JP2700945B2 - カラーフィルター付き基板 - Google Patents

カラーフィルター付き基板

Info

Publication number
JP2700945B2
JP2700945B2 JP22658690A JP22658690A JP2700945B2 JP 2700945 B2 JP2700945 B2 JP 2700945B2 JP 22658690 A JP22658690 A JP 22658690A JP 22658690 A JP22658690 A JP 22658690A JP 2700945 B2 JP2700945 B2 JP 2700945B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color filter
substrate
coloring material
film
organic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP22658690A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04109219A (ja
Inventor
和也 石渡
裕一 正木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP22658690A priority Critical patent/JP2700945B2/ja
Priority to US07/750,506 priority patent/US5177627A/en
Publication of JPH04109219A publication Critical patent/JPH04109219A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2700945B2 publication Critical patent/JP2700945B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514Colour filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • G02F1/13439Electrodes characterised by their electrical, optical, physical properties; materials therefor; method of making

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はカラーフィルター付き基板に関するものであ
る。
[従来の技術] 従来、カラーフィルターとしては、基板上にゼラチ
ン、カゼイン、グリューあるいはポリビニルアルコール
などの親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒
染層を色素で染色して着色層を形成するような染色カラ
ーフィルターが知られている。
このような染色法では、使用可能な染料が多くカラー
フィルターとして要求される分光特性への対応が比較的
容易であるが、媒染層の染色工程に、染料を溶解させた
染色浴中に媒染層を浸漬するというコントロールの難し
い湿式工程を採用しており、また各色毎に防染用の中間
層を設けるという複雑な工程を有するため歩留りが悪く
なる欠点を有している。また、染色可能な色素の耐熱性
が150℃程度以下と比較的低く、該フィルターに熱的処
理を必要とする場合には、使用が困難である上、染色膜
自体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るという欠点も有
している。
これに対し、従来、ある種の着色材料が透明樹脂中に
分散されてなる着色樹脂を用いたカラーフィルターが知
られている。
例えば、特開昭58−46325号公報,特開昭60−78401号
公報,特開昭60−184202号公報,特開昭60−184203号公
報,特開昭60−184204号公報,特開昭60−184205号公報
等に示されている様に、ポリアミノ系樹脂に着色材料を
混合した着色樹脂膜を用いることを特徴とするカラーフ
ィルターによれば、該ポリアミノ系樹脂自体は、耐熱
性、耐光性の特性に優れたものであるが、非感光性樹脂
であるためカラーフィルターのパターン形成には、微細
パターンに不利な印刷による方法、あるいは着色樹脂膜
上にレジストによるマスクを設けた後に、該着色樹脂膜
をエッチングするという構造工程の煩雑な方法をとらな
ければならなかった。
一方、特開昭57−16407号公報,特開昭57−74707号公
報,特開昭60−129707号公報等に示されている様に、感
光性樹脂に着色材料を混合した着色樹脂膜を用いること
を特徴とするカラーフィルターによれば、カラーフィル
ターの製造方法によっては一般的なフォトリソ工程のみ
で微細パターン化でき、工程の簡素化は可能となる。
しかし、この様な感光性樹脂に着色材料を混合した着
色樹脂を用いてカラーフィルターを形成する場合、一般
に露光波長域における着色材料自体の光吸収があるた
め、感光性樹脂の光硬化に必要な露光エネルギーは通常
よりかなり大きなものとなる。
一般に、感光性樹脂に対する露光時の光強度は、光照
射面から深さ方向に入っていくに従い、指数関数的に減
少していく。従って、感光性樹脂に、さらに光吸収特性
をもつ着色材料の混入による光照射面から深さ方向に対
する露光時の入射光強度の減衰は、著しく大きくなり、
場合によっては感光性着色樹脂膜の底部に当たる基板と
の界面付近での光硬化が不充分となり、現像時に膜ハガ
レ等を生じることがあった。
また、この露光時の入射光強度の減衰を補うため、露
光エネルギーを非常に大きくすると、着色材料自身の劣
化を生じることもあった。
さらに、着色樹脂膜表面は、着色材料の混入により、
表面の粗れが生じ、カラーフィルター表面における散乱
を伴ない、カラーフィルターの光学的性能を落とす上、
液晶表示素子内面に構成させる場合では、液晶分子の配
向を乱すこともあった。
この様に、感光性樹脂に着色材料を混合した着色樹脂
を用いてカラーフィルターを形成する場合、そのプロセ
スにおけるカラーフィルター膜の安定性、耐久性、そし
てカラーフィルターとしての性能上の問題が残されてい
た。
上述の欠点を解消せしめるために、本出願人は既に特
願昭62−22461号(特開昭63−191104号公報)を出願
し、より少ない露光エネルギーで効率的にパターン形成
できると共に、露光時の着色材料自体の劣化を防ぎ、膜
の深さ方向での光硬化のバラツキを減らし、かつ表面状
態のより平滑な着色樹脂膜を有するカラーフィルターを
提案した。このカラーフィルターは、感光性樹脂中に少
なくとも着色材料を分散してなる着色樹脂を用い、フォ
トリソ工程の繰り返しにより形成される複数のパターン
状着色樹脂層を有するカラーフィルターにおいて、該着
色材料を着色樹脂層の表面部から底部にかけて次第に多
く分散させてなるものである。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記の着色材料を用いて透明基板上に
直接カラーフィルターを形成して行くと、各色間での膜
厚のバラツキが発生し、さらに各色の間にすき間ができ
る。これらのバラツキやすき間は、その上にオーバーコ
ートを施してもなくすことはできず、例えば、強誘電性
液晶を用いたパネルを製造する際には、上記のバラツキ
やすき間の影響により、表示品位が悪くなり、甚だしい
場合には表示できなくなることもある。
この様な欠点を補う一つの方法として、透明基板上に
無機質のポーラスな膜(口径数百〜数千Å)を形成し、
この穴の中に着色材料を含浸せしめる方法が試みられて
いる。無機質材料としては、ガラス,SiO2,Ta2O5,Al2O3,
WO3等々種々の材料が用いられる。
しかしながら、この方法においては、上記無機質のポ
ーラスな膜を設ける必要があり、上記従来例において、
カラーフィルター形成時に無機質膜の形成という余分な
工程が入る欠点がある。
本発明は、この様な従来技術の欠点を改善するために
なされたものであり、ポーラスな透明電極を用い、この
穴の中に着色材料を含浸させてカラーフィルターを形成
することにより、従来の様な着色層を特別に設けること
なく、しかも表面状態が通常形成したITO膜と同様で良
好なカラーフィルター付き基板を提供することを目的と
するものである。
[課題を解決するための手段] 即ち、本発明は、透明基板上にポーラスな透明導電膜
を設け、該透明導電膜に有機着色材料を含浸せしめて着
色パターンを形成してなることを特徴とするカラーフィ
ルター付き基板である。
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明のカラーフィルター付き基板を使用し
た液晶セルの一例を示す部分断面図である。同図におい
て、1,1′は透明基板、2は透明電極、2′はポーラス
な透明電極であり、穴12の中に有機着色材料11が含浸さ
せている。3,3′は透明絶縁層であり、4,4′は液晶を配
向させる為の配向膜、5はセルギャップを保持する為の
ギャップ材、6は液晶である。
第1図において、本発明のカラーフィルター付き基板
は、透明基板1′上にポーラスな透明導電膜からなるポ
ーラスな透明電極2′を設け、該ポーラスな透明導電膜
の穴12に有機着色材料11を含浸せしめて着色パターンを
形成してなるものである。
本発明のポーラスな透明電極2′は、好ましくは溶媒
を含有するITO(インジウム チン オキサイド:Indium
Tin Oxide)膜を、印刷,スピンコート,ディッピング
(Dip)方式により基板上に塗布し、焼成して形成する
ことができる。この焼成時にITO膜中に含まれている溶
媒が気化し、その溶媒の通り道や跡が無数の穴となる。
穴の深さはまちまちで基板上に達するものから、浅いも
のもある。穴径は数千Å以下である為にポーラスな透明
電極の表面粗さにはほとんど影響しない。表面粗さの具
体的な数値としては、平均粗さで20Å程度であった。該
ITO膜の穴に有機着色材料をカラーフィルターのパター
ンに合わせて含浸させて着色パターンを形成することが
できる。有機着色材料としては、特に制限することなく
広範囲の染料又は顔料系の有機材料を用いることができ
る。また、前記有機着色材料には黒色の有機材料を用い
るのが好ましい。
本発明のポーラスな透明電極2′の最も特徴的な所
は、着色層が透明電極中に設けられ、しかも該透明電極
のITO膜の表面状態が通常形成したITO膜(スパッタ方法
など)と比較しても遜色ないことである。この特徴を最
も良く利用できるのが強誘電性液晶を用いたデバイスで
ある。強誘電性液晶は表面の凹凸にその配向が鋭敏であ
る為、平坦な下地層を要求するからである。
[作用] 本発明のカラーフィルター付き基板は、透明基板上に
ポーラスな透明導電膜を設けて電極として用いる透明電
極をポーラスな状態とし、該透明導電膜の穴の中に有機
着色材料を含浸せしめて所定の着色パターンを形成して
なるので、ポーラスな透明電極の表面には段差がなく、
平坦に形成することができる。
[実施例] 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明す
る。
実施例1 第1図の液晶セルに強誘電性液晶を用いたディスプレ
イ・デバイスについて説明する。
1及び1′の透明基板には青板ガラス(厚さ1.1mm)
を用いて、表面を研磨する。透明基板1上に、共通電極
として2の透明電極にITO膜をスパッタ方法にて1500Å
の厚さに形成する。このときのITO膜の表面粗さは20Å
程度であった。一方、透明基板1′上に情報電極とし
て、有機溶媒として下述の有機・スズ・インジウム化合
物を10wt%以上含有するITO膜形成液を印刷方法にて塗
布・焼成し、5000Åの膜厚のITO膜を得た。この後、表
示領域に必要な画素にあわせてR,G,B各色の有機材料
(顔料及び染料)をフォトリソ工程により含浸させ、IT
O膜の穴の中に含浸させた。この後、3,3′のSiO2系の絶
縁層を印刷にて形成し、焼成して1000Åの膜厚とし、こ
の上に配向膜を印刷にて形成し焼成して200Åの厚さに
形成した。ギャプ材にはSiO2系の1.3μmの径をもつビ
ーズを用い、共通及び情報電極を備えた上記透明基板1,
1′を貼り合わせ、このセル中に強誘電性液晶を注入
し、ディスプレイ・デバイスを作成した。
この様にして作成したディスプレイ・デバイスは、カ
ラーフィルターの厚みから淡い色合のカラーディスプレ
イとなり、目にやさしい色調のデバイスが得られた。
本発明で用いうる有機インジウム化合物としては、例
えばInOC3H73,InOC2H5などのアルコキシイン
ジウム化合物やインジウムアセチルアセトネートなどを
用いることができる。又、有機スズ化合物としては、テ
トラメチルスズ,テトラエチルスズ,テトラプロピルス
ズ,などのアルキルスズ,メチルトリクロルスズ,ジメ
チルジクロルスズ,トリメチルクロルスズなどのハロゲ
ロアルキルスズ,トリメトキシクロルスズ,エトキシト
リクロルスズ,ジエトキシジクロルスズなどのハロゲノ
アルコキシスズ,テトラメトキシスズ,テトラエトキシ
スズなどのアルコキシスズなどを用いることができる。
本実施例では、有機インジウム化合物と有機スズ化合物
を適当な割合で混合して用いる。混合比率は、有機イン
ジウム化合物1重量部に対して有機スズ化合物を0.01重
量部〜100重量部とすることができる。又、上述の有機
スズインジウム化合物の混合物は、適当な有機溶媒、例
えばエタノール,メタノール,ブタノール,イソプロピ
ルアルコールなどのアルコール類,アセトン,メチルエ
チルケトン,ジメチルケトンなどのケトン類,テトラヒ
ドロフラン,ジオキサンなどの環式エーテル類又は、こ
れらの混合溶媒に0.1〜30重量%の割合で溶解されて用
いることができる。
特に、本発明では、ボーラスなITO膜を形成する上
で、グリセリンなどの高沸点溶媒を10重量%程度含有さ
せるのがよい。
実施例2 第2図(a)は、本発明のカラーフィルター付き基板
を使用した液晶セルの他の例を示す部分平面図面、第2
図(b)はそのAA線断面図である。同図は黒色の有機着
色材料を用い、単純マトリクスタイプの液晶パネルの画
素間からの光漏れを防いだものである。
第2図において、7,8はITOを各々印刷・焼成して5000
Åの厚さに形成した共通及び情報電極であるポーラスな
透明電極、9は情報電極上に設けた共通電極間(画素
間)部の光漏れ防止用の黒色の有機着色材料を含有した
領域、10は共通電極上に設けた情報電極間(画素間)部
の光漏れ防止用の黒色の有機着色材料を含浸した領域、
3、3′は印刷方式によって形成した絶縁膜、4、4′
は印刷方式によって形成した配向膜、6は液晶、5はギ
ャップ材である。10で用いた黒色の有機着色材料にはア
クリル系の樹脂中にカーボン粒子を分散させた材料を用
いた。
このときの透過率は約20%程度であり、ディスプレイ
としては満足できるものであった。この光漏れを防ぐこ
とで、白黒時のコントラストが良くなった。
[発明の効果] 以上説明した様に、本発明によれば、ポーラスな透明
電極を用い、この穴の中に着色材料を含浸させてカラー
フィルターを形成することにより、従来の様な着色層を
特別に設けることなく、しかも表面状態が通常形成した
ITO膜と同等で良好なカラーフィルター付き基板を得る
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のカラーフィルター付き基板を使用した
液晶セルの一例を示す部分断面図および第2図(a)は
本発明のカラーフィルター付き基板を使用した液晶セル
の他の例を示す部分平面図、第2図(b)はそのAA線断
面図である。 1,1′……透明基板、2……透明電極 2′,7,8,9,10……ポーラスな透明電極 3,3′……絶縁層、4,4′……配向膜 5……ギャップ材、6……液晶 11……有機着色材料、12……穴

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】透明基板上にポーラスな透明導電膜を設
    け、該透明導電膜に有機着色材料を含浸せしめて着色パ
    ターンを形成してなることを特徴とするカラーフィルタ
    ー付き基板。
  2. 【請求項2】前記有機着色材料が黒色である請求項1記
    載のカラーフィルター付き基板。
JP22658690A 1990-08-30 1990-08-30 カラーフィルター付き基板 Expired - Fee Related JP2700945B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22658690A JP2700945B2 (ja) 1990-08-30 1990-08-30 カラーフィルター付き基板
US07/750,506 US5177627A (en) 1990-08-30 1991-08-27 Electrode plate with conductive color filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22658690A JP2700945B2 (ja) 1990-08-30 1990-08-30 カラーフィルター付き基板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04109219A JPH04109219A (ja) 1992-04-10
JP2700945B2 true JP2700945B2 (ja) 1998-01-21

Family

ID=16847500

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22658690A Expired - Fee Related JP2700945B2 (ja) 1990-08-30 1990-08-30 カラーフィルター付き基板

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5177627A (ja)
JP (1) JP2700945B2 (ja)

Families Citing this family (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5482803A (en) * 1992-02-07 1996-01-09 Canon Kabushiki Kaisha Process for preparing filter
US5548428A (en) * 1992-07-27 1996-08-20 Canon Kabushiki Kaisha Process for injecting ferroelectric liquid crystal with injection completed above atmospheric pressure
JP2814171B2 (ja) * 1992-08-19 1998-10-22 キヤノン株式会社 液晶パネルの製造方法
US5552911A (en) * 1992-10-19 1996-09-03 Canon Kabushiki Kaisha Color liquid crystal display device having varying cell thickness and varying pixel areas
JPH06331974A (ja) * 1993-05-26 1994-12-02 Canon Inc カラー液晶表示装置
US5835167A (en) * 1994-12-21 1998-11-10 Philips Electronics North America Plasma addressed liquid crystal display with reduced column voltages
JP3296719B2 (ja) * 1995-07-14 2002-07-02 キヤノン株式会社 カラー液晶表示素子及び該カラー液晶表示素子の製造方法
US6888608B2 (en) * 1995-09-06 2005-05-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Liquid crystal display device
TW373098B (en) * 1995-09-06 1999-11-01 Toshiba Corp Liquid crystal exposure component and its fabricating method
EP0782039A3 (en) 1995-12-27 1998-06-17 Canon Kabushiki Kaisha Display device and process for producing same
US5899550A (en) * 1996-08-26 1999-05-04 Canon Kabushiki Kaisha Display device having different arrangements of larger and smaller sub-color pixels
JP3566028B2 (ja) * 1997-05-15 2004-09-15 シャープ株式会社 液晶表示装置及びその製造方法
JP2000105386A (ja) 1998-07-31 2000-04-11 Sharp Corp 液晶表示装置およびその製造方法
JP4320564B2 (ja) * 2002-06-28 2009-08-26 日亜化学工業株式会社 透明導電膜形成用組成物、透明導電膜形成用溶液および透明導電膜の形成方法
US7209107B2 (en) * 2002-11-06 2007-04-24 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device and manufacturing method for the same
US7011529B2 (en) * 2004-03-01 2006-03-14 Anritsu Company Hermetic glass bead assembly having high frequency compensation
US20050255253A1 (en) * 2004-05-13 2005-11-17 White John M Apparatus and methods for curing ink on a substrate using an electron beam
US20050253917A1 (en) * 2004-05-13 2005-11-17 Quanyuan Shang Method for forming color filters in flat panel displays by inkjetting
US20070042113A1 (en) * 2004-11-04 2007-02-22 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet printing color filters for displays using pattern data
US20060092218A1 (en) * 2004-11-04 2006-05-04 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet printing
US20060093751A1 (en) * 2004-11-04 2006-05-04 Applied Materials, Inc. System and methods for inkjet printing for flat panel displays
US7413272B2 (en) * 2004-11-04 2008-08-19 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for precision control of print head assemblies
US20060109296A1 (en) * 2004-11-04 2006-05-25 Bassam Shamoun Methods and apparatus for inkjet printing color filters for displays
US7556334B2 (en) * 2004-11-04 2009-07-07 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for aligning print heads
KR101121997B1 (ko) * 2004-12-31 2012-02-29 엘지디스플레이 주식회사 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판 및 그의 제조 방법
US20060159843A1 (en) * 2005-01-18 2006-07-20 Applied Materials, Inc. Method of substrate treatment for manufacturing of color filters by inkjet printing systems
US20060185587A1 (en) * 2005-02-18 2006-08-24 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for reducing ink conglomerates during inkjet printing for flat panel display manufacturing
US20070015847A1 (en) * 2005-07-15 2007-01-18 Applied Materials, Inc. Red printing ink for color filter applications
US7460267B2 (en) 2005-07-15 2008-12-02 Applied Materials, Inc. Green printing ink for color filter applications
US7544723B2 (en) * 2005-07-15 2009-06-09 Applied Materials, Inc. Blue printing ink for color filter applications
TWI318685B (en) * 2005-07-28 2009-12-21 Applied Materials Inc Methods and apparatus for concurrent inkjet printing and defect inspection
US20070065571A1 (en) * 2005-09-19 2007-03-22 Applied Materials. Inc. Method and apparatus for manufacturing a pixel matrix of a color filter for a flat panel display
US20070070132A1 (en) * 2005-09-27 2007-03-29 Fan-Cheung Sze Inkjet delivery module
US20070070109A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 White John M Methods and systems for calibration of inkjet drop positioning
US20070076040A1 (en) * 2005-09-29 2007-04-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjet nozzle calibration
US20080018677A1 (en) * 2005-09-29 2008-01-24 White John M Methods and apparatus for inkjet print head cleaning using an inflatable bladder
US7611217B2 (en) * 2005-09-29 2009-11-03 Applied Materials, Inc. Methods and systems for inkjet drop positioning
US20070068560A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Quanyuan Shang Methods and apparatus for inkjet print head cleaning
JP2007298950A (ja) * 2006-02-07 2007-11-15 Applied Materials Inc カラーフィルタのムラ不整を低減するための方法及び装置
US20070263026A1 (en) * 2006-04-29 2007-11-15 Quanyuan Shang Methods and apparatus for maintaining inkjet print heads using parking structures
US20070256709A1 (en) * 2006-04-29 2007-11-08 Quanyuan Shang Methods and apparatus for operating an inkjet printing system
US20070252863A1 (en) * 2006-04-29 2007-11-01 Lizhong Sun Methods and apparatus for maintaining inkjet print heads using parking structures with spray mechanisms
US20080024532A1 (en) * 2006-07-26 2008-01-31 Si-Kyoung Kim Methods and apparatus for inkjet printing system maintenance
US20080022885A1 (en) * 2006-07-27 2008-01-31 Applied Materials, Inc. Inks for display device manufacturing and methods of manufacturing and using the same
WO2008013902A2 (en) * 2006-07-28 2008-01-31 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for improved manufacturing of color filters
US20080030562A1 (en) * 2006-08-02 2008-02-07 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for improved ink for inkjet printing
US20080204501A1 (en) * 2006-12-01 2008-08-28 Shinichi Kurita Inkjet print head pressure regulator
US7803420B2 (en) * 2006-12-01 2010-09-28 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for inkjetting spacers in a flat panel display
US7857413B2 (en) * 2007-03-01 2010-12-28 Applied Materials, Inc. Systems and methods for controlling and testing jetting stability in inkjet print heads
WO2009029890A1 (en) * 2007-08-29 2009-03-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for modular print head and adapter and rotation thereof with inkjet printer systems
US7637587B2 (en) * 2007-08-29 2009-12-29 Applied Materials, Inc. System and method for reliability testing and troubleshooting inkjet printers
US20090141218A1 (en) * 2007-10-26 2009-06-04 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for curing pixel matrix filter materials
US8164727B2 (en) * 2009-11-30 2012-04-24 Rensselaer Polytechnic Institute Liquid crystal display with refractive index matched electrodes

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5694386A (en) * 1979-12-27 1981-07-30 Suwa Seikosha Kk Liquiddcrystal display unit
JPS5716407A (en) * 1980-07-03 1982-01-27 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Manufacture for stripe filter
JPS5774707A (en) * 1980-10-29 1982-05-11 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Production of stripe filter
JPS5846325A (ja) * 1981-09-14 1983-03-17 Sharp Corp カラ−液晶表示装置のセル構造
US5082351A (en) * 1981-09-16 1992-01-21 Manchester R & D Partnership Encapsulated liquid crystal material, apparatus and method
JPS599639A (ja) * 1982-07-07 1984-01-19 Canon Inc 液晶表示素子
JPS602919A (ja) * 1983-06-17 1985-01-09 Sharp Corp 液晶表示素子
JPS6078401A (ja) * 1983-10-05 1985-05-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 色フイルタおよびその製造方法
JPS60129707A (ja) * 1983-12-16 1985-07-11 Agency Of Ind Science & Technol カラーフィルター,カラー液晶表示装置およびそれらの製造方法
JPS60184205A (ja) * 1984-03-02 1985-09-19 Toray Ind Inc カラ−フイルタ用耐熱着色ペ−ストの製造法
JPS60184204A (ja) * 1984-03-02 1985-09-19 Toray Ind Inc カラ−フイルタ用耐熱性着色ペ−スト
JPS60184203A (ja) * 1984-03-02 1985-09-19 Toray Ind Inc カラ−フイルタ用の耐熱着色ペ−スト
JPH0690324B2 (ja) * 1984-03-02 1994-11-14 東レ株式会社 カラ−フイルタ用耐熱着色ペ−スト
JPS60263123A (ja) * 1984-06-12 1985-12-26 Citizen Watch Co Ltd カラ−液晶パネル
JPS6151128A (ja) * 1984-08-20 1986-03-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラ−液晶表示装置
JPS61245138A (ja) * 1985-04-23 1986-10-31 Citizen Watch Co Ltd カラ−液晶セル
DE3523440A1 (de) * 1985-06-29 1987-01-08 Swf Auto Electric Gmbh Anzeigeeinrichtung mit einer elektrooptischen zelle

Also Published As

Publication number Publication date
US5177627A (en) 1993-01-05
JPH04109219A (ja) 1992-04-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2700945B2 (ja) カラーフィルター付き基板
JP3332515B2 (ja) カラーフィルタ、その製造方法及び液晶パネル
US6399257B1 (en) Color filter manufacturing method, color filter manufactured by the method, and liquid crystal device employing the color filter
JPH08136910A (ja) カラー液晶表示装置およびその製造方法
JPH04356021A (ja) 強誘電性液晶カラーパネル
JP3232866B2 (ja) カラー液晶表示装置の製造方法
JP2000171629A (ja) カラーフィルタとその製造方法、液晶素子
US5736278A (en) Color filter having light screening resin layer and filter resin layer
JP3190219B2 (ja) 液晶用カラーフィルターの製造方法及び液晶用カラーフィルター及び該カラーフィルターを具備する液晶パネル
JP4261657B2 (ja) カラーフィルタの製造方法
KR100226641B1 (ko) 칼라 필터의 제조 방법
JP2000147241A (ja) カラ―フィルタの製造方法、この製造方法で製造されたカラ―フィルタを用いた液晶素子及びインクジェットヘッド
JPH10123315A (ja) カラーフィルターの製造方法
JP2002341128A (ja) カラーフィルターおよび液晶表示素子の製造方法
JPH08230314A (ja) カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及びこれを用いた液晶パネル
JP3576288B2 (ja) カラーフィルタの製造方法
JPH08271715A (ja) カラーフィルタおよびその製造方法ならびに液晶表示装置
JPH10197716A (ja) 液晶用カラーフィルターの製造方法
JP2001166122A (ja) カラーフィルタとその製造方法、該カラーフィルタを用いた液晶素子
JPH08327995A (ja) カラー液晶表示装置の製造方法
JPH04217253A (ja) 感光性着色材料
JPS62269928A (ja) カラ−フイルタ−
JPH07120611A (ja) カラーフィルタ及びその製造方法
JPH10148713A (ja) カラーフィルター
JPH08248406A (ja) カラー液晶表示装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees