JPS59226305A - 光学フイルタの製造方法 - Google Patents
光学フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS59226305A JPS59226305A JP58102050A JP10205083A JPS59226305A JP S59226305 A JPS59226305 A JP S59226305A JP 58102050 A JP58102050 A JP 58102050A JP 10205083 A JP10205083 A JP 10205083A JP S59226305 A JPS59226305 A JP S59226305A
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- JP
- Japan
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- pattern
- mask
- optical filter
- transparent substrate
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光学フィルタ、特に徽細なモザイク状に構成さ
れた光学フィルタの製造方法に関するものである。
れた光学フィルタの製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、ビデオカメラ用の撮像管にかわり、固体撮像板が
開発・実用化されようとしており、またＣＲＴ−ｉ用い
た従来のＴＶにかわり、液晶ノくネルを用いたものが開
発されている。これらはいづれもカラー化するためには
、ストライプ状又はモザイク状の光学カラーフィルタを
必要とする。以下第１図にガラス板上に形成されたフィ
ルタ及び第２図にその製造法の代表例を示した。
開発・実用化されようとしており、またＣＲＴ−ｉ用い
た従来のＴＶにかわり、液晶ノくネルを用いたものが開
発されている。これらはいづれもカラー化するためには
、ストライプ状又はモザイク状の光学カラーフィルタを
必要とする。以下第１図にガラス板上に形成されたフィ
ルタ及び第２図にその製造法の代表例を示した。
第１図はモザイク状フィルタの構成を示す平面図であシ
、１は例えばガラス板上にゼラチン膜でパターン形成し
染色したものである。図中、Ｒ２Ｈ，Ｂで示したが、こ
れはＲは赤、Ｇは緑、Ｂは青を透過することを示してい
る。例えば固体撮像板のフォトダイオードと一部１図の
光学フィルタのモザイクを一致させて接着すると、各々
Ｒ，Ｇ。
、１は例えばガラス板上にゼラチン膜でパターン形成し
染色したものである。図中、Ｒ２Ｈ，Ｂで示したが、こ
れはＲは赤、Ｇは緑、Ｂは青を透過することを示してい
る。例えば固体撮像板のフォトダイオードと一部１図の
光学フィルタのモザイクを一致させて接着すると、各々
Ｒ，Ｇ。
Ｂの信号が得られる。
第２図はガラス板上にモザイク状フィルタ金製造する方
法を示したものである。図中、２１はガラス基板、２２
は感光性ゼラチン膜、２３は紫外光、２４はガラスマス
ク、２５はマスクの不透明部を示す。２６は露光・現像
後のパターンで染色される領域、２７は耐染色膜、２６
，２８．２９は各々赤、緑、青に染色され、モザイクを
形成している領域である。
法を示したものである。図中、２１はガラス基板、２２
は感光性ゼラチン膜、２３は紫外光、２４はガラスマス
ク、２５はマスクの不透明部を示す。２６は露光・現像
後のパターンで染色される領域、２７は耐染色膜、２６
，２８．２９は各々赤、緑、青に染色され、モザイクを
形成している領域である。
第２図に沿って製造法を説明する。まず第２図第２図Ａ
に示す如く、ガラス板２１上に感光性ゼラチン膜２２を
塗布する。ついで、第２図Ｂの如く、パターン２５を有
するマスク２４を通して紫外光２３を照射する。次に感
光性ゼラチン膜２２を現像し、赤に染色すると赤のパタ
ーン２６が得られる（第２図Ｃ）。この状態では平面的
に見るとモザイクの一部が規則正しく、赤に染色されて
いる。次に第２図りに示す如く、全面に耐染色膜２７を
コートする。この上にさらに感光性ゼラチン膜を塗布す
るのであるが、これは第２図Ａのステップに相当する。
に示す如く、ガラス板２１上に感光性ゼラチン膜２２を
塗布する。ついで、第２図Ｂの如く、パターン２５を有
するマスク２４を通して紫外光２３を照射する。次に感
光性ゼラチン膜２２を現像し、赤に染色すると赤のパタ
ーン２６が得られる（第２図Ｃ）。この状態では平面的
に見るとモザイクの一部が規則正しく、赤に染色されて
いる。次に第２図りに示す如く、全面に耐染色膜２７を
コートする。この上にさらに感光性ゼラチン膜を塗布す
るのであるが、これは第２図Ａのステップに相当する。
この後、第２図Ａから第２図りまでのステップを２回く
り返し、その都度感光性ゼラチン膜を緑、青と変えるこ
とにより、最終的に第２図Ｅに断面構造を示すように、
赤のパターン２６、緑のパターン２８、青のパターン２
９を有するフィルタが完成する。
り返し、その都度感光性ゼラチン膜を緑、青と変えるこ
とにより、最終的に第２図Ｅに断面構造を示すように、
赤のパターン２６、緑のパターン２８、青のパターン２
９を有するフィルタが完成する。
以上の方法では、設備として感光性膜の形成用にスピン
ナーが必要であシ、さらにはパターン形成用にマスクア
ライナ−を必要とする。工程が複雑になる上、現像・水
洗等の排水を処理するため大がかりな付帯設備が必要と
なる。
ナーが必要であシ、さらにはパターン形成用にマスクア
ライナ−を必要とする。工程が複雑になる上、現像・水
洗等の排水を処理するため大がかりな付帯設備が必要と
なる。
発明の目的
本発明は従来の問題に鑑み、微細パターンのカラーモザ
イクフィルタを簡単な装置で容易に作成しうる光学フィ
ルタの製造方法を提供するものである。
イクフィルタを簡単な装置で容易に作成しうる光学フィ
ルタの製造方法を提供するものである。
発明の構成
本発明は印刷方式とホトリン方式の長所を組み合せ、容
易に微細パターンのカラーモザイクフィルタを形成でき
るようにしたものである。
易に微細パターンのカラーモザイクフィルタを形成でき
るようにしたものである。
実施例の説明
第３図は本発明の第一の実施例を示す工程図である。第
３図において、３１は透明基板、３２は不透明領域でモ
ザイクフィルタの場合はマス目状に構成される、３３は
印刷マスク、３４はマスクの透孔部、３５はスキージ−
１３６は感光性材料よりなる印刷インク、３７は印刷パ
ターン、３８は紫外光、３９は成形されたパターン、４
ｏは耐染色膜、４１〜４３は染色されたパターンを示す
。
３図において、３１は透明基板、３２は不透明領域でモ
ザイクフィルタの場合はマス目状に構成される、３３は
印刷マスク、３４はマスクの透孔部、３５はスキージ−
１３６は感光性材料よりなる印刷インク、３７は印刷パ
ターン、３８は紫外光、３９は成形されたパターン、４
ｏは耐染色膜、４１〜４３は染色されたパターンを示す
。
第３図Ａに示す如く、透明基板３１の上には予かじめ、
不透明領域３２が形成されている。前記不透明領域３２
は金属又は金属酸化膜あるいは不透明の樹脂で良い。次
に印刷用スクリーンマスク３３を用いて、感光物質とし
てのインク３６をスキージ−３６で透明基板３１上に印
刷する（第３図Ｂ）。印刷インクは感光性が付与されて
おり、スクリーンマスク３３の透孔部３４を通して印刷
された後、第３図Ｃに示す如く、裏面から紫外光３８が
照射される。印刷された時は、パターン３７の周辺はだ
れているが、パターンの周辺は不透明部３２でカバーさ
れてその土のインクには紫外光が照射されないため、現
像すれば容易に除去される。即ち、第３図りの如くイン
クのパターン３９の周辺は正確に成形される。この場合
、パターン精度は不透明部３２で支配的に決められ、余
裕度即ち誤差は不透明部３２の幅だけ許されることにな
り、工業的に合せが非常に容易となる。残されたインク
パターン３９を染色して染色パターン３９ａとした後、
Ｅに示す耐染色膜４ｏを全面に形成する。第３図Ｂ〜第
３図Ｅの工程をくり返すことにより、第３図Ｆに示す如
き別の染色パターン４１．４２を形成し、モザイクフィ
ルターが得うれる。
不透明領域３２が形成されている。前記不透明領域３２
は金属又は金属酸化膜あるいは不透明の樹脂で良い。次
に印刷用スクリーンマスク３３を用いて、感光物質とし
てのインク３６をスキージ−３６で透明基板３１上に印
刷する（第３図Ｂ）。印刷インクは感光性が付与されて
おり、スクリーンマスク３３の透孔部３４を通して印刷
された後、第３図Ｃに示す如く、裏面から紫外光３８が
照射される。印刷された時は、パターン３７の周辺はだ
れているが、パターンの周辺は不透明部３２でカバーさ
れてその土のインクには紫外光が照射されないため、現
像すれば容易に除去される。即ち、第３図りの如くイン
クのパターン３９の周辺は正確に成形される。この場合
、パターン精度は不透明部３２で支配的に決められ、余
裕度即ち誤差は不透明部３２の幅だけ許されることにな
り、工業的に合せが非常に容易となる。残されたインク
パターン３９を染色して染色パターン３９ａとした後、
Ｅに示す耐染色膜４ｏを全面に形成する。第３図Ｂ〜第
３図Ｅの工程をくり返すことにより、第３図Ｆに示す如
き別の染色パターン４１．４２を形成し、モザイクフィ
ルターが得うれる。
発明の効果 、
以上述べた如く、本発明ではモザイクフィルタの製造に
あた９、第一次的には印刷手法を用いて概略の位置が決
められたパターンを形成し、第二次的にパターンの周縁
部はマスク合せを必要としないホトリソ手法を用いて正
確に成形することが容易となる。また、スピンナー及び
マスク合せ装置のかわりに、印刷機１台で済ませること
ができる。さらには、印刷は必要な箇所にのみパターン
を形成するため、全面塗布・マスク合せ・現像の従来法
に比べ材料の損失が少ない。三色のモザイクを形成する
場合、従来のホトリン法に比べ材料は約１／３で良いこ
とになる。
あた９、第一次的には印刷手法を用いて概略の位置が決
められたパターンを形成し、第二次的にパターンの周縁
部はマスク合せを必要としないホトリソ手法を用いて正
確に成形することが容易となる。また、スピンナー及び
マスク合せ装置のかわりに、印刷機１台で済ませること
ができる。さらには、印刷は必要な箇所にのみパターン
を形成するため、全面塗布・マスク合せ・現像の従来法
に比べ材料の損失が少ない。三色のモザイクを形成する
場合、従来のホトリン法に比べ材料は約１／３で良いこ
とになる。
第１図はカラーモザイクフィルターの一部平面図、第２
図Ａ−Ｅは従来のフィルタの製造法を示す工程断面図、
第３図Ａ−Ｆは本発明の一実施例のフィルタ製造法を示
す工程断面図である。 ２１・・・・・・透明基板、２３・・・・・・紫外光、
２４・・・・・・マスク、２７・・・・・・耐染色膜、
２６，２８．２９・・・・・・モザイクパターン、３１
・・・・・・透明基板、３２・・・・・・不透明部、３
３・・・・・・スクリーンマスク、３６・・・・・・イ
ンキ、３７・・・・・・パターン、３８・・・・・・紫
外光、３９・・・・・・インクパターン、４ｏ・・・・
・耐染色膜、３９ａ 、４１ ．４２・・・・・・染色
ノくターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ！ 第２図 第３図 ３７ ２ 第３図 ２
図Ａ−Ｅは従来のフィルタの製造法を示す工程断面図、
第３図Ａ−Ｆは本発明の一実施例のフィルタ製造法を示
す工程断面図である。 ２１・・・・・・透明基板、２３・・・・・・紫外光、
２４・・・・・・マスク、２７・・・・・・耐染色膜、
２６，２８．２９・・・・・・モザイクパターン、３１
・・・・・・透明基板、３２・・・・・・不透明部、３
３・・・・・・スクリーンマスク、３６・・・・・・イ
ンキ、３７・・・・・・パターン、３８・・・・・・紫
外光、３９・・・・・・インクパターン、４ｏ・・・・
・耐染色膜、３９ａ 、４１ ．４２・・・・・・染色
ノくターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 ！ 第２図 第３図 ３７ ２ 第３図 ２
Claims (4)
- （１）透明領域の境界に不透明層が形成された透明基板
の前記不透明層が形成された面に前記透明領域の所定部
に対応する目通孔を有するマスク全位置合せした後、感
光性物質全前記マスクを通して印刷する工程、しかる後
前記透明基板の裏面より光を照射し、前記感光物質の未
露光部分を除去する工程、残された前記感光性物質より
なるパターンを染色する工程全有することを特徴とする
光学フィルタの製造方法。 - （２）印刷工程、現像工程、染色工程をくり返して多色
の光学フィルタを形成すること全特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の光学フィルタの製造方法。 - （３）透明領域の境界に不透明層が形成された透明基板
の前記不透明層が形成された面に前記透明領域の所定部
に対応する貫通孔を有するマスクを位置合せした後、所
定の分光特性を有する感光性物質を前記マスクを通して
印刷する工程、しかる後前記透明基板の裏面より光を照
射し、前記感光性物質の未露光部分を除去する工程を有
することを特徴とする光学フィルタの製造方法。 - （４）印刷工程、現像工程をくり返して多色の光学フィ
ルタを形成することを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の光学フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58102050A JPS59226305A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 光学フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58102050A JPS59226305A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 光学フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59226305A true JPS59226305A (ja) | 1984-12-19 |
Family
ID=14316933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58102050A Pending JPS59226305A (ja) | 1983-06-07 | 1983-06-07 | 光学フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59226305A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6219806A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Stanley Electric Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS62109002A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示用カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS62254103A (ja) * | 1986-04-26 | 1987-11-05 | Kyodo Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JPS6480905A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of color filter |
| JPH0297903A (ja) * | 1988-10-04 | 1990-04-10 | Mitsubishi Electric Corp | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH02118602A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
-
1983
- 1983-06-07 JP JP58102050A patent/JPS59226305A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6219806A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Stanley Electric Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS62109002A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示用カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS62254103A (ja) * | 1986-04-26 | 1987-11-05 | Kyodo Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JPS6480905A (en) * | 1987-09-24 | 1989-03-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of color filter |
| JPH0297903A (ja) * | 1988-10-04 | 1990-04-10 | Mitsubishi Electric Corp | カラーフィルタの製造方法 |
| JPH02118602A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
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