KR20040078063A

KR20040078063A - 페이스트 도포 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20040078063A
Application number: KR1020040013591A
Authority: KR
Inventors: 시모다노리아키
Original assignee: 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
Priority date: 2003-02-28
Filing date: 2004-02-27
Publication date: 2004-09-08
Also published as: US20050188920A1; JP2004261701A; JP4481576B2; TWI236390B; TW200420358A

Abstract

기판이 Y축 이동 테이블 상에 재치되고, 페이스트를 수납한 수납통은 헤드 기구 상에서 X축 방향으로 이동하여 페이스트 도포 가능하게 구성되어 있다. 수납통을 탑재한 헤드 기구는 Y축 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있으므로, 페이스트를 수납한 수납통 측의 Y축 방향으로의 이동 거리는 짧아지고, 헤드 기구에서의 기계적 부하도 작아지므로, 마모 등에 의한 금속 가루의 발생도 제어되어, 고품질이며 효율적인 페이스트 패턴 형성을 실현할 수 있다.

Description

페이스트 도포 장치 및 방법{PASTE APPLICATlON APPARATUS AND METHOD}

본 발명은 기판면에 페이스트를 도포하는 페이스트 도포 장치 및 방법의 개량에 관한 것이다.

액정 표시 패널은 액정 부재를 개재하여 2장의 유리제의 기판이 서로 붙여져 제조된다. 그 2장의 기판을 서로 붙이기 위해서, 어느 한 쪽의 기판의 대향면에 접착성이 있는 페이스트가 도포된다.

페이스트는 기판의 표시면을 둘러싸는 폐곡선을 형성하도록 도포된다. 이 때문에 수납통(실린지)은 기판 위쪽에 배치되어, 노즐 선단으로부터 페이스트를 토출시키면서, 기판면에 대향한 위치에서 상대 이동을 행하여 페이스트 패턴을 형성한다.

상대 이동에 의해 기판면에 페이스트를 도포하기 위해서는, 페이스트를 수납한 수납통 측을 고정 배치하고, 그 수납통의 아래쪽에 대향 배치한 기판 측을 X-Y 방향으로 이동시키는 방법(일본국 특개평 제5-15818호 공보)이 알려져 있다. 또한 이와는 반대로 기판 측을 고정해 두고, 위쪽에 대향 배치한 수납통 측을 X-Y 방향으로 이동시켜 페이스트를 도포하는 방법(일본국 특개평 제9-323056호 공보)이 알려져 있다.

그런데, 페이스트가 도포되는 기판의 표시면에는, 1장의 기판에 1개의 표시면 만이 형성되는 경우도 있으면, 1장의 기판에 같은 패턴의 표시면이 매트릭스 형상으로 다수 개 구성된 소위 다면취(多面取)가 형성되어 있는 경우도 있다.

다면취로 패턴 형성된 기판에서는, 다수 개의 수납통을 도포 패턴의 배열 피치에 미리 대응하여 설치해둠으로써, 다수 개의 페이스트 패턴을 동시에 형성할 수있다.

도 1은 다수 개의 수납통을 도포 패턴의 배열 피치에 대응하도록 고정 배치하고, 기판 측을 X-Y 방향으로 이동시키는 페이스트 도포 장치를 도시한 사시도이다.

도 1에서, 가대(1) 상에 X-Y 이동 테이블(2)이 재치되어 있다. X-Y 이동 테이블(2) 상에 재치된 기판(3)의 위쪽에는, 2개의 수납통(41, 42)을 탑재한 헤드 기구(4)가 배치되어 있다. 2개 한 쌍인 수납통(41, 42)은 2개의 도포 패턴을 동시에 묘화 형성할 수 있도록, 기판(3)에 형성된 표시 패턴의 X축 방향의 배열 피치에 대응하도록 위치 결정되어 배치되어 있다. X-Y 이동 테이블(2)이나 수납통(41, 42)을 탑재한 헤드 기구(4)는, 어느 것이나 제어기(5)에 접속된다. 제어기(5)는 페이스트 도포 조작 전체를 통제 제어하므로, 2개의 수납통(41, 42)으로부터 동시에 토출된 페이스트는 X-Y 이동 테이블(2)에 의한 기판(3)의 X-Y 방향으로의 이동에 의해 동시에 2개의 표시 패턴을 그리도록 도포된다.

헤드 기구(4)의 수납통(41, 42)은 도시한 바와 같이 Z축 이동 기구(43,44)에 연결되어, 상하(Z축) 방향으로 이동 조정 가능하며, 각 수납통(41, 42)에는 각각 도시하지 않은 CCD 카메라가 장착되어 있다. 각 수납통(41, 42)에 장착된 각 CCD 카메라는, 기판(3)에 형성된 얼라인먼트 마크를 촬영하여, 그 촬상 화상을 제어기(5)에 공급하므로, 제어기(5)는 공급된 촬상 화상에 기초하는 패턴 인식에 의해 기판(3)의 위치를 검출하여, 페이스트 도포 작업을 위한 기판(3)의 위치 결정 제어 등을 행할 수 있다. 또한, 도 1에서는 기판(3)을 X-Y 이동 테이블(2) 상에재치하고 있으나, 이 X-Y 이동 테이블(2)을 X-Y-θ 이동 테이블로 치환 채용함으로써, 재치한 기판(3)의 위치 결정 제어를 θ(선회) 방향에 대해서도 행할 수도 있다.

또한 도시하지 않지만, 각 수납통(41, 42)에는 레이저광을 채용한 거리계가 연결되어, 기판(3)면의 높이를 계측하여 페이스트의 도포량이 일정해지도록, 기판면과 노즐 선단 사이의 거리의 제어를 행한다.

이와 같이, 제어기(5)는 X-Y 이동 테이블(2)을 구동 제어하여 수납통(41, 42)에 대한 기판(3)의 위치 결정을 행하는 동시에, 수납통(41, 42)에서의 페이스트의 토출량이나 토출 타이밍을 제어하고, X-Y 이동 테이블(2)을 미리 설정된 프로그램에 따라서 제어하여 기판(3)을 X-Y 방향으로 이동시킴으로써, 기판(3)면 상에 소정의 페이스트 패턴을 묘화 형성한다.

또한, X-Y 이동 테이블(2)을 탑재한 가대(1) 내에는 전원 회로 등이 조립 수납되는 동시에, 제어기(5)에는 모니터 디스플레이(6a) 및 키보드(6b)가 접속되어 있어, 작업자는 키보드(6b)의 조작에 의해 기판(3)으로의 페이스트 도포 작업을 제어할 수 있다.

도 1에 도시한 페이스트 도포 장치는, 위치 결정 고정된 수납통(41, 42) 측에 대하여, X-Y 이동 테이블(2)에 재치되어 있는 기판(3)을 X-Y 면 내에 이동시켰으나, 수납통(41, 42)과 기판(3)과의 상대 이동에 의해 페이스트 패턴이 형성되기 때문에, 기판(3) 측을 고정하고 페이스트를 수납한 수납통(41, 42) 측을 X-Y 이동 기구에 탑재하도록 구성하여, 기판(3)면에 페이스트 패턴을 형성하는 것도 고려할수 있다.

어느 쪽이나 상기 페이스트 도포 장치는 가대 상에 재치된 기판 상에 페이스트를 수납한 수납통이 대향 배치되고, 기판 측을 X-Y 방향으로 이동시키거나 또는 페이스트를 수납한 수납통 측을 X-Y 방향으로 이동시켜 페이스트 패턴을 묘화하도록 구성되어 있다.

상기한 바와 같이 상기 페이스트 도포 장치는 기판 측 또는 페이스트를 수납한 수납통 측 중 어느 한 쪽을 X-Y 방향으로 이동시킴으로써, 기판면에 소정의 페이스트 패턴을 묘화하도록 구성되어 있다.

그러나, 전자의 고정된 수납통에 비하여, 도포되는 측의 기판을 X-Y 방향으로 이동시키는 구성에서는, 최근과 같이 기판 형상이 점차 대형화되는 상황 하에서는, 기판을 X-Y의 수평 방향으로 크게 이동시키게 되어, 넓은 스페이스를 점유하기 때문에, 공간 절약화를 도모하는 점에서 개선이 요구되고 있다.

페이스트 도포 패턴이 반드시 많은 수납통을 배치 가능한 다면취의 도포 패턴에 한정되지 않는 것을 고려하면, 점유 면적의 대형화는 공장 건물 내의 유효 이용상 문제가 된다.

한편, 후자의 기판 측은 가대 상에 고정하고, 수납통 측을 X-Y 방향으로 이동시키는 페이스트 도포 장치에서는, 페이스트를 수납하여 중량이 커지는 수납통을 기판 위쪽에서 기계적으로 이동시키게 된다. 그러나, 이 중량물을 이동하기 위한 기구부로부터는 마모 등에 의해 금속 가루가 발생하여, 그 발생한 금속 가루가 낙하하여 아래쪽의 기판면 상을 더럽히는 문제가 있다.

또한, 수납통을 탑재하여 가동하는 X-Y 이동 기구는 무거운 수납통을 X-Y의 평면을 쌍방향으로 고속으로 멀리 이동시킬 필요가 있으므로, 견고한 구조가 요구되는 동시에, 중량물 반송 이동에 수반되는 큰 관성력은 도포 공정의 효율화를 저해하는 요인이 된다.

따라서, 본 발명은 X-Y 면에서의 이동에 의한 장치 전체의 대형화를 회피하는 동시에, 금속 가루에 의한 기판면의 오염을 회피하여, 도포 효율의 향상을 실현할 수 있는 페이스트 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 페이스트 도포 장치는 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 가대와, 상기 가대 상에 설치된 Y축 이동 테이블로서, 기판을 재치하는 것이며, 기판을 Y축 방향으로 이동 가능한 Y축 이동 테이블과, 상기 가대 상에 설치된 Y축 이동 기구와, 상기 Y축 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동 가능한 헤드 기구 본체부와, 상기 헤드 기구 본체부에 설치된 다수 개의 수납통으로서, 상기 기판의 위쪽에 배치되고, X축 방향으로 이동 가능하며, 페이스트를 수납한 다수개의 수납통을 구비하고, 이 수납통과 상기 기판과의 상대 이동에 의해, 상기 수납통에 수납된 페이스트를 기판면에 도포하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이, 본 발명의 페이스트 도포 장치는 Y축 이동 테이블 상에 기판을 재치하고, 페이스트를 수납한 수납통을 Y축 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 구성한 것이다. 이 때문에, 수납통과 기판을 Y축 방향에서 서로 반대 방향으로 이동시킬 수 있기 때문에, Y축 방향의 이동을 기판의 이동만에 의해서 행하는 경우에 비하여, 페이스트 도포 형성시의 기판의 Y축 방향에서의 이동 범위(스트로크)를 대폭적으로 축소시킬 수 있다.

또한, 상기 구성에 의해 수납통 측에서의 Y축 방향으로의 이동 거리 범위를 상당히 단축할 수 있다. 이에 의해, 기판을 정해진 위치에 고정하고 수납통을 기판의 Y축 방향 전체에 걸쳐 이동시키는 경우에 비해, 수납통을 탑재한 이동 기구의 기계적 부하를 경감시켜, 기계적 마모 등에 의한 금속가루 발생을 억제하여, 고 정밀도이며 고속인 도포 조작을 실현할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 페이스트 도포 장치에 의하면, 기판의 대형화가 진전되는 가운데, 장치 자체의 작동에 요하는 점유 면적의 확대를 회피하여, 공간 절약화를 실현할 수 있는 것이며, 실용 시에 뛰어난 효과를 발휘할 수 있다.

도 1은 페이스트 도포 장치의 일례를 도시하는 사시도,

도 2는 본 발명에 의한 페이스트 도포 장치의 일 실시형태를 도시하는 사시도,

도 3은 도 2에 도시한 페이스트 도포 장치의 확대 평면도,

도 4는 도 2에 도시한 페이스트 도포 장치의 제어계를 도시한 블록도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 가대 2 : X-Y 이동 테이블

3 : 기판 4 : 헤드 기구

5 : 제어기 6a : 모니터 디스플레이

6b : 키보드 7 : Y축 이동 테이블

8a : 서보 모터 41, 42 : 수납통

45 : X축 이동 기구 51 : 기억부

52 : CPU

본 발명에 의한 페이스트 도포 장치의 일 실시형태를 도 2 내지 도 4를 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 도 1에 도시한 페이스트 도포 장치와 동일 구성에는 동일 부호를 붙이고 상세한 설명은 생략한다.

도 2는 본 발명에 의한 페이스트 도포 장치의 일 실시형태를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시한 페이스트 도포 장치의 확대 평면도이다.

도 2에서, 가대(1) 상에는 Y축 이동 테이블(7)이 배치되고, Y축 이동 테이블(7) 상에는 기판(3)이 위치 결정되어 재치되어 있다.

또한 가대(1) 상단부에서의 Y축 이동 테이블(7)을 사이에 개재한 양 외측에는, Y축이 길이 방향이 되도록 신장시킨 Y축 이동 기구(81, 82)가 병설되어 있다. Y축 이동 기구(81, 82)는 어느 쪽이나 서보 모터(8a, 8a)에 의해 구동되는 이송 나사 기구로 구성되고, 그 Y축 이동 기구(81, 82)에는 2개의 수납통(41, 42)을 탑재한 헤드 기구(4)가 Y축 방향으로 이동 가능하게 조립되어 있다. Y축 이동 기구(81, 82)의 각각의 서보 모터(8a, 8a)는 제어기(5)에 의해 동기하여 구동 제어된다.

2개의 수납통(41, 42)은 도 1에서의 구성과 같이, 다면취의 기판에 대응하여 동시에 2개의 페이스트 도포 패턴을 형성할 수 있도록 헤드 기구(4)에 조립되어 있다. 본 실시형태에서의 이들 각 수납통(41, 42)은 제어기(5)에 의해 개개로 구동 제어되고, 헤드 기구(4)에서 문형(portal)으로 구성된 본체부(4a) 상을, X축 방향으로 각각 독립하여 이동 가능하게 구성되어 있다.

즉, 도 3의 평면도에도 도시한 바와 같이, 각 수납통(41, 42)은 각 Z축 이동 기구(43, 44)에 연결되어 있다. 그리고 각 Z축 이동 기구(43, 44)는, 리니어 모터로 구성된 X축 이동 기구(45)의 2개의 1차측 가동자(45a, 45b)에 연결되어 있다.

X축 이동 기구(45)의 2차측 고정자(45c)는 헤드 기구의 본체부(4a)에 설치되고, 이동 방향이 X축 방향이 되도록 설치되어 있으므로, 1차측 가동자(45a, 45b)에 대한 제어기(5)의 제어에 의해, 각 수납통(41, 42)은 도시된 화살표(X1, X2) 방향으로 또는 각 화살표(X1, X2)와는 반대 방향으로, 즉 X축 상을 서로 반대 방향으로 이동할 수 있다.

또, Y축 이동 테이블(7)을 탑재한 가대(1) 내에는, 전원 회로 등이 조립 수납되는 동시에, 제어기(5)에는 모니터 디스플레이(6a) 및 키보드(6b)가 접속되어 있어, 작업자는 키보드(6b)의 조작에 의해 기판(3)으로의 페이스트 도포 작업을 조작할 수 있다.

도 4는 Y축 이동 테이블(7), Y축 이동 기구(81, 82) 및 헤드 기구(4)에 대한 제어계를 개략 설명하기 위해서 도시한 블록도이다.

즉, 제어기(5)는 RAM 및/또는 ROM을 포함하고, 도포 데이터나 도포 제어 프로그램이 기억된 기억부(51)와, 이 기억부(51)에 기억된 데이터 및 제어 프로그램을 독출하여, 키보드(6b) 또는 모니터 디스플레이(6a) 상의 터치 패널로부터 입력된 도포 조건에 기초하는 연산을 행하여 Y축 이동 테이블(7), Y축 이동 기구(81, 82) 및 헤드 기구(4)에 대한 제어 데이터를 산출하는 CPU(52)와, 이 CPU(52)에서 산출된 제어 데이터를 받아서 개개의 제어 신호를 생성하고, 생성한 제어 신호를 대응하는 각 드라이버(531∼535)에 공급하도록 접속된 컨트롤러(541∼545)로 구성되어 있다.

도 4에 도시한 제어계에서, 수납통(41, 42)의 밸브 조정에 의해 페이스트의 토출을 컨트롤하는, 이른바 디스펜서 제어 및 레이저 거리계로부터의 측정 데이터에 기초하여 Z축 이동 기구(43, 44)를 컨트롤하여, 수납통(41, 42)의 노즐 선단 높이를 제어하는, 소위 갭 제어는 도 1의 장치와 동일하게 제어된다.

각 리니어 인코더로부터의 피드백 신호를 받은 드라이버가, Y축 이동 테이블(7), Y축 이동 기구(81, 82) 및 헤드 기구(4)의 1차측 가동자(45a, 45b)를 구동 제어하여 페이스트의 도포 궤적을 형성하는 점에서 도 1의 장치와 상이하다.

즉, Y축 방향의 도포는 Y축 이동 테이블(7)과 Y축 이동 기구(81, 82)에 의해 실행되고, 이 Y축 이동 테이블(7)과 Y축 이동 기구(81, 82)와의 상대 이동에 의해, 장치 전체의 Y축 방향의 동작 스트로크의 축소가 가능하다.

이 때의 동작을 도 3에 도시하는 기판(3)을 4개로 분할하여 생긴 영역을 왼쪽 위로부터 시계 방향으로 영역(A, B, C, D)라고 하고, 각 영역에 동일한 패턴으로 페이스트를 도포하는 것으로 하여 설명하면 하기와 같다.

우선, Y축 이동 기구(81, 82) 및 X축 이동 기구(45)를 제어하여 수납통(41, 42)을 기판(3)에 대하여 이동시켜, 수납통(41)을 영역(A)에 대한 도포 패턴의 도포 개시 위치의 바로 위에 위치시키고, 수납통(42)을 영역(B)에 대한 도포 패턴의 도포 개시 위치의 바로 위에 각각 위치시킨다.

여기서, 수납통(41, 42)이 하강되고, 레이저 거리계의 출력 신호에 의해, 수납통(41, 42)의 노즐과 기판(3) 사이의 거리가 미리 설정된 도포 간격이 되도록 위치된다.

다음으로, 수납통(41, 42)의 노즐로부터 페이스트를 토출시키면서, Y축 이동 테이블(7) 및 X축 이동 기구(45)를 제어하여 기판(3)과 수납통(41, 42)을 이동시켜, 영역(A, B)에 원하는 도포 패턴으로 페이스트를 도포한다. 도포 패턴의 종단 위치에서 노즐로부터의 페이스트의 토출을 정지시키는 동시에, Y축 이동 테이블(7) 및 X축 이동 기구(45)에 의한 기판(3)과 수납통(41, 42)과의 이동을 정지시켜, 영역(A, B)로의 도포를 끝낸다. 도포를 끝낸 수납통(41, 42)은 대기 높이까지 상승한다.

그 후, Y축 이동 테이블(7), Y축 이동 기구(81, 82) 및 X축 이동 기구(45)를 제어하여 기판(3)과 수납통(41, 42)을 각각 이동시켜, 수납통(41)을 영역(D)에 대한 도포 패턴의 도포 개시 위치의 바로 위에 위치시키고, 수납통(42)을 영역(C)에 대한 도포 패턴의 도포 개시 위치의 바로 위에 각각 위치시킨다. 또 여기서, 수납통(41)을 영역(A)에서 영역(D)로, 수납통(42)을 영역(B)에서 영역(C)로 각각 이동시키기 위해서 수납통(41, 42)과 기판(3)을 Y축 방향으로 상대 이동시킬 때에는, Y축 이동 테이블(7)에 의한 기판(3)의 이동과 Y축 이동 기구(81, 82)에 의한 수납통(41, 42)의 이동을 서로 반대 방향(도 3에서, 기판(3)은 위 방향, 수납통(41, 42)은 아래 방향)으로 동시에 행한다. 이와 같이 함으로써, Y축 이동 테이블(7)과 Y축 이동 기구(81, 82)와의 합성 속도로 수납통(41, 42)과 기판(3)을 상대 이동시킬 수 있으므로, 수납통(41, 42)과 기판(3) 중 어느 한 쪽만을 이동시키는 경우에 비해 수납통(41, 42)을 다음 도포 개시 위치로 단시간에 이동시킬 수 있어, 페이스트의 도포 작업 능률을 향상시킬 수 있다.

다음, 수납통(41, 42)의 노즐로부터 페이스트를 토출시키면서, Y축 이동 테이블(7) 및 X축 이동 기구(45)를 제어하여 기판(3)과 수납통(41, 42)을 상대 이동시켜 영역(D, C)에 원하는 도포 패턴으로 페이스트를 도포한다. 도포 패턴의 종단 위치에서 노즐로부터의 페이스트의 토출을 정지시키는 동시에, Y축 이동 테이블(7) 및 X축 이동 기구(45)에 의한 기판(3)과 수납통(41, 42)과의 상대 이동을 정지시켜 영역(D, C)에의 도포를 끝낸다.

또한, X축 방향의 도포는 헤드 기구(4)의 1차측 가동자에 의해서 실행되지만, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이 다수 개의 1차측 가동자(45a, 45b)를 설치했을 때에는, 서로 반대 방향으로 이동하도록 제어함으로써 X축 방향의 도포 동작에서의 관성력은 상쇄되어, 안정된 도포 동작을 얻을 수 있다.

또, 키보드(6b)나 모니터 디스플레이(6a)로부터의 입력 데이터 중, 묘화 개시 좌표 위치 데이터나 묘화 순서 지시 데이터 등의 이른바 NC 데이터, 묘화 거리나 도포 패턴의 코너부에서의 R(radius)조건 데이터, 디스펜서 제어나 갭 제어의 제어 데이터 및 묘화 속도 데이터 등은 도 1의 장치와 동일하게 입력 설정된다.

그래서 또한, 이 실시형태에서는 도포 궤적 제어 중, 다수 개의 1차측 가동자(45a, 45b)에 대하여 개개로 이동(주행) 방향을 지시하여, X축 상에서 서로 반대 방향으로 이동시킬 수 있는 점에서, 도 1의 장치와 상이하다.

이와 같이 본 실시형태의 페이스트 도포 장치에서는 다수 개의 수납통(41, 42)은 제어기(5)의 제어를 받아서 X축을 개별적으로 이동할 수 있다. 이 때문에, X축 방향으로 다수 개 형성된 도포 패턴에 각각 대응하여, 서로 X축 상을 반대 방향으로 이동하여 2개의 페이스트 패턴을 동시에 묘화할 수 있다.

다수 개의 수납통(41, 42)이 서로 X축 상을 반대 방향으로 이동하면서 페이스트 패턴을 묘화함으로써, 수납통(41, 42)의 이동에 따라 헤드 기구(4)가 본체부(4a)에 미치는 X축 방향의 관성력은 상쇄된다. 그 결과, 그 이동에 따른 헤드 기구(4)의 본체부(4a) 및 헤드 기구(4)와 각 Y축 이동 기구(81, 82)와의 연결부에 미치는 기계적 부하를 경감할 수 있다. 따라서, 헤드 기구(4)의 경량화가 가능해지며, 또한 기계적 마모 등에 의한 금속 가루 발생을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태의 페이스트 도포 장치는 기판(3)이 Y축 이동 테이블(7) 상에 재치되어 Y축 방향으로 이동하는 것에 대하여, 페이스트를 수납한 수납통(41, 42)도 또한 Y축 이동 기구(81, 82)에 의한 헤드 기구(4)의 이동에 의해, 마찬가지로 Y축 방향으로 이동 가능하므로, 기판(3)과 수납통(41, 42)과는 Y축 상에서 서로 반대 방향으로 이동을 행할 수 있다.

따라서, 수납통(41, 42)을 도포 패턴의 종단 위치로부터 다음 도포 패턴의 도포 개시 위치로 이동시킬 때의 기판(3)의 Y축 방향으로의 이동 범위(스트로크)를 Y축 방향의 이동을 기판의 이동만에 의해서 행하는 경우에 비해, 적어도 1/2로 축소할 수 있다.

또, 상기 실시형태에서는 좌우 한 쌍의 Y축 이동 기구(81, 82)에 대하여, 1개의 헤드 기구(4)를 조립한 예를 나타내었으나, 다수 개의 헤드 기구(4)를 Y축 이동 기구(81, 82)에 병설하도록 조립 구성하여, Y축 방향으로 다면취로 형성된 도포 패턴에 대한 도포를 효율적으로 행하도록 할 수 있다.

또한 동시에, 본 실시형태에서는 1개의 헤드 기구(4)에 2개의 수납통(41, 42)을 탑재시킨 예를 설명하였으나, 3개 이상의 수납통을 탑재하여 X축 방향으로 다면취된 기판(3)에 대하여 효율적인 페이스트 도포를 행할 수 있다.

그리고 또한, 이 실시형태에서는 Y축 이동 기구(81, 82)에는 이송 나사 기구를, 또한 수납통(41, 42)의 이동에는 리니어 모터를 채용한 예를 나타내었으나, Y축 이동 기구(81, 82)에 리니어 모터를, 또한 수납통(41, 42)의 이동에 이송 나사 기구를 채용하는 등, 임의의 이동 기구를 적절히 채용하여도 동일한 효과를 얻을수 있다.

또한, 도 2, 도 3에는 수납통(41, 42)에 장착되는 거리계는 생략하고 도시하지 않았으나, 도 3에 도시한 부호(41a, 42a)는 수납통(41, 42)에 각각 대응하여 장착된 CCD 카메라를 도시한 것이다. 이들 CCD 카메라(41a, 42a)는 기판(3)의 얼라인먼트 마크의 촬상 화상을 제어기(5)에 공급하고, 도 1의 장치와 마찬가지로 기판(3)에 형성된 얼라인먼트 마크의 촬상 화상에 기초하는 패턴 인식에 의해, 페이스트 도포 작업을 위한 기판(3)의 위치 결정 조작이 행하여진다.

또한, 이 실시형태에서 Y축 이동 테이블(7)을 Y-θ이동 테이블로 치환 채용함으로써, 위치 맞춤 조정 시에 θ(선회) 방향으로의 약간의 위치 맞춤 조정을 행할 수 있도록 해도 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 페이스트 도포 장치는, 제어기(5)의 제어에 의해 Y축 이동 테이블(7), Y축 이동 기구(81, 82) 및 헤드 기구(4)를 구동 제어하여, 수납통(41, 42)에 대한 기판(3)의 위치를 CCD 카메라(41a, 42a)에 의한 촬상 화상에 기초하여 보정 제어한다. 또한 위치 보정 후에는, 수납통(41, 42)에서의 페이스트의 토출량이나 토출 타이밍 및 Y축 이동 기구(81, 82) 및 X축 이동 기구(45)의 1차측 가동자(45a, 45b)를 미리 설정된 프로그램에 따라서 제어한다. 이 때문에, 수납통(41, 42)의 노즐 선단으로부터 토출된 페이스트를 기판(3)면 상에 도포하여, 소정의 페이스트 패턴을 묘화 형성할 수 있다.

이와 같이 상기 실시형태에 의하면, 수납통(41, 42)은 X-Y 방향으로 이동하지만, 대향 배치된 기판(3)은 Y축 이동 테이블(7)에 재치되어 Y축 방향으로 이동하기 때문에, 수납통(41, 42)을 도포 패턴의 종단 위치로부터 다음 도포 패턴의 개시 위치로 이동시킬 때의 기판(3)의 Y축 방향으로의 이동 범위(스트로크)를, Y축 방향의 이동을 기판 측의 이동만에 의해서 행하는 경우에 비해 대폭 축소시킬 수 있다. 이에 의해 장치 전체의 대형화를 회피할 수 있다.

또한, 기판(3)을 고정하고 수납통(41, 42)을 X-Y 방향으로 이동시키는 경우에 비하여, 수납통(41, 42)의 Y축 방향으로의 이동 거리를 줄일 수 있고, 또한 이에 의해 헤드 기구(4)의 Y축 방향으로의 이동에 의한 Y축 이동 기구(81, 82)의 기계적 부하를 경감할 수 있으므로, 마모 등에 의한 금속 가루의 발생도 억제되어, 기판의 오염을 회피하여 고품질의 페이스트 패턴 형성을 실현할 수 있다.

또 실시형태에서는, 도포 패턴의 묘화 중은, 수납통(41, 42)과 기판(3)을 Y축 이동 테이블(7)과 X축 이동 기구(45)로써 상대 이동시키는 예로 설명하였으나, Y축 이동 테이블(7)과 X축 이동 기구(45)에 부가하여, Y축 이동 기구(81, 82)를 동시에 이용하도록 해도 된다. 이 경우 Y축 방향으로의 이동 시에, Y축 이동 테이블(7)과 Y축 이동 기구(81, 82)를 이용하여 기판(3)과 수납통(41, 42)을 서로 반대 방향으로 동시에 이동시키도록 하면, 단일한 이동 수단으로써 기판(3)과 수납통(41, 42)과의 Y 방향으로의 상대 이동을 행하는 경우에 비하여, 각 이동 장치(Y축 이동 테이블(7)과 Y축 이동 기구(81, 82))에 의한 이동 거리를 줄일 수 있다. 또한, 기판(3)과 수납통(41, 42)과의 상대 이동 속도가 같으면, 단일한 이동 수단으로써 기판(3)과 수납통(41, 42)과의 Y 방향으로의 상대 이동을 행하는 경우에 비하여, 각 이동 장치에 의한 기판(3)이나 수납통(41, 42)을 구비한 헤드 기구(4)의이동 속도를 저감시킬 수 있으므로, 각 이동 장치의 기계적 부하를 경감할 수 있어, 기계적 부하에 기인하는 진동 등의 발생이 억제되어, 고 정밀도이고 고속인 도포 조작을 실현할 수 있다.

또한, 도포 패턴을 폐 루프 형상으로 도포하는 예로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 일부에 개구부를 갖는 도포 패턴으로 도포하는 것에도 적용 가능하다.

또한, Y축 이동 테이블(7)을 개재한 양 외측에 Y축 이동 기구(81, 82)를 병설한 예로 설명하였으나, Y축 이동 기구(81, 82)의 배치 위치는 이에 한정되지 않고, 예컨대 Y축 이동 테이블(7)의 위쪽 위치에 수평 배치한 지지 부재에 Y축 이동 기구를 배치하고, 이 Y축 이동 기구에 헤드 기구를 수하(垂下)하는 상태로 Y축 방향으로 이동 자유롭게 조립하도록 해도 된다.

본 발명의 페이스트 도포 장치에 의하면, 기판의 대형화가 진전되는 가운데, 장치 자체의 작동에 요하는 점유 면적의 확대를 회피하여, 공간 절약화를 실현할 수 있는 것이며, 실용 시에 뛰어난 효과를 발휘할 수 있다.

Claims

기판을 재치하여, 상기 기판을 Y축 방향으로 이동 가능한 Y축 이동 테이블;

상기 Y축 방향으로 신장한 Y축 이동 기구;

상기 Y축 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하고, X축 방향으로 신장한 헤드 기구 본체부; 및

상기 헤드 기구 본체부에 설치된 수납통으로서, 상기 기판의 위쪽에 배치되고, X축 방향으로 이동 가능하며, 페이스트를 수납한 수납통을 구비하고,

상기 수납통과 상기 기판과의 상대 이동에 의해, 상기 수납통에 수납된 페이스트를 기판면에 도포하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
제1항에 있어서, 상기 Y축 이동 기구는 상기 Y축 이동 테이블을 개재하여, 양측에 한 쌍 설치되어 있고, 상기 헤드 기구 본체부는 한 쌍의 Y축 이동 기구에 재치되며, Y축 이동 테이블을 넘도록 형성된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
제1항에 있어서, 상기 수납통은 상기 헤드 기구 본체부에 다수 설치된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
제3항에 있어서, 상기 다수 개의 수납통은 각각 별도로 이동하여 상기 기판에 페이스트를 도포할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
제4항에 있어서, 상기 다수 개의 수납통은 상기 X축 상을 서로 반대 방향으로 이동하여 상기 기판에 페이스트를 동시에 도포할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
제1항에 있어서, 상기 헤드 기구 본체부는 상기 Y축 이동 기구에 다수 재치되고, 각 헤드 기구 본체부에 각각 수납통이 설치된 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.
기판을 재치하고, 상기 기판을 Y축 방향으로 이동 가능한 Y축 이동 테이블과, 상기 Y축 방향으로 신장한 Y축 이동 기구와, 상기 Y축 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하고 X축 방향으로 신장한 헤드 기구 본체부와, 상기 헤드 기구 본체부에 설치된 수납통으로서, 상기 기판의 위쪽에 배치되고, X축 방향으로 이동 가능하며, 페이스트를 수납한 수납통을 구비하고, 상기 수납통과 상기 기판과의 상대 이동에 의해, 상기 수납통에 수납된 페이스트를 기판면에 도포하는 페이스트 도포 장치를 준비하고,

도포 패턴의 형성 시의 기판과 수납통과의 Y축 방향으로의 상대 이동은 Y축 이동 테이블에 의해서 행하고,

도포 패턴의 종단 위치로부터 다음 도포 패턴의 도포 개시 위치로 수납통을이동시킬 경우의 기판과 수납통과의 Y축 방향으로의 상대 이동은, Y축 이동 테이블과 Y축 이동 기구에 의해서 기판과 수납통을 서로 반대 방향으로 이동시켜 행하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.
기판을 재치하고, 상기 기판을 Y축 방향으로 이동 가능한 Y축 이동 테이블과, 상기 Y축 방향으로 신장한 Y축 이동 기구와, 상기 Y축 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하고 X축 방향으로 신장한 헤드 기구 본체부와, 상기 헤드 기구 본체부에 설치된 수납통으로서, 상기 기판의 위쪽에 배치되고 X축 방향으로 이동 가능하며 페이스트를 수납한 수납통을 구비하고, 상기 수납통과 상기 기판과의 상대 이동에 의해, 상기 수납통에 수납된 페이스트를 기판면에 도포하는 페이스트 도포 장치를 준비하고,

기판과 수납통과의 Y축 방향으로의 상대 이동은 Y축 이동 테이블과 Y축 이동 기구에 의해서 기판과 수납통을 서로 반대 방향으로 이동시켜 행하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 방법.