JP2694267B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明はカラーフィルタの製造方法に関する。
［従来技術］
従来、カラーテレビ用の液晶表示素子に用いられるカ
ラーフィルタは、ガラス基板上に配列形成された透明な
電極上に赤色、緑色、青色毎に順次パターニングされて
いる。このようなカラーフィルタをパターニングする際
には、第８図（ａ）に示すように、予め、ガラス基板１
上の隅部にアライメントマーク２をクロム等の金属膜で
形成しておき、このアライメントマーク２でマスク３の
位置合わせを行なってカラーフィルタをパターニングし
ている。即ち、このアライメントマーク２はカラーフィ
ルタを成形するときに用いるマスク３の位置合わせを行
なうものであり、赤色用2R、緑色用2G、青色用2B毎に３
種類あり、それぞれが「十」字状をなし、これらの間隔
がカラーフィルタのピッチ分ずつ等間隔にずれている。
また、カラーフィルタの成形時に用いるマスク３には、
ガラス基板の電極上にカラーフィルタを形成する開口部
のほかに、第８図（ｂ）に示すように、ガラス基板１上
に載置した際にアライメントマーク２と対応する位置合
わせマーク４が設けられている。この位置合わせマーク
４はアライメントマーク２の３種類（2R、2G、2B）と対
応する赤色用4R、緑色用4G、青色用4Bの３種類で、それ
ぞれが「十」字状のアライメントマーク２により仕切ら
れる４つの正方形からなり、この４つの正方形の部分の
みが光を透過しない黒色をなし、他の部分が透明になっ
ている。 このようなマスク３を用いてカラーフィルタをパター
ニングする場合には、まず、透明な電極が形成されたガ
ラス基板１上に感光性を有するカゼイン、グリュー等の
被染色膜を形成し、その上にマスク３を配置する。そし
て、第８図（ｃ）に示すように、ガラス基板１に形成さ
れたアライメントマーク２にマスク３側の位置合わせマ
ーク４を合わせる。即ち、赤色のカラーフィルタを形成
する場合には、アライメントマーク２の左側の赤色用2R
に位置合わせマーク４の左側の赤色用4Rを合わせ、緑色
のカラーフィルタを形成する場合には、アライメントマ
ーク２の緑色用2Gに位置合わせマーク４の緑色用4Gを合
わせ、青色のカラーフィルタを形成する場合には、アラ
イメントマーク２の青色用2Bに位置合わせマーク４の青
色用4Bを合わせる。すると、他のマークは少しずれて配
置される。このようにしてマスク３を正しい位置にセッ
トした後は、露光、現像を行ない、ガラス基板１の透明
な電極上に順次、赤色、緑色、青色のフィルタが形成さ
れる。 ［従来技術の問題点］ しかしながら、上記のようなカラーフィルタの製造方
法では、ガラス基板１上に予めクロム等の金属膜でアラ
イメントマーク２を形成しなければならないため、製造
工程数が多くなるとともに、クロム等の金属を蒸着した
高価な基板を用いなければならないという欠点がある。
また、パターンの露光に際しては、マスク３を配置した
後、そのまま露光したのでは、特に感光性被染色膜がネ
ガタイプであると、アライメントマーク２上にカラーフ
ィルタが形成されるとともに、他の２つのカラーフィル
タがずれて形成されてしまい、次に位置合わせを行なう
アライメントマーク２がフィルタで隠れてしまう。その
ため、露光の際には次に位置合わせを行ないマスク３の
位置合わせマーク４を何かで覆っておく必要があり、作
業性が極めて悪いという欠点があった。 ［発明の目的］ この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、複数色のカラーフィルタを形成
する際のマスクの位置決め工程を簡素化し、工程の単純
化を図り、高精度でカラーフィルタを製造することがで
きるカラーフィルタの製造方法を提供することにある。 ［発明の要点］ この発明は上述した目的を達成するために、所定のピ
ッチずつ移動させて感光性を有する膜を露光するマスク
に、前記ピッチに対応した距離だけ隔てて形成され、前
記基板上にアライメントマークを形成するための複数の
透光部分を設け、１つの色のフィルタを形成する工程で
前記マスクの複数の透光部分により、前記基板上に複数
のアライメントマークを形成し、これらのアライメント
マークの少なくとも一方により他の色のフィルタを形成
するためのマスクの位置決めを行うことを要点とするも
のである。 ［実施例］ 以下、第１図から第４図を参照して、この発明に係る
カラーフィルタの製造方法の一例を説明する。 第１図はマスク10を示す。このマスク10はガラス基板
11上にカラーフィルタFR、FG、FBを形成するためのもの
であり、２点鎖線で示すガラス基板11よりも１回り大き
く形成されており、その中央部分にはカラーフィルタF
R、FG、FBを形成する開口部12…が配列形成されている
とともに、ガラス基板11と対応する領域内の左上および
右下には位置合わせマーク13、13が形成されている。こ
の場合、開口部12…はマスク10の縦方向（上下方向）に
のびるスリット状に形成され、且つ横方向に等間隔P1で
配列形成されている。即ち、開口部12…の間隔P1は隣接
するカラーフィルタFR、FG、FBの間隔（ピッチ）ｐの３
倍（P1＝３×ｐ）に設定されている。また、位置合わせ
マーク13、13はそれぞれ２つの「十」字状の透光部分13
a、13bからなり、この透光部分13a、13bの間隔P2はカラ
ーフィルタFR、FG、FBの間隔ｐの４倍、つまり開口部12
…の間隔P1にカラーフィルタの間隔ｐを加えた長さ（P1
＋ｐ＝3p＋ｐ＝4p）に設定されている。 次に、上記のようなマスク10を用いてガラス基板11上
にカラーフィルタFR、FG、FBを形成する場合につて、第
２図から第４図を参照して説明する。 この場合には、予め、ガラス基板11の全面に感光性を
有するカゼイン、グリュー等の被染色膜を形成する。そ
して、ガラス基板11上にマスク10を載置し、第１図に示
すようにセットする。この状態で露光し、現像するとガ
ラス基板11上にカラーフィルタに対応する被染色膜が間
隔P1で形成される。そして、この被染色膜を赤色の染料
で染色すると、第２図に示すように、ガラス基板11上に
赤色フイルタFR…が形成される。同時に、マスク10の位
置合わせマーク13、13（一方は図示せず）によりガラス
基板11上にアライメントマーク14R1、14R2が赤色フィル
タFRと同様に形成される。即ち、位置合わせマーク13の
左側の透光部分13aでガラス基板11上に被染色膜の染色
により赤色のアライメントマーク14R1が形成され、この
アライメントマーク14R1から右側へ間隔P2離れてアライ
メントマーク14R2が形成される。 このように赤色フィルタFRを形成した後は、再び、そ
の全面に感光性を有する被染色膜を形成し、上述したマ
スク10を今度は右側へずらして載置する。即ち、マスク
10に形成された位置合わせマーク13の透光部分13a、13b
の間隔P2だけマスク10をずらし、位置合わせマーク13の
透光部分13aをガラス基板11上の右側のアライメントマ
ーク14R2に合わせて、マスク10の位置合わせを行なう。
そして、上述と同様に露光、現像を行なうと、赤色フィ
ルタFR…の隣に開口部12…に対応する被染色膜が形成さ
れ、この被染色膜を緑色の染料で染色する。すると、第
３図に示すように、赤色フィルタFR…の隣に緑色フィル
タFG…が形成され、同時に、マスク10の位置合わせマー
ク13によりガラス基板11上にアライメントマーク14G1、
14G2が緑色フィルタFGと同様に形成される。即ち、位置
合わせマーク13の左側の透光部分13aでガラス基板11上
に形成されていたアライメントマーク14R2上に被染色膜
の染色により緑色のアライメントマーク14G1が形成さ
れ、このアライメントマーク14G1から右側へ間隔P2離れ
た箇所にアライメントマーク14G2が新たに形成される。
なお、アライメントマーク14G1の左側には最初に形成さ
れた赤色のアライメントマーク14R1が残っている。ま
た、マスク10の移動量が位置合わせマーク13の透光部分
13a、13bの間隔P2であるから、最も左側に形成された赤
色フィルタFRの隣には緑色フィルタFGは形成されない。 このように緑色フィルタFGを形成した後は、上述した
ように、その全面に感光性を有する被染色膜を形成し、
上述したマスク10をさらに間隔P2だけ右側へずらして載
置する。そして、位置合わせマーク13の左側の透光部分
13aをガラス基板11上に新たに形成されたアライメント
マーク14G2に合わせて、マスク10の位置合わせを行な
う。そして、露光、現像を行なうと、緑色フィルタFG…
の隣、つまり赤色フィルタFR…と緑色フィルタFG…の間
に開口部12…に対応する被染色膜が形成される。この被
染色膜を青色の染料で染色すると、第４図に示すよう
に、ガラス基板11上に青色フィルタFB…が形成されると
同時に、マスク10の位置合わせマーク13によりガラス基
板11上に新たにアライメントマーク14B1、14B2が青色フ
ィルタFBと同様に形成される。即ち、位置合わせマーク
13の左側の透光部分13aでガラス基板11上に形成されて
いたアライメントマーク14G2上に被染色膜の染色により
青色のアライメントマーク14B1が形成され、このアライ
メントマーク14B1から右側へ間隔P2離れて新たにアライ
メントマーク14B2が形成される。なお、アライメントマ
ーク14B1の左側には最初に形成された赤色、緑色の各ア
ライメントマーク14R1、14G1が残る。またマスク10の移
動量が位置合わせマーク13の透光部分13a、13bの間隔P2
であるから、最も左側に形成された緑色フィルタFGの隣
には青色フィルタFBは形成されない。 以上述べたように、赤色フィルタFR、緑色フィルタF
G、青色フィルタFBを順次形成する際に、マスク10の位
置合わせマーク13により、ガラス基板11上にアライメン
トマーク14R1、14R2、14G1、14G2、14B1、14B2を順次新
たに形成するようにしたので、露光の際にマスク10に形
成された位置合わせマーク13の不要な部分を覆って遮光
する必要がなく、位置決め工程の簡素化でき、これによ
り位置決め工程の単純化を図ることができるとともに、
高精度にカラーフィルタを製造することができる。特
に、アライメントマークにより何色のカラーフィルタを
形成しているかを、色で簡単かつ正確に判断することが
できるので、位置決め作業を容易に行なうことができ
る。しかも、従来のようにガラス基板11上に予めクロム
等の金属でアライメントマークを形成する必要がないの
で、製造工程数が少なく、金属等を蒸着した高価な基板
を用いる必要がない。 次に、上記のようなカラーフィルタの製造方法でカラ
ーテレビ用の電極基板20を製造する場合について、第５
図および第６図を参照して説明する。 第５図は電極基板20を示す。この電極基板20は透明な
ガラス板であり、その上面には縦方向（上下方向）に細
長い信号電極21…が多数配列形成されており、上下端部
には端子22R…、22G…、22B…が配列形成され、これら
の端子22R、22G、22Bの各信号電極21…との間にはこれ
らを相互に接続するリード23…が形成されているほか、
特に左上隅と右下隅とにはそれぞれアライメントマーク
24、24が形成されている。この場合、信号電極21…はIT
O（酸化インジウムと酸化スズとの混合物）等の透明な
材料からなり、その上面に前述した赤色、緑色、青色の
カラーフィルタFR、FG、FBが順に形成される。また、ア
ライメントマーク24、24は前述したマスク10の位置合わ
せを行なうものであり、「十」字状をなし、第１図に実
線で示すように、それぞれ左寄りに１つずつ形成されて
いる。なお、端子22R、22G、22Bのうち、端子22R…、22
G…は電極基板20の下端側に２列に配列形成され、端子2
2B…は電極基板20の上端に配列形成されている。 このように電極基板20上に透明な信号電極21…および
アライメントマーク24、24が形成された後は、第６図に
示すように、前述したマスク10を用いて信号電極21…上
に赤、緑、青の３色のカラーフィルタFR、FG、FBを順に
形成する。即ち、赤色フィルタFR…を形成する場合に
は、電極基板20上にマスク10を配置し、マスク10に形成
された位置合わせマーク13のうち、左側の透光部分13
a、13aをそれぞれ電極基板20上のアライメントマーク2
4、24に合わせる。すると、マスク10の各開口部12…が
電極基板20上に形成された３つ目毎の信号電極21…と対
応し、位置合わせが行なわれる。この後、前述したよう
に露光、現像を行なうと、３つ目毎の信号電極21…上に
赤色フィルタFR…が形成される。なお、緑色フィルタFG
および青色フィルタFBは、前述した場合と全く同様に形
成される。このようにカラーフィルタFR、FG、FBが形成
された電極基板20の下面には偏光板25が設けられる。 次に、このような形成された電極基板20をカラーテレ
ビ用の液晶表示素子30に用いる場合について、第７図を
参照して説明する。 この場合には、予め、電極基板20上にカラーフィルタ
FR、FG、FBを覆って配向膜26を形成し、この配向膜26を
囲むように電極基板20上の周縁にシール材27を設ける。
この後、シール材27上に他の電極基板31を配置して接着
するのであるが、この上側の電極基板31には下側の電極
基板20と対向する下面に走査電極32…が上述した信号電
極21…と直交して形成されているとともに、この走査電
極32…を覆って配向膜33が形成されており、上面には偏
光板34が設けられている。そして、このように電極基板
20、31がシール材27を介して対向配置された後は、その
電極基板20、31間におけるシール材27で囲まれた内部に
液晶材35が封入される。これにより、下側の電極基板20
上に形成された赤色、緑色、青色の３つのカラーフィル
タFR、FG、FBと対応する信号電極21…と、上側の電極基
板31に形成された１つの走査電極32とが交差する部分が
１画素をなすカラーテレビ用の液晶表示素子30が得られ
る。このようにして得られた液晶表示素子30は、前述し
たようにカラーフィルタFR、FG、FBを容易に製作するこ
とができるとともに、高価な金属蒸着が不要であるか
ら、安価に製作することができるほか、特にカラーフィ
ルタを高精度で製作できるので、鮮明な画像を得ること
ができる。 なお、この発明はカラーテレビ用の液晶表示素子に限
らず、複数のカラーフィルタを形成するものに広く適用
することができる。 ［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、この発明に係るカラーフ
ィルタの製造方法によれば、所定のピッチずつ移動され
るマスクに、前記ピッチに対応した距離だけ隔てて形成
され、前記基板上にアライメントマークを形成するため
の複数の透光部分を設け、１つの色のフィルタを形成す
る工程で、前記基板上に複数のアライメントマークを形
成し、これらのアライメントマークの少なくとも一方に
より他の色のフィルタを形成するためのマスクの位置決
めを行うようにしたので、複数色のカラーフィルタを形
成する際のマスクの位置決め工程を簡素化し、工程の単
純化を図り、高精度でカラーフィルタを製造することが
できる。
ラーフィルタは、ガラス基板上に配列形成された透明な
電極上に赤色、緑色、青色毎に順次パターニングされて
いる。このようなカラーフィルタをパターニングする際
には、第８図（ａ）に示すように、予め、ガラス基板１
上の隅部にアライメントマーク２をクロム等の金属膜で
形成しておき、このアライメントマーク２でマスク３の
位置合わせを行なってカラーフィルタをパターニングし
ている。即ち、このアライメントマーク２はカラーフィ
ルタを成形するときに用いるマスク３の位置合わせを行
なうものであり、赤色用2R、緑色用2G、青色用2B毎に３
種類あり、それぞれが「十」字状をなし、これらの間隔
がカラーフィルタのピッチ分ずつ等間隔にずれている。
また、カラーフィルタの成形時に用いるマスク３には、
ガラス基板の電極上にカラーフィルタを形成する開口部
のほかに、第８図（ｂ）に示すように、ガラス基板１上
に載置した際にアライメントマーク２と対応する位置合
わせマーク４が設けられている。この位置合わせマーク
４はアライメントマーク２の３種類（2R、2G、2B）と対
応する赤色用4R、緑色用4G、青色用4Bの３種類で、それ
ぞれが「十」字状のアライメントマーク２により仕切ら
れる４つの正方形からなり、この４つの正方形の部分の
みが光を透過しない黒色をなし、他の部分が透明になっ
ている。 このようなマスク３を用いてカラーフィルタをパター
ニングする場合には、まず、透明な電極が形成されたガ
ラス基板１上に感光性を有するカゼイン、グリュー等の
被染色膜を形成し、その上にマスク３を配置する。そし
て、第８図（ｃ）に示すように、ガラス基板１に形成さ
れたアライメントマーク２にマスク３側の位置合わせマ
ーク４を合わせる。即ち、赤色のカラーフィルタを形成
する場合には、アライメントマーク２の左側の赤色用2R
に位置合わせマーク４の左側の赤色用4Rを合わせ、緑色
のカラーフィルタを形成する場合には、アライメントマ
ーク２の緑色用2Gに位置合わせマーク４の緑色用4Gを合
わせ、青色のカラーフィルタを形成する場合には、アラ
イメントマーク２の青色用2Bに位置合わせマーク４の青
色用4Bを合わせる。すると、他のマークは少しずれて配
置される。このようにしてマスク３を正しい位置にセッ
トした後は、露光、現像を行ない、ガラス基板１の透明
な電極上に順次、赤色、緑色、青色のフィルタが形成さ
れる。 ［従来技術の問題点］ しかしながら、上記のようなカラーフィルタの製造方
法では、ガラス基板１上に予めクロム等の金属膜でアラ
イメントマーク２を形成しなければならないため、製造
工程数が多くなるとともに、クロム等の金属を蒸着した
高価な基板を用いなければならないという欠点がある。
また、パターンの露光に際しては、マスク３を配置した
後、そのまま露光したのでは、特に感光性被染色膜がネ
ガタイプであると、アライメントマーク２上にカラーフ
ィルタが形成されるとともに、他の２つのカラーフィル
タがずれて形成されてしまい、次に位置合わせを行なう
アライメントマーク２がフィルタで隠れてしまう。その
ため、露光の際には次に位置合わせを行ないマスク３の
位置合わせマーク４を何かで覆っておく必要があり、作
業性が極めて悪いという欠点があった。 ［発明の目的］ この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、複数色のカラーフィルタを形成
する際のマスクの位置決め工程を簡素化し、工程の単純
化を図り、高精度でカラーフィルタを製造することがで
きるカラーフィルタの製造方法を提供することにある。 ［発明の要点］ この発明は上述した目的を達成するために、所定のピ
ッチずつ移動させて感光性を有する膜を露光するマスク
に、前記ピッチに対応した距離だけ隔てて形成され、前
記基板上にアライメントマークを形成するための複数の
透光部分を設け、１つの色のフィルタを形成する工程で
前記マスクの複数の透光部分により、前記基板上に複数
のアライメントマークを形成し、これらのアライメント
マークの少なくとも一方により他の色のフィルタを形成
するためのマスクの位置決めを行うことを要点とするも
のである。 ［実施例］ 以下、第１図から第４図を参照して、この発明に係る
カラーフィルタの製造方法の一例を説明する。 第１図はマスク10を示す。このマスク10はガラス基板
11上にカラーフィルタFR、FG、FBを形成するためのもの
であり、２点鎖線で示すガラス基板11よりも１回り大き
く形成されており、その中央部分にはカラーフィルタF
R、FG、FBを形成する開口部12…が配列形成されている
とともに、ガラス基板11と対応する領域内の左上および
右下には位置合わせマーク13、13が形成されている。こ
の場合、開口部12…はマスク10の縦方向（上下方向）に
のびるスリット状に形成され、且つ横方向に等間隔P1で
配列形成されている。即ち、開口部12…の間隔P1は隣接
するカラーフィルタFR、FG、FBの間隔（ピッチ）ｐの３
倍（P1＝３×ｐ）に設定されている。また、位置合わせ
マーク13、13はそれぞれ２つの「十」字状の透光部分13
a、13bからなり、この透光部分13a、13bの間隔P2はカラ
ーフィルタFR、FG、FBの間隔ｐの４倍、つまり開口部12
…の間隔P1にカラーフィルタの間隔ｐを加えた長さ（P1
＋ｐ＝3p＋ｐ＝4p）に設定されている。 次に、上記のようなマスク10を用いてガラス基板11上
にカラーフィルタFR、FG、FBを形成する場合につて、第
２図から第４図を参照して説明する。 この場合には、予め、ガラス基板11の全面に感光性を
有するカゼイン、グリュー等の被染色膜を形成する。そ
して、ガラス基板11上にマスク10を載置し、第１図に示
すようにセットする。この状態で露光し、現像するとガ
ラス基板11上にカラーフィルタに対応する被染色膜が間
隔P1で形成される。そして、この被染色膜を赤色の染料
で染色すると、第２図に示すように、ガラス基板11上に
赤色フイルタFR…が形成される。同時に、マスク10の位
置合わせマーク13、13（一方は図示せず）によりガラス
基板11上にアライメントマーク14R1、14R2が赤色フィル
タFRと同様に形成される。即ち、位置合わせマーク13の
左側の透光部分13aでガラス基板11上に被染色膜の染色
により赤色のアライメントマーク14R1が形成され、この
アライメントマーク14R1から右側へ間隔P2離れてアライ
メントマーク14R2が形成される。 このように赤色フィルタFRを形成した後は、再び、そ
の全面に感光性を有する被染色膜を形成し、上述したマ
スク10を今度は右側へずらして載置する。即ち、マスク
10に形成された位置合わせマーク13の透光部分13a、13b
の間隔P2だけマスク10をずらし、位置合わせマーク13の
透光部分13aをガラス基板11上の右側のアライメントマ
ーク14R2に合わせて、マスク10の位置合わせを行なう。
そして、上述と同様に露光、現像を行なうと、赤色フィ
ルタFR…の隣に開口部12…に対応する被染色膜が形成さ
れ、この被染色膜を緑色の染料で染色する。すると、第
３図に示すように、赤色フィルタFR…の隣に緑色フィル
タFG…が形成され、同時に、マスク10の位置合わせマー
ク13によりガラス基板11上にアライメントマーク14G1、
14G2が緑色フィルタFGと同様に形成される。即ち、位置
合わせマーク13の左側の透光部分13aでガラス基板11上
に形成されていたアライメントマーク14R2上に被染色膜
の染色により緑色のアライメントマーク14G1が形成さ
れ、このアライメントマーク14G1から右側へ間隔P2離れ
た箇所にアライメントマーク14G2が新たに形成される。
なお、アライメントマーク14G1の左側には最初に形成さ
れた赤色のアライメントマーク14R1が残っている。ま
た、マスク10の移動量が位置合わせマーク13の透光部分
13a、13bの間隔P2であるから、最も左側に形成された赤
色フィルタFRの隣には緑色フィルタFGは形成されない。 このように緑色フィルタFGを形成した後は、上述した
ように、その全面に感光性を有する被染色膜を形成し、
上述したマスク10をさらに間隔P2だけ右側へずらして載
置する。そして、位置合わせマーク13の左側の透光部分
13aをガラス基板11上に新たに形成されたアライメント
マーク14G2に合わせて、マスク10の位置合わせを行な
う。そして、露光、現像を行なうと、緑色フィルタFG…
の隣、つまり赤色フィルタFR…と緑色フィルタFG…の間
に開口部12…に対応する被染色膜が形成される。この被
染色膜を青色の染料で染色すると、第４図に示すよう
に、ガラス基板11上に青色フィルタFB…が形成されると
同時に、マスク10の位置合わせマーク13によりガラス基
板11上に新たにアライメントマーク14B1、14B2が青色フ
ィルタFBと同様に形成される。即ち、位置合わせマーク
13の左側の透光部分13aでガラス基板11上に形成されて
いたアライメントマーク14G2上に被染色膜の染色により
青色のアライメントマーク14B1が形成され、このアライ
メントマーク14B1から右側へ間隔P2離れて新たにアライ
メントマーク14B2が形成される。なお、アライメントマ
ーク14B1の左側には最初に形成された赤色、緑色の各ア
ライメントマーク14R1、14G1が残る。またマスク10の移
動量が位置合わせマーク13の透光部分13a、13bの間隔P2
であるから、最も左側に形成された緑色フィルタFGの隣
には青色フィルタFBは形成されない。 以上述べたように、赤色フィルタFR、緑色フィルタF
G、青色フィルタFBを順次形成する際に、マスク10の位
置合わせマーク13により、ガラス基板11上にアライメン
トマーク14R1、14R2、14G1、14G2、14B1、14B2を順次新
たに形成するようにしたので、露光の際にマスク10に形
成された位置合わせマーク13の不要な部分を覆って遮光
する必要がなく、位置決め工程の簡素化でき、これによ
り位置決め工程の単純化を図ることができるとともに、
高精度にカラーフィルタを製造することができる。特
に、アライメントマークにより何色のカラーフィルタを
形成しているかを、色で簡単かつ正確に判断することが
できるので、位置決め作業を容易に行なうことができ
る。しかも、従来のようにガラス基板11上に予めクロム
等の金属でアライメントマークを形成する必要がないの
で、製造工程数が少なく、金属等を蒸着した高価な基板
を用いる必要がない。 次に、上記のようなカラーフィルタの製造方法でカラ
ーテレビ用の電極基板20を製造する場合について、第５
図および第６図を参照して説明する。 第５図は電極基板20を示す。この電極基板20は透明な
ガラス板であり、その上面には縦方向（上下方向）に細
長い信号電極21…が多数配列形成されており、上下端部
には端子22R…、22G…、22B…が配列形成され、これら
の端子22R、22G、22Bの各信号電極21…との間にはこれ
らを相互に接続するリード23…が形成されているほか、
特に左上隅と右下隅とにはそれぞれアライメントマーク
24、24が形成されている。この場合、信号電極21…はIT
O（酸化インジウムと酸化スズとの混合物）等の透明な
材料からなり、その上面に前述した赤色、緑色、青色の
カラーフィルタFR、FG、FBが順に形成される。また、ア
ライメントマーク24、24は前述したマスク10の位置合わ
せを行なうものであり、「十」字状をなし、第１図に実
線で示すように、それぞれ左寄りに１つずつ形成されて
いる。なお、端子22R、22G、22Bのうち、端子22R…、22
G…は電極基板20の下端側に２列に配列形成され、端子2
2B…は電極基板20の上端に配列形成されている。 このように電極基板20上に透明な信号電極21…および
アライメントマーク24、24が形成された後は、第６図に
示すように、前述したマスク10を用いて信号電極21…上
に赤、緑、青の３色のカラーフィルタFR、FG、FBを順に
形成する。即ち、赤色フィルタFR…を形成する場合に
は、電極基板20上にマスク10を配置し、マスク10に形成
された位置合わせマーク13のうち、左側の透光部分13
a、13aをそれぞれ電極基板20上のアライメントマーク2
4、24に合わせる。すると、マスク10の各開口部12…が
電極基板20上に形成された３つ目毎の信号電極21…と対
応し、位置合わせが行なわれる。この後、前述したよう
に露光、現像を行なうと、３つ目毎の信号電極21…上に
赤色フィルタFR…が形成される。なお、緑色フィルタFG
および青色フィルタFBは、前述した場合と全く同様に形
成される。このようにカラーフィルタFR、FG、FBが形成
された電極基板20の下面には偏光板25が設けられる。 次に、このような形成された電極基板20をカラーテレ
ビ用の液晶表示素子30に用いる場合について、第７図を
参照して説明する。 この場合には、予め、電極基板20上にカラーフィルタ
FR、FG、FBを覆って配向膜26を形成し、この配向膜26を
囲むように電極基板20上の周縁にシール材27を設ける。
この後、シール材27上に他の電極基板31を配置して接着
するのであるが、この上側の電極基板31には下側の電極
基板20と対向する下面に走査電極32…が上述した信号電
極21…と直交して形成されているとともに、この走査電
極32…を覆って配向膜33が形成されており、上面には偏
光板34が設けられている。そして、このように電極基板
20、31がシール材27を介して対向配置された後は、その
電極基板20、31間におけるシール材27で囲まれた内部に
液晶材35が封入される。これにより、下側の電極基板20
上に形成された赤色、緑色、青色の３つのカラーフィル
タFR、FG、FBと対応する信号電極21…と、上側の電極基
板31に形成された１つの走査電極32とが交差する部分が
１画素をなすカラーテレビ用の液晶表示素子30が得られ
る。このようにして得られた液晶表示素子30は、前述し
たようにカラーフィルタFR、FG、FBを容易に製作するこ
とができるとともに、高価な金属蒸着が不要であるか
ら、安価に製作することができるほか、特にカラーフィ
ルタを高精度で製作できるので、鮮明な画像を得ること
ができる。 なお、この発明はカラーテレビ用の液晶表示素子に限
らず、複数のカラーフィルタを形成するものに広く適用
することができる。 ［発明の効果］ 以上詳細に説明したように、この発明に係るカラーフ
ィルタの製造方法によれば、所定のピッチずつ移動され
るマスクに、前記ピッチに対応した距離だけ隔てて形成
され、前記基板上にアライメントマークを形成するため
の複数の透光部分を設け、１つの色のフィルタを形成す
る工程で、前記基板上に複数のアライメントマークを形
成し、これらのアライメントマークの少なくとも一方に
より他の色のフィルタを形成するためのマスクの位置決
めを行うようにしたので、複数色のカラーフィルタを形
成する際のマスクの位置決め工程を簡素化し、工程の単
純化を図り、高精度でカラーフィルタを製造することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第１図から第７図はこの発明の１例を示し、第１図はマ
スクを示す平面図、第２図はガラス基板に赤色フィルタ
を形成した場合の要部拡大図、第３図は赤色フィルタを
形成した後に緑色フィルタを形成した場合の要部拡大
図、第４図は赤色および緑色のフィルイタを形成した後
に青色フィルタを形成した場合の要部拡大図、第５図お
よび第６図はカラーテレビ用の電極基板に適用した例を
示し、第５図はその電極基板の平面図、第６図はその断
面図、第７図はその電極基板を液晶表示素子に適用した
場合の拡大断面図、第８図（ａ）〜（ｃ）は従来例を示
す図である。 10……マスク、11……ガラス基板、12……開口部、13…
…位置合わせマーク、14R1、14R2、14G1、14G2、14B1、
14B2、24……アライメントマーク、FR、FG、FB……カラ
ーフィルタ。
スクを示す平面図、第２図はガラス基板に赤色フィルタ
を形成した場合の要部拡大図、第３図は赤色フィルタを
形成した後に緑色フィルタを形成した場合の要部拡大
図、第４図は赤色および緑色のフィルイタを形成した後
に青色フィルタを形成した場合の要部拡大図、第５図お
よび第６図はカラーテレビ用の電極基板に適用した例を
示し、第５図はその電極基板の平面図、第６図はその断
面図、第７図はその電極基板を液晶表示素子に適用した
場合の拡大断面図、第８図（ａ）〜（ｃ）は従来例を示
す図である。 10……マスク、11……ガラス基板、12……開口部、13…
…位置合わせマーク、14R1、14R2、14G1、14G2、14B1、
14B2、24……アライメントマーク、FR、FG、FB……カラ
ーフィルタ。
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．所定形状の開口部を設けたマスクを、所定のピッチ
ずつ移動させて感光性を有する膜を露光、現像すること
により、複数色のフィルタを基板上に順次配列形成する
カラーフィルタの製造方法において、 前記所定ピッチに対応した距離だけ隔てて形成され、前
記基板上にアライメントマークを形成するための複数の
透光部分を設けたマスクを用い、１つの色のフィルタを
形成する工程で前記マスクの複数の透光部分により、前
記基板上に複数のアライメントマークを形成し、これら
のアライメントマークの少なくとも一方により他の色の
フィルタを形成するためのマスクの位置決めを行うこと
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20319787A JP2694267B2 (ja) | 1987-08-17 | 1987-08-17 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20319787A JP2694267B2 (ja) | 1987-08-17 | 1987-08-17 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6446704A JPS6446704A (en) | 1989-02-21 |
| JP2694267B2 true JP2694267B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=16470071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20319787A Expired - Fee Related JP2694267B2 (ja) | 1987-08-17 | 1987-08-17 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2694267B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013170595A1 (zh) * | 2012-05-14 | 2013-11-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩色滤光片及其制作方法以及液晶面板和显示装置 |
| CN109739030A (zh) * | 2019-01-02 | 2019-05-10 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种显示面板及其制备方法、掩膜板、显示装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5124897B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2013-01-23 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61295503A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Seikosha Co Ltd | カラ−フィルタの製造方法 |
| JPS61295505A (ja) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | Seikosha Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS62108206A (ja) * | 1985-11-06 | 1987-05-19 | Canon Inc | カラ−フィルタ−の製造方法 |
| JPS62121404A (ja) * | 1985-11-21 | 1987-06-02 | Toppan Printing Co Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
-
1987
- 1987-08-17 JP JP20319787A patent/JP2694267B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013170595A1 (zh) * | 2012-05-14 | 2013-11-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩色滤光片及其制作方法以及液晶面板和显示装置 |
| CN109739030A (zh) * | 2019-01-02 | 2019-05-10 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种显示面板及其制备方法、掩膜板、显示装置 |
| CN109739030B (zh) * | 2019-01-02 | 2022-03-01 | 合肥京东方显示技术有限公司 | 一种显示面板及其制备方法、掩膜板、显示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6446704A (en) | 1989-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |