KR101411448B1 - 변형 가능한 갠트리형 작업 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 이송(移送) 시에는 점유 스페이스가 작아지도록 변형시킬 수 있고 복원도 용이한 갠트리형(gantry type) 작업 장치를 제공한다. 베이스 유닛은, 제1 방향으로 병설되는 2개의 가대(架臺)와, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 설치되고, 그 하단부가 회전 수단을 통하여 2개의 가대에 접속되는 갠트리 프레임과, 갠트리 프레임에 설치되고, 공작물에 대하여 작업을 행하는 작업부를 구비하고, 공작물 테이블 유닛은, 베이스 유닛이 가지는 2개의 가대 사이에 설치되고, 공작물을 지지하는 공작물 테이블과, 상기 공작물 테이블을 지지하는 테이블 가대를 구비하고, 작업부와 공작물의 상대 위치 관계를 변화시킴으로써, 공작물에 원하는 작업을 행할 수 있고, 비작업시에 있어서는, 공작물 테이블 유닛을 베이스 유닛으로부터 분리하는 것, 및 갠트리 프레임을 회동시키면서 2개의 가대의 간격을 좁힐 수 있는 것을 특징으로 하는 갠트리형 작업 장치이다.

갠트리형 작업 장치, 베이스 유닛, 공작물 테이블 유닛, 작업부, 가대

Description

변형 가능한 갠트리형 작업 장치{DEFORMABLE GANTRY TYPE WORKING APPARATUS}

본 발명은, 작업부와 상대 이동하는 공작물에 대하여 원하는 작업을 행하는 갠트리형(gantry type) 작업 장치에 있어서, 이송(移送) 시의 스페이스면에서의 문제를 해소할 수 있는 변형 가능한 갠트리형 작업 장치에 관한 것이다.

공작물이 탑재되는 공작물 테이블을 종단(縱斷)하는 빔(갠트리 프레임)을 가지는 구조를 가지는 작업 장치가 있고, 일반적으로 갠트리형 작업 장치라고 한다. 상대 이동하는 공작물에 대하여 원하는 작업을 행하기 위한 갠트리형의 작업 장치로서는, 예를 들면, 액정 표시 패널의 제조에 있어서의 시일제를 도포하는 장치, 태양 전지 패널의 패터닝 장치, 반도체 디바이스의 결함 검사 장치 등이 있다.

이 종류의 장치는, 공작물의 대형화에 따라 장치 본체 그 자체가 대형화되는 경향이 있고, 예를 들면, 제8 세대라는 액정 표시 패널용의 유리 기판의 사이즈는 2160mm×2400mm이며, 작업 장치는 이것을 탑재할 수 있는 공작물 테이블을 구비할 필요가 있다.

액정용 기판에 시일제를 도포하기 위한 도포 장치로서는, 예를 들면, 액상체가 수용되는 배럴 및 이 배럴의 선단부에 장착 및 분리 가능하게 설치되어 선단으 로부터 상기 배럴 내의 액상체가 토출되는 노즐체를 가지는 디스펜서와, 상기 공작물에 대하여 상기 디스펜서를 상대적으로 X, Y 및 Z방향으로 이동시키는 구동 수단과, 상기 노즐체의 선단부를 촬상하고, 그 촬상 신호에 의해 상기 노즐체의 선단부의 위치를 검출하는 노즐 촬상 수단을 구비한 액상체의 도포 장치가 제안되어 있다(특허 문헌 1).

갠트리형의 페이스트 도포기로서는, 예를 들면, 공작물 테이블에 탑재된 기판에 대하여 노즐을 Z축 방향으로 이동시키는 Z축 이동 수단을 가지는 갠트리 프레임(Y축 이동 테이블)을 구비하고, 갠트리 프레임을 X축 이동 테이블에 의해 X축 방향으로 이동시키는 구조를 가지는 것이 있다(특허 문헌 2).

고정 테이블에 탑재한 공작물에 대하여 가공 헤드를 X축, Y축 및 Z축 방향으로 제어 이동하여 가공을 행하는 갠트리형의 공작 기계로서는, 예를 들면, 특허 문헌 3에 개시된 장치가 있다.

[특허 문헌 1] 일본 특허출원 공개번호 1999-033458호 공보

[특허 문헌 2] 일본국 특허 제3520205호 공보

[특허 문헌 3] 일본 특허출원 공개번호 2001-219325호 공보

상기 종래의 작업 장치는, 공작물이 지지되는 공작물 테이블과, 공작물에 원하는 작업을 행하는 작업부가 일체적으로 구성되어 있으므로, 이전 설치가 곤란했었다. 구체적으로는, 한 번 설치한 작업 장치를 다른 장소에 이전 설치하는 경우나, 작업 장치를 조립하는 장소와 가동(可動)시키는 장소가 떨어져 있는 경우 등에 있어서, 좁은 반송로를 통과하거나, 트럭 등의 수송 수단에 적재할 때, 작업 장치를 부품 레벨로 분해할 필요가 생기는 경우가 있었다.

그러나, 작업 장치는 한 장소에서 이용하는 것이며, 분해하여 이동하는 것을 전제로 하는 것도가 아니고, 분해에는 매우 많은 시간과 노력이 필요했다.

특히, 정밀한 작업을 행하는 장치에 있어서는, 그 조립 작업도 정밀하게 행하지 않으면 안되므로, 충분한 정밀도를 확보하기 위한 조정 작업에는 고도의 기술이 필요한 경우도 있었다.

또한, 대형화된 작업 장치는 중량도 커지게 되므로, 그 조립에는, 크레인 등의 중기를 필요로 하는 문제점이 있었다.

상기 문제점을 감안하여, 본 발명은, 이송 시에는 점유 스페이스가 작아지도록 변형시킬 수 있고, 복원도 용이한 갠트리형 작업 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 문제점을 해결하고 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 갠트리형 작업 장치는, 공작물 테이블 유닛과 베이스 유닛을 분리 가능하게 하고, 또한 점유 스페이스를 작게 하기 위해 베이스 유닛을 변형 가능하게 구성하였다. 또한, 갠트리 프레임과 가대(架臺)를 회동하는 구성으로 하고, 이송 시에 이들을 고정시키는 고정구나 조립을 용이하게 하는 조정구를 설치하는 등의 연구를 행함으로써, 이송 작업 및 이송 후의 조립 작업을 용이하고 안전하게 행하는 것을 가능하게 하였다.

즉, 본 발명의 갠트리형 작업 장치는 다음과 같이 구성되어 있다.

제1 발명은, 베이스 유닛과 공작물 테이블 유닛으로 구성되는 갠트리형 작업 장치로서, 상기 베이스 유닛은, 제1 방향으로 병설되는 2개의 가대와, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 설치되고, 그 하단부가 회전 수단을 통하여 2개의 가대에 접속되는 갠트리 프레임과, 갠트리 프레임에 설치되고, 공작물에 대하여 작업을 행하는 작업부를 구비하고, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 베이스 유닛이 가지는 상기 2개의 가대 사이에 설치되고, 공작물을 지지하는 공작물 테이블과, 상기 공작물 테이블을 지지하는 테이블 가대를 구비하고, 상기 작업부와 상기 공작물의 상대 위치 관계를 변화시킴으로써, 공작물에 원하는 작업을 행할 수 있고, 비작업시에 있어서는, 상기 공작물 테이블 유닛을 상기 베이스 유닛으로부터 분리하는 것, 및 상기 갠트리 프레임을 회동시키면서 상기 2개의 가대의 간격을 좁힐 수 있는 것을 특징으로 하는 갠트리형 작업 장치이다.

제2 발명은, 제1 발명에 있어서, 상기 갠트리 프레임의 하단부 중 어느 하나가, 상기 가대 위를 제1 방향으로 이동시키는 슬라이더를 통하여 상기 가대의 상면에 설치된 슬라이드 베이스에 접속되는 것을 특징으로 한다.

제3 발명은, 제1 발명에 있어서, 상기 갠트리 프레임의 하단부의 양쪽이, 상기 가대 위를 제1 방향으로 이동시키는 슬라이더를 통하여 상기 가대의 상면에 설치된 슬라이드 베이스에 접속되는 것을 특징으로 한다.

제4 발명은, 제2 또는 제3의 발명에 있어서, 상기 슬라이더는, 리니어 모터 구동인 것을 특징으로 한다.

제5 발명은, 제1 내지 제4의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 2개의 가대에 각각 연장 설치된 제1 장척(長尺) 부재와, 이들과 걸어맞추어지는 상기 테이블 가대에 연장 설치된 제2 장척 부재로 구성되는 가대 연결 가이드를 구비하고, 상기 테이블 유닛 및 상기 베이스 유닛이 가대 연결 가이드에 의해 연결되는 것을 특징으로 한다.

제6 발명은, 제5 발명에 있어서, 상기 가대 연결 가이드를 구성하는 제1 및 제2 장척 부재는, 2개의 V골 형상의 레일 부재와 2개의 V산 형상의 레일 부재의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

제7 발명은, 제5 발명에 있어서, 상기 가대 연결 가이드를 구성하는 제1 및 제2 장척 부재는, 2개의 가이드 레일과 이들과 끼워장착되는 2개의 가이드 블록의 조합으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

제8 발명은, 제5 내지 제7의 발명에 있어서, 상기 2개의 가대는 L자 형상이며, 그 고위치의 상면에 상기 갠트리 프레임의 하단부가 접속되고, 그 저위치의 상면에 상기 제1 장척 부재가 연장 설치되는 것을 특징으로 한다.

제9 발명은, 제1 내지 제8의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 2개의 가대와 상기 갠트리 프레임이 구성하는 각도를 계측하고, 기억하는 인코더를 구비한 것을 특징으로 한다.

제10 발명은, 제1 내지 제9의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 공작물 테이블을 상기 제1 방향으로 이동 가능하게 하는 공작물 테이블 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

제11 발명은, 제1 내지 제9의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 공작물 테이블을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 공작물 테이블 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

제12 발명은, 제10 또는 제11의 발명에 있어서, 상기 공작물 테이블 이동 수단은, 리니어 모터 구동인 것을 특징으로 한다.

제13 발명은, 제1 내지 제12의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 갠트리 프레임은, 상기 작업부를 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 작업부 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

제14 발명은, 제1 내지 제13의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 갠트리 프레임은, 상기 작업부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 작업부 이동 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

제15 발명은, 제1 내지 제14의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 2개의 가대를 비작업시의 간격으로 지지하는 고정구를 구비한 것을 특징으로 한다.

제16 발명은, 제15의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 고정구를 체결하기 위한 체결구멍을 구비한 것을 특징으로 한다.

제17 발명은, 제1 내지 제16의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 2개의 가대의 간격을 작업시의 간격으로 조정하여, 지지하는 조정구를 구비하는 것을 특징으로 한다.

제18 발명은, 제17의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 상기 고정구를 체결하기 위한 체결구멍을 구비한 것을 특징으로 한다.

제19 발명은, 제1 내지 제18의 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 베이스 유닛은, 복수개의 갠트리 프레임을 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 공작물 테이블 유닛과 베이스 유닛을 분리할 수 있고, 또한 베이스 유닛을 점유 스페이스가 작아지도록 변형시킬 수 있으므로, 이송이 용이하다.

또한, 이송에 따른 분해 및 조립 작업이나 이송 작업을 용이하고 안전하게 행할 수 있고, 이송에 따른 작업 공정수를 대폭 감소시킬 수 있다.

또한, 작업 장치를 장기간에 걸쳐 사용하지 않을 때의 장치 보관 스페이스를 작게 할 수 있고, 또한 공작물 테이블 유닛과 베이스 유닛을 별개의 장소에 보관할 수도 있다.

도 1은 본 발명의 작업 장치의 정면도이다.

도 2는 본 발명의 작업 장치의 평면도이다.

도 3a는 본 발명의 작업 장치의 변형 수순을 설명하는 평면도이다(1/3).

도 3b는 본 발명의 작업 장치의 변형 수순을 설명하는 평면도이다(2/3).

도 3c는 본 발명의 작업 장치의 변형 수순을 설명하는 평면도이다(3/3).

도 4는 본 발명의 작업 장치를 변형시키고, 고정구를 장착한 상태의 정면도이다.

도 5는 실시예 1에 관한 작업 장치의 사시도이다.

도 6은 실시예 1에 관한 작업 장치의 회전 수단을 설명하는 단면 구성도이다.

도 7은 실시예 1에 관한 작업 장치의 가대 연결 가이드를 설명하는 단면 구성도이다.

도 8은 실시예 2에 관한 작업 장치의 사시도이다.

도 9는 실시예 2에 관한 작업 장치의 가대 연결 가이드를 설명하는 단면 구성도이다.

도 10은 실시예 3에 관한 작업 장치의 정면도이다.

도 11은 실시예 1에 관한 작업 장치의 동작의 개요를 설명하는 제어 블록도이다.

도 12는 실시예 1에 관한 작업 장치에 조정구를 장착한 상태의 사시도이다.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]

(1) 가대

(2) 갠트리 프레임

(3) 가동 캐리지

(7) 리니어 가이드

(8) 작업 헤드

(9) 공작물 테이블

(11) 고정구

(12) 베이스 유닛

(13) 테이블 유닛

(14) 회전 수단

(15) 슬라이더

(16) 슬라이드 베이스

(18) 조정구

(19) 테이블 유닛 지지부

(20) 도포 장치

(21) 판재

(22) 나사

(24) 리니어 모터 고정자

(25) 리니어 모터 가동자

(26) 리니어 스케일

(29) 도포 헤드

(30) 노즐

(31) 테이블 가대

(33) 가대 연결 가이드

(41) 축대

(42) 회전축

(43) 베어링

(44) 절대값 인코더

(51) 가이드 레일

(52) 가이드 블록

(62) 레벨 어저스터

(63) 리니어 가이드

(65) 갠트리 베이스

(69Y) 모터

(70X) 모터

(81) 철형 레일

(82) 요형 레일

(100) 설정·표시기

(101) 제어 장치

(102) 센서

(103) 전자 밸브

(104) CCD 카메라

(105) θ모터

(106) 모터 컨트롤러

(107) 모터 드라이버

(109) 리니어 스케일

(110) Z모터

(111) 디스펜스 컨트롤러

(181) 체결구멍

본 발명을 실시하기 위한 최선의 작업 장치의 일양태를 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 본 발명에 관한 작업 장치의 정면도이며, 도 2는 본 발명에 관한 작업 장치의 평면도이며, 도 3은 이송에 따른 변형 등을 설명하는 도면이며, 도 4는 고정구를 장착한 상태의 정면도이다. 그리고, 도 1은 도 2에 있어서의 아래쪽으로부터 장치를 관찰했을 때의 도면이다.

≪구성≫

본 발명에 관한 작업 장치는, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 문형(門型)으로 배치된 베이스 유닛(12)과, 상기 베이스 유닛(12)의 문(門)의 다리 사이에 설치된 테이블 유닛(13)으로 구성된다.

베이스 유닛(12)은, 제1 방향(도 2의 상하 방향)으로 연장 설치되는 2개의 가대(1a, 1b)와, 이들에 지지되는 제2 방향(도 2의 좌우 방향)으로 연장되는 갠트리 프레임(2)과, 갠트리 프레임(2)에 설치된 작업부를 주된 구성 요소로 한다.

갠트리 프레임(2)은, 단수 또는 복수개의 작업 헤드(8)를 지지하고, 작업 헤드(8)와 공작물 테이블(9)을 상대 이동시킴으로써 공작물 상의 임의의 위치에서 원하는 작업을 행할 수 있다. 이와 같이 공작물에 대하여 작업을 행하는 작업 헤드(8)와 같은 기기를 작업부라고 하기로 한다.

또한, 갠트리 프레임(2)은, 회전 수단(14a, 14b)을 통하여 가대(1a, 1b)에 접속되어 있다. 이로써, 가대(1a)에 접속된 갠트리 프레임(2)의 한쪽 하단이 회동 가능하게 지지되고, 가대(1b)에 접속된 갠트리 프레임(2)의 다른 쪽 하단이 회동 가능하게 지지된다.

여기서, 가대(1b)는, 회전 수단(14b)을 제1 방향으로 이동 가능하게 하는 슬라이더(15)에 접합되어 있다. 즉, 가대(1b)의 상면에 설치된 슬라이드 베이스(16)와 슬라이드 베이스(16) 상을 제1 방향으로 이동 가능한 슬라이더(15)가 회전 수단(14b)과 접합되는 것에 의해, 회전 수단(14b)을 제1 방향으로 이동 가능하게 하고 있다.

그리고, 도 2에서는, 슬라이드 베이스(16)를 가대(1b)의 상면에 설치하고 있지만, 가대(1a)의 상면에 설치하는 구성으로 해도 된다.

테이블 유닛(13)은, 공작물을 지지하는 공작물 테이블(9)과, 이것을 지지하는 테이블 가대(31)를 주된 구성 요소로 한다. 본 장치에 의한 작업시에는, 테이블 유닛(13)은, 가대(1a, 1b) 사이에 설치될 필요가 있다.

≪이송에 따른 변형 등≫

본 장치를 이송에 따라 변형 등하는 방법을 설명한다.

먼저, 도 3(a)에 나타낸 바와 같이, 테이블 유닛(13)을 베이스 유닛(12)의 바깥쪽(화살표 방향)으로 분리 이동하고, 가대(1a)와 가대(1b) 사이에 공간을 설치한다. 다음에, 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 좁히도록, 가대(1a) 및/또는 가대(1b)에 파워를 건다. 그러면, 가대(1a)에 설치되는 회전 수단(14a)과, 가대(1b)에 설치되는 회전 수단(14b)의 회전 작용에 의해, 도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 갠트리 프레임(2)이 화살표 방향으로 회동하는 동시에, 슬라이더(15)가 슬라이드 베이스(16) 상을 제1 방향을 큰 화살표를 향해 직진 이동한다.

가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 더욱 좁히면, 도 3(c)에 나타낸 바와 같이, 갠트리 프레임(2)이 다시 회전하여, 베이스 유닛(12)이 접혀진 상태로 된다.

이상의 공정에 의해, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)을 분리하여 이송할 수 있고, 또한 베이스 유닛(12) 사이즈를 컴팩트하게 할 수 있다.

또한, 본 장치의 이송 시에는, 가대(1a)와 가대(1b)의 간격이 유지되도록, 가대(1a)와 가대(1b)를 고정시키는 것이 바람직하다. 도 4는, 판재(21)와 가대(1a, 1b)를, 나사(22)로 체결하는 고정구(11)를 예시하는 것이다. 단, 고정구는, 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 유지하는 작용을 가지고 있으면 되고, 도 4에 개시되는 것에 한정되지 않는다.

≪이송 후의 복원≫

이송에 따라 변형된 본 장치를 복원하는 공정은, 전술한 수순을 역으로 행하면 된다.

먼저, 컴팩트하게 절첩된 베이스 유닛(12)의 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 넓히도록 파워를 건다. 그러면, 회전 수단(14a)과 회전 수단(14b)의 회전 작용에 의해, 갠트리 프레임(2)이 도 3(b)의 화살표 방향과 역으로 회동하는 동시에, 슬라이더(15)가 슬라이드 베이스(16) 상을 제1 방향을 도 3(b)의 큰 화살표와 역으로 향해 직진 이동한다.

가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 보다 넓혀, 가대(1a)와 가대(1b)를 소정의 폭으로 한 위치로 된 곳에서 가대(1a)와 가대(1b)를 고정시킨다. 그리고, 2개의 가대와 갠트리 프레임(2)으로 구성되는 문형(門型)의 다리 사이에 테이블 유닛(13)을 설치하고, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 수평 방향 및 높이 방향의 상대 위치 조정을 행한 후에 베이스 유닛(12)의 위치를 고정한다.

그리고, 이상에서는, 갠트리 프레임이 단수의 작업 장치를 전제로 설명을 행하였으나, 갠트리 프레임을 복수개 구비하는 작업 장치에도 본 발명의 기술적 사상을 적용할 수 있는 것은 물론이다. 또한, 슬라이드 베이스를 설치하지 않고, 갠트리 프레임의 하단과 가대의 접속 위치를 고정으로 한 채, 변형시에 2개의 가대가 현격한 차이를 두고 접혀짐으로써 공간절약화를 도모하는 구성으로 해도 된다.

이하에서는, 본 발명의 상세를 실시예에 의해 설명하지만, 본 발명은 어떤 실시예에 의해 한정되는 것은 아니다.

[실시예 1]

본 실시예의 작업 장치는, 액정 패널을 구성하는 유리 기판에 페이스트를 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.

≪구성≫

도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 도포 장치(20)는, 문형으로 배치된 베이스 유닛(12)과, 베이스 유닛(12) 사이에 설치된 테이블 유닛(13)을 주된 구성 요소로 한다.

베이스 유닛(12)은, 제1 방향(Y방향)으로 연장되는 가대(1a, 1b)와, 이들에 지지되는 갠트리 프레임(2)에 의해 구성된다. 갠트리 프레임(2)의 하단은, 회전 수단(14a, 14b)에 접합되어 있고, 이로써, 갠트리 프레임(2)은 가대(1a, 1b)와 회동 가능하게 지지되어 있다. 갠트리 프레임(2)에는, 작업부인 도포 헤드(29)가 복수개 설치된다.

가대(1a, 1b)는 L자 형상이며, 제1 방향을 따라 병설되고, 반대의 철홈(凸溝)을 구성한다. 테이블 유닛(13)은, 그 철홈에 끼워맞추어지도록 설치되고, 수평 방향으로 연장된 테이블 유닛 지지부(19a, 19b)의 상면(낮은 위치에 있는 상면)에 의해 지지된다.

가대(1a, 1b)는, 하면에 레벨 어저스터(62)를 가지고, 바닥면과 본 장치의 수평 레벨을 조정할 수 있다.

가대(1a)의 높은 위치에 있는 상면에는 리니어 가이드(7a), 리니어 모터 고정자(24a), 및 리니어 스케일(26a)이 설치되어 있고, 가대(1b)의 높은 위치에 있는 상면에는 리니어 가이드(7b), 리니어 모터 고정자(24b), 및 리니어 스케일(26b)이 설치되어 있다.

회전 수단(14a, 14b)의 하면은, 리니어 모터 가동자(25a, 25b)와 접합되어 있고, 리니어 가이드(7a, 7b), 및 리니어 모터 고정자(24a, 24b)와 협동하여 갠트리 프레임(2)을 제1 방향으로 이동가능하게 하고, 또한 리니어 스케일(26a, 26b)에 의해 갠트리 프레임(2)의 이동을 고정밀도로 하고 있다.

도 6은, 회전 수단(14a)의 단면 구성도이다.

회전 수단(14a)은, 축대(41a), 회전축(42a), 베어링(43a), 및 절대값 인코더(44a)로 구성된다. 회전축(42a)은, 베어링(43a)을 통하여 축대(軸臺)(41a)와 걸어맞추어져, 축대(41a)에 대하여 회동한다. 회전축(42a)의 상면은, 갠트리 프레임(2)에 의해 접합된다. 축대(41a)의 하면 중앙부에 리니어 모터 가동자(25a)가 설 치되고, 하면변 둘레부에 리니어 가이드(7a)가 위치하고, 리니어 모터 가동자(25a)의 양쪽에 리니어 모터 고정자(24a)가 위치한다.

그리고, 회전 수단(14b)도 동일한 구성이다.

베어링(43a)의 위쪽에 설치되는 절대값 인코더(44a)는, 축대(41a)와 회전축(42a)의 상대 회전 각도를 검출하는 기기이며, 상대 회전 각도를 검출하여 제어 장치(101)에 기억할 수 있다. 즉, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 위치 조정 후, 절대값 인코더(44a)에 최적화된 상대 회전 각도를 기억하여 둠으로써, 이송에 따라 변형 등을 행한 작업 장치를 복원할 때의 조정 작업의 효율화 및 고정밀도화를 도모하는 것이 가능해진다.

그리고, 절대값 인코더(44a)를 구비하는 것이 바람직하지만, 필수적인 구성 요소는 아니다.

갠트리 프레임(2)에 복수개 설치되는 도포 헤드(29)는, 액체를 토출하는 노즐(30)을 가진다. 각 도포 헤드(29)는, 도시하지 않은 리니어 모터에 의해, 갠트리 프레임(2)의 연장 방향으로 이동 가능하다. 또한, 도포 헤드(29)는 각각 독립적으로 이동할 수 있다.

갠트리 프레임(2)이 이동하는 제1 방향(Y방향)과, 도포 헤드(29)가 이동하는 제2 방향(X방향)은 서로 직교한다. 각 도포 헤드(29)는, 노즐(30)을 공작물에 가까워지는 방향 내지는 멀어지는 방향(Z방향)으로 이동시키는 승강 기구를 구비하고 있다. 즉, 도포 헤드(29)가 가지는 노즐(30)과 공작물을 XYZ방향으로 상대 이동시킬 수 있다.

테이블 유닛(13)은, 테이블 가대(31)와 그 상부에 설치되는 공작물 테이블(9)로 구성되고, 테이블 가대(31)는 공작물 테이블(9)을 회전시키는 회전 기구를 가진다. 즉, 도시하지 않은 θ모터(105)의 동력에 의해 공작물 테이블(32)을 회전시킬 수 있다.

테이블 유닛(13)은, 가대(1a, 1b)로부터 연장되는 테이블 유닛 지지부(19a, 19b)에 지지되고, 가대 연결 가이드(33a, 33b)에 의해 연결된다.

가대 연결 가이드(33a)의 구성을 설명한다.

도 7은, 상기 가대 연결 가이드(33a)의 단면 구성을 나타낸 도면이다.

가대 연결 가이드(33a)는, 가이드 레일(51a)과 가이드 블록(52a)과 베어링(53a)으로 구성된다.

가이드 레일(51a)은, 테이블 유닛 지지부(19a)의 상면에서 제1 방향(Y방향)으로 연장되는 장척 부재이다. 가이드 블록(52a)은, 테이블 가대(31) 하부에 접합되는 장척 부재로서, 가이드 레일(51)에 끼워장착할 수 있다.

베이스 유닛(12)에 테이블 유닛(13)을 연결할 때는, 베이스 유닛(12)의 측방으로부터 가이드 블록(52a)을 가이드 레일(51a)에 끼워장착하고, 제1 방향을 슬라이드함으로써, 테이블 유닛(13)을 장착할 수 있다. 테이블 유닛(13)을 분리할 때는, 베이스 유닛(12)의 외측을 향해 테이블 유닛(13)을 제1 방향을 슬라이드함으로써, 원활하고 또한 용이하게 분리할 수 있다.

가이드 레일(51a)과 가이드 블록(52a)은, 일반적인 리니어 가이드와 같은 구성이며, 가이드 레일(51a) 상을 가이드 블록(52a)이 원활하게 슬라이드하고, 또한 슬라이드 방향에 대하여 직교하는 방향(즉 X방향 및 Z방향)의 반동(反動)이 작아지도록 구성되어 있다.

그리고, 가대 연결 가이드(33b)도 동일한 구성이다.

베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)을 연결함으로써, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 상대 위치, 및 가대(1a)와 가대(1b)의 간격이 정해지고, 또한 가대(1a)와 가대(1b)가 서로 제1 방향을 향해 평행한 위치 관계로 조정된다.

≪이전 설치 스텝≫

본 실시예의 도포 장치(20)의 이전 설치 작업에 있어서는, 먼저, 테이블 유닛(13)을 베이스 유닛(12)으로부터 분리한다. 분리 작업은, 테이블 가대(31)를 가대(1a, 1b)의 외측을 향해 제1 방향을 슬라이드시킴으로써 행할 수 있다.

이어서, 갠트리 프레임(2)을 회동시키면서 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 좁게 한다. 즉, 갠트리 프레임(2)을, θ방향 내지는 그 역방향으로 회전시키는 파워를 걸면, 회전 수단(14a, 14b)이 회동하는 동시에, 리니어 모터 가동자(25a, 25b)가 슬라이드 이동함으로써, 갠트리 프레임(2)과 가대(1a, 1b)가 구성하는 각도가 직각으로부터 예각(銳角)으로 변화한다. 이로써, 베이스 유닛(12)은, 절첩하도록 되어 그 형태가 컴팩트하게 되므로, 이전 설치에 따른 운반 작업을 용이하게 행할 수 있다.

운반 작업 종료 후, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)을 조립하는데 있어서는, 먼저 컴팩트하게 변형된 베이스 유닛(12)을 원래의 형상으로 되돌리는 작업을 행한다. 즉, 갠트리 프레임(2)이 가대(1a, 1b)와 직교하는 위치로 되도록 파워 를 걸면, 회전 수단(14a, 14b)이 회동하는 동시에, 리니어 모터 가동자(25a, 25b)가 슬라이드 이동되어, 가대(1a, 1b)와의 간격을 넓게 할 수 있다.

여기서, 도 12에 도시한 바와 같이, 본 실시예의 조정구(18)에 의하면, 가대(1a, 1b)를 작업에 적절한 간격으로 유지할 수 있다. 즉, 조정구(18)를, 가대 연결 가이드(33a, 33b)에 통과시킴으로써, 리니어 가이드(7a, 7b) 사이의 평행 조정 및 높이 조정을 행할 수 있도록, 미리 소정 거리로 형성된 부재가 설치되어 있고, 조정 후에는 조정구(18)의 체결구멍(181a, 181b)과 가대(1a, 1b)를 나사 등에 의해 결합할 수 있다. 그리고, 도 12에서는, 조정구(18)를 가대 연결 가이드(33a, 33b)를 통하여 조정하고 있지만, 리니어 가이드(7a, 7b)를 통하여 조정하도록 해도 된다.

이 때, 분리 전에 절대값 인코더(44a)에 의해 기억한 회전 각도의 값을 이용하여, 복원시의 회전 각도를 조정하면, 조정 작업을 정밀도 양호하고 간단하게 행할 수 있다.

최후에, 테이블 가대(31)를 가대 연결 가이드(33a, 33b)에 의해 베이스 유닛(12)에 연결하고, 테이블 가대(31)를 소정의 위치에 세팅함으로써 이전 설치 작업이 완료된다.

≪동작≫

본 실시예의 도포 장치(20)의 동작을, 도 11에 나타낸 제어 블록도를 참조하면서 설명한다.

본 실시예의 도포 장치(20)는, 설정·표시기·입력 수단(100)으로부터 제어 장치(101)에 보내진, 로봇 동작 스텝에 관한 프로그램 정보나, 도포에 필요한 각종 파라미터 정보에 따라 동작한다.

작업 대상이 되는 공작물인 유리 기판이 공작물 테이블(9)에 설치되면, 공작물 테이블(9)에 설치된 센서(102)가 유리 기판을 검출한 후, 제어 장치(101)가 전자 밸브(103)를 ON으로 하고, 공작물 테이블(9)에 유리 기판을 진공 흡착시켜 고정한다.

이어서, 도포 헤드(29)가 구비하는 CCD 카메라(104)에 의해 유리 기판 상에 인쇄된 기준 마크 위치를 검출하면, 갠트리 프레임(2)의 연장 방향 및 이동 방향으로 규정되는 X－Y축에 대한 유리 기판의 탑재 위치의 경사를 산출하고, θ모터(105)를 구동시켜 공작물 테이블(32)을 θ회전시킴으로써 유리 기판의 어긋남을 보정한다.

다음에, 복수개의 도포 헤드(29)를, 그 노즐(30)이 유리 기판 상의 XY 평면의 소정 위치로 되도록 이동시킨 후, 노즐(30)과 유리 기판의 클리어런스가 원하는 양으로 되도록 도포 헤드(29)를 Z방향으로 하강시킨다. 그리고, 도포 헤드(29)는, 미리 페이스트가 충전된 저류 용기를 구비하고 있다.

도포 헤드(29)의 이동이 완료되면, 제어 장치(101)로부터 디스펜스 컨트롤러(111)에 토출 신호가 출력되고, 노즐(30)로부터 페이스트를 토출하면서 복수개의 도포 헤드(29)가 XY 이동한다. 이 동작에 의해, 유리 기판에 소정의 도포 형상이 형성된다. 여기서, 본 실시예의 도포 장치(20)는, 복수개의 도포 헤드(29)를 가지므로, 복수개의 동일 도포 패턴을 동시에 묘화 형성할 수 있다.

Y모터(69) 및 X모터(70)에 대한 제어는, 모터 컨트롤러(106)가 각 모터의 위치 제어를 행하고, 모터 드라이버(107)가 각 모터에 통전하는 전류량을 제어함으로써 행한다.

도포 헤드(29)의 Y방향으로의 이동은, 갠트리 프레임(2)이 접속되는 복수개의 X모터(70)를, 리니어 스케일(109)의 위치 정보를 기초로 제어함으로써 행한다. 도포 헤드(29)의 Z방향으로의 이동은, 노즐(30)과 유리 기판의 간극을 검출하는 센서(102)의 위치 정보에 따라 Z모터(110)를 제어함으로써 행한다.

이상의 동작을 행하는 본 실시예의 도포 장치(20)에 있어서, 도포 형상의 형성을 고정밀도로 행하기 위해서는, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 위치 관계가 고정밀도로 조정되어 있을 필요가 있다.

여기서, 본 실시예의 도포 장치(20)는, 이전 설치 시에 부품 레벨의 분해가 불필요하며, 또 분리 전의 회전 각도의 값을 절대값 인코더(44a)가 기억하고 있으므로, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)의 위치 관계의 조정을 용이하고 효율적으로 행할 수 있으므로, 이전 비용을 최소한으로 할 수 있다.

[실시예 2]

본 실시예의 작업 장치는, 공작물에 접착제 등의 액재를 도포하는 도포 장치에 관한 것이며, 보다 구체적으로는, 공작물 상에 액재를 도포 형성하는 장치로서, 동일 형상의 묘화 패턴을 동시에 복수개 형성하는데 적절한 도포 장치이다. 즉, 본 실시예의 도포 장치(20)는, 공작물 테이블(9) 상에 탑재된 공작물에 대하여, X모터(70)와 Y모터(69)의 작동에 의해, 도포 헤드(29)에 대하여 공작물 테이블(9)을 X －Y방향으로 이동시킴으로써 원하는 묘화 패턴을 형성하는 것이다.

도 8은, 제2 실시예에 관한 작업 장치의 사시도이다.

가대(1a)의 상면에는 리니어 가이드(63)가 연장 설치되어 있고, 갠트리 프레임(2)의 일단이 슬라이드 이동하는 것을 가능하게 하고 있다.

실시예 1과 마찬가지로, 가대(1a, 1b)는 L자 형상이며, 제1 방향을 따라 병설되어, 테이블 유닛 지지부(19a, 19b)의 상면 테이블 유닛(13)을 지지한다. 또한, 가대(1a, 1b)는, 바닥면과 본 장치와의 수평 레벨을 조정하는 레벨 어저스터(62)를 하부에 가지고 있다.

갠트리 프레임(2)의 하단은, 회전 수단(14a, 14b)을 통하여 갠트리 베이스(65a, 65b)와 접속되어 있다. 갠트리 베이스(65a)는 리니어 가이드(63)의 연장 방향(Y방향)으로 가동할 수 있도록 설치되지만, 갠트리 베이스(65b)는 가대(1b)의 상면에 고정되어 접속되어 있다.

회전 수단(14a, 14b)은, 실시예 1과 같은 구성이며, 이로써, 갠트리 프레임(2)은 회동 가능하게 된다.

갠트리 프레임(2)에는, 액재를 수납하는 액재 저류 용기(도시하지 않음)를 구비하는 도포 헤드(29)가 복수개 탑재되고, 이들은 갠트리 프레임(2)이 가지는 도시하지 않은 모터에 의해, 각각 독립적으로 갠트리 프레임(2)의 연장 방향으로 가동 가능하다. 이러한 구성에 의해, 본 도포 장치의 복수개의 도포 헤드(29)는, 그 간격을 원하는 간격(즉, 묘화 패턴의 간격)으로 적당히 조정하는 것을 가능하게 하고 있다.

묘화 패턴에 따라 복수개의 도포 헤드(29)의 간격을 원하는 간격으로 조정한 후, 노즐(30)로부터 도시하지 않은 토출 장치에 의해 액재를 토출시키는 동시에, 공작물 테이블(9)을 상대이동시킴으로써, 공작물 표면에 원하는 형상의 액재에 의한 도포 묘화를 행할 수 있다.

가대(1a, 1b)가 가지는 테이블 유닛 지지부(19a, 19b)의 상면에는, 가대 연결 가이드(33a, 33b)를 구성하는 장척 부재가 설치되어 있다.

테이블 가대(31)를 가대(1a, 1b)의 연장 방향(즉 Y방향)으로 슬라이드시킴으로써, 가대 연결 가이드(33a, 33b)의 작용에 의해 테이블 가대(31)와 가대(1a, 1b)를 원활하고 또한 용이하게 접합 및 분리할 수 있다.

도 9는, 가대 연결 가이드(33a)의 단면 구성을 나타낸 것이다.

가대 연결 가이드(33a)는, 철형(凸形) 블록(81)과 정밀도 양호하게 홈형으로 형성된 요형(凹形) 레일(82)로 구성된다. 철형 블록(81)은 가대(31)의 하면에 접합되어 있고, 철형 블록(81)이 요형 레일(82) 상을 슬라이드 이동함으로써, 가대(31)를 Y방향으로 슬라이드 가능하게 구성하고 있다. 그리고, 철형 블록(81)과 요형 레일(82)은 V홈 형상, U홈 형상 등 임의의 형상으로 할 수 있다.

그리고, 가대 연결 가이드(33b)도 동일한 구성이다.

또한, 가대 연결 가이드(33a, 33b)는, 테이블 가대(31)가 슬라이드하는 방향에 대하여 직교하는 방향(즉, X방향 및 Z방향)의 반동을 작게 하도록 구성되어 있고, 가대 연결 가이드(33a, 33b)와 가대(1a, 1b)를 정밀도 양호하게 연결시킬 수 있다.

가대 연결 가이드(33a, 33b)의 결합부는, 원활하게 슬라이드할 수 있도록 정밀도 양호하게 가공되어 있는 것은 물론이다.

≪이전 설치 스텝≫

본 실시예의 도포 장치(20)의 이전 설치 작업에 있어서는, 먼저, 테이블 유닛(13)을 베이스 유닛(12)으로부터 분리한다. 분리 작업은, 테이블 가대(31)를 연결 가이드(33a, 33b)에 의해 가대(1a, 1b)의 외측으로 이동시킴으로써 행할 수 있다.

이어서, 회전 수단(14b)을 회전 중심으로 하여, 갠트리 프레임(2)을 회동시키면서 가대(1a)와 가대(1b)의 간격을 좁게 한다. 즉, 갠트리 프레임(2)을, θ방향으로 회전시키는 파워를 걸면, 회전 수단(14a, 14b)이 회동하는 동시에, 갠트리 베이스(65a)가 리니어 가이드(63) 상을 슬라이드 이동함으로써, 갠트리 프레임(2)과 가대(1a, 1b)가 구성하는 각도가 직각으로부터 예각으로 변화한다. 이로써, 베이스 유닛(12)은, 접도록 되어 그 형태가 컴팩트하게 되므로, 이전에 따른 운반 작업을 용이하게 행할 수 있다.

운반 작업 종료 후, 베이스 유닛(12)과 테이블 유닛(13)을 조립하는데 있어서는, 먼저 컴팩트하게 변형된 베이스 유닛(12)을 원래의 형상으로 되돌리는 작업을 행한다.

즉, 갠트리 프레임(2)이 가대(1a, 1b)와 직교하는 위치로 되도록 파워를 걸면, 회전 수단(14a, 14b)이 회동하는 동시에, 갠트리 베이스(65a)가 슬라이드 이동하여, 가대(1a, 1b)와의 간격이 넓혀진다.

이 때, 분리 전에 절대값 인코더(44a)에 의해 기억한 회전 각도의 값을 이용하여, 복원시의 회전 각도를 조정하면, 조정 작업을 정밀도 양호하게 간단하게 행할 수 있다.

최후에, 테이블 가대(31)를 가대 연결 가이드(33a, 33b)에 의해 베이스 유닛(12)에 연결하고, 테이블 가대(31)를 소정의 위치에 세팅함으로써 이전 설치 작업이 완료된다.

이상과 같이, 본 실시예의 장치는, 하나의 리니어 가이드에 의해 접는 것을 가능하게 하는 구성이므로, 실시예 1의 장치보다도 저비용으로 장치를 구성할 수 있다.

또한, 가대 연결 가이드를 간단한 홈 구조로 하고 있으므로, 실시예 1의 장치보다도 저비용으로 장치를 구성할 수 있다.

[실시예 3]

본 실시예의 작업 장치는, 공작물에 접착제 등의 액재를 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.

본 실시예의 도포 장치(20)는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 유닛 테이블 지지부(19a, 19b)의 상면에 형성된 V형상의 홈과, 테이블 유닛(13)의 하면에 형성된 V형상의 돌기에 의해 구성되는 가대 연결 가이드(33a, 33b)를 가지는 점에 특징이 있다.

테이블 유닛(13)과 베이스 유닛(12)의 연결 작업은, 점선으로 나타낸 캐리지(3) 상에 테이블 가대(31)를 적재하여 행한다. 캐리지(3)를 사용함으로써, 테이 블 유닛(13)의 이동 및 위치 조정이 용이해져, 연결 작업에 걸리는 공정수를 단축할 수 있다. 그 효과는, 특히, 테이블 유닛(13) 사이즈가 커지게 될 수록 현저해진다.

그리고, 테이블 유닛(13)과 베이스 유닛(12)을 연결한 후, 캐리지(3)를 테이블 유닛(13)으로부터 용이하게 이탈시킬 수 있도록, 높이 조절 기구를 구비하는 것이 바람직하다.

본 발명의 기술 사상은, 액정 패널, 반도체, 프린트 기판 등의 전자 기기의 제조 및 검사에 사용되는 작업 장치에 적용할 수 있다. 예를 들면, 플랫 패널의 유리 기판에 원하는 형상의 페이스트 패턴을 도포하는 도포 장치나, 페이스트를 토출하는 도포 헤드를 탑재하는 갠트리 기구와, 유리 기판을 고정시키는 테이블의 기구에 바람직하다.

Claims (19)

1. 베이스 유닛과 공작물 테이블 유닛으로 구성되는 갠트리형(gantry type) 작업 장치로서,

   상기 베이스 유닛은, 제1 방향으로 병설되는 2개의 가대(架臺)와, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 설치되고, 그 하단부가 회전 수단을 통하여 2개의 가대에 접속되는 갠트리 프레임과, 상기 갠트리 프레임에 설치되고, 공작물에 대하여 작업을 행하는 작업부를 구비하고,

   상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 베이스 유닛이 가지는 상기 2개의 가대 사이에 설치되고, 상기 공작물을 지지하는 공작물 테이블과, 상기 공작물 테이블을 지지하는 테이블 가대를 구비하고,

   상기 작업부와 상기 공작물의 상대 위치 관계를 변화시킴으로써, 상기 공작물에 원하는 작업을 행할 수 있고,

   비작업시에 있어서는, 상기 공작물 테이블 유닛을 상기 베이스 유닛으로부터 분리하는 것, 및 상기 갠트리 프레임을 회동시키면서 상기 2개의 가대의 간격을 좁힐 수 있는, 갠트리형 작업 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 갠트리 프레임의 하단부 중 어느 하나는, 상기 가대 상을 제1 방향으로 이동시키는 슬라이더를 통하여 상기 가대의 상면에 설치된 슬라이드 베이스에 접속 되는, 갠트리형 작업 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 갠트리 프레임의 하단부의 양쪽은, 상기 가대 상을 제1 방향으로 이동시키는 슬라이더를 통하여 상기 가대의 상면에 설치된 슬라이드 베이스에 접속되는, 갠트리형 작업 장치.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,

   상기 슬라이더는 리니어 모터 구동인, 갠트리형 작업 장치.
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 2개의 가대에 각각 연장 설치된 제1 장척(長尺) 부재와, 이들과 걸어맞추어지는 상기 테이블 가대에 연장 설치된 제2 장척 부재로 구성되는 가대 연결 가이드를 구비하고, 상기 테이블 유닛 및 상기 베이스 유닛은 가대 연결 가이드에 의해 연결되는, 갠트리형 작업 장치.
6. 제5항에 있어서,

   상기 가대 연결 가이드를 구성하는 제1 및 제2 장척 부재는, 2개의 V골 형상의 레일 부재와 2개의 V산 형상의 레일 부재의 조합으로 이루어지는, 갠트리형 작업 장치.
7. 제5항에 있어서,

   상기 가대 연결 가이드를 구성하는 제1 및 제2 장척 부재는, 2개의 가이드 레일과 이들과 끼워장착되는 2개의 가이드 블록의 조합으로 이루어지는, 갠트리형 작업 장치.
8. 제5항에 있어서,

   상기 2개의 가대는 L자 형상이며, 상기 2개의 가대의 고위치의 상면에 상기 갠트리 프레임의 하단부가 접속되고, 상기 2개의 가대의 저위치의 상면에 상기 제1 장척 부재가 연장 설치되는, 갠트리형 작업 장치.
9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 베이스 유닛은, 상기 2개의 가대와 상기 갠트리 프레임이 구성하는 각도를 계측하고, 계측된 각도를 기억하는 인코더를 구비한, 갠트리형 작업 장치.
10. 제1항에 있어서,

    상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 공작물 테이블을 상기 제1 방향으로 이동 가능하게 하는 공작물 테이블 이동 수단을 구비하는, 갠트리형 작업 장치.
11. 제1항에 있어서,

    상기 공작물 테이블 유닛은, 상기 공작물 테이블을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 공작물 테이블 이동 수단을 구비하는, 갠트리형 작업 장치.
12. 제10항 또는 제11항에 있어서,

    상기 공작물 테이블 이동 수단은 리니어 모터 구동인, 갠트리형 작업 장치.
13. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 갠트리 프레임은 상기 작업부를 제2 방향으로 이동 가능하게 하는 작업부 이동 수단을 구비하는, 갠트리형 작업 장치.
14. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 갠트리 프레임은 상기 작업부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 작업부 이동 수단을 구비하는, 갠트리형 작업 장치.
15. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 베이스 유닛은 상기 2개의 가대를 비작업시의 간격으로 유지하는 고정구를 구비한, 갠트리형 작업 장치.
16. 제15항에 있어서,

    상기 베이스 유닛은 상기 고정구를 체결하기 위한 체결구멍을 구비한, 갠트리형 작업 장치.
17. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 베이스 유닛은 상기 2개의 가대의 간격을 작업시의 간격으로 조정하여, 지지하는 조정구를 구비하는, 갠트리형 작업 장치.
18. 제17항에 있어서,

    상기 베이스 유닛은 상기 조정구를 체결하기 위한 체결구멍을 구비한, 갠트리형 작업 장치.
19. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 베이스 유닛은 복수개의 갠트리 프레임을 구비한, 갠트리형 작업 장치.

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