JP4679912B2 - パターン形成装置、ヘッドユニット装置、ヘッドユニット制御方法 - Google Patents
パターン形成装置、ヘッドユニット装置、ヘッドユニット制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4679912B2 JP4679912B2 JP2005018226A JP2005018226A JP4679912B2 JP 4679912 B2 JP4679912 B2 JP 4679912B2 JP 2005018226 A JP2005018226 A JP 2005018226A JP 2005018226 A JP2005018226 A JP 2005018226A JP 4679912 B2 JP4679912 B2 JP 4679912B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- head unit
- units
- forming apparatus
- pattern forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
Description
しかしながら、上記の方法はいずれもR(赤)、G(緑)、B(青)の3色について同一工程を繰り返す必要があるので、コスト、歩留まり等の面で問題点がある。
このインクジェット方式によれば、R(赤)、G(緑)、B(青)の3色のパターン形成を一度の工程により行い、製造工程を簡素化することができるので、コストの低減、歩留まりの向上等を図ることができる。
図7に示すように、塗布幅(Y方向)を拡大するためにインクジェットヘッドを複数配列する場合、千鳥足状に配列する方法が一般的である。この場合、例えば、複数のインクジェットヘッド501は、平行する2つの直線状に交互に配列される。ノズル孔502は、インクジェットヘッド501の左右端部には設けられないので、塗布方向(X方向)から見てノズル孔の全配列において空白部分が生じないようにするために交互に配列される。この従来のパターン形成装置は、各インクジェットヘッド501について、Y方向の調整機構504及びθ方向の調整機構505とを備える。
ヘッドは、基板等にパターン形成を行う加工処理装置であり、インクジェットヘッド等である。
ヘッドユニットは、1または複数のヘッドが配置されたものである。
尚、軸方向移動機構(軸、移動部等)に関しては、スライド機構(スライドレール、スライダ(スライドブッシュ)等)、リニアモータ等を用いることができる。所定の方向は、例えば、塗布幅方向(Y方向)等である。
回転手段は、回転機構であり、ダイレクトドライブモータ等を用いることができる。
図1は、パターン形成装置1の概略斜視図である。
尚、θ軸は鉛直方向回転軸を示し、θ方向はその回転方向を示す。Y軸は塗布幅方向を示し、X軸は塗布方向を示し、θ軸、Y軸、X軸は、互いに直角をなす。
ヘッドユニット3は、インクジェットヘッドを有し、基板に対してインクを吐出してパターン形成を行う。
尚、ヘッドユニット装置2、ヘッドユニット3については、後述する。
尚、アライメントカメラ104は、パターン形成装置1のフレーム(図示しない)に固定支持される。
図2は、ヘッドユニット装置2のX方向正面図である。
図2に示すヘッドユニット装置2は、複数のヘッドユニット3−1、3−2、…が1つのガントリ19に設けられて構成される。
Y軸移動機構17による位置制御により、ヘッドユニット3−1、3−2、…のY方向の位置調整を行うことができる。
尚、Y軸移動機構17としては、汎用のものを用いることができ、例えば、リニアモータ、LMガイド(THK株式会社製)等を用いることができる。
第1ヘッドユニット5は、板状部材のベース11に取り付けられる。この場合、1または複数の第1ヘッドユニット5をベース11に取り付けることができる。
ベース11は、回転機構13を介してスライダ15に取り付けられる。。
尚、回転機構13としては、ダイレクトドライブモータ等を用いることができる。
Y軸移動機構17は、種々の形態を採ることができるが、図3に示すY軸移動機構17は、リニアモータ21等により構成される。
コイル23は、スライダ15に設けられ、マグネットプレート25は、スライドレール16に沿って、ガントリ19の側面に配置される。
スライダ15側には、リニアスケールヘッド27が設けられ、スライドレール16側には、リニアスケール29が設けられる。リニアスケールヘッド27によりリニアスケール29の目盛を読み取ることにより、ヘッドユニット3の移動量等を制御することができる。
従って、パターン形成装置1のヘッドユニット装置2は、調整機構の大規模化あるいは増設等を行うことなく、加工対象の基板の大型化等に対応することができるので、装置製作費用等のコスト的負担、維持管理負担、調整等に係る労力的負担等を軽減することができる。また、装置の占有スペースの増大を抑制することができる。
尚、ヘッドユニット3を複数設けることに伴い、回転機構13も複数設ける必要があるが、回転機構13の増加による装置構成の全体的な規模は、大きくならない。むしろ、1つのヘッドユニットを複数のヘッドユニット3−1、3−2、…に分散することにより、各ヘッドユニット3−1、3−2、…が支持すべき重量が軽減され、各回転機構13−1、13−2、…の装置構成を簡素化することができる。
図4は、基板105におけるカラーフィルタ51の面付けを示す図である。
図4に示すように、1枚の基板105に複数枚のカラーフィルタ51を面付けする場合、複数のヘッドユニット3−1、3−2、…で分担してカラーフィルタ51の加工処理を行うことができる。
1枚の基板105に4枚のカラーフィルタ51−1〜カラーフィルタ51−4を面付けする場合、ヘッドユニット装置2のヘッドユニット3−1は、カラーフィルタ51−1、51−2のパターニングを行い、ヘッドユニット装置2のヘッドユニット3−2は、カラーフィルタ51−3、51−4のパターニングを行うことができる。
従って、パターン形成装置1は、複数のヘッドユニット3−1、3−2、…が設けられたヘッドユニット装置2により、パターニングを迅速に行うことができる。
ヘッドユニット3に設ける第1ヘッドユニット5の数、色等に特段の制限はなく、1つあるいは複数であってもよい。
また、第1ヘッドユニット5に関しては、種々の形態を採ることができる。1つの第1ヘッドユニット5に設けるヘッド7の数、色、配置形態等については、特に限定されない。
図5に示す第1ヘッドユニット5bは、複数の第2ヘッドユニット31bを有する。第2ヘッドユニット31bは、スライド機構(図示しないスライドブッシュ、スライドレール35)を介してバー9に取り付けられ、バー9の長尺方向(W方向)を移動可能である。
第2ヘッドユニット31bには、複数のヘッド7が位置決めブロック33を介して隣接配置される。また、当て止め機構37、押し付け機構39を設けて、第2ヘッドユニット31bのW方向についての位置調整を行うこともできる。
図6に示す第1ヘッドユニット5cは、1つの第2ヘッドユニット31cを有する。第2ヘッドユニット31cは、スライド機構(図示しないスライドブッシュ、スライドレール35)を介してバー9に取り付けられ、バー9の長尺方向(W方向)を移動可能である。
第2ヘッドユニット31cでは、位置決めブロック33が取り付けられた1つのヘッド7が配置される。また、当て止め機構37、押し付け機構39を設けて、第2ヘッドユニット31cのW方向についての位置調整を行うこともできる。
また、スライド機構に関しては、例えば、スライドレール、当該スライドレールに着脱可能なスライダ(スライドブッシュ)、サーボモータ及びボールネジ、アクチュエータとしてのシャフト式リニアモータ等を用いることができる。この場合、サーボモータ等、それ自身で、位置決め機能を有しているものは、当て止め手段、押し付け手段は必要ない。
また、インクの吐出は、インクジェットヘッドに限られず、例えば、ディスペンサ等を用いることもできる。
また、パターン形成装置のヘッドに関しては、インクジェットヘッドに限られず、レーザ照射ヘッド等、様々な加工装置を適用することができる。
2………ヘッドユニット装置
3−1、3−2、………ヘッドユニット
5………第1ヘッドユニット、
7………ヘッド
9………バー
11………ベース
13………回転機構
15………スライダ
16………スライドレール
17………Y軸移動機構
19………ガントリ
21………リニアモータ
23………コイル
25………マグネットプレート
27………リニアスケールヘッド
29………リニアスケール
Claims (6)
- 基板に対してヘッドによる加工処理を行い、パターンを形成するパターン形成装置であって、
スライド可能な少なくとも1つのヘッドが配置される、複数のヘッドユニットと、
所定の方向に設けられる軸と、
前記ヘッドユニット毎に設けられ前記軸に沿って移動する複数の移動部と、
前記ヘッドを回転させる回転手段と、
を具備し、
前記軸の1つを前記複数のヘッドユニットにより共用することを特徴とするパターン形成装置。 - 前記回転手段は、前記ヘッドユニット毎に設けられ、前記複数のヘッドユニットを個別に回転させることを特徴とする請求項1に記載のパターン形成装置。
- 基板に対して加工処理を行うヘッドが配置されるヘッドユニットを制御するヘッドユニット装置であって、
スライド可能な少なくとも1つのヘッドが配置される、複数のヘッドユニットと、
所定の方向に設けられる軸と、
前記ヘッドユニット毎に設けられ前記軸に沿って移動する複数の移動部と、
前記ヘッドを回転させる回転手段と、
を具備し、
前記軸の1つを前記複数のヘッドユニットにより共用することを特徴とするヘッドユニット装置。 - 前記回転手段は、前記ヘッドユニット毎に設けられ、前記複数のヘッドユニットを個別に回転させることを特徴とする請求項3に記載のヘッドユニット装置。
- 基板に対して加工処理を行うヘッドが配置されるヘッドユニットを制御するヘッドユニット制御方法であって、
前記ヘッドユニット毎に設けられる複数の移動部を介して、スライド可能な少なくとも1つのヘッドが配置される、複数のヘッドユニットを所定の方向に設けられる軸に沿って移動させる移動ステップと、
前記ヘッドを回転させる回転ステップと、
を具備し、
前記軸の1つを前記複数のヘッドユニットにより共用すること特徴とするヘッドユニット制御方法。 - 前記回転ステップは、前記複数のヘッドユニットを個別に回転させることを特徴とする請求項5に記載のヘッドユニット制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005018226A JP4679912B2 (ja) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | パターン形成装置、ヘッドユニット装置、ヘッドユニット制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005018226A JP4679912B2 (ja) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | パターン形成装置、ヘッドユニット装置、ヘッドユニット制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006205005A JP2006205005A (ja) | 2006-08-10 |
JP4679912B2 true JP4679912B2 (ja) | 2011-05-11 |
Family
ID=36962392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005018226A Expired - Fee Related JP4679912B2 (ja) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | パターン形成装置、ヘッドユニット装置、ヘッドユニット制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4679912B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4940612B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2012-05-30 | 凸版印刷株式会社 | 画像形成装置 |
JP4057037B2 (ja) | 2006-04-21 | 2008-03-05 | シャープ株式会社 | 欠陥修復装置、欠陥修復方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2008123993A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-29 | Sharp Corp | 液滴塗布装置および液滴塗布方法 |
JP4598036B2 (ja) * | 2007-08-20 | 2010-12-15 | シャープ株式会社 | 欠陥修復装置、欠陥修復方法、プログラム及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP4525758B2 (ja) * | 2008-01-24 | 2010-08-18 | セイコーエプソン株式会社 | 液状体吐出装置 |
KR100980212B1 (ko) | 2008-10-07 | 2010-09-03 | 에스티엑스조선해양 주식회사 | 다헤드 이송형 프린트 장치 |
JP5200905B2 (ja) * | 2008-12-10 | 2013-06-05 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 液滴吐出ヘッドによる直線の描画方法 |
JP5843551B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-01-13 | 富士機械製造株式会社 | マルチディスペンサ装置 |
CN105521915A (zh) * | 2016-01-05 | 2016-04-27 | 蚌埠市雷泰滤清器设备有限公司 | 一种用于滤清器的内芯纸板的粘接机构 |
US10434537B2 (en) * | 2017-09-20 | 2019-10-08 | Illinois Tool Works Inc. | Rotation of an array of dispensing pumps to enable simultaneous dispensing with multiple dispensing pumps on multiple electronic substrates |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002361940A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-18 | Sharp Corp | インクジェット画像形成装置 |
JP2003047899A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-18 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置 |
JP2003225606A (ja) * | 2002-02-04 | 2003-08-12 | Hitachi Industries Co Ltd | ペースト塗布機 |
JP2004042001A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-12 | Pioneer Electronic Corp | パターン形成材料の射出塗布装置及び射出塗布方法 |
JP2004261701A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置 |
JP2004337728A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
-
2005
- 2005-01-26 JP JP2005018226A patent/JP4679912B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002361940A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-18 | Sharp Corp | インクジェット画像形成装置 |
JP2003047899A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-18 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置 |
JP2003225606A (ja) * | 2002-02-04 | 2003-08-12 | Hitachi Industries Co Ltd | ペースト塗布機 |
JP2004042001A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-12 | Pioneer Electronic Corp | パターン形成材料の射出塗布装置及び射出塗布方法 |
JP2004261701A (ja) * | 2003-02-28 | 2004-09-24 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置 |
JP2004337728A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006205005A (ja) | 2006-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4679912B2 (ja) | パターン形成装置、ヘッドユニット装置、ヘッドユニット制御方法 | |
JP2006224039A (ja) | パターン形成装置、パターニング方法、基板処理装置、基板処理方法 | |
JP2008544333A (ja) | フラットパネルディスプレイ用インクジェット印刷システム及び方法 | |
KR100906171B1 (ko) | 복수 세트의 프린트 헤드를 이용한 잉크젯 프린팅 방법 및장치 | |
JP6296699B2 (ja) | 印刷装置 | |
US20080186354A1 (en) | Methods, apparatus and systems for increasing throughput using multiple print heads rotatable about a common axis | |
US7681986B2 (en) | Methods and apparatus for depositing ink onto substrates | |
JP4679895B2 (ja) | パターン形成装置、ヘッドユニット | |
JP2006240015A (ja) | パターン形成装置、アライメント装置、基板処理装置、パターン形成方法、基板処理方法 | |
JP2006258845A (ja) | パターン形成装置、ヘッドの補正方法 | |
KR100786995B1 (ko) | 잉크젯 인쇄장치 | |
JP4376606B2 (ja) | パターン形成装置、パターン形成方法 | |
JP2006239570A (ja) | パターン形成装置、位置決め装置、位置決め方法、及び吐出部 | |
JP2006239976A (ja) | パターン形成装置、位置補正方法 | |
JP2006205004A (ja) | パターン形成装置、ヘッドユニット、ヘッドの位置決め方法 | |
US20080291228A1 (en) | Methods and apparatus for inkjet printing with multiple rows of print heads | |
TW201334982A (zh) | 噴墨塗布裝置及噴墨塗布方法 | |
WO2010100928A1 (ja) | インクジェット用塗布ヘッドの回転調整装置 | |
JP2006289322A (ja) | 複合型インクジェットヘッド | |
WO2013137124A1 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JP2005181476A (ja) | パターン形成装置 | |
JP2008155175A (ja) | パターン形成装置、パターン形成方法、ヘッドユニット、表示装置構成部材の製造方法 | |
JP2006239560A (ja) | パターン形成装置、ヘッドユニット、ヘッドの調整方法 | |
JP4668546B2 (ja) | 位置決め治具、パターン形成装置、ヘッドユニット | |
JP2004090336A (ja) | インクジェット塗布装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100616 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100820 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140210 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |