JP2008544333A

JP2008544333A - フラットパネルディスプレイ用インクジェット印刷システム及び方法

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Publication number: JP2008544333A
Application number: JP2008519482A
Authority: JP
Inventors: ジョンエムホワイト; 真一栗田
Original assignee: Applied Materials Inc
Current assignee: Applied Materials Inc
Priority date: 2005-06-27
Filing date: 2006-06-27
Publication date: 2008-12-04
Also published as: TW200706382A; WO2007002660A1; US20060093751A1; US20060292291A1

Abstract

インクジェット印刷のための方法及びシステムは、１つ以上のインクジェットヘッドがその上に配置され、第１軸に沿って移動するように構成されたインクジェット印刷モジュール支持体（１６０）を含む。基板ステージ（１３０）は第１軸に直交する第２軸に沿って移動するように構成されている。ステージ（１３０）は第１又は第２軸に整列していないパターン状の１つ以上のインク着地位置を有する基板（１５０）を支持している。印刷作業中、システム制御装置（１０２）がインクジェットヘッド（１２２、１２４）と基板ステージ（１３０）を同時に移動させることでインクがインク着地位置に分注される。

Description

発明の背景

（発明の分野）
本発明の実施形態は概して電子デバイス製造、より詳細にはインクジェット法を使用してフラットパネルディスプレイ用カラーフィルタを形成するための装置及び方法に関する。
（関連技術の説明）

フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）はコンピュータ端末、ビジュアルエンターテイメントシステム、及び携帯電話、携帯情報端末（ＰＤＡ）等の携帯電子デバイスで好んで使用されているディスプレイ技術である。液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、特にアクティブマトリクス液晶ディスプレイ（ＡＭＬＣＤ）は市販のＦＰＤの中でも最も汎用性が高く堅牢なものとして台頭してきている。ＬＣＤ技術における基本要素となるのがカラーフィルタであり、このフィルタを通して光が指向され、色つきの映像出力が生成される。カラーフィルタは典型的には赤、緑、青であるサブピクセルから成り、不透明（黒色）なマトリクス内にパターン又はアレイ状に分布し、このマトリクスによりカラーフィルタを通過した光の分解能が改善される。

これらのカラーフィルタの伝統的な製造方法、例えば染色、リソグラフィ、顔料分散、及び電着は全て、この３色を順次導入しなくてはならないという大きな欠点を抱えている。つまり、ある色を有するサブピクセルの第１セットを一連の工程で形成したらすぐに、この処理をあと２回繰り返して３色全てを適用しなくてはならない。カラーフィルタ製造に応用可能な技術改良の対象となったのが、インクジェット等のより優れたインク分注装置の導入である。インクジェットシステムの使用により、３色全てを１工程でカラーフィルタマトリクス内に適用可能となり、処理を３回も行う必要がなくなる。

インクジェット印刷の効果的な利用における問題点の１つに、高いスループットを維持しながら基板上に正確にインクを分注することが困難なことが挙げられる。従って、効率的にインクジェットヘッドを基板上のインク着地位置上へと位置させることで基板上へのインク分注に必要とされる印刷パス数を減少させる、改善された方法及び装置への需要がある。

発明の概要

本発明は概してインクジェット印刷法を提供し、この方法は基板支持体上に基板を配置し、１つ以上のインクジェットヘッドがその上に配置されたインクジェット印刷モジュール支持体を設置することを含み、ここで１つ以上のインクジェットヘッドは基板上方に配置され、この方法は更に、１つ以上のインクジェットヘッドを第１軸に沿って移動させ、かつ基板を第１軸に直交する第２軸に沿って移動させることで１つ以上のインクジェットヘッドによりインクを第１軸又は第２軸のいずれとも整列していないパターン状に配置された１つ以上のインク着地位置に分注する印刷作業を実行することを含む。

本発明の実施形態はインクジェット印刷法に向けたものであり、この方法は基板支持体上に基板を配置し、基板支持体上方に配置され、そこからインク液滴を分注するように適合された複数のノズルを有するインクジェットヘッドを設置することを含み、ここで複数のノズルは第１ノズルと第２ノズルを含み、この方法は更に、基板表面上に形成されたサブピクセルの第１領域上に第１ノズルからインクを分注し、基板表面上に形成されたサブピクセルの第１領域上に第２ノズルからインクを分注することを含む。

本発明の実施形態はインクジェット印刷法に向けたものであり、この方法は基板支持体上に基板を配置し、基板支持体上方に配置される第１及び第２インクジェットヘッドを設置することを含み、ここで第１及び第２インクジェットヘッドはそこからインク液滴を分注するように適合された複数のノズルを各自有しており、この方法は更に、基板表面上に形成されたサブピクセルの第１領域上に第１インクジェットヘッド内に形成された第１ノズルからインクを分注し、基板表面上に形成されたサブピクセルの第１領域上に第２インクジェットヘッド内に形成された第２ノズルからインクを分注することを含む。

本発明の実施形態はインクジェット印刷法に向けたものであり、基板支持体上にその表面上に複数のサブピクセルが形成された基板を配置し、基板上方に配置された第１インクジェットヘッド及び第２インクジェットヘッドを有するインクジェット印刷モジュールを設置することを含み、ここで第１及び第２インクジェットヘッドはそこからインク液滴を分注するように適合された複数のノズルを各自有しており、この方法は更に、各サブピクセルの第１領域上に複数のインク液滴を分注することを含み、ここで複数のインク液滴の分注は少なくとも１つのインク液滴をサブピクセルの第１領域へと第１インクジェットヘッド内に形成された第１ノズルから分注し、少なくとも１つのインク液滴をサブピクセルの第１領域へと第２インクジェットヘッド内に形成された第２ノズルから分注することを含む。

本発明の実施形態はインクジェット印刷システムに向けたものであり、基板支持表面を有する基板ステージと、基板支持表面上方に位置される複数のノズルを含む第１インクジェットヘッドと、第１インクジェットヘッドが第１方向へと移動するにつれて複数のノズルのうちの少なくとも２つからインク液滴を基板支持表面上に配置された基板上に形成されたサブピクセル上へと分注するように構成されたシステム制御装置を備える。

本発明の実施形態はインクジェット印刷システムに向けたものであり、基板支持表面を有する基板ステージと、基板支持表面上方に位置される第１ノズルアレイを含む第１インクジェットヘッドと、基板支持表面上方に位置される第２ノズルアレイを含む第２インクジェットヘッドとを備え、ここで第２ノズルアレイは、インクジェット印刷処理中、第１ノズルアレイとは一定の距離でオフセットされており、システムは更に第１インクジェットヘッド及び第２インクジェットヘッドが第１方向へと移動させられるにつれて第１ノズルアレイの１つのノズルと第２ノズルアレイの１つのノズルから基板上に形成されたサブピクセル上へとインク液滴を分注するように構成されたシステム制御装置を備える。

詳細な説明

図１は本発明の１つ以上の実施形態によるインクジェット印刷装置１００の斜視図である。インクジェット印刷装置１００はフラットパネルディスプレイ用のカラーフィルタを形成するように構成してもよい。インクジェット印刷装置１００はステージ位置決定システム１１０及びインクジェット印刷システム１２０を含む。ステージ位置決定システム１１０は基板ステージ１３０を含み、ステージはＹ軸方向に移動するように構成してもよい。但し、基板ステージ１３０をＸ軸方向に移動するように構成することもできる。基板ステージ１３０は半導体処理で一般的に使用されているもの同様にＸ−Ｙテーブルであってもよい。基板１５０は基板ステージ１３０上への配置を想定した構成となっている。一実施形態において、基板１５０の縁部１５１の少なくとも１つがＸ軸又はＹ軸方向に沿って整列している。基板１５０は１つ以上のディスプレイオブジェクト１５５を含んでいてもよく、インクジェット印刷中、このディスプレイオブジェクト上にインクが分注される。基板１５０はガラス、重合体、及び／又はその他いずれの適切な材料から形成されていてもよい。典型的には、基板１５０の形状は矩形であり、約２０００ｃｍ^２を超える表面積を有する場合がある。通例、処理設備は表面積が約１５０００ｃｍ^２を超える基板に対応できるようにと概して構成されている。矩形の基板は本願に記載の本発明の範囲を限定することを意図するものではなく、これは本発明の態様が本発明の基本的な範囲から違えることなくいずれの所望の形状の基板表面への材料堆積にも利用可能だからである。

基板ステージ１３０を、１つ以上のモータ又は作動装置、例えばリニアモータを有するステージ移動装置（図示せず）によりＹ軸又はＸ軸方向のいずれかに移動させてもよい。基板ステージ１３０を回転させるようにとステージ移動装置を構成することもできる。この回転構成を用いて、基板１５０及びその上のディスプレイオブジェクトをインクジェット印刷システム１２０の（以下に説明の）インクジェット印刷モジュール１６０に整列させてもよい。基板ステージ１３０の回転能力により、基板１５０とインクジェット印刷モジュール１６０とを最適な整列状態に持って行き易くなり、より正確で効率的なインクジェット操作につながる。これを受けて、ステージ移動装置は時計回り又は半時計回り方向のいずれかに基板ステージ１３０を回転するように構成された回転モータを含んでいてもよい。基板ステージ１３０及びそれに関連するその他のコンポーネント（例えば、制御装置、基板固定装置等）についてのその他の詳細は２００４年１１月４日出願の米国特許仮出願第６０／６２５５５０号「インクジェット法によるフラットパネルディスプレイにおけるカラーフィルタの製造装置及び製造方法」に記載されており、参照により本願に全て組み込まれる。

上記で簡単に説明したように、インクジェット印刷システム１２０はインクジェット印刷モジュール１６０を含み、モジュールは３つのインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６を含んでいてもよい。各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６を用い、その内部に形成された１つ以上のノズルを通してインクを分注してもよい（例えば、図２及び図３のノズル１９０）。一例として、各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６は利用するカラーシステムに応じて異なるカラーインクを分注してもよい。例えば、インクジェットヘッド１２２が赤いインクを、インクジェットヘッド１２４が緑のインクを、インクジェットヘッド１２６が青いインクを分注する。シアン、黄色、マゼンタ又は白等のその他のインク色をインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６で分注してもよい。いずれの１つ以上のインクジェット装置が同一のカラーインク又は透明インクを分注してもよい。３つのインクジェットヘッドを装備していると説明したが、インクジェット印刷モジュール１６０のインクジェットヘッド数は、インクジェット印刷装置１００の用途や使用法に応じて幾つであってもよい。

インクジェット印刷モジュール１６０に加えて、インクジェット印刷システム１２０は更にインクジェット印刷モジュール支持体１２５を含んでいてもよい。この支持体上にインクジェット印刷モジュール１６０が搭載される。インクジェット印刷モジュール１６０はインクジェット位置決定装置（図示せず）によってインクジェット印刷モジュール支持体１２５に沿って移動可能であってもよい。インクジェット位置決定装置は、インクジェット印刷モジュール１６０をインクジェット印刷モジュール支持体１２５に沿ってＸ軸方向に移動させるための１つ以上のモータ又は作動装置を含んでいてもよい。インクジェット位置決定装置は、インクジェット印刷モジュール１６０をＹ軸方向に移動させるための１つ以上のモータ又は作動装置も含むことがある。

インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６のそれぞれは、それに関連するその他のコンポーネント、例えば高さ調節装置、ヘッド回転作動装置、インク貯蔵部その他を含んでいてもよい。インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６に関連する各コンポーネントの詳細は、２００４年１１月４日出願の米国特許仮出願第６０／６２５５５０号「インクジェット法によるフラットパネルディスプレイにおけるカラーフィルタの製造装置及び製造方法」に記載されており、参照により本願に全て組み込まれる。ヘッド回転作動装置はインクジェットヘッドを回転させるように構成してもよい。このようにして、基板上に配置されたディスプレイオブジェクトに対してのインクジェットヘッド方向のピッチ又は角度は印刷用途に応じて変更可能である。各インクジェットヘッドは多数のノズルを有していてもよく、例えば２個前後〜７６０個前後のノズルである。好ましくは、各インクジェットヘッドは約１２８個のノズルを有する。一態様においては、インク液滴が基板上に配置された１つ以上のディスプレイオブジェクト１５５上に所望のパターンで供給されるようにと、インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６内にアレイ状のノズルを形成してもよい。例えば、図２を参照すると、各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６はその上に直線状に配列されたノズル１９０を有する（つまり、各インクジェットヘッド上に１９個のノズルが図示されている）。インク液滴は約０．０１ｋＨｚ〜約１００ｋＨｚの周波数で分注してもよい。各液滴のサイズは直径約２μｍ〜約１００μｍであってもよい。液滴の分注速度は約２ｍ／秒〜約１２ｍ／秒であってもよい。本願に記載のインクジェットヘッドの例にはスペクトラＳＥ１２８Ａ、ＳＸ１２８、又はＳＭ１２８インクジェットヘッドアセンブリが含まれる。スペクトラＳＥ１２８インクジェットヘッドアセンブリは１２８個のノズルを有し、各ノズルの直径は３８μｍであり、隣接するノズル間の間隔は５０８μｍである。スペクトラＳＥ−１２８インクジェットヘッドアセンブリは容量約２５〜３５ピコリットルのインク液滴を分注可能であり、周波数約４０ｋＨｚで稼動可能である。

更に、各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６は別のインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６に対して１つ以上の横方向に独立して移動可能であってもよい。又、各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６はインクジェット印刷モジュール支持体１２５に相対して独立して回転可能であってもよい。更に、インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６は基板１５０に向かって或いは遠ざかる１つ以上の垂直方向（例えば、Ｚ軸に沿って）に独立して移動可能であってもよい。横方向移動、回転及び垂直移動は独立して行っても、どんな順序で行っても、及び／又は実質的に同時に行ってもよい。例えば、各インクジェットヘッドを（１）横方向に移動させた後に回転させる、（２）各インクジェットヘッドを回転させ、その後に横方向に移動させる、及び／又は（３）各インクジェットヘッドの回転と横方向移動を同時に行ってもよい。同様に、インクジェットヘッドの垂直移動はインクジェットヘッドの横方向移動及び／又は回転の前、その後、又はその最中に行ってもよい。どのケースでも、あるインクジェットヘッドの横運動、垂直運動及び／又は回転は、残りのインクジェットヘッドを静止状態とした中で起こり得る。

上述したように、インクジェット印刷モジュール支持体１２５をＸ軸方向及びＹ軸方向の双方に移動させてもよい。その際、インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６が一旦、所定の位置及び／又は角度方向へと横方向に移動及び／又は回転されてしまうと、インクジェット印刷モジュール支持体１２５が、ディスプレイオブジェクト１５５上でインク印刷作業を遂行する際の、各ディスプレイオブジェクト１５５上方での位置決めされた及び／又は方向付けされたインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６の動きに影響してくることがある。インクジェットヘッドを互いに独立して移動させる様々なやり方についてのその他の詳細については、２００４年１２月２２日出願の米国特許出願第１１／０１９９６７号の「独立した横方向の動きをすることができるインクジェットヘッドを有するインクジェットヘッド支持体のための装置及び方法」に記載されており、参照により本願に全て組み込まれる。

インクジェット印刷装置１００は更にシステム制御装置１０２及び画像データファイル１０４を含んでいてもよく、データファイルはシステム制御装置１０２又は外部装置の内蔵コンポーネントであってもよい。システム制御装置１０２とインクジェット印刷モジュール支持体１２５及びインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６とが通信することでインクジェット印刷モジュール支持体１２５とインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６の操作及び運動を制御及びモニタしてもよい。又、システム制御装置１０２が基板ステージ１３０と通信することで基板ステージ１３０のＸ軸及びＹ軸方向双方での運動を制御してもよい。

システム制御装置１０２はいずれの適切なコンピュータ又はコンピュータシステムであってもよく、メインフレームコンピュータ、ミニコンピュータ、ネットワークコンピュータ、パーソナルコンピュータ、及び／又はいずれの適切な制御演算装置、コンポーネント、又はシステムであってもよいがこれらに限定されるものではない。システム制御装置１０２はインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６のＸ軸及びＹ軸方向への横方向運動を制御してもよい。又、システム制御装置１０２は、インクジェット印刷モジュール支持体１２５に相対してのインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６のそれぞれの回転を制御してもよい。

画像データファイル１０４は、インクジェット印刷装置１００によって処理する基板１５０及び／又はディスプレイオブジェクト１５５についてのデータ及び／又は情報を含んでいてもよい。例えば、画像データファイル１０４は、各インクジェットヘッド１２２、１２４、１２６及び基板ステージ１３０の動き及び印刷作業を制御する際にシステム制御装置１０２が使用可能な情報を含んでいてもよい。このため、システム制御装置１０２はディスプレイオブジェクト１５５上での印刷又はインクジェット操作の制御において、画像データファイル１０４内に格納された情報を利用することができる。

図２は本発明の１つ以上の実施形態に関連した、ディスプレイオブジェクト２５５を有する基板２５０上方に配置されたインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６の上面図である。各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６は通常、アレイ状のノズル１９０（つまり、各インクジェットヘッド上に１９個のノズルが図示）を含み、ノズルはインクを基板２５０の表面上のディスプレイオブジェクト２５５の少なくとも一部へと供給するように適合されている。インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６はディスプレイオブジェクト２５５に直交した状態で表示されている。但し、インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６のうちの１つ以上を、ディスプレイオブジェクト２５５に相対してのいずれの適切な角度へと回転させてもよい。各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６をそれぞれのヘッド回転作動装置により回転させ、インクジェットヘッドとノズル１９０を各ディスプレイオブジェクトに対して所望の角度でピッチ調整又は方向付けしてもよい。各インクジェットヘッドのディスプレイオブジェクトに対する角度を、ピッチ又はピッチ角度と称する場合もある。

図３は本発明の１つ以上の実施形態に関連した、各ディスプレイオブジェクト２５５に対してピッチ角度αで方向付けられている各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６の上面図である。ピッチ角度α（図３を参照のこと）は約０〜約９０度まで変更可能である。図２に図示したように、インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６とディスプレイオブジェクト２５５の最上端との間のピッチ角度は約０度である。

図４はディスプレイオブジェクト（例えば、図２及び図３のディスプレイオブジェクト２５５）内に配置された９個のピクセル４１０、４２０、４３０、４４０、４５０、４６０、４７０、４８０及び４９０の上面図である。各ピクセルは３つのサブピクセルを有していてもよく（つまり、図４においては「Ａ」「Ｂ」又は「Ｃ」のいずれかと表記）、各ピクセルがカラーフィルタとして機能してもよい。一実施形態においては、赤、緑及び青の色を用いて各ピクセルのカラーフィルタを形成している。例えば、赤色を最左のカラーフィルタ領域に割り振り（「Ａ」と表記）、緑色を中央カラーフィルタ領域へと割り振り（「Ｂ」と表記）、青色を最右カラーフィルタ領域へと割り振る（「Ｃ」と表記）。カラーフィルタ領域は別の順序で割り振ってもよいし、或いは本願に記載の本発明の範囲から違えることなく異なる色を割り振ってもよい。

各カラーフィルタ領域（例えば、「Ａ」「Ｂ」又は「Ｃ」）は１つ以上の既定のインク着地位置（例えば、４０５）を有していてもよく、この位置にカラーインク液滴がインクジェットヘッド１２２によって堆積される。一例として、５つのインク着地位置がピクセル４１０の最左のカラーフィルタ領域「Ａ」について図示されている。５つのインク着地位置が各カラーフィルタ領域に図示されているが、各カラーフィルタ領域で用いるインク着地位置の数は幾つであってもよい。動作中、ディスプレイオブジェクト２５５が各インクジェットヘッド１２２に相対して移動するにつれ、インク液滴が所望の各インク着地位置に堆積される。各インク液滴が所定の処理時間で所望のインク着地位置全てに堆積された後、インクを硬化させてディスプレイオブジェクトの各ピクセルの製造を完了してもよい。インクは２００４年１１月４日出願かつ参照により本願に全て組み込まれる米国特許仮出願第６０／６２５５５０号「インクジェット法によるフラットパネルディスプレイにおけるカラーフィルタの製造装置及び製造方法」に記載される多様な方法及び装置により硬化することができる。

インクジェットヘッドによるインクのインク着地位置への分注方式は、システム制御装置１０２により制御してもよい。システム制御装置１０２は、画像データ処理装置（図示せず）によって生成され、かつ処理対象の基板１５０に対応する画像データファイル１０４内に格納された情報を利用するコンピュータプログラムに従って動作してもよい。システム制御装置１０２及び画像データ処理装置については２００４年１１月４日出願の米国特許仮出願第６０／６２５５５０号「インクジェット法によるフラットパネルディスプレイにおけるカラーフィルタの製造装置及び製造方法」により詳細に記載されており、参照により本願に全て組み込まれる。

図１を再度参照するが、インクジェット印刷処理中、基板ステージ１３０及びインクジェット印刷モジュール１６０は互いにＸ軸方向又はＹ軸方向のいずれかに移動してもよい。例えば、基板ステージ１３０がインクジェット印刷モジュール１６０の下をＹ軸方向に移動し、インクジェット印刷モジュール１６０が静止状態に留まる。別の実施例においては基板ステージ１３０が静止し、インクジェット印刷モジュール１６０がＸ軸方向に移動する。つまり、インクジェット印刷処理には、インクジェット印刷モジュール１６０が静止状態に留まる一方基板ステージ１３０がインクジェット印刷モジュール１６０に相対して移動する場合と、基板ステージ１３０は静止状態のままでインクジェット印刷モジュール１６０が基板ステージ１３０に相対して移動する場合と、或いはいずれの所望の順番とした上記のいずれの組合せの場合とが関係してくる。更に、インクジェット印刷モジュール１６０及び基板ステージ１３０は、インクジェット印刷処理全体又はその一部を通して同時に移動してもよい。基板ステージ１３０又はインクジェット印刷モジュール１６０の移動速度は約５００ｍ／秒〜約１０００ｍ／秒まで異なり得る。

図４を参照するが、一実施形態において、インクジェットヘッド１２２は図４に図示した１７個のノズル等のようにアレイ状の２つ以上のノズル１９０を含む。この構成において、ノズルアレイは、インクジェットヘッド１２２内に格納されたインクをカラーフィルタ領域「Ａ」内のインク着地位置４０５等の所望のインク着地位置に分注するように適合されている。図４に図示されるように、インクジェットヘッド１２２は一定の間隔で離間されたノズル１９０の線状アレイを含み、ノズルはカラーフィルタ領域の縁部に相対してピッチ角度αで方向付けされている。ピッチ角度αは、通常、ある方向（例えば、図４ではＹ方向）のノズル１９０の間隔が同方向のインク着地位置４０５間の距離と等しくなるように設定される。一態様において、システム制御装置１０２及びノズル１９０のアレイは、インクジェットヘッド１２２がカラーフィルタに相対してＸ方向及び／又はＹ方向に平行移動するにつれ、インク液滴が所望のカラーフィルタ内の所望のインク着地位置で堆積可能となるように構成されている。一態様において、システム制御装置１０２は、インクジェットヘッド１２２がディスプレイオブジェクトに相対してＸ軸方向に平行移動し、その一方で、各ノズル１９０が各所望のインク着地位置４０５上を通過するに従ってインク液滴を所望のインク着地位置４０５に供給するように適合されている。例えば、図４に図示されるように、インクジェットヘッド１２２の左最上部ノズル１９０はピクセル４１０のカラーフィルタ領域「Ａ」の最上部インク着地位置４０５上に位置されているため、インク液滴はこの位置で分注可能である。このようにして、インクジェットヘッド１２２の左最上部ノズル１９０及びシステム制御装置１０２は、インクジェットヘッド１２２がカラーフィルタに対してＸ方向に平行移動するにつれ（例えば、図４の左側から右側へ）、インク液滴をピクセル４４０と４７０のカラーフィルタ領域「Ａ」の最上部インク着地位置４０５に分注するように適合可能である。一般的に、システム制御装置１０２を用いてインクジェットヘッドに相対しての着地位置の平行移動及びインクジェットヘッドの各ノズルからのインクの送達を制御し、所望のインク液滴パターンを基板表面上に形成することが可能である。インクジェットヘッドに相対しての着地位置の平行移動は、インクジェットヘッドを基板に対して移動させる及び／又は基板をインクジェットヘッドに対して移動させることで達成することができる。

図１及び図４を参照するが、一実施形態において、基板２５０は矩形のサブピクセル（つまり、図４において「Ａ」「Ｂ」又は「Ｃ」のいずれかと表記のもの）の長辺（例えば、図４の辺４０３）がインクジェット印刷モジュール１６０に相対しての基板の主移動方向に沿って揃うように整列されている。通常、主移動方向とはインクジェット印刷処理中における、インクジェット印刷モジュール１６０に相対しての基板の動きの大部分を占める方向のことである。更に別の実施形態において、基板２５０は、インクジェット印刷処理中に基板２５０の表面上にインク液滴が堆積されるにつれて矩形のサブピクセルの短辺（例えば、図４の辺４０２）が主移動方向４０１（図４）に沿って揃うように整列されている。矩形サブピクセルの短辺を主移動方向に沿って整列させる利点の１つには、サブピクセル間及びピクセル間での着地位置４０５の縦列（例えば、ピクセル４１０、４２０及び４３０内の「Ａ」と表記されたサブピクセルの着地位置４０５）の整列がより容易に制御可能となることが挙げられ、これはインクジェットヘッド１２２の各ノズル１９０が整列することで、インクジェットヘッド１２２上の有限数のノズル１９０の方向に依存することなく、ノズルが基板の所望の領域における所望の着地位置上を通過し、インク液滴の空間位置の精度が定められるからである。主移動方向が矩形サブピクセルの長辺に沿って整列する際にエラーが生じる様子が、インクジェットヘッド１２２を「−Ｙ」方向に移動させるにつれて、左最上部ノズル１９０を用いてピクセル４１０、４２０及び４３０の「Ａ」と表記されたサブピクセルのインク着地位置４０５へのインク液滴堆積が可能であるのに対して、インクジェットヘッド１２２のその他のノズル１９０のどれを用いてもピクセル４４０、４５０及び４６０の「Ａ」のサブピクセル内の所望のインク着地位置４０５、或いはピクセル４７０、４８０及び４９０の「Ａ」のサブピクセル内の所望のインク着地位置４０５にはシングルパスのインクジェットヘッド１２２ではインク液滴列を正確に堆積できないことに注目することで見て取れる。主移動方向が着地位置の横列と一列に並ぶ場合に生じる堆積インク液滴の縦列間の間隔のムラは通常、目に見えるものであり、形成されたカラーフィルタにおいて欠陥と見なされる。従って、本願に記載の本発明の態様では、主移動方向を着地位置の縦列と一致させないことで、インクジェット印刷処理中にノズルが所望の着地位置上を通過する際に所望の着地位置のそれぞれの上にインク液滴が正確に着地可能となるように、システム制御装置１０２により基板の主移動方向をインクジェット印刷モジュール１６０に対して整列させることでこの欠陥を回避している。インクジェットヘッド１２２の少なくとも１つのノズル１９０が各着地位置４０５上を通過するように、システム制御装置１０２はインクジェット印刷インクジェットヘッド１２２とノズルとを整列させる必要がある可能性があることに注意すべきである（図４参照）。

上述したように、システム制御装置１０２は画像データファイル１０４を利用することでディスプレイオブジェクト上での印刷又はインクジェット操作を制御してもよい。例えば、画像データファイル１０４を用いることで多様なインク着地位置上へのインク着地位置決定を制御してもよい。従って、１つ以上の基板レイアウトデータ、各ピクセルのカラーフィルタ領域に堆積するインク液滴数、各カラーフィルタ領域についてのインク液滴の位置及び／又は間隔、ピクセル縁部からのインク着地位置の所望又は所要のオフセット距離についての情報及び画像及び／又はディスプレイオブジェクトのＹ軸分解能についての情報を用いて画像データファイル１０４を生成してもよい。画像データファイル１０４を生成する方法についての詳細は２００４年１１月４日出願の米国特許仮出願第６０／６２５５５０号「インクジェット法によるフラットパネルディスプレイにおけるカラーフィルタの製造装置及び製造方法」に記載されており、参照により本願に全て組み込まれる。

基板レイアウトデータは基板、基板のタイプ、基板上のディスプレイオブジェクトについてのデータ、基板上のピクセル、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の基板の長さ、基板の上部マージン、基板の下部マージン、基板の左側マージン、基板の右側マージン、ディスプレイオブジェクト間の間隙の数及びサイズ、Ｘ軸方向のディスプレイオブジェクトの数及びＹ軸方向のディスプレイオブジェクトの数についての情報を含んでいてもよい。基板レイアウトデータを用いてディスプレイオブジェクト上の各ピクセル及びピクセルカラーフィルタ領域についてのＸ及びＹ座標情報を求めてもよい。

基板レイアウトデータに沿ったインク着地位置の数及び位置を用いて、それぞれのピクセルカラーフィルタ領域に堆積する各インク液滴の位置を決定してもよい。このようにして、それぞれのインク着地位置を自動的に決定してピクセルのカラーフィルタ領域内側にインク液滴を均等に分布させるように、画像データ処理装置をプログラムしてもよい。

場合によっては、インク液滴の位置が基板ステージ１３０の動きにおけるエラーにより所望の位置からずれることがある。極端な例では、液滴はピクセル領域の外側に着地し、欠陥となる。こういったエラーを回避するため、インクジェット中でのインクジェットヘッド位置の動的な調整を利用してもよい。例えば、可視化装置、検査装置又はその他同様の装置を用いて、インクジェット印刷作業に先立って基板ピクセルに相対してのインクジェットヘッドとノズル位置のチェックを行ってもよい。インクジェットヘッド及び／又はノズル位置情報をシステム制御装置１０２に送信しオフセットを求めることで、位置決めエラーの修正を行ってもよい。

加えて、インクジェットヘッド位置及び／又はノズル発射／噴射時間を印刷中、つまり基板ステージ１３０の動作中に、求めたオフセットに基づいて調整してもよい。例えば、インクジェット中、基板ステージ１３０が一定速度でＹ軸方向に沿って移動すると仮定した場合、インクジェットヘッドのＹ軸位置におけるエラーは、インクジェットのノズルからインクを早めに又は遅れて噴射することで、或いは全く噴射しないことで相殺する。同様に、（例えば、基板ステージ１３０の移動方向に直交した）Ｘ軸方向位置でのエラーは、印刷前にインクジェットヘッドのＸ軸方向を調節することで（例えば、インクジェットヘッドを移動方向に対して左又は右に移動させ、ノズルをピクセル位置上方に正しく位置させることで）相殺することができる。こういった印刷作業中での自己補正機構により、インクジェットヘッド位置における動的エラーが補正され、印刷精度が顕著に改善される。更に、インクジェットヘッドの直列位置、横方向位置、高さ、ピッチ、ヨーイング等を、基板ステージ１３０が運動したままの状態で動的に調整してもよい。

図５は本発明の１つ以上の実施形態による、１つ以上のディスプレイオブジェクト１５５上にカラーフィルタを形成するための方法５００のフロー図である。ディスプレイオブジェクト１５５を含む基板１５０を一旦基板ステージ１３０上に載置したら、インクジェット印刷装置１００の動作を工程５１０で開始し、システム制御装置１０２を作動させる。工程５２０で、システム制御装置１０２は基板１５０についての画像データファイルを取得及び処理する。

工程５３０において、インクジェット印刷モジュール支持体１２５が静止状態に留まるように構成され、基板ステージ１３０が移動する場合、システム制御装置１０２が基板ステージ１３０を基板１５０のホーム又は開始位置へと移動させる。或いは、基板ステージ１３０が静止状態に留まるように構成され、インクジェット印刷モジュール支持体１２５が移動する場合、システム制御装置１０２はインクジェット印刷モジュール支持体１２５をホーム又は開始位置へと移動させる。工程５４０で、システム制御装置１０２はインクをインクジェットヘッドに供給する又は他の形でインクジェットヘッドを印刷準備状態とすることで、各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６を始動させる。

工程５５０で、各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６の横方向位置を調節することで、システム制御装置１０２は印刷処理を開始する。例えば、インクのピクセルへの印刷中にインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６を適切な位置へと調節してもよい。又、この工程中に、システム制御装置１０２はインクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６の１つ以上を基板１５０上のディスプレイオブジェクトに相対しての適切なピッチ角度へと回転させてもよい。

工程５６０で、システム制御装置１０２はインクジェット印刷モジュール支持体１２５及び各インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６の印刷パス作業を開始する。印刷パス作業は、基板１５０をインクジェット印刷モジュール支持体１２５の下を開始縁部からＹ軸方向に停止縁部へと通過させることで、インクを基板１５０のディスプレイオブジェクト１５５上の全ての適用可能なディスプレイピクセル内に印刷することを含んでいてもよい。一実施形態において、システム制御装置１０２が基板ステージ１３０をＹ軸方向、インクジェット印刷モジュール支持体１２５をＸ軸方向に沿って移動させることで、インクジェットヘッド１２２、１２４及び１２６はＸ軸、Ｙ軸のいずれにも整列していないパターンに沿ってインクを分注する。例えば、このパターンは図６、７に図示されるように対角パターンである。図８はＸ軸、Ｙ軸のいずれにも整列していないパターンの別の例を示す。

図６は本発明の１つ以上の実施形態による、モザイク状カラーフィルタパターン６００の形成に関連した、基板６２０に対してのインクジェットヘッド６１０の動きを図示している。最初のインク液滴については、インクジェットヘッド６１０は静止したままであり、基板６２０がＹ軸方向をインクジェットヘッド６１０に向かって移動するため、ノズル６５０からの最初のインクはインク着地位置６３０へと分注される。第２インク液滴については、インクジェットヘッド６１０はＸ軸方向に沿ってインク着地位置６４０に向かって距離Δｘだけ移動し、基板６２０はＹ軸方向を距離Δｙだけ移動するため、ノズル６５０からの第２のインクはインク着地位置６４０へと分注される。距離Δｘはインク着地位置６３０とインク着地位置６４０との間の距離のｘ成分を表わす。距離Δｙはインク着地位置６３０とインク着地位置６４０との間の距離のｙ成分を表わす。距離Δｘ、距離Δｙ、インクジェットヘッド６１０と基板６２０のそれぞれの移動速度は、基板６２０の画像データファイルに従ってシステム制御装置１０２によって決定してもよい。第３のインク液滴については、インクジェットヘッド６１０がインク着地位置６３０からインク着地位置６６０へとＸ軸にそって距離２Δｘだけ移動し、基板６２０がインク着地位置６３０からＹ軸方向へと距離２Δｙだけ移動することで、ノズル６５０からの第３のインクがインク着地位置６８０へと分注される。

インクジェットヘッド６１０がそこからのインクを充填するように構成された全インク着地位置にインクを分注し終わるまで、インクジェットヘッド６１０はＸ軸方向に移動し続け、基板６２０はＹ軸方向に移動する。図６も第１印刷パス中のインクジェットヘッド６１０についての経路又は走査パターン６７０を図示している。

図７は本発明の１つ以上の実施形態による、モザイク状カラーフィルタパターン６００の形成に関連した、基板６２０に対してのインクジェットヘッド７１０の動きを図示している。基板６２０に対するインクジェットヘッド７１０の動きはインクジェットヘッド６１０の動きと同様だが、第２印刷パス中、基板６２０が逆Ｙ軸方向に移動するという点が異なる。図７も又、第２印刷パス中のインクジェットヘッド７１０の経路又は走査パターン７７０を図示している。

このようなやり方で、各カラーフィルタ領域内のインク着地位置の残分も、続く印刷パス中に、異なる色を分注するように構成された異なるインクジェットヘッドを用いてインク充填することができる。インクジェットヘッドは、各印刷パス中、Ｘ軸に沿って順方向及び反対方向の双方に移動するように構成してもよい。基板６２０は、各印刷パス中、Ｙ軸に沿って順方向及び反対方向の双方に連続的に移動するように構成してもよい。

上記の説明は本発明の特定の実施形態を開示しているにすぎない。本発明の範囲内での、上記開示の方法及び装置の改変は当業者にとって容易に理解できる。例えば、本発明の実施形態を半導体処理及び／又は電子デバイス製造に応用してもよい。より詳細には、ガラス、重合体、半導体及び／又は実行可能なその他の適切な材料を含む基板上にレジストパターンを噴射してもよい。従って、噴射される材料はインク、重合体、又は実行可能なその他の適切な材料を含んでいてもよい。

一実施形態においては、図９に図示されるように、複数のインクジェットヘッド９１０を位置決め及び方向付けすることで、１つ以上のインクジェットヘッド９１０の少なくとも１つのノズル９１１がインク液滴をモザイク状カラーフィルタパターン９００の所望のカラーフィルタ９２０内に含まれた所望のインク着地位置９３０のそれぞれへと供給可能となるようにしている。この構成においては、隣接するインクジェットヘッド９１０のノズル９１１位置はＸ及びＹ方向でズレているため、複数のインクジェットヘッド９１０がカラーフィルタ９２０上を通過するにつれ、モザイク状カラーフィルタパターン９００の領域内のインク着地位置９３０全てを守備することが可能である。インクジェットヘッド９１０の数、ノズル間のズレの距離、及びピッチ角度αは各インクジェットヘッド９１０のノズル９１１の数とノズル間の距離、及びカラーフィルタ９２０のインク着地位置９３０間の間隔（例えば、Ｘ方向の距離）に依存している。一態様においては、十分な数のインクジェットヘッド９１０を用いることで、インクジェットヘッド９１０のシングルパス後にカラーフィルタパターン（例えば、図９の図内番号９００）に所望のカラーフィルタ９２０が各自形成可能となるようにすることが望ましい。図９は複数のインクジェットヘッド９１０の一構成を図示しており、このインクジェットヘッドは、ヘッドが方向９７０に平行移動するにつれ、モザイク状カラーフィルタパターン９００のサブピクセル又はカラーフィルタ９２０における所望の着地位置９３０をシングルパスで網羅するように整列及び平行移動可能である。インク液滴をノズル９１１からいつ分注して所望の着地位置９３０を守備するかのタイミングは、システム制御装置（図示せず）により制御されている。別の態様においては、カラーフィルタ９２０上をインクジェットヘッド９１０を複数回通過させることで、カラーフィルタパターン領域内のインク着地位置９３０の全てを充填できる所望のインク液滴守備範囲を得ることが望ましい。この場合、カラーフィルタパターン（例えば、図内番号９００）に対してインクジェットヘッド９１０を１つ以上の方向（例えば、Ｘ及びＹ方向）に移動させることでインク着地位置９３０を短時間で最適に守備することが望ましい。

上記は本発明の実施形態を対象としているが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく本発明のその他及び更に別の実施形態を考案することができ、本発明の範囲は特許請求の範囲に基づいて定められる。

本発明の上述した構成が詳細に理解できるように、上記で要約された本発明のより具体的な説明が添付図面に示される実施形態を参照してなされる。しかしながら、添付図面は本発明の典型的な実施形態を図示するに過ぎず、本発明はその他の同等に効果的な実施形態も含み得るため、本発明の範囲を制限すると解釈されないことに留意すべきである。

本発明の１つ以上の実施形態によるインクジェット印刷装置の斜視図である。本発明の１つ以上の実施形態に関連した、ディスプレイオブジェクトを有する基板上方に配置されたインクジェットヘッドの上面図である。本発明の１つ以上の実施形態に関連した、各ディスプレイオブジェクトに相対してピッチ角度αで方向付けされている各インクジェットヘッドの上面図である。あるディスプレイオブジェクトの一部上に配置された９個のピクセルの上面説明図である。本発明の１つ以上の実施形態による、１つ以上のディスプレイオブジェクト上にカラーフィルタを形成するための方法のフロー図である。本発明の１つ以上の実施形態による、モザイク状カラーフィルタパターン形成に関連した、基板に対してのインクジェットヘッドの動きを示す図である。本発明の１つ以上の実施形態による、モザイク状カラーフィルタパターン形成に関連した、基板に対しての別のインクジェットヘッドの動きを示す図である。本発明の１つ以上の実施形態による、Ｘ軸又はＹ軸のいずれにも整列していないパターンの別例を示す図である。本発明の１つ以上の実施形態による、モザイク状カラーフィルタパターン形成に関連した、基板に対しての別のインクジェットヘッドの動きを示す図である。

Claims

基板支持体上に基板を配置し、
１つ以上のインクジェットヘッドがその上に配置されたインクジェット印刷モジュール支持体を設置することを含み、ここで１つ以上のインクジェットヘッドは基板上方に配置され、更に、
１つ以上のインクジェットヘッドを第１軸に沿って移動させ、かつ基板を第１軸に直交する第２軸に沿って移動させることで１つ以上のインクジェットヘッドによりインクを第１軸又は第２軸のいずれとも整列していないパターン状に配置された１つ以上のインク着地位置に分注する印刷作業を実行することを含むインクジェット印刷方法。
パターンが対角パターンである請求項１記載の方法。
印刷作業の実行が、インクジェットヘッドを第１軸に沿った順方向及び反対方向のうちの１つに移動させることを含み、ここで順方向が反対方向とは逆の方向である請求項１記載の方法。
印刷作業の実行が、基板を第２軸に沿った順方向及び反対方向のうちの１つに移動させることを含み、ここで順方向が反対方向とは逆の方向である請求項１記載の方法。
印刷作業の実行が、
１つ以上のインクジェットヘッドを静止状態に維持しながら基板をインクジェット印刷モジュール支持体に向かって移動させ、第１インクジェットヘッドからの第１のインクを基板上の第１インク着地位置へと分注し、
基板をインクジェット印刷モジュール支持体に向かって移動させ、第１インクジェットヘッドを基板上の第２インク着地位置に向かって第１軸に沿って移動させることで、第１インクジェットヘッドからの第２インクを第２インク着地位置へと分注することを含む請求項１記載の方法。
第１インクジェットヘッドの第２インク位置に向かっての移動が、第１インク着地位置と第２インク着地位置との間の距離のｘ成分に等しい距離だけ第１インクジェットヘッドを移動させることを含む請求項５記載の方法。
インクジェット印刷モジュール支持体に向かっての基板の移動が、第１インク着地位置と第２インク着地位置との間の距離のｙ成分に等しい距離だけ基板を移動させ、その一方で第１インク着地位置と第２インク着地位置との間の距離のｘ成分に等しい距離だけ第１インクジェットヘッドを移動させることを含む請求項６記載の方法。
インクジェットヘッドと基板の動きが、基板についての画像データファイルに従ってシステム制御装置によって決定される請求項１記載の方法。
各インク着地位置がカラーフィルタ領域内に配置されている請求項１記載の方法。
印刷作業の実行が、
第１印刷パス中に基板を第２軸に沿って順方向に移動させ、
第２印刷パス中に基板を第２軸に沿って反対方向に移動させることを含み、ここで順方向が反対方向とは逆の方向である請求項１記載の方法。
基板支持体上に基板を配置し、
基板支持体上方に配置され、そこからインク液滴を分注するように適合された複数のノズルを有するインクジェットヘッドを設置することを含み、ここで複数のノズルは第１ノズルと第２ノズルを含み、更に、
基板表面上に形成されたサブピクセルの第１領域上に第１ノズルからインクを分注し、
基板表面上に形成されたサブピクセルの第２領域上に第２ノズルからインクを分注することを含むインクジェット印刷方法。
第１領域が、第１方向と整列する短辺を有する矩形のサブピクセルである請求項１１記載の方法。
インクジェットヘッドを第１方向に対して角度を成して方向付けることを更に含む請求項１２記載の方法。
第１ノズルからのインクの分注及び第２ノズルからのインクの分注が、インクジェットヘッドの第１方向への平行移動の最中に連続的に行われる請求項１２記載の方法。
印刷作業の実行が、概して第１方向に直交する第２方向へのインクジェットヘッドの移動を更に含む請求項１２記載の方法。
インクジェットヘッドが約１２８〜約７６０個のノズルを含む請求項１１記載の方法。
基板支持体上に基板を配置し、
基板支持体上方に配置される第１インクジェットヘッド及び第２インクジェットヘッドを設置することを含み、ここで第１及び第２インクジェットヘッドはそこからインク液滴を分注するように適合された複数のノズルを各自有しており、更に、
基板表面上に形成されたサブピクセルの第１領域上に第１インクジェットヘッド内に形成された第１ノズルからインクを分注し、
基板表面上に形成されたサブピクセルの第２領域上に第２インクジェットヘッド内に形成された第２ノズルからインクを分注することを含むインクジェット印刷方法。
第１領域が、第１方向に沿って整列した短辺を有する矩形のサブピクセルである請求項１７記載の方法。
第１インクジェットヘッドと第２インクジェットヘッドを第１方向に対して角度を成して方向付けることを更に含む請求項１８記載の方法。
第１ノズルからのインクの分注及び第２ノズルからのインクの分注が、第１インクジェットヘッドと第２インクジェットヘッドの第１方向への平行移動の最中に連続的に行われる請求項１８記載の方法。
印刷作業の実行が、概して第１方向に直交する第２方向での第２ノズルから所望の距離を置いての第１ノズルの整列を更に含む請求項１８記載の方法。
第１インクジェットヘッド及び第２インクジェットヘッドが約１２８〜約７６０個のノズルを含む請求項１７記載の方法。
インクジェットヘッドと基板の動きが、基板についての画像データファイルに従ってシステム制御装置によって決定される請求項１７記載の方法
基板支持体上にその表面上に複数のサブピクセルが形成された基板を配置し、
基板上方に配置された第１インクジェットヘッド及び第２インクジェットヘッドを有するインクジェット印刷モジュールを設置することを含み、ここで第１及び第２インクジェットヘッドはそこからインク液滴を分注するように適合された複数のノズルを各自有しており、更に、
サブピクセル上に複数のインク液滴を分注することを含み、ここで複数のインク液滴の分注は
少なくとも１つのインク液滴をサブピクセルの第１領域へと第１インクジェットヘッド内に形成された第１ノズルから分注し、
少なくとも１つのインク液滴をサブピクセルの第２領域へと第２インクジェットヘッド内に形成された第２ノズルから分注することを含むインクジェット印刷方法。
複数のサブピクセルのそれぞれが互いに対角線上に配置された第１カラーフィルタ領域と第２カラーフィルタ領域を有する請求項２４記載の方法。
複数のサブピクセルのそれぞれが、第１インクジェットヘッドと第２インクジェットヘッドの主移動方向と整列していないパターンに配置された第１カラーフィルタ領域と第２カラーフィルタ領域を有する請求項２４記載の方法。
基板支持表面を有する基板ステージと、
基板支持表面上方に位置される複数のノズルを含む第１インクジェットヘッドと、
第１インクジェットヘッドが第１方向へと移動するにつれて複数のノズルのうちの少なくとも２つからインク液滴を基板支持表面上に配置された基板上に形成されたサブピクセル上へと分注するように構成されたシステム制御装置を備えるインクジェット印刷システム。
第１方向が、矩形のサブピクセルの短辺と概して平行に整列されている請求項２７記載のシステム。
複数のノズルが第１方向に対して角度を成して整列されている請求項２７記載のシステム。
複数のノズルが約１２８〜約７６０個のノズルを含む請求項２７記載のシステム。
複数のノズルが直線アレイ状に整列されている請求項２７記載のシステム。
インクジェット印刷処理中に、基板ステージを第１インクジェットヘッドに対して移動させるように適合された作動装置を更に備える請求項２７記載のシステム。
基板支持表面を有する基板ステージと、
基板支持表面上方に位置される第１ノズルアレイを含む第１インクジェットヘッドと、
基板支持表面上方に位置される第２ノズルアレイを含む第２インクジェットヘッドとを備え、ここで第２ノズルアレイは、インクジェット印刷処理中、第１ノズルアレイとは一定の距離でオフセットされており、更に
第１インクジェットヘッド及び第２インクジェットヘッドが第１方向へと移動させられるにつれて第１ノズルアレイの１つのノズルと第２ノズルアレイの１つのノズルから基板上に形成されたサブピクセル上へとインク液滴を分注するように構成されたシステム制御装置を備えるインクジェット印刷システム。
第１方向が、矩形のサブピクセルの短辺と概して平行に整列されている請求項３３記載のシステム。
第１ノズルアレイと第２ノズルアレイが第１方向に対して角度を成して整列されている請求項３３記載のシステム。
第１ノズルアレイと第２ノズルアレイが約１２８〜約７６０個のノズルを含む請求項３３記載のシステム。
第１ノズルアレイと第２ノズルアレイが直線アレイ状に整列されている請求項３３記載のシステム
システム制御装置が、第１インクジェットヘッドと第２インクジェットヘッドを第１方向と、第１方向とは逆の方向に移動させるように構成されている請求項３３記載のシステム。
インクジェット印刷処理中に、基板ステージを第１インクジェットヘッドと第２インクジェットヘッドに対して移動させるように適合された作動装置を更に備える請求項３３記載のシステム。