JPH0443562B2 - - Google Patents
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- JPH0443562B2 JPH0443562B2 JP60138285A JP13828585A JPH0443562B2 JP H0443562 B2 JPH0443562 B2 JP H0443562B2 JP 60138285 A JP60138285 A JP 60138285A JP 13828585 A JP13828585 A JP 13828585A JP H0443562 B2 JPH0443562 B2 JP H0443562B2
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- Optical Filters (AREA)
Description
この発明は、液晶カラーテレビやCCDカラー
撮像装置等に使用されるカラーフイルタの製造方
法に関するものである。
撮像装置等に使用されるカラーフイルタの製造方
法に関するものである。
【従来の技術】
従来、カラーフイルタの製法として、光硬化性
樹脂に着色剤を添加した光硬化性着色膜剤を用
い、これをガラス基板上に塗布乾燥させて所定の
パターンのマスクを介して露光し部分的に硬化さ
せ、未硬化部分を溶解させて、一の色の不溶化し
たストライプ上パターンを形成する工程を複数回
繰り返して行ない、例えば、赤、緑、青の３色の
ストライプ状パターンをマトリクス状に形成した
カラーフイルタを形成する方法が知られている
（例えば、特開昭57−16407号公報または特開昭59
−113404号公報等）。 一般に、液晶カラーテレビ等に用いられるカラ
ーフイルタは、赤色、緑色、青色のストライプが
数十μmから数百μm幅の微細なもので、３色のフ
イルタを決められた位置に正確に形成するため
に、第９図示のように、透明なフイルタ基板１３
にAlなどの金属膜で位置合せ用の基準マーク１
４を設けておき、これに各色用のフオトマスクの
位置合せ用のマーク１５を第１０図示のように合
せて露光させている。
樹脂に着色剤を添加した光硬化性着色膜剤を用
い、これをガラス基板上に塗布乾燥させて所定の
パターンのマスクを介して露光し部分的に硬化さ
せ、未硬化部分を溶解させて、一の色の不溶化し
たストライプ上パターンを形成する工程を複数回
繰り返して行ない、例えば、赤、緑、青の３色の
ストライプ状パターンをマトリクス状に形成した
カラーフイルタを形成する方法が知られている
（例えば、特開昭57−16407号公報または特開昭59
−113404号公報等）。 一般に、液晶カラーテレビ等に用いられるカラ
ーフイルタは、赤色、緑色、青色のストライプが
数十μmから数百μm幅の微細なもので、３色のフ
イルタを決められた位置に正確に形成するため
に、第９図示のように、透明なフイルタ基板１３
にAlなどの金属膜で位置合せ用の基準マーク１
４を設けておき、これに各色用のフオトマスクの
位置合せ用のマーク１５を第１０図示のように合
せて露光させている。
フイルタの形成において、光硬化性着色膜剤を
使う場合は、膜剤自体が感光性を有するために、
作業は、イエロールーム中で行なわなくてはなら
ない。しかし、イエロールームの中では、青色が
黄色の光を通さないために、基板に青色の光硬化
性着色膜剤を塗布すると基板全体が真黒に見えて
しまい、位置合せマークが非常に見難く、正確に
パターニングすることが難しかつた。 また、第９図示のように、基板にAlなどで位
置合せマークを形成するには、基板にAlなどで
金属膜を設けて、これをパターンエツチングしな
ければならないために手間とコストがかかつてい
た。 一方、最初の色パターンの形成を行なうとき
に、後続の赤色と緑色のパターン形成用フオトマ
スクの位置合せ用の基準マークを一緒に形成する
技法が特開昭56−40243号公報や特開昭60−86504
号公報にて提案されているが、イエロールーム内
での色の視認性についての配慮がなされていなか
つた。 そこで、この発明は、上記従来の技術における
欠点を解決しかつイエロールーム内での一連の作
業を正確にかつ容易に行なえるカラーフイルタの
製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
使う場合は、膜剤自体が感光性を有するために、
作業は、イエロールーム中で行なわなくてはなら
ない。しかし、イエロールームの中では、青色が
黄色の光を通さないために、基板に青色の光硬化
性着色膜剤を塗布すると基板全体が真黒に見えて
しまい、位置合せマークが非常に見難く、正確に
パターニングすることが難しかつた。 また、第９図示のように、基板にAlなどで位
置合せマークを形成するには、基板にAlなどで
金属膜を設けて、これをパターンエツチングしな
ければならないために手間とコストがかかつてい
た。 一方、最初の色パターンの形成を行なうとき
に、後続の赤色と緑色のパターン形成用フオトマ
スクの位置合せ用の基準マークを一緒に形成する
技法が特開昭56−40243号公報や特開昭60−86504
号公報にて提案されているが、イエロールーム内
での色の視認性についての配慮がなされていなか
つた。 そこで、この発明は、上記従来の技術における
欠点を解決しかつイエロールーム内での一連の作
業を正確にかつ容易に行なえるカラーフイルタの
製造方法を提供することを目的とするものであ
る。
上記課題を達成するために、この発明では、イ
エロールーム内での一連の作業において、最初に
青色パターンの形成を行なうとともに、この最初
の青色パターンの形成時に、後続の赤色と緑色の
パターン形成用フオトマスクの位置合せ用の基準
マークを上記青色の光硬化性着色膜にて上記フイ
ルタ基板上に一緒に形成し、後続の赤色と緑色の
各パターン形成時には、上記青色の基準マークに
それぞれのフオトマスクの位置合せマークを合せ
ることを特徴とするものである。
エロールーム内での一連の作業において、最初に
青色パターンの形成を行なうとともに、この最初
の青色パターンの形成時に、後続の赤色と緑色の
パターン形成用フオトマスクの位置合せ用の基準
マークを上記青色の光硬化性着色膜にて上記フイ
ルタ基板上に一緒に形成し、後続の赤色と緑色の
各パターン形成時には、上記青色の基準マークに
それぞれのフオトマスクの位置合せマークを合せ
ることを特徴とするものである。
第１図において、フイルタ基板１は透明なガラ
スなどの材料で形成されたものであり、この上に
最初に青色の光硬化性着色膜２をスピンコートな
どの方法で一面に薄く形成する。ここに用いる光
硬化性着色膜剤２の例として、10％のゼラチン溶
液100ｇに、青色の酸性染料２ｇと、感光剤とし
て重クロム酸アンモニウム１ｇを添加したものを
用いる。これをスピンコート後、90℃で数分間ベ
ークする。 つぎに、フオトマスク３を用いて露光し（第２
図）、その後で60℃の温水で現像する。これによ
り、青色パターン４と同じ膜剤によるマスク位置
合せ用の基準マーク５が形成される（第３図）。 つぎに、赤色の酸性染料を入れた赤色の光硬化
性着色膜６を塗布、乾燥し、フオトマスク７を用
いてパターン露光させる。このとき、フオトマス
ク７の位置合せマークを基準マーク５と合せて位
置合せをおこなう（第４図）。その後で現像して、
赤色パターン８を形成する（第５図）。 同様に緑色の酸性染料を入れた緑色の光硬化性
着色膜９を塗布、乾燥し、フオトマスク１０を用
いてその位置合せマークをフイルタ基板１上に形
成した基準マーク５の所定のものと合せて位置合
せをして露光する（第６図）。その後で現像して
緑色パターン１１を形成する。 これにより、青色パターン４、赤色パターン
８、緑色パターン１１がマトリクス状に規則正し
く分布する３色カラーフイルタが完成する（第７
図）。 フオトマスク７，１０の位置合せのとき、最初
に形成された青色の基準マーク５はイエロールー
ム内で黒色に視認されるために、後続の赤色用、
緑色用のフオトマスク７，１０の位置合せが非常
に行ない易い。 上記実施例において、フイルタ基板１上に形成
される基準マーク５を見やすくするため、フイル
タ基板１上にあらかじめ、第８図示のように、基
準マーク５を形成する部分に、あらかじめAl等
の金属膜１２を設けておいて、その上に基準マー
ク５を形成してもよい。
スなどの材料で形成されたものであり、この上に
最初に青色の光硬化性着色膜２をスピンコートな
どの方法で一面に薄く形成する。ここに用いる光
硬化性着色膜剤２の例として、10％のゼラチン溶
液100ｇに、青色の酸性染料２ｇと、感光剤とし
て重クロム酸アンモニウム１ｇを添加したものを
用いる。これをスピンコート後、90℃で数分間ベ
ークする。 つぎに、フオトマスク３を用いて露光し（第２
図）、その後で60℃の温水で現像する。これによ
り、青色パターン４と同じ膜剤によるマスク位置
合せ用の基準マーク５が形成される（第３図）。 つぎに、赤色の酸性染料を入れた赤色の光硬化
性着色膜６を塗布、乾燥し、フオトマスク７を用
いてパターン露光させる。このとき、フオトマス
ク７の位置合せマークを基準マーク５と合せて位
置合せをおこなう（第４図）。その後で現像して、
赤色パターン８を形成する（第５図）。 同様に緑色の酸性染料を入れた緑色の光硬化性
着色膜９を塗布、乾燥し、フオトマスク１０を用
いてその位置合せマークをフイルタ基板１上に形
成した基準マーク５の所定のものと合せて位置合
せをして露光する（第６図）。その後で現像して
緑色パターン１１を形成する。 これにより、青色パターン４、赤色パターン
８、緑色パターン１１がマトリクス状に規則正し
く分布する３色カラーフイルタが完成する（第７
図）。 フオトマスク７，１０の位置合せのとき、最初
に形成された青色の基準マーク５はイエロールー
ム内で黒色に視認されるために、後続の赤色用、
緑色用のフオトマスク７，１０の位置合せが非常
に行ない易い。 上記実施例において、フイルタ基板１上に形成
される基準マーク５を見やすくするため、フイル
タ基板１上にあらかじめ、第８図示のように、基
準マーク５を形成する部分に、あらかじめAl等
の金属膜１２を設けておいて、その上に基準マー
ク５を形成してもよい。
以上詳細に説明した本発明に係るカラーフイル
タの製造方法によれば、最初に青色パターンの形
成を行なうようにしてこの最初の青色パターンの
形成時に、後続の赤色と緑色のパターン形成用フ
オトマスクの位置合せ用の基準マークを上記青色
の光硬化性着色膜にて上記フイルタ基板上に一緒
に形成し、後続の赤色と緑色の各パターン形成時
には、上記青色の基準マークにそれぞれのフオト
マスクの位置合せマークを合せるようにしたか
ら、イエロールーム内で位置合せ用の基準マーク
をはつきりと視認することができ、マスクの位置
合せが容易にかつ正確にできる。
タの製造方法によれば、最初に青色パターンの形
成を行なうようにしてこの最初の青色パターンの
形成時に、後続の赤色と緑色のパターン形成用フ
オトマスクの位置合せ用の基準マークを上記青色
の光硬化性着色膜にて上記フイルタ基板上に一緒
に形成し、後続の赤色と緑色の各パターン形成時
には、上記青色の基準マークにそれぞれのフオト
マスクの位置合せマークを合せるようにしたか
ら、イエロールーム内で位置合せ用の基準マーク
をはつきりと視認することができ、マスクの位置
合せが容易にかつ正確にできる。
第１図から第７図までは本発明方法によつてカ
ラーフイルタを製造する工程順に示す説明図、第
８図は基準マークが形成されたフイルタ基板の他
の例を示す平面図、第９図は従来例におけるフイ
ルタ基板上の基準マークを示す平面図、第１０図
はフイルタ基板の基準マークとフオトマスクの位
置合せマークとを合せた状態を示す説明図であ
る。 １……フイルタ基板、２……青色の光硬化性着
色膜、３……フオトマスク、４……青色パター
ン、５……青色の基準マーク、６……赤色の光硬
化性着色膜、７……フオトマスク、８……赤色パ
ターン、９……緑色の光硬化性着色膜、１０……
フオトマスク、１１……緑色パターン。
ラーフイルタを製造する工程順に示す説明図、第
８図は基準マークが形成されたフイルタ基板の他
の例を示す平面図、第９図は従来例におけるフイ
ルタ基板上の基準マークを示す平面図、第１０図
はフイルタ基板の基準マークとフオトマスクの位
置合せマークとを合せた状態を示す説明図であ
る。 １……フイルタ基板、２……青色の光硬化性着
色膜、３……フオトマスク、４……青色パター
ン、５……青色の基準マーク、６……赤色の光硬
化性着色膜、７……フオトマスク、８……赤色パ
ターン、９……緑色の光硬化性着色膜、１０……
フオトマスク、１１……緑色パターン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ イエロールーム内で、あらかじめ着色された
光硬化性着色膜を透明なフイルタ基板の表面に一
面に形成して上記光硬化性着色膜をそれぞれのフ
オトマスクを用いて露光し現像する工程を繰り返
し行うことにより、上記透明基板上に赤色、緑
色、青色の各パターンをマトリクス状に形成する
カラーフイルタの製造方法において、 最初に青色パターンの形成を行なうとともに、
この最初の青色パターンの形成時に、後続の赤色
と緑色のパターン形成用フオトマスクの位置合せ
用の基準マークを上記青色の光硬化性着色膜にて
上記フイルタ基板上に一緒に形成し、 後続の赤色と緑色の各パターン形成時には、上
記青色の基準マークにそれぞれのフオトマスクの
位置合せマークを合せる ことを特徴とするカラーフイルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60138285A JPS61295503A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60138285A JPS61295503A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61295503A JPS61295503A (ja) | 1986-12-26 |
| JPH0443562B2 true JPH0443562B2 (ja) | 1992-07-17 |
Family
ID=15218322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60138285A Granted JPS61295503A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | カラ−フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61295503A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010085433A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Dainippon Printing Co Ltd | アライメントマーク部のマーク位置検出方法およびカラーフィルタ形成基板の作製方法。 |
| JP2010091607A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | アライメント用の基板 |
| KR101306569B1 (ko) * | 2012-07-19 | 2013-09-10 | 주식회사 솔라시아 | 시큐어 ｏｓ를 이용한 모바일 디바이스의 도어락 개폐 시스템 및 도어락 개폐 방법 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2694267B2 (ja) * | 1987-08-17 | 1997-12-24 | カシオ計算機株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
| JPS6456417A (en) * | 1987-08-27 | 1989-03-03 | Sharp Kk | Color filter for liquid crystal display body |
| JPH02153303A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置用カラーフィルター基板の製造方法および液晶表示装置用カラーフィルター基板装置 |
| JP2741111B2 (ja) * | 1991-03-29 | 1998-04-15 | 富士写真フイルム株式会社 | カラーフイルターの作成方法 |
| JP4582269B2 (ja) * | 2000-05-30 | 2010-11-17 | 凸版印刷株式会社 | ブラックマトリックスを具備しないカラーフィルタの製造方法 |
| JP6672883B2 (ja) * | 2016-02-25 | 2020-03-25 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5640243A (en) * | 1979-09-11 | 1981-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mask alignment |
| JPS59113404A (ja) * | 1982-12-20 | 1984-06-30 | Sanyo Electric Co Ltd | カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS6086504A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | カラ−固体撮像装置の製造方法 |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP60138285A patent/JPS61295503A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5640243A (en) * | 1979-09-11 | 1981-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mask alignment |
| JPS59113404A (ja) * | 1982-12-20 | 1984-06-30 | Sanyo Electric Co Ltd | カラ−固体撮像素子用カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS6086504A (ja) * | 1983-10-17 | 1985-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | カラ−固体撮像装置の製造方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010085433A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Dainippon Printing Co Ltd | アライメントマーク部のマーク位置検出方法およびカラーフィルタ形成基板の作製方法。 |
| JP2010091607A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Dainippon Printing Co Ltd | アライメント用の基板 |
| KR101306569B1 (ko) * | 2012-07-19 | 2013-09-10 | 주식회사 솔라시아 | 시큐어 ｏｓ를 이용한 모바일 디바이스의 도어락 개폐 시스템 및 도어락 개폐 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61295503A (ja) | 1986-12-26 |
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