JP5843551B2 - マルチディスペンサ装置 - Google Patents
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Description
請求項4に係る発明では、ノズル移動装置は、各ディスペンサノズルの下端部を少なくともX軸方向に互いに独立して移動させ、各ディスペンサノズルの下端部のX軸方向の移動範囲は、相補的に重なって塗布対象物のX軸方向の全範囲に及ぶ。したがって、各ディスペンサノズルの塗布位置を個別に高精度に制御できるので解像度の高い塗布を行え、かつ各ディスペンサノズルが独立して移動し得るので自由度の大きな塗布が可能になる。また、当然ながら、塗布対象物上に塗布できない死角範囲は生じない。
2:走査部材 21、22:Y軸レール 25:Y軸レール溝
31〜35:第1〜第5ディスペンサ装置
36:ディスペンサノズル 37:下端部
4:ノズル移動装置
41:Y軸移動部材 42:係合部 43:X軸レール
45:X軸移動部材 46:直線状のころがり軸受部
47:リニア固定子 48:リニア可動子
5:第2実施形態のマルチディスペンサ装置
20:走査部材 27:シリンダ空間
61〜64:ディスペンサ装置
65:本体部 66:ディスペンサノズル
67:下端部 68:基端部
7:XZ傾動装置
8:間隔維持装置
K:基板(塗布対象物)
VY:走査部材のY軸方向の移動速度
vx1〜vx4:第1〜第4ディスペンサ装置のX軸方向の移動速度
vy2、vy4:第2および第4ディスペンサ装置のY軸方向の移動速度
θ:ディスペンサノズルの傾き角
G:ディスペンサノズルの下端部と基板との間隔
Claims (5)
- 塗布液を塗布する塗布対象物に対して水平面内でY軸方向に相対的に移動可能とされ、Y軸走査移動装置によって前記Y軸方向に相対移動される走査部材と、
前記走査部材に装架され、前記塗布液を滴下するディスペンサノズルをそれぞれ有する複数のディスペンサ装置と、
各前記ディスペンサノズルの前記塗布液を滴下する下端部を水平面内で移動させるノズル移動装置と、
前記Y軸走査移動装置と前記ノズル移動装置とを同期制御する制御装置と、を備え、
前記ノズル移動装置は、前記ディスペンサ装置を前記走査部材に前記Y軸方向および前記Y軸と水平面内で直交するX軸方向に移動可能に装架するとともに、前記ディスペンサ装置を駆動装置によって前記X軸方向および前記Y軸方向に移動させるマルチディスペンサ装置。 - 塗布液を塗布する塗布対象物に対して水平面内でY軸方向に相対的に移動可能とされ、Y軸走査移動装置によって前記Y軸方向に相対移動される走査部材と、
前記走査部材に装架され、前記塗布液を滴下するディスペンサノズルをそれぞれ有する複数のディスペンサ装置と、
各前記ディスペンサノズルの前記塗布液を滴下する下端部を水平面内で移動させるノズル移動装置と、
前記Y軸走査移動装置と前記ノズル移動装置とを同期制御する制御装置と、を備え、
前記ディスペンサノズルは、前記下端部を水平面内で移動させるために基端部で揺動可能に支持されて水平面と直交するZ軸方向に延在し、前記ノズル移動装置は、前記ディスペンサノズルを少なくとも前記X軸および前記Z軸を含む平面内で傾動させるXZ傾動装置を有するマルチディスペンサ装置。 - 請求項2に記載のマルチディスペンサ装置であって、前記ディスペンサノズルの傾動によって発生する前記ディスペンサノズルの下端部の前記Z軸方向の変位を相殺する方向に前記ディスペンサノズルを昇降させる間隔維持装置を備えるマルチディスペンサ装置。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載のマルチディスペンサ装置であって、前記ノズル移動装置は、各前記ディスペンサノズルの下端部を少なくとも前記Y軸と水平面内で直交するX軸方向に互いに独立して移動させ、
各前記ディスペンサノズルの下端部の前記X軸方向の移動範囲は、相補的に重なって前記塗布対象物の前記X軸方向の全範囲に及ぶマルチディスペンサ装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のマルチディスペンサ装置であって、前記塗布液と前記塗布対象物の組み合わせは、溶剤中に金属微粒子を混入した金属ナノインクと基板の組み合わせ、あるいは、溶融した絶縁性樹脂とリードフレームの組み合わせであるマルチディスペンサ装置。
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