 위치와의 X축 방향의 위치 오차량(ΔXR)과 Y축 방향의 위치 오차량(ΔYR)이 구해지고, 이들 X축 방향의 위치 오차량(ΔXR)과 Y축 방향의 위치 오차량(ΔYR)의 데이터가 외부 인터페이스(32b)를 통해 마이크로컴퓨터(32a)에 공급되고, 그 메모리에 저장 보존된다(단계 102).
이상에 의해, 갠트리(3L)에서의 도포 헤드(5Lb, 5Lc)의 기준 도포 헤드(5La)에 대한 X축 방향의 위치 어긋남과 Y축 방향의 위치 어긋남 및 갠트리(3R)에서의 도포 헤드(5Rb, 5Rc)의 기준 도포 헤드(5Ra)에 대한 X축 방향의 위치 어긋남과 Y축 방향의 위치 어긋남이 각각 검출되고, 그들 검출 결과가 마이크로컴퓨터(32a)의 메모리에 보존되게 된다.
다음에, 기준 도포 헤드(5La)를 Y축 방향으로, 갠트리(3L)를 X축 방향으로 각각 이동시켜, 기준 도포 헤드(5La)의 노즐(30)을 폐기용 글래스 기판(10a)에서의 이 기준 도포 헤드(5La)에 의해 묘화된 페이스트 마크의 중심점 위치에 일치시켜 L측 헤드 기준 중심 위치로 설정하고, 이때의 갠트리(3L)의 위치(임시 대기 위치)를 이 갠트리(3L)의 기준 위치로 한다. 마찬가지로 하여, 기준 도포 헤드(5Ra)를 Y축 방향으로, 갠트리(3R)를 X축 방향으로 이동시켜, 기준 도포 헤드(5Ra)의 노즐(30)을 폐기용 글래스 기판(10b)에서의 이 기준 도포 헤드(5Ra)에 의해 묘화된 페이스트 마크의 중심점 위치에 일치시켜 R측 헤드 기준 중심 위치로 설정하고, 이때의 갠트리(3R)의 위치(임시 대기 위치)를 이 갠트리(3R)의 기준 위치로 한다.
그리고 갠트리(3L)를 이 기준 위치로부터 X축 방향[즉, 기판 적재대(8)의 기준 위치 마크(9)의 방향]으로 이동시키는 동시에, 기준 도포 헤드(5La)를 이 L측 헤드 기준 중심 위치로부터 Y축 방향으로 이동시키고, 이 기준 도포 헤드(5La)의 CCD 카메라(7)에 의해 이 기준 위치 마크(9)를 촬상할 수 있는 상태로 한다. 이 CCD 카메라(7)에 의해 촬상하여 얻어지는 화상 데이터는 화상 처리 장치(37)에 공급되어 처리되고, 이 처리 결과가 마이크로컴퓨터(32a)에 공급된다. 마이크로컴퓨터(32a)에서는, 이 처리 결과에 의해 기준 위치 마크(9)의 화상 데이터가 검출되게 되지만, 상기한 임시 대기 위치로부터 기준 위치 마크(9)까지의 갠트리(3L)의 이동 거리가 산출되고, 또한 이 이동 거리의 미리 정해진 설정 이동 거리[기판에의 페이스트 패턴의 묘화를 위해 갠트리(3L)가 대기하는 대기 위치로부터 기준 위치 마크(9)까지의 X축 방향의 거리]로부터의 오차가 계산되어, 갠트리(3L)의 설정 이동 거리로부터의 X축 방향의 위치 어긋남량으로서 마이크로컴퓨터(32a)의 메모리에 저장된다(단계 103).
또한, CCD 카메라(7)의 촬상 범위는, 노즐(30)을 중심으로 하는 범위이며, 이 촬상 범위 내에 기준 위치 마크(9)가 존재하는 상태로 되었을 때에는, 이 기준 위치 마크(9)와 노즐(301)의 위치 관계를 구할 수 있다. 따라서, CCD 카메라(7)가 이 기준 위치 마크(9)를 촬상한 상태로 함으로써, 기준 위치 마크(9)와 노즐(301) 사이의 X축 방향의 거리를 구하고, 이것을 수정 거리로 하여, 임시 대기 위치로부터 이러한 상태로 될 때까지의 기준 도포 헤드(5La)의 X축 방향의 이동 거리를 수정함으로써, 기준 도포 헤드(5La)의 기준 위치 마크(9)까지의 X축 방향의 이동 거리, 따라서 갠트리(3L)의 임시 대기 위치로부터 기준 위치 마크(9)까지의 X축 방향의 이동 거리를 구할 수 있다.
이상은, 갠트리(3R)에 대해서도 마찬가지이며, 기준 도포 헤드(5Ra)를 사용함으로써, 이 갠트리(3R)의 임시 대기 위치로부터 기준 위치 마크(9)까지의 이동 거리가 산출되고, 또한 설정 이동 거리[기판에의 페이스트 패턴의 묘화를 위해 갠트리(3R)가 대기하는 대기 위치로부터 기준 위치 마크(9)까지의 X축 방향의 거리]로부터의 X축 방향의 위치 어긋남량이 산출되어 마이크로컴퓨터(32a)의 메모리에 저장된다(단계 104).
이상과 같이 하여, 갠트리(3L, 3R)마다, 임시 대기 위치로부터 페이스트 패턴 묘화를 위해 대기하는 대기 위치까지의 X축 방향의 거리가, X축 방향의 위치 어긋남량으로서 얻어지게 된다.
계속해서, 단계 102에서 구한 갠트리(3L)에서의 도포 헤드(5Lb, 5Lc)의 X축 방향의 위치 오차량(ΔXL)과 Y축 방향의 위치 오차량(ΔYL)을 바탕으로, 이들 도포 헤드(5Lb, 5Lc)의 X축 방향과 Y축 방향의 위치 데이터를 구하고, 마찬가지로 하여, 단계 102에서 구해진 갠트리(3R)에서의 도포 헤드(5Rb, 5Rc)의 X축 방향의 위치 오차량(ΔXR)과 Y축 방향의 위치 오차량(ΔYR)을 바탕으로, 이들 도포 헤드(5Rb, 5Rc)의 X축 방향과 Y축 방향의 위치 데이터를 구한다(단계 105).
그리고 구한 위치 데이터를 바탕으로, 갠트리(3L)에 있어서, 기준 도포 헤드(5La)에 대한 X축 방향의 도포 헤드(5Lb, 5Lc)의 위치를 설정하는 동시에, Y축 방향의 위치[도포 헤드(5La 내지 5Lc)의 간격]를 설정한다. 이에 의해, 갠트리(3L) 상에서, 도포 헤드(5La 내지 5Lc)가 Y축 방향으로 소정의 간격으로 배열되는 동시에, 이들의 노즐(30)이 X축을 따라 일선 상에 배열되게 된다. 마찬가지로 하여, 상기의 구한 위치 데이터를 바탕으로, 갠트리(3R)에 있어서, 기준 도포 헤드(5Ra)에 대한 X축 방향의 도포 헤드(5Rb, 5Rc)의 위치를 설정하는 동시에, Y축 방향의 위치[도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)의 간격]를 설정한다. 이에 의해, 갠트리(3R) 상에서, 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)가 Y축 방향으로 소정의 간격으로 배열되는 동시에, 이들 노즐(30)이 X축을 따라 일선 상에 배열되게 된다(단계 106).
또한, 갠트리(3L, 3R)를 상기한 임시 대기 위치로 복귀시키고, 단계 103에서 구한 갠트리(3L)의 설정 이동 거리로부터의 X축 방향의 위치 어긋남량을 바탕으로, 갠트리(3L)의 위치를 임시 대기 위치로부터 조정한다. 이에 의해, 갠트리(3L)가 상기한 대기 위치로 설정되게 된다. 마찬가지로 하여, 갠트리(3R)에 대해서도, 단계 104에서 구한 갠트리(3R)의 설정 이동 거리로부터의 X축 방향의 위치 어긋남량을 바탕으로, 갠트리(3R)의 위치를 임시 대기 위치로부터 조정한다. 이에 의해, 갠트리(3R)가 상기한 대기 위치로 설정되게 된다(단계 107).
이와 같이 하여, 갠트리(3L, 3R)가, 기판 적재대(8)의 기준 위치 마크(9)에 관하여 서로 반대측이고, 이 기준 위치 마크로부터 소정의 거리 이격된 대기 위치에 위치 설정되게 되고, 이와 함께 갠트리(3L)에서 도포 헤드(5La 내지 5Lc)가 소정의 간격으로, 또한 X축을 따라 일선으로 배열된 상태로 되고, 갠트리(3R)에서도 도포 헤드(5Ra 내지 5Rc)가 소정의 간격으로, 또한 X축을 따라 일선으로 배열된 상태로 된다.
이러한 상태는, 기판 적재대(8) 상에 기판(31)이 적재되기 전의 상태이며, 기판 적재대(8) 상에 기판(31)이 적재되어, 그 XYθ축 방향의 어긋남이 조정되면, 갠트리(3L, 3R)가 X축 방향으로 이동하고, 페이스트 패턴의 묘화 동작 개시 위치로 설정되어, 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)마다 페이스트 토출압이나 기판(31)에 대한 노즐(30)의 높이 등의 초기 설정이 행해지고, 그런 후에 도포 헤드(5La 내지 5Lc, 5Ra 내지 5Rc)마다 기판(31) 상에 소정의 페이스트 패턴이 묘화된다.
이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 도포 헤드(노즐)의 위치 정렬 조정(X축을 따르는 일선 상에 정렬시킴)은, 기판 적재대(8)에 설치된 폐기용 글래스 기판(10a, 10b)을 사용하여 행해지고, 갠트리(3L, 3R)의 위치 정렬 조정은, 기판 적재대(8)에 미리 설치되어 있는 기준 위치 마크(9)를 사용하여 행해지므로, 이러한 조정에 더미 글래스 기판을 기판 적재대(8)에 탑재할 필요가 없어진다.
또한, 갠트리에서의 도포 헤드 사이의 위치 어긋남의 보정에 있어서는, 이러한 도포 헤드 중 하나를 기준 도포 헤드로 하고, 이 기준 도포 헤드에 대한 다른 도포 헤드의 위치 어긋남을 보정하여 위치 정렬을 행하는 것이므로, 이러한 위치 정렬을 단시간에 행할 수 있다.
또한, 각각의 도포 헤드에 의해 노즐이나 시린지, CCD 카메라 등을, 갠트리의 이동 방향의 X축 방향으로도 이동 가능하게 하고 있으므로, 이러한 도포 헤드의 위치 결정을 보다 정확하게 행하는 것이 가능해진다.
이상과 같이, 본 실시 형태에서는 도포 헤드의 노즐간의 교정이나 갠트리간의 교정을 간단하게, 또한 단시간에 행하는 것이 가능해지고, 또한 교정 오차도 저감시킬 수 있다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 상기한 기준 도포 헤드에 대해서는, X축 방향의 이동 기구를 설치하지 않고, X축 방향에 대해서는 고정 상태로 하고 있으므로, 부품 개수를 저감할 수 있다.
1 : 가대
2a, 2b : 리니어 레일
3, 3R, 3L : 갠트리
4Ra, 4Rb, 4La, 4Lb : 리니어 구동 기구
5, 5Ra 내지 6Rc, 5La 내지 5Lc : 도포 헤드
6 : 시린지(페이스트 수납통)
7 : CCD 카메라
8 : 기판 탑재대
9 : 기준 위치 마크
10a, 10b : 폐기용 글래스 기판
11a, 11b : 연결 부재
12a, 12b : 홈부
13 : 도포 헤드 장착 테이블
14 : Z축 테이블 지지부
14a : 연접부
15 : Z축 테이블
16a 내지 16c : 리니어 가이드 기구부
17 : 구동 코일
18 : 리니어 레일
19a, 19b : 리니어 볼
20 : 모터 적재부
21 : X축 구동 모터
22 : 샤프트
23 : 베어링
24 : 캠
25 : 관통 구멍
26 : Z축 구동 모터
27 : Z축 구동부
28 : 상하 이동 테이블
29 : 광학 거리계
30 : 노즐
31 : 기판
32 : 주 제어부
33 : 부 제어부

Claims (8)

  1. 가대 상에 제1 방향으로 이동 가능하게 복수의 갠트리가 설치되고, 상기 갠트리마다 상기 갠트리의 길이 방향을 따르는 제2 방향으로 이동 가능하게 복수의 도포 헤드가 설치되고, 상기 갠트리의 제1 방향으로의 이동과 상기 도포 헤드의 상기 갠트리에 대한 상기 제2 방향으로의 이동에 의해, 상기 도포 헤드가 상기 제1, 제2 방향으로 이동하면서, 상기 가대에 설치된 기판 적재대에 적재된 기판 상에 페이스트를 도포하고, 상기 도포 헤드마다 상기 기판 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 도포 장치에 있어서,
    상기 도포 헤드는 각각 카메라를 구비하고,
    상기 기판 적재대에, 상기 갠트리마다, 상기 갠트리에 설치된 복수의 상기 도포 헤드의 위치 정렬을 위한 폐기용 글래스 기판을 설치하는 동시에, 복수의 상기 갠트리의 위치 정렬을 위한 기준 위치 마크를 설치하고,
    상기 폐기용 글래스 기판에는, 동일한 상기 갠트리에서의 복수의 상기 도포 헤드로부터 페이스트가 도포되어 페이스트 마크가 묘화되고,
    상기 폐기용 글래스 기판 상에 묘화된 상기 페이스트 마크를 상기 카메라에 의해 촬상하여 상기 페이스트 마크의 묘화 위치를 검출함으로써, 상기 갠트리에서의 복수의 상기 도포 헤드 사이의 위치 어긋남을 검출하고, 검출한 상기 위치 어긋남에 따라서, 복수의 상기 도포 헤드 상호간의 위치 정렬을 행하는 제1 수단과,
    복수의 상기 갠트리 각각을 상기 기판 적재대 상의 상기 기준 위치 마크가 상기 카메라에 의해 촬상되는 위치까지 상기 제1 방향으로 이동시킴으로써, 상기 갠트리 각각의 상기 기준 위치 마크의 위치까지의 이동 거리를 검출하여, 상기 갠트리마다 페이스트 패턴 묘화를 위한 미리 정해진 대기 위치로부터의 상기 제1 방향의 위치 어긋남을 검출하고, 검출한 상기 위치 어긋남에 따라서, 상기 갠트리마다 상기 대기 위치로의 위치 정렬을 행하는 제2 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 도포 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기준 위치 마크는, 상기 기판 적재대에 중앙부 부근에 설치된 기판 보유 지지용 흡착 구멍인 것을 특징으로 하는, 도포 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도포 헤드는, 상기 갠트리가 이동하는 상기 제1 방향으로 이동 가능하며, 상기 제1 방향의 위치 정렬을 가능하게 한 것을 특징으로 하는, 도포 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 갠트리마다, 상기 갠트리에 설치되어 있는 복수의 상기 도포 헤드 중 1개를 기준 도포 헤드로 하고,
    상기 기준 도포 헤드는 상기 제1 방향에 대해서는 위치 고정으로 하여, 상기 기준 도포 헤드 이외의 상기 도포 헤드를 상기 제1 방향으로 이동 가능하게 하고,
    상기 기준 도포 헤드 이외의 상기 도포 헤드를, 상기 기준 도포 헤드에 대해 상기 제1 방향의 위치 정렬을 가능하게 한 것을 특징으로 하는, 도포 장치.
  5. 가대 상에 제1 방향으로 이동 가능하게 복수의 갠트리가 설치되고, 상기 갠트리마다 상기 갠트리의 길이 방향을 따르는 제2 방향으로 이동 가능하게 복수의 도포 헤드가 설치되고, 상기 갠트리의 제1 방향으로의 이동과 상기 도포 헤드의 상기 갠트리에 대한 상기 제2 방향으로의 이동에 의해, 상기 도포 헤드가 상기 제1, 제2 방향으로 이동하면서, 상기 가대에 설치된 기판 적재대에 적재된 기판 상에 페이스트를 도포하고, 상기 도포 헤드마다 상기 기판 상에 페이스트 패턴을 묘화하는 도포 장치의 도포 위치 보정 방법이며,
    상기 갠트리마다 상기 기판 적재대에 폐기용 글래스 기판이 설치되어 있고,
    상기 폐기용 글래스 기판 상에, 이것에 해당되는 상기 갠트리에 설치된 복수의 상기 도포 헤드마다 페이스트 마크를 묘화하고, 묘화된 각각의 상기 페이스트 마크를 카메라에 의해 촬상함으로써 그 위치를 검출하여 복수의 상기 도포 헤드 상호간의 위치 어긋남을 검출하고, 검출한 상기 위치 어긋남을 바탕으로, 복수의 상기 도포 헤드의 위치 정렬을 행하고,
    상기 기판 적재대에 기준 위치 마크가 설치되고,
    복수의 상기 갠트리를 각각 상기 기준 위치 마크의 위치까지 이동시켜, 복수의 상기 갠트리마다, 상기 기준 위치 마크의 위치에 대한 상기 갠트리의 미리 정해진 대기 위치로부터의 상기 제1 방향의 위치 어긋남을 검출하고, 검출한 상기 위치 어긋남을 바탕으로, 복수의 상기 갠트리를 상기 대기 위치에 위치 정렬을 하는 것을 특징으로 하는, 도포 장치의 도포 위치 보정 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 기준 위치 마크는, 상기 기판 적재대에 중앙부 부근에 설치된 기판 보유 지지용 흡착 구멍인 것을 특징으로 하는, 도포 장치의 도포 위치 보정 방법.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 도포 헤드는, 상기 갠트리가 이동하는 상기 제1 방향으로 이동 가능하며, 상기 제1 방향의 위치 정렬을 가능하게 한 것을 특징으로 하는, 도포 장치의 도포 위치 보정 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 갠트리마다, 상기 갠트리에 설치되어 있는 복수의 상기 도포 헤드 중 하나를 기준 도포 헤드로 하고,
    상기 기준 도포 헤드는 상기 제1 방향에 대해서는 위치 고정으로 하여, 상기 기준 도포 헤드 이외의 상기 도포 헤드를 상기 제1 방향으로 이동 가능하게 하고,
    상기 기준 도포 헤드 이외의 상기 도포 헤드를, 상기 기준 도포 헤드에 상기 제1 방향의 위치 정렬을 가능하게 한 것을 특징으로 하는, 도포 장치의 도포 위치 보정 방법.
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