JPS61295504A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS61295504A JPS61295504A JP60138286A JP13828685A JPS61295504A JP S61295504 A JPS61295504 A JP S61295504A JP 60138286 A JP60138286 A JP 60138286A JP 13828685 A JP13828685 A JP 13828685A JP S61295504 A JPS61295504 A JP S61295504A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- color filter
- positioning
- photomask
- agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はカラーテレビ等に使用されるカラーフィルタ
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
［従来の技術］
従来、カラーフィルタの製法として、光硬化性樹脂に着
色剤を添加した光硬化性着色膜剤を用い、これをガラス
基板上に塗布乾燥させて所定のパターンのマスクを介し
て露光し部分的に硬化させ、未硬化部分を溶解させて、
−の色相を有する不溶化したストライプを形成する工程
を何回かくり返しておこない、たとえば、赤、緑、青の
三色によりストライプ状に形成したカラーフィルタを形
成する方法が知られている（特開昭５７−１６４０７号
）。一般に、カラーテレビ等に用いられるカラーフィル
タは、赤色、緑色、青色のストライプが数＋μｍから数
百μｍ幅の微細なもので、三色のフィルタを決められた
位置に正確に形成するために第８図示のように、基板１
１にＡ などの金属膜で位置合せ用のマーク１２．１３
を設けておき、これに各色相のフォトマスクの位置合せ
用のマーク１４を第９図示のように合せて露光させてい
る。
色剤を添加した光硬化性着色膜剤を用い、これをガラス
基板上に塗布乾燥させて所定のパターンのマスクを介し
て露光し部分的に硬化させ、未硬化部分を溶解させて、
−の色相を有する不溶化したストライプを形成する工程
を何回かくり返しておこない、たとえば、赤、緑、青の
三色によりストライプ状に形成したカラーフィルタを形
成する方法が知られている（特開昭５７−１６４０７号
）。一般に、カラーテレビ等に用いられるカラーフィル
タは、赤色、緑色、青色のストライプが数＋μｍから数
百μｍ幅の微細なもので、三色のフィルタを決められた
位置に正確に形成するために第８図示のように、基板１
１にＡ などの金属膜で位置合せ用のマーク１２．１３
を設けておき、これに各色相のフォトマスクの位置合せ
用のマーク１４を第９図示のように合せて露光させてい
る。
［発明が解決しようとする問題点］
カラーフィルタの膜剤として、光硬化性着色膜剤を使う
場合は、膜剤自体が感光性を有するために、作業は、イ
エロールーム中で行なわなくてはならない。しかし、イ
エロールームの内では、青色が黄色の光を通さないため
に、基板に青色の光硬化性着色膜剤を塗布すると基板全
体が真黒に見えてしまい、位置合せマークが非常に見難
いので正確な位置合せが困難であった。また青色のみな
らず、緑色や赤色の場合においても十分な着色をえるた
めに濃い膜剤を使用すると同様に見難くなっていた。
場合は、膜剤自体が感光性を有するために、作業は、イ
エロールーム中で行なわなくてはならない。しかし、イ
エロールームの内では、青色が黄色の光を通さないため
に、基板に青色の光硬化性着色膜剤を塗布すると基板全
体が真黒に見えてしまい、位置合せマークが非常に見難
いので正確な位置合せが困難であった。また青色のみな
らず、緑色や赤色の場合においても十分な着色をえるた
めに濃い膜剤を使用すると同様に見難くなっていた。
［問題点を解決するための手段］
この発明は基板の位置合せマークの部分にカラーフィル
タ膜剤が形成されないようにして、フォトマスクの基板
に対する位置合せか、容易にかつ正確にできるようにし
たものである。
タ膜剤が形成されないようにして、フォトマスクの基板
に対する位置合せか、容易にかつ正確にできるようにし
たものである。
［実施例１］
第１図を参照して、透明な基板１はガラスなどの材料で
つくられ、その右上および左下にＡ などの金属膜で位
置合せマーク２Ａ、２Ｂ、２Ｃ。
つくられ、その右上および左下にＡ などの金属膜で位
置合せマーク２Ａ、２Ｂ、２Ｃ。
３Ａ、３８．３Ｇを設けた位置合せマーク部２゜３があ
る。ここに、撥水剤４を塗布する（第２゜３図）。撥水
剤４は後で塗る膜剤が付かないようにするためのもので
、シリコンオイルなどを用いることができる。この基板
１上に−の色たとえば青色の光硬化性着色膜剤５を塗布
する。ここに用いる光硬化性着色膜剤５の例として、１
０％のゼラチン水゛溶液１００Ｑに、青色の酸性染料２
ｇと、感光剤として重クロム酸アンモニウム１ｇを添加
したものを用いる。これをスピンコードするが、位置合
せマーク部２，３は撥水剤４が必らかじめ塗布されてる
のでここには膜剤５は付着しない。
る。ここに、撥水剤４を塗布する（第２゜３図）。撥水
剤４は後で塗る膜剤が付かないようにするためのもので
、シリコンオイルなどを用いることができる。この基板
１上に−の色たとえば青色の光硬化性着色膜剤５を塗布
する。ここに用いる光硬化性着色膜剤５の例として、１
０％のゼラチン水゛溶液１００Ｑに、青色の酸性染料２
ｇと、感光剤として重クロム酸アンモニウム１ｇを添加
したものを用いる。これをスピンコードするが、位置合
せマーク部２，３は撥水剤４が必らかじめ塗布されてる
のでここには膜剤５は付着しない。
９０℃で数分間ベーク後、フォトマスク６を用いてパタ
ーン露光させる。その際、位置合せマーク部２，３には
膜剤５が被覆されていないので、位置合せが容易にかつ
正確にできる（第４図）。ついで６０℃の温水で現像し
て青色のカラーフィルタ７を形成する（第５図）。つぎ
に第２の色たとえば赤色の光硬化性着色膜剤を用いて、
上記青色の場合と同様の工程により赤色のカラーフィル
タ８を形成しく第６図）、最後に第３の色、たとえば緑
色のカラーフィルタ９を形成する。
ーン露光させる。その際、位置合せマーク部２，３には
膜剤５が被覆されていないので、位置合せが容易にかつ
正確にできる（第４図）。ついで６０℃の温水で現像し
て青色のカラーフィルタ７を形成する（第５図）。つぎ
に第２の色たとえば赤色の光硬化性着色膜剤を用いて、
上記青色の場合と同様の工程により赤色のカラーフィル
タ８を形成しく第６図）、最後に第３の色、たとえば緑
色のカラーフィルタ９を形成する。
［実施例２］
上記実施例１においては基板１の位置合せマーク部２，
３に撥水剤４を塗布しているが、その代りにテープを貼
ってマスクをしてもよい。そして膜剤を塗布後このマス
クを剥いで位置合せをおこなう。
３に撥水剤４を塗布しているが、その代りにテープを貼
ってマスクをしてもよい。そして膜剤を塗布後このマス
クを剥いで位置合せをおこなう。
［実施例３］
さらに他の方法として、基板１の位置合せマーク部２．
３にリフ］〜オフ用レジストを塗布し、膜剤を塗布後剥
離剤を用いてこのレジストとともに、その上に塗布され
た膜剤を除去し、位置合せマークが見えるようにしても
よい。
３にリフ］〜オフ用レジストを塗布し、膜剤を塗布後剥
離剤を用いてこのレジストとともに、その上に塗布され
た膜剤を除去し、位置合せマークが見えるようにしても
よい。
［発明の効果］
本発明によれば、基板とフォトマスクとの位置合せが、
正確に、かつ容易にできる。
正確に、かつ容易にできる。
図は断面図であり、第８図、第９図は従来例の説明図で
ある。 １・・・・・・基板 ２・・・・・・位置合せマーク部 ３・・・・・・位置合せマーク部 ４・・・・・・撥水剤 ５・・・・・・光硬化性着色膜剤 ６・・・・・・フォトマスク ７・・・・・・青色カラーフィルタ ８・・・・・・赤色カラーフィルタ ９・・・・・・緑色カラーフィルタ 以上 第１図 ２ 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図
ある。 １・・・・・・基板 ２・・・・・・位置合せマーク部 ３・・・・・・位置合せマーク部 ４・・・・・・撥水剤 ５・・・・・・光硬化性着色膜剤 ６・・・・・・フォトマスク ７・・・・・・青色カラーフィルタ ８・・・・・・赤色カラーフィルタ ９・・・・・・緑色カラーフィルタ 以上 第１図 ２ 第５図 第６図 第７図 第８図 第９図
Claims (4)
- （１）光硬化性着色膜剤を用い、これを基板の位置合せ
マーク部には付かないように塗布し、乾燥後フォトマス
クを用いてパターン露光し現像する工程をくり返して多
色のカラーフィルタを形成することを特徴とするカラー
フィルタの製造方法。 - （２）光硬化性着色膜剤として水溶性のものを用い、基
板の位置合せマーク部にあらかじめ撥水剤塗布して撥水
処理をほどこしてある特許請求の範囲第１項のカラーフ
ィルタの製造方法。 - （３）基板の位置合せマークの部分にあらかじめマスキ
ングをほどこしておく特許請求の範囲第１項のカラーフ
ィルタの製造方法。 - （４）基板の位置合せマークの部分にあらかじめリフト
オフ用のレジストを塗布しておき、この上に光硬化性着
色膜剤を塗布後、剥離液を用いて上記レジストを剥離す
るとともに上記レジスト上に塗布された光硬化性着色膜
剤を除去する特許請求の範囲第１項のカラーフィルタの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60138286A JPS61295504A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60138286A JPS61295504A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61295504A true JPS61295504A (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=15218346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60138286A Pending JPS61295504A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61295504A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01142701A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルター用基板 |
| JP2005173092A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルター基板およびこれを用いたディスプレイ、並びにカラーフィルター基板の製造方法 |
| JP2009175270A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| JP2015125322A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | 大日本印刷株式会社 | 多面付けカラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンス表示装置および多面付けカラーフィルタの製造方法 |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP60138286A patent/JPS61295504A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01142701A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルター用基板 |
| JP2005173092A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルター基板およびこれを用いたディスプレイ、並びにカラーフィルター基板の製造方法 |
| JP4549664B2 (ja) * | 2003-12-10 | 2010-09-22 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルター基板の製造方法およびディスプレイの製造方法 |
| JP2009175270A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
| JP2015125322A (ja) * | 2013-12-26 | 2015-07-06 | 大日本印刷株式会社 | 多面付けカラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンス表示装置および多面付けカラーフィルタの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6177014A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| US4419425A (en) | Method for manufacturing color filter | |
| JPS61295503A (ja) | カラ−フィルタの製造方法 | |
| JPS61295504A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6033507A (ja) | 色フィルタの製造方法 | |
| JPS61295502A (ja) | カラ−フイルタの製法 | |
| JPS61295505A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS59226305A (ja) | 光学フイルタの製造方法 | |
| JPH0273305A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPS63159807A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6177015A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6199104A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPH0823606B2 (ja) | カラ−フイルタ− | |
| JPS61295507A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6259901A (ja) | 液晶表示装置用カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JPS63217304A (ja) | 着色パタ−ンの製法 | |
| JPS5638040A (en) | Pattern forming method | |
| JPS5945962B2 (ja) | ストライプフイルタ−製造法 | |
| JPH0454922B2 (ja) | ||
| JPS61295508A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS5910692A (ja) | 色フイルタの製造方法 | |
| JP2717841B2 (ja) | パターンの形成方法 | |
| JPS62215901A (ja) | 色フイルタの製造方法 | |
| JPH0695163B2 (ja) | カラ−フィルタの製法 | |
| JPS5942281B2 (ja) | 微細パタ−ンの色フイルタ膜の成形方法 |