JPS6078401A - 色フイルタおよびその製造方法 - Google Patents
色フイルタおよびその製造方法Info
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- JPS6078401A JPS6078401A JP58186465A JP18646583A JPS6078401A JP S6078401 A JPS6078401 A JP S6078401A JP 58186465 A JP58186465 A JP 58186465A JP 18646583 A JP18646583 A JP 18646583A JP S6078401 A JPS6078401 A JP S6078401A
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- transparent resin
- resin film
- color filter
- film pattern
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明の方法は液晶表示板あるいは単管や単板カラービ
デオカメラの撮像部に用いるモザイク状( あるいはストライプ状の分光フィルタの製造方法に関す
るものである。
デオカメラの撮像部に用いるモザイク状( あるいはストライプ状の分光フィルタの製造方法に関す
るものである。
従来例の構成とその問題点
従来の製造方法は、第1図(a)〜(d)に示すような
方法が一般的に用いられていた。すなわち、光学研磨を
施したガラス基板1上に、ポリビニルアルコール、グリ
ユー、ゼラチン、カゼイン等に、重クロム酸アンモン等
で感光性を付与した感光液を、ローラーコート、ディッ
ピンダ、スピンナー等で均一に塗布し、乾燥した後マス
ク露光法で1色目のパターン部分たけ光硬化させ、現像
して必要なパターン以外を除去して染色ベース膜2を形
成した後に、所定の分光特性を有する染料で、1色目の
パターンを染色する。次に染料で染色されるこ。
方法が一般的に用いられていた。すなわち、光学研磨を
施したガラス基板1上に、ポリビニルアルコール、グリ
ユー、ゼラチン、カゼイン等に、重クロム酸アンモン等
で感光性を付与した感光液を、ローラーコート、ディッ
ピンダ、スピンナー等で均一に塗布し、乾燥した後マス
ク露光法で1色目のパターン部分たけ光硬化させ、現像
して必要なパターン以外を除去して染色ベース膜2を形
成した後に、所定の分光特性を有する染料で、1色目の
パターンを染色する。次に染料で染色されるこ。
とのない透明な防染膜3を全面に塗布する(第1図(&
))。
))。
次に、同様にして第1図(b)に示すように前記と同じ
感光液を均一に塗布し、乾燥した後マスク露光法で露光
現像して、2色目の染色ベース膜4を形成後所定の分光
特性を有する第2の染料で染色する。さらに、前記透明
な防染膜6を全面に塗布する。
感光液を均一に塗布し、乾燥した後マスク露光法で露光
現像して、2色目の染色ベース膜4を形成後所定の分光
特性を有する第2の染料で染色する。さらに、前記透明
な防染膜6を全面に塗布する。
次に同様にして、第1図(C)に示すように、前記と同
じ感光液全均一に塗布し、乾燥した後、マスク露光法で
露光現像して、3色目の染色ベース膜6を形成し、所定
の分光特性を有する第3の染料で染色する。
じ感光液全均一に塗布し、乾燥した後、マスク露光法で
露光現像して、3色目の染色ベース膜6を形成し、所定
の分光特性を有する第3の染料で染色する。
最後に、ドッグコート7を塗布して、第1図(d)に示
すような色フィルタが製造される。なお、第1図(C)
は(d)のX−X/線断面に相当するものである。
すような色フィルタが製造される。なお、第1図(C)
は(d)のX−X/線断面に相当するものである。
しかしながら、従来の製造方法では、染色ベース膜にセ
ラチン等の天然タンパクを用い、染料も酸性染料を用い
ているため、耐熱、耐光性が劣り、色フィルタ上に透明
電極例えばITO膜等を形成する場合には、色劣化がは
げしく有用性に乏しがった。なお、I TO′f:蒸着
法で形成する場合、基板温度は、最低220℃、30分
程度の耐熱性を必要とするが、ゼラチン−酸性染料フィ
ルタでは耐熱性180℃、30分程度であった。
ラチン等の天然タンパクを用い、染料も酸性染料を用い
ているため、耐熱、耐光性が劣り、色フィルタ上に透明
電極例えばITO膜等を形成する場合には、色劣化がは
げしく有用性に乏しがった。なお、I TO′f:蒸着
法で形成する場合、基板温度は、最低220℃、30分
程度の耐熱性を必要とするが、ゼラチン−酸性染料フィ
ルタでは耐熱性180℃、30分程度であった。
発明の目的
本発明の目的は、ITOの蒸着に耐える耐熱。
耐光性の有機色フィルタおよびその製造方法を提供する
ことにある。
ことにある。
発明の構成
本発明は、所定の基板上に形成された複数色で複数個の
モザイク状またはストライブ状の着色剤全含有するベー
ス膜パターンが、それぞれ耐熱耐光性で感光性を有する
透明樹脂膜で覆われていることを特徴とし、さらにその
製造方法を提供するものである。
モザイク状またはストライブ状の着色剤全含有するベー
ス膜パターンが、それぞれ耐熱耐光性で感光性を有する
透明樹脂膜で覆われていることを特徴とし、さらにその
製造方法を提供するものである。
実施例の説明
あらかじめ、所定の分光特性例えば赤色を有する耐熱耐
光性の着色剤〔例えばオラゾール(チバガイキー社)パ
リファーストカラ、オプラスカラ−(オリエント化学)
等の油溶性染料や顔料〕を添加し7た耐熱耐光性樹脂膜
11R〔例えばFIX−2400、HL−110,0E
(日立化成〕、バイラリン(デュポン)等の芳香族ポ
リアミド、ポリイミド等。以下着色ベース材という〕を
所定の基板12(ガラス、石英、サファイヤ、固体撮像
素子、液晶駆動マトリックス等)上に所定の分光特性に
なるように塗布形成する〔第2図a〕。
光性の着色剤〔例えばオラゾール(チバガイキー社)パ
リファーストカラ、オプラスカラ−(オリエント化学)
等の油溶性染料や顔料〕を添加し7た耐熱耐光性樹脂膜
11R〔例えばFIX−2400、HL−110,0E
(日立化成〕、バイラリン(デュポン)等の芳香族ポ
リアミド、ポリイミド等。以下着色ベース材という〕を
所定の基板12(ガラス、石英、サファイヤ、固体撮像
素子、液晶駆動マトリックス等)上に所定の分光特性に
なるように塗布形成する〔第2図a〕。
次に、耐熱耐光性で感光性を有する透明樹脂膜13(例
えば、増感材等を全く含まず透明性の良いメタクリロイ
ロカルコンとクリシジルメタクリレート共重合物等)を
全面に塗布形成して、ホトマスク14R’i用いて露光
する(第2図b)。
えば、増感材等を全く含まず透明性の良いメタクリロイ
ロカルコンとクリシジルメタクリレート共重合物等)を
全面に塗布形成して、ホトマスク14R’i用いて露光
する(第2図b)。
その後、透明樹脂膜の未露光部のみを溶解する溶剤(例
えば、メチルエチルケトンナイソプロピルアルコール)
で現像して、透明樹脂膜パターン16Ri形成した後、
熱処理を施して、さらに着色ベース膜11Rのみを溶解
する溶剤(例えばミクロヘキサノン等)で、透明樹脂膜
パターン16Hの下部の着色ベース膜16R(i−残し
て信金溶解除去する(第2図C)。
えば、メチルエチルケトンナイソプロピルアルコール)
で現像して、透明樹脂膜パターン16Ri形成した後、
熱処理を施して、さらに着色ベース膜11Rのみを溶解
する溶剤(例えばミクロヘキサノン等)で、透明樹脂膜
パターン16Hの下部の着色ベース膜16R(i−残し
て信金溶解除去する(第2図C)。
以下、透明樹脂膜パターン15R’i残したま5でもう
一度熱処理を施し他の色例えば緑色の着色ベース11c
r、、 II色の着色ベース11Bの順で上述と同じ工
程をくり返して3色16R、16G 。
一度熱処理を施し他の色例えば緑色の着色ベース11c
r、、 II色の着色ベース11Bの順で上述と同じ工
程をくり返して3色16R、16G 。
16Bの色フィルタを形成する(第2図d)。
なお、この構造では耐熱性は260℃、1時間程度にま
で向上できるので、本発明の一つの目的であるITOの
蒸着も容易に行うことができた。
で向上できるので、本発明の一つの目的であるITOの
蒸着も容易に行うことができた。
発明の効果
本発明の方法を用いれば、従来のようなベース膜全染色
する必要がないため、着色材として酸性染料に比べて大
幅に耐熱耐光性の良い物質音用いることができ、従来の
ゼラチン・酸性染料系色フィルタに比べ大幅に信頼性全
向上できる。すなわち本発明の色フィルタは表面にIT
Oi蒸着形成することが可能なため、カラー液晶表示装
置にも十分使用可能な有機フィルタである。また、製造
工程で一度形成した透明樹脂膜バメーンは除去すること
すく、着色ベース膜パターンの保護膜として用いるため
、着色ベース膜パターンが脱色されたり、表面の荒れが
生じて失透することもない。
する必要がないため、着色材として酸性染料に比べて大
幅に耐熱耐光性の良い物質音用いることができ、従来の
ゼラチン・酸性染料系色フィルタに比べ大幅に信頼性全
向上できる。すなわち本発明の色フィルタは表面にIT
Oi蒸着形成することが可能なため、カラー液晶表示装
置にも十分使用可能な有機フィルタである。また、製造
工程で一度形成した透明樹脂膜バメーンは除去すること
すく、着色ベース膜パターンの保護膜として用いるため
、着色ベース膜パターンが脱色されたり、表面の荒れが
生じて失透することもない。
さらに、2色目以降の着色ベース膜パターンを形成する
際にも色が混じることも無い。さらにまた、着色ベース
膜中の着色材濃度と塗布膜厚で分光特性を制御できるの
で、従来のものに比べ精度が良い。
際にも色が混じることも無い。さらにまた、着色ベース
膜中の着色材濃度と塗布膜厚で分光特性を制御できるの
で、従来のものに比べ精度が良い。
第1図(八)〜(C)は従来の色フィルタの製造プロセ
スを説明するための工程断面図、第1図(d)は上面図
、第2図(&)〜(d)は本発明の一実施例の方法全説
明するための工程断面図である。 12・・・・・・基板、11R・・・・・・着色ベース
膜、16R115G、15B・・・・・・透明樹脂膜パ
ターン、16R916c!、 16B・・・・・・ベー
ス膜パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名2図
スを説明するための工程断面図、第1図(d)は上面図
、第2図(&)〜(d)は本発明の一実施例の方法全説
明するための工程断面図である。 12・・・・・・基板、11R・・・・・・着色ベース
膜、16R115G、15B・・・・・・透明樹脂膜パ
ターン、16R916c!、 16B・・・・・・ベー
ス膜パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名2図
Claims (3)
- (1)所定の基板上に形成された複数色で複数個のモザ
イク状またはストライプ状の着色剤を含有するベース膜
パターンが、それぞれ耐熱耐光性で感光性を有する透明
樹脂膜パターンで覆われていることを特徴とした色フィ
ルタ。 - (2)ベース膜材料が芳香族ポリアミドまたは芳香族ポ
リイミドよりなり、感光性を有する透明樹脂膜パターン
がカルコン基を含有する感光性樹脂よりなることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の色フィルタ。 - (3)所定の基板上へ着色剤を含有したベース膜を塗布
形成する工程と、前記ベース膜上に感光性を有する透明
樹脂膜を塗布形成し、任意のホトマスクを用い露光現像
し、透明樹脂膜パターンを形成する工程と、前記透明樹
脂膜パターン全マスクにベース膜をエッチラグする工程
、以下、前記透明樹脂膜パターンを残したままで、同じ
工程とくり返して多色のフィルタ全形成すること全特徴
とした色フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58186465A JPS6078401A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 色フイルタおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58186465A JPS6078401A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 色フイルタおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6078401A true JPS6078401A (ja) | 1985-05-04 |
Family
ID=16188940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58186465A Pending JPS6078401A (ja) | 1983-10-05 | 1983-10-05 | 色フイルタおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6078401A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61254905A (ja) * | 1985-05-08 | 1986-11-12 | Toray Ind Inc | カラ−フイルタ |
JPS62209513A (ja) * | 1986-02-24 | 1987-09-14 | ゼネラル エレクトリツク カンパニイ | 表示装置 |
JPS62212603A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-18 | Ube Ind Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
JPS63124002A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-27 | Canon Inc | カラーフィルター、その製造方法およびこれを用いた素子 |
EP0468358A2 (en) * | 1990-07-18 | 1992-01-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing electrode plate structure for liquid crystal color display device |
US5177627A (en) * | 1990-08-30 | 1993-01-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrode plate with conductive color filter |
US5412494A (en) * | 1990-08-30 | 1995-05-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device with metal oxide masking films with breaks between films under metal lead electrodes |
US5650251A (en) * | 1993-07-07 | 1997-07-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing color filter comprising an ultrasonic wave projected perpendicularly to the substrate |
US5671030A (en) * | 1990-08-30 | 1997-09-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal panel having a color filter with passivation and insulating layers extending to the seal |
US5721077A (en) * | 1990-11-16 | 1998-02-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing a color filter |
-
1983
- 1983-10-05 JP JP58186465A patent/JPS6078401A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US5671030A (en) * | 1990-08-30 | 1997-09-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal panel having a color filter with passivation and insulating layers extending to the seal |
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US5721089A (en) * | 1990-11-16 | 1998-02-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Photosensitive material, color filter and liquid crystal device having the color filter |
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US5701544A (en) * | 1993-07-07 | 1997-12-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing color filter |
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