JPS61295502A - カラ−フイルタの製法 - Google Patents
カラ−フイルタの製法Info
- Publication number
- JPS61295502A JPS61295502A JP60138284A JP13828485A JPS61295502A JP S61295502 A JPS61295502 A JP S61295502A JP 60138284 A JP60138284 A JP 60138284A JP 13828485 A JP13828485 A JP 13828485A JP S61295502 A JPS61295502 A JP S61295502A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明はカラーテレビ等に使用されるカラーフィルタ
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
[従来の技術]
従来、カラーフィルタの製法として、光硬化性樹脂に着
色剤を添加した光硬化性着色膜剤を用い、これをガラス
基板上に塗布乾燥させて所定のパターンのマスクを介し
て露光し部分的に硬化させ、未硬化部分を溶解させて、
−の色相を有する不溶化したストライブを形成する工程
を何回かくり返しておこない、たとえば、赤、緑、青の
三色によりストライブ状に形成したカラーフィルタを形
成する方法が知られている(特開昭57−16407号
)。
色剤を添加した光硬化性着色膜剤を用い、これをガラス
基板上に塗布乾燥させて所定のパターンのマスクを介し
て露光し部分的に硬化させ、未硬化部分を溶解させて、
−の色相を有する不溶化したストライブを形成する工程
を何回かくり返しておこない、たとえば、赤、緑、青の
三色によりストライブ状に形成したカラーフィルタを形
成する方法が知られている(特開昭57−16407号
)。
[発明が解決しようとする問題点]
一般に、カラーテレビ等に用いられるカラーフィルタは
、赤色、緑色、青色のストライブが数十μmから数百μ
m幅の微細なもので、三色のフィルタを決められた位置
に正確に形成するためにフィルタの基板にA1などの金
属膜で位置合せ用のマークを形成しておいて、これに各
色相のフォトマスクの位置合せ用のマークと合せて露光
現像している。しかし光硬化性着色膜剤を使う場合は膜
剤自体感光性を有するために、作業はイエロールームの
中で行なわなくてはならない。しかしイエロールーム内
では青色フィルタを形成しようとした場合、基板上に青
色の光硬化性着色膜剤を塗布した状態では、イエロール
ーム内では、青色が黄色の光を通さないために、基板全
体が真黒になって、位置合せ用のマークが見えず正確に
バターニングすることが難しかった。またマスク合せの
誤差により、どうしても隣接するフィルタ部間にフィル
タのない間隙ができてしまい、この部分は色が付かない
ため光をよく通し、輝いて見えるので欠陥が目立ち、色
度を低下させる。ざらに隣接するフィルタ部間に凹凸が
生じることになるので透明電極の断線や、液晶セルを形
成する場合には配向不良が生じる原因となっていた。
、赤色、緑色、青色のストライブが数十μmから数百μ
m幅の微細なもので、三色のフィルタを決められた位置
に正確に形成するためにフィルタの基板にA1などの金
属膜で位置合せ用のマークを形成しておいて、これに各
色相のフォトマスクの位置合せ用のマークと合せて露光
現像している。しかし光硬化性着色膜剤を使う場合は膜
剤自体感光性を有するために、作業はイエロールームの
中で行なわなくてはならない。しかしイエロールーム内
では青色フィルタを形成しようとした場合、基板上に青
色の光硬化性着色膜剤を塗布した状態では、イエロール
ーム内では、青色が黄色の光を通さないために、基板全
体が真黒になって、位置合せ用のマークが見えず正確に
バターニングすることが難しかった。またマスク合せの
誤差により、どうしても隣接するフィルタ部間にフィル
タのない間隙ができてしまい、この部分は色が付かない
ため光をよく通し、輝いて見えるので欠陥が目立ち、色
度を低下させる。ざらに隣接するフィルタ部間に凹凸が
生じることになるので透明電極の断線や、液晶セルを形
成する場合には配向不良が生じる原因となっていた。
1問題点を解決するための手段]
この発明は、光硬化性着色膜剤を基板に塗布し乾燥させ
る工程と、フォトマスクを使って露光させる工程と、現
像工程とをくり返しておこない、緑色および赤色のフィ
ルタをそれぞれパターン形成した後、青色の光硬化性着
色膜剤を塗布、乾燥し、これを基板の裏側から露光させ
、現像することにより基板上に緑色、赤色および青色の
三色のフィルタを隙間なく形成するようにしたものであ
る。
る工程と、フォトマスクを使って露光させる工程と、現
像工程とをくり返しておこない、緑色および赤色のフィ
ルタをそれぞれパターン形成した後、青色の光硬化性着
色膜剤を塗布、乾燥し、これを基板の裏側から露光させ
、現像することにより基板上に緑色、赤色および青色の
三色のフィルタを隙間なく形成するようにしたものであ
る。
[実施例1]
第1図において基板1は透明な月料たとえばガラスにて
形成され、この上に緑色の光硬化性着色膜剤2を塗布す
る。光硬化性着色膜剤2としてはゼラヂン水溶液に重ク
ロム酸アンモニウムを添加したものにざらに着色剤とし
ての染料または顔料を添加したものが用いられる。塗布
にはスピンナー法などを用いておこなう。これを乾燥さ
せた後、フォトマスク3を用いて部分的に紫外線露光さ
せる(第2図)。露光をうけなかった未硬化部分を現像
して溶解除去することにより緑色のフィルタ4が形成さ
れる。ついで赤色の光硬化性着色膜剤5を塗布、乾燥後
、フォトマスク6を用いて露光する(第4図〉。これを
現象して、赤色のフィルタ7を形成する(第5図)。つ
ぎに青色の光硬化性着色膜剤8を塗布、乾燥した後、基
板1の裏側からマスクを使わずに露光させる(第6図)
。すると、緑色および赤色のフィルタ4.7が形成され
た部分以外の部分だけが露光により硬化する。
形成され、この上に緑色の光硬化性着色膜剤2を塗布す
る。光硬化性着色膜剤2としてはゼラヂン水溶液に重ク
ロム酸アンモニウムを添加したものにざらに着色剤とし
ての染料または顔料を添加したものが用いられる。塗布
にはスピンナー法などを用いておこなう。これを乾燥さ
せた後、フォトマスク3を用いて部分的に紫外線露光さ
せる(第2図)。露光をうけなかった未硬化部分を現像
して溶解除去することにより緑色のフィルタ4が形成さ
れる。ついで赤色の光硬化性着色膜剤5を塗布、乾燥後
、フォトマスク6を用いて露光する(第4図〉。これを
現象して、赤色のフィルタ7を形成する(第5図)。つ
ぎに青色の光硬化性着色膜剤8を塗布、乾燥した後、基
板1の裏側からマスクを使わずに露光させる(第6図)
。すると、緑色および赤色のフィルタ4.7が形成され
た部分以外の部分だけが露光により硬化する。
その理由について説明すると、第8図でわかるとうり、
赤色のフィルタおよび緑色のフィルタの透過光R,Gは
ほとんどが、硬化剤である重クロム酸アンモニウムの感
光波長域より外れている。したがって緑色のフィルタ4
と赤色のフィルタ7の上に重ねて塗布された青色の光硬
化性着色膜剤8は硬化せず、その他の部分は露光して硬
化する。
赤色のフィルタおよび緑色のフィルタの透過光R,Gは
ほとんどが、硬化剤である重クロム酸アンモニウムの感
光波長域より外れている。したがって緑色のフィルタ4
と赤色のフィルタ7の上に重ねて塗布された青色の光硬
化性着色膜剤8は硬化せず、その他の部分は露光して硬
化する。
そして現像して青色のフィルタ9を形成するとともに、
緑色のフィルタ4と赤色のフィルタ7との間に隙き量子
〇がある場合には、ここにも青色のフィルタ9が形成さ
れる。要するに緑色と赤色のフィルタが形成された部分
以外はすべてセルフアライメントで青色フィルタが形成
されることになる。(第7図)。
緑色のフィルタ4と赤色のフィルタ7との間に隙き量子
〇がある場合には、ここにも青色のフィルタ9が形成さ
れる。要するに緑色と赤色のフィルタが形成された部分
以外はすべてセルフアライメントで青色フィルタが形成
されることになる。(第7図)。
[実施例2]
上記実施例の説明中において、第8図をみると、緑色フ
ィルタの透過光の一部が重クロム酸アンモニウムの感光
波長域(約250nm 〜520nm>に含まれる。し
たがって、第6図示のように基板1の裏側から露光した
場合、露光オーバーの場合や後の現像処理において現像
不足だと、緑色のフィルタ4の上に薄く青色のフィルタ
が残ることがある。そこでこのような問題を解決するた
め、第1図から第5図までの処理工程までは同じである
が、その後の処理において、第9図において、基板1上
に青色の光硬化性着色膜剤8を塗布、乾燥した後、基板
の裏側から露光する際、480nmより長波長をカット
するショートパスフィルタ11を通して露光させた。こ
の場合には、露光時間をオーバー気味にした場合におい
ても緑色フィルタ4上への青色残りがなかった。
ィルタの透過光の一部が重クロム酸アンモニウムの感光
波長域(約250nm 〜520nm>に含まれる。し
たがって、第6図示のように基板1の裏側から露光した
場合、露光オーバーの場合や後の現像処理において現像
不足だと、緑色のフィルタ4の上に薄く青色のフィルタ
が残ることがある。そこでこのような問題を解決するた
め、第1図から第5図までの処理工程までは同じである
が、その後の処理において、第9図において、基板1上
に青色の光硬化性着色膜剤8を塗布、乾燥した後、基板
の裏側から露光する際、480nmより長波長をカット
するショートパスフィルタ11を通して露光させた。こ
の場合には、露光時間をオーバー気味にした場合におい
ても緑色フィルタ4上への青色残りがなかった。
なお、第8図のグラフにおいて、350nmの近くから
短波長側に赤色フィルタの透過光R′の存在がみられる
が、一般に使用されるガラスは35Qnm位から透過率
が下り、300nm以下はほとんど透過しないので、3
50nm以下はガラス基板1がフィルタの)Ω目をして
おり、赤色フィルタの上に青色が残ることはない。
短波長側に赤色フィルタの透過光R′の存在がみられる
が、一般に使用されるガラスは35Qnm位から透過率
が下り、300nm以下はほとんど透過しないので、3
50nm以下はガラス基板1がフィルタの)Ω目をして
おり、赤色フィルタの上に青色が残ることはない。
[発明の効果]
上述の構成よりなる本発明によれば、青色のフィルタ部
分がセルフアライメントで正確に形成され、位置合せの
必要がないので質の良いカラーフィルタを得ることがで
き、また青色用のフォトマスクが不要になるのでその弁
製造コストの低下をはかることができる。また隣接する
フィルタ部分の間隙が青色フィルタにより形成されるの
で、白く恢けて見える部分がなくなり、その部分が一番
視感度の低い青色に染まるので欠陥が目立たず、色度の
低下を防止することができる。さらにカラーフィルタの
表面に凹凸が少ないので、透明電極を設けるとき断線の
おそれがなく、ざらにカラーフィルタを液晶セルとして
使う際、ラビング等の配向処理をほどこす場合も、凹凸
が少ないので液晶の配向を乱すことがない。
分がセルフアライメントで正確に形成され、位置合せの
必要がないので質の良いカラーフィルタを得ることがで
き、また青色用のフォトマスクが不要になるのでその弁
製造コストの低下をはかることができる。また隣接する
フィルタ部分の間隙が青色フィルタにより形成されるの
で、白く恢けて見える部分がなくなり、その部分が一番
視感度の低い青色に染まるので欠陥が目立たず、色度の
低下を防止することができる。さらにカラーフィルタの
表面に凹凸が少ないので、透明電極を設けるとき断線の
おそれがなく、ざらにカラーフィルタを液晶セルとして
使う際、ラビング等の配向処理をほどこす場合も、凹凸
が少ないので液晶の配向を乱すことがない。
第1図から第7図までは本発明の実施例を製造工程順に
示す説明図、第8図は赤色フィルタ、緑色フィルタ、青
色フィルタの各透過光R,G、Bの光透過率と波長との
関係を示ずグラノ、第9図は本発明の他の実施例の説明
図である。 1・・・・・・基板 2・・・・・・光硬化性着色膜剤 3・・・・・・フォトマスク 4・・・・・・緑色のフィルタ 5・・・・・・光硬化性着色膜剤 6・・・・・・フォトマスク 7・・・・・・赤色のフィルタ 8・・・・・・光硬化性着色膜剤 9・・・・・・青色のフィルタ 11・・・・・・フィルタ 以上
示す説明図、第8図は赤色フィルタ、緑色フィルタ、青
色フィルタの各透過光R,G、Bの光透過率と波長との
関係を示ずグラノ、第9図は本発明の他の実施例の説明
図である。 1・・・・・・基板 2・・・・・・光硬化性着色膜剤 3・・・・・・フォトマスク 4・・・・・・緑色のフィルタ 5・・・・・・光硬化性着色膜剤 6・・・・・・フォトマスク 7・・・・・・赤色のフィルタ 8・・・・・・光硬化性着色膜剤 9・・・・・・青色のフィルタ 11・・・・・・フィルタ 以上
Claims (2)
- (1)透明な基板の表面に、赤色と緑色の光硬化性着色
膜剤を用いて、塗布、乾燥する工程と、フォトマスクを
介して露光する工程と、現像する工程とにより、赤色の
フィルタと緑色のフィルタとをそれぞれパターン形成し
た後、上記基板の表面に青色の光硬化性着色膜剤を全面
に塗布、乾燥し、上記基板の裏側から全面露光して現像
し、青色のフィルタを形成することを特徴とするカラー
フィルタの製法。 - (2)上記青色の光硬化性着色膜剤を基板の裏側から露
光する際に、赤色または緑色のフィルタの透過光のうち
、上記光硬化性着色膜剤の感光波長域を反射または吸収
するフィルタを通しておこなう特許請求の範囲第1項の
カラーフィルタの製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60138284A JPS61295502A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60138284A JPS61295502A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61295502A true JPS61295502A (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=15218302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60138284A Pending JPS61295502A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61295502A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6480905A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of color filter |
JPH02115803A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Canon Inc | カラーフィルターの製法及び電極基板の製法 |
JPH02176602A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-09 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS584107A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 色分離フイルタ−の製造方法 |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP60138284A patent/JPS61295502A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS584107A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 色分離フイルタ−の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6480905A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of color filter |
JPH02115803A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Canon Inc | カラーフィルターの製法及び電極基板の製法 |
JP2749836B2 (ja) * | 1988-10-25 | 1998-05-13 | キヤノン株式会社 | カラーフィルターの製法及び電極基板の製法 |
JPH02176602A (ja) * | 1988-12-28 | 1990-07-09 | Canon Inc | カラーフィルタの製造方法 |
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