JPS61295505A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS61295505A JPS61295505A JP60138287A JP13828785A JPS61295505A JP S61295505 A JPS61295505 A JP S61295505A JP 60138287 A JP60138287 A JP 60138287A JP 13828785 A JP13828785 A JP 13828785A JP S61295505 A JPS61295505 A JP S61295505A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photomask
- substrate
- color filter
- mask
- resin film
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はカラーテレビ等に使用されるカラーフィルタ
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
［従来の技術］
カラーテレビ等に用いられるカラーフィルタは赤色、緑
色、青色のストライプが微細に形成されたもので、三色
のフィルタを決められた位置に正確に形成するために、
第１１図示のように、ガラスなどの透明基板２１にアル
ミニウムなどの金属膜で位置合せ用のマーク２２を設け
ておき、これに各色相のフォトマスクの位置合せ用のマ
ーク２３を第１２図示のように合せて露光させている。
色、青色のストライプが微細に形成されたもので、三色
のフィルタを決められた位置に正確に形成するために、
第１１図示のように、ガラスなどの透明基板２１にアル
ミニウムなどの金属膜で位置合せ用のマーク２２を設け
ておき、これに各色相のフォトマスクの位置合せ用のマ
ーク２３を第１２図示のように合せて露光させている。
そこで従来のカラーフィルタの製造方法を示すと第１３
図のように基板２１にＡ１等の金属膜２４を設け、この
上にレジスト２５をバターニングして（第１４図）金属
膜２４をエツチングしく第１５図）、レジストを剥離し
て位置合せマーク２２を形成している（第１５図）。つ
ぎに染色工程に入り、第１６図のように、ゼラチンなど
の染色膜２６を塗布し、ざらにその上にフォトレジスト
２７を塗布し、フォトマスク２８を、その位置合せマー
クを基板２１の所定の位置合せマーク２２と合せて露光
する。レジストをバターニングして染色マスク２９を形
成しく第１７図）、一番目の色たとえば赤色で染色しカ
ラーフィルタパターンＲを形成１゛る（第１８図）。同
様の染色工程を繰り返して二番目、三番目の染料で染色
して、赤Ｒ１緑Ｇ、青Ｂの三色によるカラーフィルタを
形成している（第１９図）。
図のように基板２１にＡ１等の金属膜２４を設け、この
上にレジスト２５をバターニングして（第１４図）金属
膜２４をエツチングしく第１５図）、レジストを剥離し
て位置合せマーク２２を形成している（第１５図）。つ
ぎに染色工程に入り、第１６図のように、ゼラチンなど
の染色膜２６を塗布し、ざらにその上にフォトレジスト
２７を塗布し、フォトマスク２８を、その位置合せマー
クを基板２１の所定の位置合せマーク２２と合せて露光
する。レジストをバターニングして染色マスク２９を形
成しく第１７図）、一番目の色たとえば赤色で染色しカ
ラーフィルタパターンＲを形成１゛る（第１８図）。同
様の染色工程を繰り返して二番目、三番目の染料で染色
して、赤Ｒ１緑Ｇ、青Ｂの三色によるカラーフィルタを
形成している（第１９図）。
［発明が解決しようとする問題点］
上記従来例においては、基板にめらかしめ位置合せマー
クを設けるため工程が複雑になり、また三色で染め分【
ブるには、染色マスクを形成するために三枚のフォトマ
スクによる位置合せ工程が必要でめった。
クを設けるため工程が複雑になり、また三色で染め分【
ブるには、染色マスクを形成するために三枚のフォトマ
スクによる位置合せ工程が必要でめった。
［問題点を解決するための手段］
この発明は上記従来技術における欠点を解決するための
もので、基板に一色目のカラーフィルタパターンを形成
する際に同時に基板に位置合せマークも形成するように
することにより、金属膜による位置合せマークの形成を
不用としたものである。
もので、基板に一色目のカラーフィルタパターンを形成
する際に同時に基板に位置合せマークも形成するように
することにより、金属膜による位置合せマークの形成を
不用としたものである。
［実施例］
第１図において、基板１はガラスなどの透明な材料で形
成され、この上に可染性樹脂膜２が設けられている。可
染性樹脂膜２の材料としてはゼラチンなどを用いること
ができる。この可染性樹脂ＩＩ！ ２の上にフォトレジ
スト３を塗布し、フォトマスク４を用いて露光し、現像
して染色マスク５を形成する（第２図）。そして青色の
染料で染色することにより、可染性樹脂膜２に青色のカ
ラーフィルタパターンＢおよび位置合せマーク６．７を
形成する（第３図）。第１色目を青色とすると、青色の
位置合せマーク６．７が形成され、イエロールーム内で
後工程において位置合せする場合にも見やすくて作業が
しやすい。つぎに再び全面にフｔトレジス１−８を塗布
し、フォトマスク９を用いて露光する（第４図）。その
際フォトマスク９の位置合せは上記位置合せマーク６．
７とフォトマスク９のマークとを合せておこなう。現像
して染色マスク１０を形成する（第５図）。そして２番
目の色、たとえば赤色の染料で染色することにより、可
染性樹脂膜２に赤色のカラーフィルタパターンＲを形成
する（第６図）。同様にして、フォトレジスト１１を塗
布し、フォトマスク１２を用いて露光しく第７図）、現
像して染色マスク１３を形成する（第８図）。そして３
番目の色たとえば緑色の染料で染色することにより可染
性樹脂膜２に緑色のカラーフィルタパターンＧを形成す
る（第９図）。
成され、この上に可染性樹脂膜２が設けられている。可
染性樹脂膜２の材料としてはゼラチンなどを用いること
ができる。この可染性樹脂ＩＩ！ ２の上にフォトレジ
スト３を塗布し、フォトマスク４を用いて露光し、現像
して染色マスク５を形成する（第２図）。そして青色の
染料で染色することにより、可染性樹脂膜２に青色のカ
ラーフィルタパターンＢおよび位置合せマーク６．７を
形成する（第３図）。第１色目を青色とすると、青色の
位置合せマーク６．７が形成され、イエロールーム内で
後工程において位置合せする場合にも見やすくて作業が
しやすい。つぎに再び全面にフｔトレジス１−８を塗布
し、フォトマスク９を用いて露光する（第４図）。その
際フォトマスク９の位置合せは上記位置合せマーク６．
７とフォトマスク９のマークとを合せておこなう。現像
して染色マスク１０を形成する（第５図）。そして２番
目の色、たとえば赤色の染料で染色することにより、可
染性樹脂膜２に赤色のカラーフィルタパターンＲを形成
する（第６図）。同様にして、フォトレジスト１１を塗
布し、フォトマスク１２を用いて露光しく第７図）、現
像して染色マスク１３を形成する（第８図）。そして３
番目の色たとえば緑色の染料で染色することにより可染
性樹脂膜２に緑色のカラーフィルタパターンＧを形成す
る（第９図）。
なお上述の実施例では基板１上に位置合せマーク６．７
が青色に染色された可染性樹脂膜２によって形成されて
いるが、この位置合せマークを見やすくするために、第
１０図示のように、基板の位置合せマークを付す部分に
あらかじめアルミニウム等の金属膜１４を設けておいて
もよい。このようにすることにより銀色の散乱地の中に
青色の位置合せマーク６．７が形成されることになりよ
り兄やすくなる。
が青色に染色された可染性樹脂膜２によって形成されて
いるが、この位置合せマークを見やすくするために、第
１０図示のように、基板の位置合せマークを付す部分に
あらかじめアルミニウム等の金属膜１４を設けておいて
もよい。このようにすることにより銀色の散乱地の中に
青色の位置合せマーク６．７が形成されることになりよ
り兄やすくなる。
［発明の効果］
この発明によれば、一色目のカラーフィルタパターンを
形成する際に一緒に位置合せマークを形成するので、基
板上に必らかしめ八 等の金属膜で位置合せマークを形
成する工程が不要となり、また、一色目の染色マスクを
形成する際の露光において、フォトマスクの位置合せが
不要となるので工程の簡素化をはかることができる。
形成する際に一緒に位置合せマークを形成するので、基
板上に必らかしめ八 等の金属膜で位置合せマークを形
成する工程が不要となり、また、一色目の染色マスクを
形成する際の露光において、フォトマスクの位置合せが
不要となるので工程の簡素化をはかることができる。
第１図〜第９図は本発明の実施例を工程順に示す断面説
明図、第１０図は本発明の実施例の基板の平面図、第１
１図は従来の基板の平面図、第１２図はフォトマスクの
位置合ぜの説明図、第１３図〜第１９図は従来例を製造
工程を追って示す断面図である。 １・・・・・・基板 ２・・・・・・可染性樹脂膜 ３・・・・・・フォトレジスト ４・・・・・・フォトマスク ５・・・・・・染色マスク ６・・・・・・位置合せマーク ７・・・・・・位置合せマーク ８・・・・・・フォトレジスト ９・・・・・・フォトマスク １０・・・・・・染色マスク １１・・・・・・フォトレジスト １２・・・・・・フォトマスク １３・・・・・・染色マスク Ｂ・・・・・・青色のカラーフィルタパターンＲ・・・
・・・赤色のカラーフィルタパターンＧ・・・・・・緑
色のカラーフィルタパターン以上
明図、第１０図は本発明の実施例の基板の平面図、第１
１図は従来の基板の平面図、第１２図はフォトマスクの
位置合ぜの説明図、第１３図〜第１９図は従来例を製造
工程を追って示す断面図である。 １・・・・・・基板 ２・・・・・・可染性樹脂膜 ３・・・・・・フォトレジスト ４・・・・・・フォトマスク ５・・・・・・染色マスク ６・・・・・・位置合せマーク ７・・・・・・位置合せマーク ８・・・・・・フォトレジスト ９・・・・・・フォトマスク １０・・・・・・染色マスク １１・・・・・・フォトレジスト １２・・・・・・フォトマスク １３・・・・・・染色マスク Ｂ・・・・・・青色のカラーフィルタパターンＲ・・・
・・・赤色のカラーフィルタパターンＧ・・・・・・緑
色のカラーフィルタパターン以上
Claims (2)
- （１）基板上に可染性樹脂膜を設け、さらにフォトレジ
スト膜を設けこれをフォトマスクを用いて露光、現像し
て染色マスクを形成し、一色目の染料で上記可染性樹脂
膜を染色してカラーフィルタパターンと位置合せマーク
とを形成し、ついで上記位置合せマークを利用して染色
マスクの形成および染色をくり返して上記可染性樹脂膜
を赤色、緑色および青色で染め分ける ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - （２）上記一色目の染料は青色である特許請求の範囲第
１項のカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60138287A JPS61295505A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60138287A JPS61295505A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61295505A true JPS61295505A (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=15218367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60138287A Pending JPS61295505A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61295505A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6446704A (en) * | 1987-08-17 | 1989-02-21 | Casio Computer Co Ltd | Manufacture of color filter |
| JPS6456417A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Sharp Kk | Color filter for liquid crystal display body |
| DE4007119A1 (de) * | 1989-12-02 | 1991-06-13 | Samsung Electronics Co Ltd | Farbfilter und verfahren zu seiner herstellung |
| CN112291464A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-01-29 | 维沃移动通信有限公司 | 摄像头镜片制作方法、摄像头镜片及电子设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5581310A (en) * | 1978-12-14 | 1980-06-19 | Dainippon Printing Co Ltd | Production of color stripe filter |
| JPS5640243A (en) * | 1979-09-11 | 1981-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mask alignment |
| JPS6086504A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | カラ−固体撮像装置の製造方法 |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP60138287A patent/JPS61295505A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5581310A (en) * | 1978-12-14 | 1980-06-19 | Dainippon Printing Co Ltd | Production of color stripe filter |
| JPS5640243A (en) * | 1979-09-11 | 1981-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mask alignment |
| JPS6086504A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | カラ−固体撮像装置の製造方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6446704A (en) * | 1987-08-17 | 1989-02-21 | Casio Computer Co Ltd | Manufacture of color filter |
| JPS6456417A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Sharp Kk | Color filter for liquid crystal display body |
| DE4007119A1 (de) * | 1989-12-02 | 1991-06-13 | Samsung Electronics Co Ltd | Farbfilter und verfahren zu seiner herstellung |
| CN112291464A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-01-29 | 维沃移动通信有限公司 | 摄像头镜片制作方法、摄像头镜片及电子设备 |
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