JPH09171106A - カラーフィルターの作製方法 - Google Patents
カラーフィルターの作製方法Info
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- JPH09171106A JPH09171106A JP27489696A JP27489696A JPH09171106A JP H09171106 A JPH09171106 A JP H09171106A JP 27489696 A JP27489696 A JP 27489696A JP 27489696 A JP27489696 A JP 27489696A JP H09171106 A JPH09171106 A JP H09171106A
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Silver Salt Photography Or Processing Solution Therefor (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラー感光材料を用いて簡単な処理でカラー
フィルターを作製する。 【解決手段】 位置合わせマーク９を設けた支持体１上
にカラー感光層３を有する基板２を重ね合わせて固定
し、さらにその上に位置合わせマーク９を設けた露光用
マスク４を配置し、露光用マスク４と支持体１の位置合
わせマーク９を基準として位置合わせして露光した後、
現像処理を行い、基板２上にカラーパターン画像を得
る。
フィルターを作製する。 【解決手段】 位置合わせマーク９を設けた支持体１上
にカラー感光層３を有する基板２を重ね合わせて固定
し、さらにその上に位置合わせマーク９を設けた露光用
マスク４を配置し、露光用マスク４と支持体１の位置合
わせマーク９を基準として位置合わせして露光した後、
現像処理を行い、基板２上にカラーパターン画像を得
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー感光材料を
用いて、液晶ディスプレイ等に用いられるカラーフィル
ターを製造する方法に関するものである。特に本発明
は、精度よく位置合わせされたカラーフィルターを得る
ための作製方法に関するものである。
用いて、液晶ディスプレイ等に用いられるカラーフィル
ターを製造する方法に関するものである。特に本発明
は、精度よく位置合わせされたカラーフィルターを得る
ための作製方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板上に多色のカラーフィルターを作る
方法として、蒸着法、染着法、電着法、印刷法、顔料分
散法、レジスト電着転写法等が知られている。いずれの
場合も単色のカラーパターンを必要な色数になるまで繰
り返して処理して得る。例えば、顔料分散法（エッチン
グ法）では、顔料分散液の塗布（レジスト塗布）、露
光、現像、レジスト剥離、後硬化等を、繰り返して処理
を行い、多色のパターンを得てきた。この際パターン画
像の露光位置を正確に合わせるため、位置合わせマーク
（トンボマーク）を設けた露光用マスクを用い、基板に
トンボマーク及びブラックストライプを設けたものを使
用して露光位置を合わせるか、又は一色目のパターン画
像を得る際にトンボマークを焼き込み、その後は得られ
たトンボマークを基準にして露光することにより、画像
位置精度の高いカラーフィルターを得てきた。
方法として、蒸着法、染着法、電着法、印刷法、顔料分
散法、レジスト電着転写法等が知られている。いずれの
場合も単色のカラーパターンを必要な色数になるまで繰
り返して処理して得る。例えば、顔料分散法（エッチン
グ法）では、顔料分散液の塗布（レジスト塗布）、露
光、現像、レジスト剥離、後硬化等を、繰り返して処理
を行い、多色のパターンを得てきた。この際パターン画
像の露光位置を正確に合わせるため、位置合わせマーク
（トンボマーク）を設けた露光用マスクを用い、基板に
トンボマーク及びブラックストライプを設けたものを使
用して露光位置を合わせるか、又は一色目のパターン画
像を得る際にトンボマークを焼き込み、その後は得られ
たトンボマークを基準にして露光することにより、画像
位置精度の高いカラーフィルターを得てきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、露光の位置を
合わせるには、カラーフィルターを形成する基板に最初
からトンボマークを設けたものを用いなければならず工
程数が増えるため、コストアップになるという問題があ
る。そこで本発明の目的は、カラー感光材料を用い、一
回の現像処理によって、カラーパターン画像を精度良く
位置合わせしたカラーフィルターの作製方法を提供する
ことにある。
合わせるには、カラーフィルターを形成する基板に最初
からトンボマークを設けたものを用いなければならず工
程数が増えるため、コストアップになるという問題があ
る。そこで本発明の目的は、カラー感光材料を用い、一
回の現像処理によって、カラーパターン画像を精度良く
位置合わせしたカラーフィルターの作製方法を提供する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、下記構
成により達成される。 カラー感光材料を用いて、基板上にカラーフィルタ
ーを作製する方法において、位置合わせマークを設けた
支持体上に、カラー感光層を有する基板を重ね合わせて
固定し、さらにその上に位置合わせマークを設けた露光
用マスクを配置し、露光用マスクと支持体の両位置合わ
せマークを基準として位置合わせして露光した後、現像
処理を行い、基板上にカラーパターン画像を得ることを
特徴とするカラーフィルターの作製方法。
成により達成される。 カラー感光材料を用いて、基板上にカラーフィルタ
ーを作製する方法において、位置合わせマークを設けた
支持体上に、カラー感光層を有する基板を重ね合わせて
固定し、さらにその上に位置合わせマークを設けた露光
用マスクを配置し、露光用マスクと支持体の両位置合わ
せマークを基準として位置合わせして露光した後、現像
処理を行い、基板上にカラーパターン画像を得ることを
特徴とするカラーフィルターの作製方法。
【０００５】 カラー感光材料を用いて、基板上にカ
ラーフィルターを作製する方法において、位置合わせマ
ークを設けた支持体と位置合わせマークを設けた露光用
マスクとを、位置合わせマークを基準として位置合わせ
を行い重ね合わせた後、カラー感光層を有する予め固定
された基板へ変倍して投影露光し、現像処理を行い、基
板上にカラーパターン画像を得ることを特徴とするカラ
ーフィルターの作製方法。
ラーフィルターを作製する方法において、位置合わせマ
ークを設けた支持体と位置合わせマークを設けた露光用
マスクとを、位置合わせマークを基準として位置合わせ
を行い重ね合わせた後、カラー感光層を有する予め固定
された基板へ変倍して投影露光し、現像処理を行い、基
板上にカラーパターン画像を得ることを特徴とするカラ
ーフィルターの作製方法。
【０００６】 前記又はに記載の方法において、
前記露光マスクとして、３種の色にそれぞれ対応した３
種の画素群と、この画素群を画素ごとに仕切るブラック
マトリクス部とからなり、前記画素群のうちいずれか一
種の画素群のみが透明であり、他の２種の画素群と前記
ブラックマトリクス部分が遮光性を有する第１露光用マ
スクと、前記第１露光用マスクと同じ配置の画素群とブ
ラックマトリクス部とからなり、全画素が遮光性を有
し、ブラックマトリクス部が透明である第２露光用マス
クと、Ｂ（青）、Ｇ（緑）、Ｒ（赤）の各フィルタとを
用い、前記各フィルタを用いる露光時に、前記第１露光
用マスクを前記感光材料に対して１画素分ずらして色ご
とに露光する工程と、該露光工程の前又は後に、前記第
２露光用マスクによりブラックマトリクス部へ白色光を
露光する工程とにより露光した後、現像処理を行い、基
板上にＢ（青），Ｇ（緑），Ｒ（赤），Ｋ（黒）のカラ
ーパターン画像を得ることを特徴とするカラーフィルタ
ーの作製方法。
前記露光マスクとして、３種の色にそれぞれ対応した３
種の画素群と、この画素群を画素ごとに仕切るブラック
マトリクス部とからなり、前記画素群のうちいずれか一
種の画素群のみが透明であり、他の２種の画素群と前記
ブラックマトリクス部分が遮光性を有する第１露光用マ
スクと、前記第１露光用マスクと同じ配置の画素群とブ
ラックマトリクス部とからなり、全画素が遮光性を有
し、ブラックマトリクス部が透明である第２露光用マス
クと、Ｂ（青）、Ｇ（緑）、Ｒ（赤）の各フィルタとを
用い、前記各フィルタを用いる露光時に、前記第１露光
用マスクを前記感光材料に対して１画素分ずらして色ご
とに露光する工程と、該露光工程の前又は後に、前記第
２露光用マスクによりブラックマトリクス部へ白色光を
露光する工程とにより露光した後、現像処理を行い、基
板上にＢ（青），Ｇ（緑），Ｒ（赤），Ｋ（黒）のカラ
ーパターン画像を得ることを特徴とするカラーフィルタ
ーの作製方法。
【０００７】本発明においては、カラー感光材料を用い
るため、一回の現像処理でブラックストライプ部も含め
た多色のカラーフィルター画像を得ることができる。
るため、一回の現像処理でブラックストライプ部も含め
た多色のカラーフィルター画像を得ることができる。
【０００８】本発明で位置合わせマークとは、カラー印
刷、カラーフィルター等のカラー画像の位置合わせのた
めの、いわゆるトンボマークである。例えば印刷用刷版
では、少なくとも２コのトンボマークを使って位置を合
わせることによって全画面の画像位置が合うようになっ
ている。カラーフィルターの場合は画素電極等との位置
を合わせるため、決められた位置にカラーパターンを正
確に配置する必要があり露光位置の基準として、また他
部品との位置合わせのためにトンボマークが使われる。
トンボマークの形は一般に十字マークが知られている
が、位置合わせに必要な機能を備えた形であれば良い。
最近では画像を取り込みコンピューター制御で自動的に
位置合わせする方法もあり、その場合には画像処理に適
応した形のトンボマークが使われている。
刷、カラーフィルター等のカラー画像の位置合わせのた
めの、いわゆるトンボマークである。例えば印刷用刷版
では、少なくとも２コのトンボマークを使って位置を合
わせることによって全画面の画像位置が合うようになっ
ている。カラーフィルターの場合は画素電極等との位置
を合わせるため、決められた位置にカラーパターンを正
確に配置する必要があり露光位置の基準として、また他
部品との位置合わせのためにトンボマークが使われる。
トンボマークの形は一般に十字マークが知られている
が、位置合わせに必要な機能を備えた形であれば良い。
最近では画像を取り込みコンピューター制御で自動的に
位置合わせする方法もあり、その場合には画像処理に適
応した形のトンボマークが使われている。
【０００９】トンボマークを設けた支持体とは、例え
ば、厚さ５ｍｍ程度のガラス板上にクロム、又は銀塩写
真等によりトンボマークを焼き付けたもの、又は基板を
食刻して凹状にしたものでもよいし、凸状にしたもので
もよい。支持体はガラス板に限らず金属板、プラスチッ
ク板等を用いることができる。この支持体と感光層を有
する基板は、予め固定されている。これに対してトンボ
マークを設けた露光用マスクは可動性であり、支持体の
トンボマークに対し、露光用マスクのトンボマークを合
致させることにより、複数のマスクを使用する場合で
も、また１枚のマスクを規定の間隔でずらしながら、
Ｒ，Ｇ，Ｂと順次露光する場合でも、精度よく露光する
ことが可能になる。
ば、厚さ５ｍｍ程度のガラス板上にクロム、又は銀塩写
真等によりトンボマークを焼き付けたもの、又は基板を
食刻して凹状にしたものでもよいし、凸状にしたもので
もよい。支持体はガラス板に限らず金属板、プラスチッ
ク板等を用いることができる。この支持体と感光層を有
する基板は、予め固定されている。これに対してトンボ
マークを設けた露光用マスクは可動性であり、支持体の
トンボマークに対し、露光用マスクのトンボマークを合
致させることにより、複数のマスクを使用する場合で
も、また１枚のマスクを規定の間隔でずらしながら、
Ｒ，Ｇ，Ｂと順次露光する場合でも、精度よく露光する
ことが可能になる。
【００１０】トンボマークは位置合わせのために、少な
くとも２カ所に設けることが必要である。本発明におい
て、露光用の位置合わせのために設ける支持体及び露光
用マスクのトンボマークは、基板上の感光層よりも外側
に設けるのが好ましい。また液晶パネル等の組み立ての
際、必要とするトンボマークを感光層に焼き付けるよう
に、別の露光用マスクにトンボマークを設けることがで
きる。位置合わせは正確に行うため顕微鏡で拡大して観
察しながら行う。また拡大画像をＴＶ画面に取り込んで
画像を観察しながら行ってもよい。さらに取り込んだ画
像情報をコンピューターで画像処理を行い、自動的に画
像位置合わせをすることもできる。
くとも２カ所に設けることが必要である。本発明におい
て、露光用の位置合わせのために設ける支持体及び露光
用マスクのトンボマークは、基板上の感光層よりも外側
に設けるのが好ましい。また液晶パネル等の組み立ての
際、必要とするトンボマークを感光層に焼き付けるよう
に、別の露光用マスクにトンボマークを設けることがで
きる。位置合わせは正確に行うため顕微鏡で拡大して観
察しながら行う。また拡大画像をＴＶ画面に取り込んで
画像を観察しながら行ってもよい。さらに取り込んだ画
像情報をコンピューターで画像処理を行い、自動的に画
像位置合わせをすることもできる。
【００１１】本発明に用いるカラー感光材料は、銀塩、
非銀塩を問わず種々のものを適用できるが、感度の点か
らハロゲン化銀カラー感光材料が好ましい。ハロゲン化
銀カラー感光材料の中でも、内型カラー感光材料が好ま
しく、例えば、特開昭６２−１４８９５２号公報、同６
２−７１９５０号公報、同６３−２６１３６１号公報、
特開平６−３０３９７７号公報等に記載のネガ型、及び
ポジ型感光材料を用いることができる。
非銀塩を問わず種々のものを適用できるが、感度の点か
らハロゲン化銀カラー感光材料が好ましい。ハロゲン化
銀カラー感光材料の中でも、内型カラー感光材料が好ま
しく、例えば、特開昭６２−１４８９５２号公報、同６
２−７１９５０号公報、同６３−２６１３６１号公報、
特開平６−３０３９７７号公報等に記載のネガ型、及び
ポジ型感光材料を用いることができる。
【００１２】露光方法としては公知の方法、例えば、密
着方法、プロキシミティ方式、投影方式、ミラー方式、
ステッパー方式、スキャニング方式等が知られており、
いずれも本発明を適用できる。また、各露光方法を併用
することもできる。
着方法、プロキシミティ方式、投影方式、ミラー方式、
ステッパー方式、スキャニング方式等が知られており、
いずれも本発明を適用できる。また、各露光方法を併用
することもできる。
【００１３】露光された基板はカラー現像処理によって
カラーパターン画像を得ることができる。処理液は市販
のカラー現像液を使うことができるが、特に市販品に限
定されることなく、感光材料に合った現像液を使用すれ
ばよい。以下に、処理方法の例を挙げる。バインダーと
してゼラチンを用いたハロゲン化銀カラー感光材料の場
合、先ず、必要により、前硬膜液に浸漬し、充分硬膜さ
せた後、水洗して硬膜液を洗い流し、次に窒素ガス等を
バブリングさせたカラー現像液に浸漬し、停止液、漂白
定着液に浸漬、最後に充分水洗して乾燥しカラーパター
ン画像を得ることができる。この処理方法は一例であ
り、感光材料に応じた適切な現像方法によりカラーパタ
ーン画像を得ることができる。そして最後にオーバーコ
ート層を塗設することによりカラーフィルターを作製す
る。これらの全処理、つまり感光層の塗布、基板への転
写、露光、現像処理、オーバーコート液の塗布、乾燥等
は、クリーンルーム内で行うことにより欠陥のないカラ
ーパターン画像を得ることができる。
カラーパターン画像を得ることができる。処理液は市販
のカラー現像液を使うことができるが、特に市販品に限
定されることなく、感光材料に合った現像液を使用すれ
ばよい。以下に、処理方法の例を挙げる。バインダーと
してゼラチンを用いたハロゲン化銀カラー感光材料の場
合、先ず、必要により、前硬膜液に浸漬し、充分硬膜さ
せた後、水洗して硬膜液を洗い流し、次に窒素ガス等を
バブリングさせたカラー現像液に浸漬し、停止液、漂白
定着液に浸漬、最後に充分水洗して乾燥しカラーパター
ン画像を得ることができる。この処理方法は一例であ
り、感光材料に応じた適切な現像方法によりカラーパタ
ーン画像を得ることができる。そして最後にオーバーコ
ート層を塗設することによりカラーフィルターを作製す
る。これらの全処理、つまり感光層の塗布、基板への転
写、露光、現像処理、オーバーコート液の塗布、乾燥等
は、クリーンルーム内で行うことにより欠陥のないカラ
ーパターン画像を得ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施形態に
より詳細に説明するが、本発明を限定するものではな
い。図１〜図２に本発明の実施形態のハロゲン化銀カラ
ー感光材料を用いて、トンボマークのみを設けた支持体
とカラー感光層を設けた基板、及びトンボマークを設け
た露光用マスクとによりカラーパターン画像を露光する
方法の形態を示す。なお、図１及び図２において、トン
ボマークは側面状態では実際には見えないが、位置を表
すために表示してある。
より詳細に説明するが、本発明を限定するものではな
い。図１〜図２に本発明の実施形態のハロゲン化銀カラ
ー感光材料を用いて、トンボマークのみを設けた支持体
とカラー感光層を設けた基板、及びトンボマークを設け
た露光用マスクとによりカラーパターン画像を露光する
方法の形態を示す。なお、図１及び図２において、トン
ボマークは側面状態では実際には見えないが、位置を表
すために表示してある。
【００１５】実施形態１ 図１に示すように、ハロゲン化銀感光層３を有する感光
層付き基板２を、トンボマーク付き支持体１の上に固定
配置し、その上にトンボマーク付き露光用マスク４を載
せる。そして、顕微鏡５で両者のトンボマーク部分を観
察しながら、トンボマーク付き露光用マスク４を微動さ
せて、両者のトンボマーク９ａ，９ｂを正確に一致させ
てパターンの位置合わせを行った。次に光源６を点灯さ
せ、適当量の光量を均一に与えた後、カラー現像処理を
行った。この結果、基板上のカラーパターン画像に欠陥
がなく、精度よく位置合わせされたカラーフィルターを
得た。次に、オーバーコート剤をスピンコートで２μの
厚さに塗布し、乾燥、硬化させた。露光用マスク４の詳
細を図３に示した。露光用マスク４は光透過性支持体１
０の上に三原色のパターン、Ｒ（赤）１１、Ｇ（緑）１
２、Ｂ（青）１３の組合せの繰り返しパターンを有し、
その他のブラックマトリクス部分１４は遮光性を有す
る。露光用のトンボマーク９ａを必要な位置に設けてあ
る。この露光用マスク１０を用いた場合には、カラーパ
ターンの各色に対応して分光感度を持つポジ型感光材料
を用い、Ｒ部→Ｒ、Ｇ部→Ｇ、Ｂ部→Ｂ、遮光部→黒に
発色させる。この種の感光材料としては、例えば特願平
６−１３６３号明細書の実施例１に記載のものを用いる
ことができる。
層付き基板２を、トンボマーク付き支持体１の上に固定
配置し、その上にトンボマーク付き露光用マスク４を載
せる。そして、顕微鏡５で両者のトンボマーク部分を観
察しながら、トンボマーク付き露光用マスク４を微動さ
せて、両者のトンボマーク９ａ，９ｂを正確に一致させ
てパターンの位置合わせを行った。次に光源６を点灯さ
せ、適当量の光量を均一に与えた後、カラー現像処理を
行った。この結果、基板上のカラーパターン画像に欠陥
がなく、精度よく位置合わせされたカラーフィルターを
得た。次に、オーバーコート剤をスピンコートで２μの
厚さに塗布し、乾燥、硬化させた。露光用マスク４の詳
細を図３に示した。露光用マスク４は光透過性支持体１
０の上に三原色のパターン、Ｒ（赤）１１、Ｇ（緑）１
２、Ｂ（青）１３の組合せの繰り返しパターンを有し、
その他のブラックマトリクス部分１４は遮光性を有す
る。露光用のトンボマーク９ａを必要な位置に設けてあ
る。この露光用マスク１０を用いた場合には、カラーパ
ターンの各色に対応して分光感度を持つポジ型感光材料
を用い、Ｒ部→Ｒ、Ｇ部→Ｇ、Ｂ部→Ｂ、遮光部→黒に
発色させる。この種の感光材料としては、例えば特願平
６−１３６３号明細書の実施例１に記載のものを用いる
ことができる。
【００１６】実施形態２ 実施形態１の露光方法において、露光用マスク４に代え
て図５に示した露光用マスク３０を用いて露光した。露
光用マスク３０は透明部３１と、トンボマーク９ａを設
ける領域以外は遮光性を有する。透明部３１は同じ色に
対応するすべての画素であり、感光材料の感光性を有す
る例えば３８０ｎｍ〜８００ｎｍの光を透過する。透明
部３１は例えば、まずＲ（赤）パターン部へトンボマー
ク９ａを用いて位置合わせを行った後、赤色光をパター
ン露光し、次に、透明部３１をＧ（緑）部３２へマスク
３０をずらしてトンボマーク９ａによって位置合わせを
行い緑色光をパターン露光した。同様にして透明部３１
をＢ（青）部３３へマスク３０をずらしてトンボマーク
９ａにより位置合わせを行い青色光をパターン露光し
た。次に図４に示したマスク２０を用いて露光操作を行
った。マスク２０はパターン部２１が各色全ての画素に
対応し、遮光性を有する。他の部分は光透過性を有し、
白色光を露光することによりブラックマトリクス部が得
られる。なお、マスク２０には他部品との位置合わせ用
のトンボマーク用パターン９ｃを必要な位置に設けてあ
り、他部品との位置合わせ用トンボマーク９ｃの像を感
光材料に焼き付けることができるようになっている。次
いで、カラー現像処理を行った結果、基板上のカラーパ
ターン画像に欠陥がなく、精度よく位置合わせされたカ
ラーフィルターを得た。マスク３０を用いた場合には、
露光光の波長に対応した分光感度を持つネガ型の感光材
料を用い、Ｒ→Ｒ、Ｇ→Ｇ、Ｂ→Ｂ、透明部→黒に発色
させる。この種の感光材料としては、例えば特願平６−
１５５７２６号明細書（特開平８−２２１０８号公報）
の実施例１又は実施例２に記載のものを用いることがで
きる。なお、マスク３０を用いる露光と、マスク２０を
用いる露光の順は、どちらが先であってもよい。
て図５に示した露光用マスク３０を用いて露光した。露
光用マスク３０は透明部３１と、トンボマーク９ａを設
ける領域以外は遮光性を有する。透明部３１は同じ色に
対応するすべての画素であり、感光材料の感光性を有す
る例えば３８０ｎｍ〜８００ｎｍの光を透過する。透明
部３１は例えば、まずＲ（赤）パターン部へトンボマー
ク９ａを用いて位置合わせを行った後、赤色光をパター
ン露光し、次に、透明部３１をＧ（緑）部３２へマスク
３０をずらしてトンボマーク９ａによって位置合わせを
行い緑色光をパターン露光した。同様にして透明部３１
をＢ（青）部３３へマスク３０をずらしてトンボマーク
９ａにより位置合わせを行い青色光をパターン露光し
た。次に図４に示したマスク２０を用いて露光操作を行
った。マスク２０はパターン部２１が各色全ての画素に
対応し、遮光性を有する。他の部分は光透過性を有し、
白色光を露光することによりブラックマトリクス部が得
られる。なお、マスク２０には他部品との位置合わせ用
のトンボマーク用パターン９ｃを必要な位置に設けてあ
り、他部品との位置合わせ用トンボマーク９ｃの像を感
光材料に焼き付けることができるようになっている。次
いで、カラー現像処理を行った結果、基板上のカラーパ
ターン画像に欠陥がなく、精度よく位置合わせされたカ
ラーフィルターを得た。マスク３０を用いた場合には、
露光光の波長に対応した分光感度を持つネガ型の感光材
料を用い、Ｒ→Ｒ、Ｇ→Ｇ、Ｂ→Ｂ、透明部→黒に発色
させる。この種の感光材料としては、例えば特願平６−
１５５７２６号明細書（特開平８−２２１０８号公報）
の実施例１又は実施例２に記載のものを用いることがで
きる。なお、マスク３０を用いる露光と、マスク２０を
用いる露光の順は、どちらが先であってもよい。
【００１７】実施形態３ 図２は縮小又は拡大投影法によって露光を行う方法の概
念図で、基本的には実施形態１、実施形態２のものと同
じである。例えば、縮小投影法では感光層付き基板２は
固定配置された後、投影用レンズ８を介してトンボマー
ク付き支持体１に対して相対的に固定される。次いで、
トンボマーク付き露光用マスク４を微動させて、２組の
トンボマーク９ａ，９ｂを正確に一致させて露光位置合
わせを行った。次に縮小倍率を合わせ、次にピントを合
わせた後露光し、カラー現像処理を行った結果、カラー
パターン画像に欠陥がなく、精度良く位置合わせされた
カラーフィルターを得た。
念図で、基本的には実施形態１、実施形態２のものと同
じである。例えば、縮小投影法では感光層付き基板２は
固定配置された後、投影用レンズ８を介してトンボマー
ク付き支持体１に対して相対的に固定される。次いで、
トンボマーク付き露光用マスク４を微動させて、２組の
トンボマーク９ａ，９ｂを正確に一致させて露光位置合
わせを行った。次に縮小倍率を合わせ、次にピントを合
わせた後露光し、カラー現像処理を行った結果、カラー
パターン画像に欠陥がなく、精度良く位置合わせされた
カラーフィルターを得た。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、カラー感光層を有した
基板を用い、露光用トンボマークのみを設けた支持体、
及び露光用トンボマークを設けた露光用マスクとによ
り、前記各種露光方式を用いて、カラーパターン画像を
精度良く位置合わせして露光することができる。
基板を用い、露光用トンボマークのみを設けた支持体、
及び露光用トンボマークを設けた露光用マスクとによ
り、前記各種露光方式を用いて、カラーパターン画像を
精度良く位置合わせして露光することができる。
【図１】図１は本発明の実施形態のカラーフィルターを
作製する場合の露光方法を表し、露光用マスクと感光層
付き基板を密着または、プロキシミティ方式等で露光す
る場合の位置合わせの概念図を示す図である。
作製する場合の露光方法を表し、露光用マスクと感光層
付き基板を密着または、プロキシミティ方式等で露光す
る場合の位置合わせの概念図を示す図である。
【図２】図２は本発明の実施形態のカラーフィルターを
作製する場合の露光方法を表し、投影方式、ミラー方式
等により露光する場合の位置合わせの概念図を示す図で
ある。
作製する場合の露光方法を表し、投影方式、ミラー方式
等により露光する場合の位置合わせの概念図を示す図で
ある。
【図３】図３はＲＧＢのカラーパターン、及び、露光用
のトンボマークを設けてあり、一度で露光ができる露光
用マスクの形態を示す図である。
のトンボマークを設けてあり、一度で露光ができる露光
用マスクの形態を示す図である。
【図４】図４はカラーパターン画素部は遮光性で、それ
以外の部分が光透過性になっているもので、ブラックマ
トリクス部を形成する露光用マスクの形態を示す図であ
る。
以外の部分が光透過性になっているもので、ブラックマ
トリクス部を形成する露光用マスクの形態を示す図であ
る。
【図５】図５はＲＧＢの露光を３回に分けて行うための
露光用マスクの形態を示す図である。
露光用マスクの形態を示す図である。
１ トンボマーク付き支持体 ２ 感光層付き基板 ３ 感光層 ４ トンボマーク付き露光用マスク１（一括露光用） ５ 位置合わせ用顕微鏡装置 ６ 光源 ８ 投影用レンズ ９ 露光用トンボマーク １０ トンボマーク付き露光用マスク１（一括露光
用） １１ 赤フィルター部 １２ 緑フィルター部 １３ 青フィルター部 １４ 遮光部 ２０ トンボマーク付き露光用マスク３（ブラックマ
トリクス部露光用） ２１ 遮光部 ２２ 光透過部（ブラックマトリクス用） ３０ トンボマーク付き露光用マスク２（ＲＧＢ露光
用） ３１ 光透過部（Ｒ部用） ３２ 遮光部（Ｇ部用） ３３ 遮光部（Ｂ部用） ３４ 遮光部（ブラックマトリクス用）
用） １１ 赤フィルター部 １２ 緑フィルター部 １３ 青フィルター部 １４ 遮光部 ２０ トンボマーク付き露光用マスク３（ブラックマ
トリクス部露光用） ２１ 遮光部 ２２ 光透過部（ブラックマトリクス用） ３０ トンボマーク付き露光用マスク２（ＲＧＢ露光
用） ３１ 光透過部（Ｒ部用） ３２ 遮光部（Ｇ部用） ３３ 遮光部（Ｂ部用） ３４ 遮光部（ブラックマトリクス用）
Claims (3)
- 【請求項１】 カラー感光材料を用いて、基板上にカラ
ーフィルターを作製する方法において、位置合わせマー
クを設けた支持体上に、カラー感光層を有する基板を重
ね合わせて固定し、さらにその上に位置合わせマークを
設けた露光用マスクを配置し、露光用マスクと支持体の
両位置合わせマークを基準として位置合わせして露光し
た後、現像処理を行い、基板上にカラーパターン画像を
得ることを特徴とするカラーフィルターの作製方法。 - 【請求項２】 カラー感光材料を用いて、基板上にカラ
ーフィルターを作製する方法において、位置合わせマー
クを設けた支持体と位置合わせマークを設けた露光用マ
スクとを、位置合わせマークを基準として位置合わせを
行い重ね合わせた後、カラー感光層を有する予め固定さ
れた基板へ変倍して投影露光し、現像処理を行い、基板
上にカラーパターン画像を得ることを特徴とするカラー
フィルターの作製方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載の方法において、 前記露光マスクとして、３種の色にそれぞれ対応した３
種の画素群と、この画素群を画素ごとに仕切るブラック
マトリクス部とからなり、前記画素群のうちいずれか一
種の画素群のみが透明であり、他の２種の画素群と前記
ブラックマトリクス部分が遮光性を有する第１露光用マ
スクと、 前記第１露光用マスクと同じ配置の画素群とブラックマ
トリクス部とからなり、全画素が遮光性を有し、ブラッ
クマトリクス部が透明である第２露光用マスクと、 Ｂ（青）、Ｇ（緑）、Ｒ（赤）の各フィルタとを用い、 前記各フィルタを用いる露光時に、前記第１露光用マス
クを前記感光材料に対して１画素分ずらして色ごとに露
光する工程と、該露光工程の前又は後に、前記第２露光
用マスクによりブラックマトリクス部へ白色光を露光す
る工程とにより露光した後、現像処理を行い、基板上に
Ｂ（青），Ｇ（緑），Ｒ（赤），Ｋ（黒）のカラーパタ
ーン画像を得ることを特徴とするカラーフィルターの作
製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27489696A JPH09171106A (ja) | 1995-10-19 | 1996-10-17 | カラーフィルターの作製方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27131995 | 1995-10-19 | ||
| JP7-271319 | 1995-10-19 | ||
| JP27489696A JPH09171106A (ja) | 1995-10-19 | 1996-10-17 | カラーフィルターの作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09171106A true JPH09171106A (ja) | 1997-06-30 |
Family
ID=26549651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27489696A Pending JPH09171106A (ja) | 1995-10-19 | 1996-10-17 | カラーフィルターの作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09171106A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005106591A1 (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Integrated Solutions Co., Ltd. | 露光パターン形成方法 |
| JP2007093714A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Sumitomo Chemical Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| CN105182680A (zh) * | 2015-10-22 | 2015-12-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 色阻掩膜板及其使用方法 |
| CN109062000A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模工艺和掩模板组 |
-
1996
- 1996-10-17 JP JP27489696A patent/JPH09171106A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005106591A1 (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Integrated Solutions Co., Ltd. | 露光パターン形成方法 |
| JP2007093714A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Sumitomo Chemical Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| CN105182680A (zh) * | 2015-10-22 | 2015-12-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 色阻掩膜板及其使用方法 |
| CN105182680B (zh) * | 2015-10-22 | 2019-12-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 色阻掩膜板及其使用方法 |
| CN109062000A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模工艺和掩模板组 |
| US11204546B2 (en) | 2018-08-31 | 2021-12-21 | Beijing Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Masking process and mask set |
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