WO2013170595A1 - 彩色滤光片及其制作方法以及液晶面板和显示装置 - Google Patents

彩色滤光片及其制作方法以及液晶面板和显示装置 Download PDF

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WO2013170595A1
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color filter
filter layer
alignment mark
color
black matrix
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汪栋
吴洪江
魏崇喜
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京东方科技集团股份有限公司
北京京东方显示技术有限公司
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    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
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    • G02B5/23—Photochromic filters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
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    • G—PHYSICS
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    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography

Definitions

  • color filter In liquid crystal display (LCD), color filter (CF) is one of the important components for color display of liquid crystal panel.
  • the transparent substrate is generally cleaned and a black matrix (Black Matrix, BM for short) is formed thereon, and then the red, green, and blue primary color filter layers are sequentially formed, and finally, Protective layer and transparent electrode ( ⁇ ).
  • a black matrix Black Matrix, BM for short
  • Protective layer and transparent electrode ⁇
  • the process of applying a photoresist of a corresponding color to form a color filter film, a pre-baked pre-bake, an exposure, a development, and a post-bake process is usually performed in sequence.
  • exposure and development are the most important processes in the production of color filters, and play a vital role in the pattern formation of the color filter layer.
  • the exposure process is generally completed by using an exposure device, and the preset exposure alignment mark (mark) is automatically detected in real time by the exposure device, and the mask plate provided with the color filter layer pattern is aligned with it, and then coated.
  • the color filter film of the corresponding color is exposed, and then subjected to development, baking, and the like to form a corresponding color filter layer on the color filter.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing alignment marks between a black matrix and three color filter layers after forming a black matrix in a method of fabricating a conventional color filter. As shown in FIG. 1, a red color filter layer alignment mark 3, a green color filter layer alignment mark 4, and a blue color filter layer alignment mark 5 are provided in regions other than the black matrix on the substrate.
  • a red color filter layer alignment mark 3 for making a red color filter layer for making a red color filter layer
  • a green color filter layer alignment mark 4 for forming a green color filter layer for forming a green color filter layer
  • a blue color filter layer for forming a blue color filter layer
  • the alignment mark 5 is formed simultaneously with the black matrix.
  • the material for making the alignment mark is the same as the material used to make the black matrix, and both are black.
  • the overall coating method is generally used, that is, the color filter film is not only coated in the black matrix but also coated.
  • the blue color filter layer disposed on the substrate for the blue color filter layer is not only coated on the alignment mark 5 A red photoresist is applied, and a green photoresist is also applied.
  • the blue color filter layer is aligned with the mark 5
  • the color contrast of the blue photoresist in the black matrix is low, which makes it difficult to automatically identify the alignment mark 5 of the blue color filter layer in the exposure process of the blue color filter layer, which often causes exposure.
  • Equipment alarm at this time, the operator needs to manually operate for positioning, which not only consumes production time, but also easily leads to the reduction of color filter yield or even scrap due to inaccurate exposure caused by misalignment, thereby increasing production. cost. Summary of the invention
  • An embodiment of the present invention provides a method of fabricating a color filter, including the steps of forming a black matrix and sequentially forming a first color filter layer, a second color filter layer, and a third color filter layer, the first color filter The layer is formed in the black matrix by the first color filter layer alignment mark, the second color filter layer is aligned by the second color filter layer alignment mark, and the third color filter layer is respectively formed by the third color filter layer alignment mark, wherein The third color filter layer alignment mark is formed simultaneously with the first color filter layer, or after the first color filter layer is formed, the first color filter layer alignment mark, the second color filter layer alignment mark, and the third filter The color of the color layer registration mark is not exactly the same.
  • Another embodiment of the present invention provides a color filter including a black matrix and a first color filter layer, a second color filter layer, a third color filter layer, and a first color filter layer for forming a first color filter layer a alignment mark, a second color filter layer alignment mark for forming a second color filter layer, and a third color filter layer alignment mark for forming a third color filter layer, wherein the first color filter layer pair The color of the bit mark, the second color filter layer alignment mark, and the third color filter layer alignment mark are not completely the same.
  • a further embodiment of the present invention provides a liquid crystal panel comprising the above color filter, an array substrate, and a liquid crystal layer between the color filter and the array substrate.
  • Yet another embodiment of the present invention provides a display device including the above liquid crystal panel.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing alignment marks of a black matrix and three color filter layers after forming a black matrix in a method for fabricating a color filter of the prior art; a schematic diagram of alignment marks of color filter layers;
  • FIG. 3 is a schematic view showing alignment marks of a black matrix and a first color filter layer after forming a black matrix in the method for fabricating a color filter according to the first and second embodiments of the present invention; the rear black matrix is aligned with three color filter layers Schematic diagram of the mark;
  • FIG. 5 is a schematic view showing a black matrix and three color filter layers after the blue color filter layer is completed in the method for fabricating the color filter according to the first embodiment of the present invention; the rear schematic view;
  • FIG. 8 is a schematic view showing a black matrix and three color filter layers after the blue color filter layer is completed in the method for fabricating the color filter according to the second embodiment of the present invention
  • FIG. 9 is a schematic diagram of a black matrix and a first color filter layer alignment mark and a second color filter layer alignment mark after forming a black matrix in a method for fabricating a color filter according to a third embodiment of the present invention. Schematic diagram of the color filter layer alignment mark; schematic diagram after the formation;
  • FIG. 12 is a schematic view showing a black matrix and three color filter layers after the blue color filter layer is formed in the method for fabricating the color filter according to the third embodiment of the present invention
  • FIG. 13 is a flowchart of a method of fabricating a color filter according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 14 is a flow chart showing a method of fabricating a color filter according to a second embodiment of the present invention
  • FIG. 15 is a flow chart showing a method of fabricating a color filter according to a third embodiment of the present invention.
  • One of the objectives of the embodiments of the present invention is to overcome the prior art liquid crystal panel and display device in which a light filter is formed in a color filter manufacturing process, and the color filter manufacturing method can improve the color filter when forming a filter layer. The accuracy of the alignment of the exposure device during exposure.
  • an embodiment of the present invention provides a method of fabricating a color filter, including the steps of forming a black matrix and sequentially forming a first color filter layer, a second color filter layer, and a third color filter layer, the first The color filter layer is formed in the black matrix by the first color filter layer alignment mark, the second color filter layer is passed through the second color filter layer alignment mark, and the third color filter layer is respectively formed by the third color filter layer alignment mark.
  • the third color filter layer alignment mark is formed simultaneously with the first color filter layer, or after the first color filter layer is formed, the first color filter layer alignment mark and the second color filter layer are aligned. The color of the mark and the third color filter alignment mark are not exactly the same.
  • Another embodiment of the present invention provides a color filter including a black matrix and a first color filter layer, a second color filter layer, a third color filter layer, and a first filter for forming a first color filter layer a color layer alignment mark, a second color filter layer alignment mark for forming a second color filter layer, and a third color filter layer alignment mark for forming a third color filter layer, wherein the first color filter The color of the layer registration mark, the second color filter layer alignment mark, and the third color filter layer alignment mark are not completely the same.
  • the method for fabricating the color filter mainly includes the steps of forming a black matrix and sequentially forming the first color filter layer, the second color filter layer, and the third color filter layer, wherein the first color filter is formed.
  • the alignment mark for the layer is the first color filter layer alignment mark 13
  • the alignment mark for the second color filter layer is the second color filter layer alignment mark 14
  • the alignment mark for the third color filter layer is created.
  • the third color filter layer is labeled 15 as shown in FIG.
  • the first color filter layer alignment mark 13 and the black matrix are simultaneously formed, and the second color filter layer alignment mark 14 and the third color filter layer alignment mark 15 are the same as the first color filter layer 6. Formed at the time.
  • the first color filter layer 6 is a red color filter layer
  • the second color filter layer 7 is a green color filter layer
  • the third color filter layer 8 is a blue color filter layer.
  • the first color filter layer 6 may also be a green color filter layer or a blue color filter layer
  • the second color filter layer 7 may also be a red color filter layer or a blue color filter layer
  • the third color filter layer 8 may also be It is a green filter or a red filter.
  • the manufacturing method includes the following steps, for example:
  • the black matrix 2 and the first color filter layer alignment mark 13 are simultaneously fabricated on the substrate by a photolithography process, and the first color filter layer alignment mark 13 is mainly used for the exposure device pair in the exposure process.
  • the position is exposed to form the first color filter layer 6, and the color of the first color filter layer alignment mark 13 produced is the same black color as that of the black matrix 2.
  • FIG 3 is a schematic view showing the black matrix 2 and the alignment mark 13 of the first color filter layer after the black matrix 2 is formed in the embodiment.
  • the first color filter layer alignment mark 13 is formed in the edge region 1 outside the black matrix 2 region on the substrate.
  • the manufacturing process of the black matrix 2 includes: a step of coating a black photoresist on the substrate to form a black film layer, a pre-bake pre-bake, exposure, development, post-baking, etc., wherein the exposure process of forming the black matrix is not Perform the alignment.
  • the bit mark 14 and the third color filter layer alignment mark 15 have the same color of the second color filter layer alignment mark and the third color filter layer alignment mark as the first color filter layer.
  • a first color filter layer 6 is formed in a black matrix by a photolithography process, the first color filter layer 6 is a red color filter layer, and a second color filter layer pair is simultaneously formed.
  • the bit mark 14 and the third color filter layer are in alignment with the mark 15.
  • the second color filter layer alignment mark 14 and the third color filter layer alignment mark 15 are mainly used for separately exposing the exposure devices in the exposure process to form the second color filter layer 7 and the third color filter layer 8.
  • the second color filter layer alignment mark 14 and the third color filter layer alignment mark 15 are disposed in the edge region 1 other than the black matrix 2 region on the substrate, and are integrated with the first color filter layer alignment mark 13 Font arrangement.
  • the color of the second color filter layer alignment mark 14 and the third color filter layer alignment mark 15 is, for example, the same red color as the first color filter layer 6.
  • the manufacturing process of the first color filter layer 6 includes, for example, a step of coating a red photoresist to form a red color filter layer, a front pre-bake, exposure, development, post-baking, and the like, and the second color filter.
  • the layer alignment mark 14 and the third color filter layer alignment mark 15 are formed by an exposure and development step. Schematic representation of the alignment mark with three color filter layers.
  • the exposure apparatus ensures the accuracy of pattern formation on the substrate during exposure by a series of automatic alignment between the mask for forming the red color filter layer and the alignment mark 13 of the first color filter layer.
  • the second color filter layer 7 is, for example, a green color filter layer.
  • the manufacturing process of the green color filter layer sequentially includes: coating a green photoresist to form a green color filter film, pre-baked pre-baked, exposed, developed, and post-baked.
  • the exposure apparatus ensures the accuracy of pattern formation on the substrate during exposure by a series of automatic alignment between the mask for forming the green color filter layer and the second color filter layer alignment mark 14.
  • the third color filter layer 8 is, for example, a blue color filter layer.
  • the manufacturing process of the blue color filter layer includes: a step of coating a blue photoresist to form a blue color filter film, a pre-bake pre-bake, an exposure, a development, a post-baking, and the like.
  • the exposure device ensures the accuracy of pattern formation on the substrate during exposure by a series of automatic alignment between the mask for forming the blue color filter layer and the alignment mark 15 of the third color filter layer.
  • Fig. 5 is a view showing the black matrix 2 and the three color filter layers 13, 14, 15 after the blue color filter layer is completed in the embodiment.
  • the process of forming the protective layer and the transparent electrode can be the same as in the prior art, and will not be described again.
  • the first color filter layer alignment mark 13, the second color filter layer alignment mark 14 and the third color filter layer are aligned.
  • the material used for the mark 15 is the same material as that used for the black matrix or the color filter layer formed in the same process. However, it is not limited to the same material.
  • Embodiments of the present invention provide a color filter which is fabricated by the above-described method of fabricating a color filter.
  • the color filter includes a black matrix and a first color filter layer, a second color filter layer, and a third color filter layer, and further includes a first color filter layer alignment mark for forming the first color filter layer, Forming a second color filter layer alignment mark for the second color filter layer and a third color filter layer alignment mark for forming the third color filter layer, wherein the first color filter layer alignment mark, The color of the two color filter alignment marks and the third color filter layer alignment mark are not completely the same.
  • the color of the first color filter layer alignment mark is black
  • the color of the second color filter layer alignment mark and the third color filter layer alignment mark is red.
  • Embodiments of the present invention provide a liquid crystal panel including the above color filter, an array substrate, and a liquid crystal layer between the color filter and the array substrate.
  • the color filter and the array substrate are generally made into a large-size specification. After the color filter and the array substrate are formed into a liquid crystal panel, the liquid crystal panel is divided into a small-sized liquid crystal panel of a certain size as needed.
  • the first color filter layer alignment mark, the second color filter layer alignment mark, and the third color filter layer alignment mark in the color filter are all disposed in the edge region 1 or the non-display region of the substrate, and therefore, in the subsequent During the segmentation process, they may be removed by segmentation or remain in the edge or non-display area of the cell liquid crystal panel.
  • Embodiments of the present invention provide a display device including the above liquid crystal panel.
  • the difference between this embodiment and the first embodiment is that the third color filter layer alignment mark 15 is not formed together with the second color filter layer alignment mark 14 while forming the first color filter layer 6, but is The second color filter layer 7 is simultaneously formed.
  • the manufacturing method includes the following steps, for example:
  • the color of the second color filter layer alignment mark is the same as the color of the first color filter layer, as shown in FIG.
  • the color of the third color filter layer alignment mark 15 is the same as the color of the second color filter layer, as shown in FIG. 7 .
  • Step S24 A third color filter layer 8 is formed in the black matrix 2 with reference to the third color filter layer alignment mark 15, as shown in FIG.
  • the first color filter layer alignment mark 13 and the black matrix 2 have the same color, both of which are black;
  • the second color filter layer alignment mark 14 has the same color as the first color filter layer 6. Both are red;
  • the third color filter layer alignment mark 15 and the second color filter layer 7 have the same color and are all green.
  • the manufacturing process of the color filter is the same as that of the first embodiment except for the difference in the order of the alignment marks, and details are not described herein again.
  • Embodiments of the present invention provide a color filter which is fabricated by the method for fabricating the color filter of the embodiment.
  • the color of the first color filter layer alignment mark is black
  • the color of the second color filter layer alignment mark is red
  • the color of the third color filter layer alignment mark is green.
  • Embodiments of the present invention provide a liquid crystal panel including the above color filter, an array substrate, and a liquid crystal layer between the color filter and the array substrate.
  • Embodiments of the present invention provide a display device including the above liquid crystal panel.
  • first color filter layer alignment mark 13 and the second color filter layer alignment mark 14 are simultaneously formed with the black matrix
  • third color filter layer alignment mark 15 is The first color filter layer 6 is simultaneously formed.
  • the manufacturing method includes the following steps, for example:
  • the color of the alignment mark 14 is the same as the color of the black matrix, as shown in FIG.
  • the color of the third color filter layer alignment mark is the same as the color of the first color filter layer, as shown in FIG. 10 .
  • the first color filter layer alignment mark 13 and the second color filter layer alignment mark 14 are the same color as the black matrix 2, and both are black;
  • the third color filter layer alignment mark 15 It is the same color as the first color filter layer 6, and is red.
  • the manufacturing process of the color filter is the same as that of the first embodiment except for the difference in the order of the alignment marks, and details are not described herein again.
  • Embodiments of the present invention provide a color filter which is fabricated by the above-described method of fabricating a color filter.
  • the color of the first color filter layer alignment mark and the second color filter layer alignment mark is black, and the color of the third color filter layer alignment mark is red.
  • Embodiments of the present invention provide a liquid crystal panel including the above color filter, an array substrate, and a liquid crystal layer between the color filter and the array substrate.
  • Embodiments of the present invention provide a display device including the above liquid crystal panel.
  • the order of forming the first color filter layer alignment mark 13, the second color filter layer alignment mark 14 and the third color filter layer alignment mark 15 is not limited to the above three cases, for example, the first The color filter layer alignment mark 13 and the second color filter layer alignment mark 14 are not necessarily formed simultaneously with the black matrix, and may be separately formed after the black matrix is formed, before the first color filter layer 6 is formed, or the second color filter layer The alignment mark 14 and the third color filter layer alignment mark 15 are not necessarily formed simultaneously with the first color filter layer 6, and may be formed separately after the formation of the first color filter layer 6, before the second color filter layer 7 is formed, etc. Wait. Any order of fabrication consistent with the essence of the invention is within the scope of the invention.
  • the first to third embodiments of the present invention ensure that the third color filter layer alignment mark is coated blue by adjusting the order of formation of the third color filter layer alignment mark.
  • the third color filter layer is exposed to have a sufficiently large color contrast, which improves the recognition capability of the exposure device for the third color filter layer alignment mark during the formation of the third color filter layer, thereby avoiding exposure. It is difficult for the device to obtain the phenomenon of the alignment mark of the third color filter layer, which greatly saves production time and reduces production cost.
  • (1) a method of fabricating a color filter comprising the steps of forming a black matrix and sequentially forming a first color filter layer, a second color filter layer, and a third color filter layer, wherein the first color filter layer passes the first Filter layer pair
  • the bit mark, the second color filter layer is formed by the second color filter layer alignment mark
  • the third color filter layer is respectively formed in the black matrix by the third color filter layer alignment mark, wherein the third color filter layer alignment mark and
  • the first color filter layer is simultaneously formed or formed after the first color filter layer is formed, and the color of the first color filter layer alignment mark, the second color filter layer alignment mark, and the third color filter layer alignment mark is not It's exactly the same.
  • a second color filter layer is formed in the black matrix based on the second color filter layer alignment mark; and a third color filter layer is formed in the black matrix based on the third color filter layer alignment mark.
  • first color filter layer in the black matrix with reference to the first color filter layer alignment mark, and simultaneously forming a second color filter layer alignment mark in an edge region other than the black matrix on the substrate, the second The color of the color filter alignment mark is the same as the color of the first color filter layer;
  • a third color filter layer is formed in the black matrix with reference to the third color filter layer alignment mark. (7)
  • the manufacturing method according to (4) comprising the following steps:
  • a second color filter layer is formed in the black matrix based on the second color filter layer alignment mark; and a third color filter layer is formed in the black matrix based on the third color filter layer alignment mark.
  • the third color filter layer is a blue color filter layer.
  • a color filter comprising a black matrix and a first color filter layer, a second color filter layer, a third color filter layer, and a first color filter layer for forming a first color filter layer a second color filter layer alignment mark for the second color filter layer and a third color filter layer alignment mark for forming a third color filter layer, wherein the first color filter layer alignment mark, the second color filter layer The color filter layer registration mark and the color of the third color filter layer registration mark are not completely the same.
  • a liquid crystal panel comprising the color filter according to any one of (9) to (11), an array substrate, and a liquid crystal layer between the color filter and the array substrate.
  • a display device comprising a liquid crystal panel according to (12).
  • the advantages of the embodiments of the present invention are at least: at least because the third color filter layer alignment mark for forming the third color filter layer is formed simultaneously with the first color filter layer or after the first color filter layer is formed, In the third color filter layer, the color contrast between the third color filter layer alignment mark and the blue color filter film layer coated in the black matrix is large, thereby improving the exposure device to the third color filter in the exposure process.
  • the yield rate reduces production costs.

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Abstract

提供了一种彩色滤光片及其制作方法以及液晶面板和显示装置。该彩色滤光片的制作方法包括：形成黑矩阵（2）的步骤和依次形成第一滤色层（6）、第二滤色层（7）和第三滤色层（8）的步骤，所述第一滤色层（6）通过第一滤色层对位标记（13）、第二滤色层（7）通过第二滤色层对位标记（14）以及第三滤色层（8）通过第三滤色层对位标记（15）分别形成在黑矩阵（2）内，其中，第三滤色层对位标记（15）与第一滤色层（6）同时形成，或者在第一滤色层（6）形成以后形成，所述第一滤色层对位标记（13）、第二滤色层对位标记（14）以及第三滤色层对位标记（15）的颜色不完全相同，从而能提高彩色滤光片在形成滤光层时曝光设备在曝光过程中对位识别的准确度。

Description

彩色滤光片及其制作方法以及液晶面板和显示装置 技术领域
背景技术
在液晶显示器（ Liquid Crystal Display,简称 LCD )中，彩色滤光片（ Color Filter, 简称 CF )是液晶面板实现彩色显示的重要部件之一。
目前彩色滤光片的制作过程中， 一般是先清洗透明的基板并在其上制作 遮光用的黑矩阵（Black Matrix, 简称 BM ) , 然后依次制作红、 绿、 蓝三原 色滤色层， 最后制作保护层以及透明电极（ΙΤΟ )等。 在红、 绿、 蓝三原色 滤色层的制作中， 通常顺次执行涂布相应颜色的光刻胶形成彩色滤色膜、 前 段预烤、 曝光、 显影、 后段烘烤的工艺步骤来完成。 其中， 曝光和显影是滤 色层制作中最重要的工艺， 对于滤色层的图形形成起着至关重要的作用。 曝 光工艺一般釆用曝光设备来完成， 通过曝光设备自动实时检测预先设置好的 曝光对位标记（mark ) ， 并将设置有滤色层图形的掩模板与之对准， 然后对 涂布好的相应颜色的滤色膜进行曝光， 再经过显影、 烘烤等工艺， 从而形成 彩色滤光片上相应的滤色层。
在现有技术的曝光工艺中， 对各滤色膜进行曝光所釆用的对位标记一般 是在形成黑矩阵的过程中与黑矩阵同时形成的。 图 1所示为现有技术彩色滤 光片的制作方法中形成黑矩阵后， 黑矩阵与三个滤色层对位标记的示意图。 如图 1所示，在基板上黑矩阵以外的区域分别设置有红色滤色层对位标记 3、 绿色滤色层对位标记 4和蓝色滤色层对位标记 5。 其中， 用于制作红色滤色 层的红色滤色层对位标记 3、 用于制作绿色滤色层的绿色滤色层对位标记 4 和用于制作蓝色滤色层的蓝色滤色层对位标记 5均与黑矩阵同时形成。 从图 中可见， 制作上述对位标记的材质与用于制作黑矩阵的材质相同， 且均为黑 色。 在制作红色滤色层时， 通常是在黑矩阵区域涂布红色滤色膜（制作材料 为红色光刻胶） ， 然后将掩模板与基板上设置的红色滤色层对位标记 3进行 定位并对准， 并通过曝光和显影的工艺将掩模板上的图形复制到红色滤色膜 上， 从而形成如图 2所示的红色滤色层。 然后再依次制作绿色滤色层和蓝色 滤色层。 由于绿色滤色层和蓝色滤色层的制作过程与红色滤色层的制作过程 相似， 这里不再赘述。
但是， 在滤色层的制作过程中， 为了工艺的便利性， 涂布彩色滤色膜的 时候一般釆用整体涂布方式， 即彩色滤色膜不仅涂布在黑矩阵内， 同时也涂 布在黑矩阵以外的其他区域，这样， 当红色滤色层和绿色滤色层制作完成后， 设置在基板上的用于制作蓝色滤色层的蓝色滤色层对位标记 5上不仅涂布上 了红色光刻胶， 同时也涂布上了绿色光刻胶， 因而在涂布蓝色滤色膜（制作 材料为蓝色光刻胶）后， 使得蓝色滤色层对位标记 5与黑矩阵内的蓝色光刻 胶的颜色对比度较低， 导致在蓝色滤色层制作的曝光工艺中， 曝光设备对蓝 色滤色层对位标记 5的自动识别比较困难， 常常引起曝光设备报警， 此时需 要操作人员手工操作进行定位， 不仅耗费生产时间， 而且很容易因对位不准 造成曝光不准而导致彩色滤光片良品率降低甚至报废， 从而增加生产成本。 发明内容
本发明的一个实施例提供彩色滤光片的制作方法， 包括形成黑矩阵的步 骤和依次形成第一滤色层、 第二滤色层和第三滤色层的步骤， 所述第一滤色 层通过第一滤色层对位标记、 第二滤色层通过第二滤色层对位标记以及第三 滤色层通过第三滤色层对位标记分别形成在黑矩阵内， 其中， 第三滤色层对 位标记与第一滤色层同时形成， 或者在第一滤色层形成以后形成， 所述第一 滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记以及第三滤色层对位标记的颜色不完 全相同。
本发明的另一实施例提供彩色滤光片， 包括黑矩阵和第一滤色层、 第二 滤色层、 第三滤色层， 以及形成第一滤色层釆用的第一滤色层对位标记、 形 成第二滤色层釆用的第二滤色层对位标记和形成第三滤色层釆用的第三滤色 层对位标记， 其中， 所述第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记以及第 三滤色层对位标记的颜色不完全相同。
本发明的又一实施例提供液晶面板， 包括上述彩色滤光片、 阵列基板以 及所述彩膜滤光片与所述阵列基板之间的液晶层。
本发明的又一实施例提供显示装置， 包括上述液晶面板。 附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案， 下面将对实施例或现有技 术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图 仅仅涉及本发明的一些实施例， 并非对本发明的限制。
图 1为现有技术彩色滤光片的制作方法中形成黑矩阵后黑矩阵与三个滤 色层对位标记的示意图； 个滤色层对位标记的示意图；
图 3为本发明第一和第二实施例的彩色滤光片的制作方法中形成黑矩阵 后黑矩阵与第一滤色层对位标记的示意图； 后黑矩阵与三个滤色层对位标记的示意图；
图 5为本发明第一实施例彩色滤光片的制作方法中蓝色滤色层制作完成 后黑矩阵与三个滤色层的示意图； 后的示意图； 后的示意图；
图 8为本发明第二实施例彩色滤光片的制作方法中蓝色滤色层制作完成 后黑矩阵与三个滤色层的示意图；
图 9为本发明第三实施例彩色滤光片的制作方法中形成黑矩阵后黑矩阵 与第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记的示意图； 成后黑矩阵与三个滤色层对位标记的示意图； 成后的示意图；
图 12 为本发明第三实施例彩色滤光片的制作方法中蓝色滤色层制作完 成后黑矩阵与三个滤色层的示意图；
图 13为本发明第一实施例彩色滤光片的制作方法的流程图； 图 14为本发明第二实施例彩色滤光片的制作方法的流程图； 图 15为本发明第三实施例彩色滤光片的制作方法的流程图。 具体实施方式
本发明实施例的目的之一是克服现有技术中彩色滤光片制作过程中存在 光片的液晶面板和显示装置， 该彩色滤光片制作方法能提高彩色滤光片在形 成滤光层时曝光设备在曝光过程中对位识别的准确度。
下面将结合附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下 所获得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。 例如本发明的实施例 提供一种彩色滤光片的制作方法， 包括形成黑矩阵的步骤和依次形成第一滤 色层、 第二滤色层和第三滤色层的步骤， 所述第一滤色层通过第一滤色层对 位标记、 第二滤色层通过第二滤色层对位标记以及第三滤色层通过第三滤色 层对位标记分别形成在黑矩阵内， 在上述步骤中， 第三滤色层对位标记与第 一滤色层同时形成， 或者在第一滤色层形成以后形成， 所述第一滤色层对位 标记、 第二滤色层对位标记以及第三滤色层对位标记的颜色不完全相同。
本发明的另一实施例提供一种彩色滤光片， 包括黑矩阵和第一滤色层、 第二滤色层、第三滤色层，以及形成第一滤色层釆用的第一滤色层对位标记、 形成第二滤色层釆用的第二滤色层对位标记和形成第三滤色层釆用的第三滤 色层对位标记， 其中， 所述第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记以及 第三滤色层对位标记的颜色不完全相同。
第一实施例：
本实施例中， 该彩色滤光片的制作方法主要包括形成黑矩阵的步骤和依 次形成第一滤色层、 第二滤色层和第三滤色层的步骤， 其中， 制作第一滤色 层用的对位标记为第一滤色层对位标记 13 ,制作第二滤色层用的对位标记为 第二滤色层对位标记 14,制作第三滤色层用的对位标记为第三滤色层对位标 记 15, 如图 3所示。 在上述步骤中， 第一滤色层对位标记 13与黑矩阵同时 形成， 第二滤色层对位标记 14和第三滤色层对位标记 15与第一滤色层 6同 时形成。
本实施例中，第一滤色层 6为红色滤色层，第二滤色层 7为绿色滤色层， 第三滤色层 8为蓝色滤色层。 当然， 第一滤色层 6也可以为绿色滤色层或蓝 色滤色层， 第二滤色层 7也可以为红色滤色层或蓝色滤色层， 第三滤色层 8 也可以为绿色滤色层或红色滤色层。
如图 13所示， 该制作方法例如包括如下步骤：
步骤 S11 ) : 在基板上同时制作黑矩阵以及第一滤色层对位标记 13 , 所 述第一滤色层对位标记 13的颜色与黑矩阵的颜色相同。
在该步骤中， 釆用光刻工艺在基板上同时制作黑矩阵 2以及第一滤色层 对位标记 13 , 所述第一滤色层对位标记 13主要用于在曝光工艺中曝光设备 对位曝光以制作第一滤色层 6,所制作的第一滤色层对位标记 13的颜色为与 黑矩阵 2相同的黑色。
图 3所示为本实施例中形成黑矩阵 2后黑矩阵 2与第一滤色层对位标记 13的示意图。 其中， 第一滤色层对位标记 13形成在基板上黑矩阵 2区域以 外的边沿区域 1中。
例如， 黑矩阵 2的制作工艺依次包括： 在基板上涂布黑色的光刻胶形成 黑色膜层、 前段预烤、 曝光、 显影、 后段烘烤等步骤， 其中， 形成黑矩阵的 曝光过程不进行对位。
步骤 S12 ) : 以所述第一滤色层对位标记 13为基准， 在黑矩阵内制作第 一滤色层 6, 同时在基板上黑矩阵以外的边沿区域 1 中制作第二滤色层对位 标记 14和第三滤色层对位标记 15 , 所述第二滤色层对位标记和第三滤色层 对位标记的颜色与所述第一滤色层的颜色相同。
在该步骤中， 如图 4所示， 釆用光刻工艺在黑矩阵内制作第一滤色层 6, 所述第一滤色层 6为红色滤色层，同时制作第二滤色层对位标记 14和第三滤 色层对位标记 15。所述第二滤色层对位标记 14和第三滤色层对位标记 15主 要用于在曝光工艺中曝光设备分别对位曝光以制作第二滤色层 7和第三滤色 层 8。 其中， 所述第二滤色层对位标记 14和第三滤色层对位标记 15设置在 基板上黑矩阵 2区域以外的边沿区域 1中，且与第一滤色层对位标记 13成一 字型排列。 第二滤色层对位标记 14和第三滤色层对位标记 15的颜色例如为 与第一滤色层 6相同的红色。 例如， 第一滤色层 6的制作工艺例如依次包括： 涂布红色的光刻胶形成 红色滤色膜层、 前段预烤、 曝光、 显影、 后段烘烤等步骤， 所述第二滤色层 对位标记 14和第三滤色层对位标记 15通过曝光和显影步骤形成。 与三个滤色层对位标记的示意图。 在曝光过程中， 曝光设备通过用于形成红 色滤色层的掩模板和第一滤色层对位标记 13 之间的一系列自动对位来保证 曝光时基板上形成图形的精度。
步骤 S13 )： 以第二滤色层对位标记 14为基准， 在黑矩阵 2内制作第二 滤色层 7。
所述第二滤色层 7例如为绿色滤色层。
例如， 绿色滤色层的制作工艺依次包括： 涂布绿色的光刻胶形成绿色滤 色膜、 前段预烤、 曝光、 显影、 后段烘烤等步骤。 在此曝光过程中， 曝光设 备通过用于形成绿色滤色层的掩模板和第二滤色层对位标记 14之间的一系 列自动对位来保证曝光时基板上形成图形的精度。
步骤 S14 )： 以第三滤色层对位标记 15为基准， 在黑矩阵 2内制作第三 滤色层 8。
所述第三滤色层 8例如为蓝色滤色层。
例如， 蓝色滤色层的制作工艺依次包括： 涂布蓝色的光刻胶形成蓝色滤 色膜、 前段预烤、 曝光、 显影、 后段烘烤等步骤。 在此曝光过程中， 曝光设 备通过用于形成蓝色滤色层的掩模板和第三滤色层对位标记 15之间的一系 列自动对位来保证曝光时基板上形成图形的精度。
图 5所示为实施例中蓝色滤色层制作完成后黑矩阵 2与三个滤色层 13、 14、 15的示意图。
步骤 S15 ) ： 在完成步骤 S14 ) 的基板上制作保护层以及透明电极。 在该步骤中， 制作保护层以及透明电极的工艺可以与现有技术相同， 这 里不再赘述。
这里应该理解的是,为节省工艺， 本实施例在制作彩色滤光片的过程中， 第一滤色层对位标记 13、 第二滤色层对位标记 14和第三滤色层对位标记 15 所釆用的材质是与其在同一工序所形成的黑矩阵或滤色层所釆用的材质相同 的材质。 但是， 并不限定必须为相同的材质。 本发明的实施例提供一种彩色滤光片， 其釆用上述彩色滤光片的制作方 法制成。 其中， 所述彩色滤光片包括黑矩阵以及第一滤色层、 第二滤色层和 第三滤色层， 还包括形成第一滤色层釆用的第一滤色层对位标记、 形成第二 滤色层釆用的第二滤色层对位标记以及形成第三滤色层釆用的第三滤色层对 位标记， 其中， 所述第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记以及第三滤 色层对位标记的颜色不完全相同。 在本实施例中， 所述第一滤色层对位标记 的颜色为黑色， 所述第二滤色层对位标记和第三滤色层对位标记的颜色为红 色。
本发明的实施例提供一种液晶面板， 包括上述彩色滤光片、 阵列基板以 及在上述彩色滤光片与阵列基板之间的液晶层。
为提高生产效率， 彩色滤光片和阵列基板一般制作成大尺寸规格， 在彩 色滤光片和阵列基板对盒形成液晶面板后， 再根据需要分割成一定规格的小 单元液晶面板， 由于这里的彩色滤光片中第一滤色层对位标记、 第二滤色层 对位标记、 第三滤色层对位标记均设置在基板的边沿区域 1或者非显示区域 中， 因此， 在后续的分割加工过程中， 它们可能被分割去除， 或者仍保留在 小单元液晶面板的边沿区域或者非显示区域。
本发明的实施例提供一种显示装置， 包括上述液晶面板。 第二实施例：
本实施例与第一实施例的区别在于，所述第三滤色层对位标记 15不是与 第二滤色层对位标记 14一起在形成第一滤色层 6的同时形成，而是与第二滤 色层 7同时形成。
如图 14所示， 该制作方法例如包括如下步骤：
步骤 S21 ) ： 在基板上同时制作黑矩阵 2以及第一滤色层对位标记 13 , 所述第一滤色层对位标记的颜色与黑矩阵的颜色相同， 如图 4所示。
步骤 S22 )： 以第一滤色层对位标记 13为基准， 在黑矩阵 2内制作第一 滤色层 6, 同时在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第二滤色层对位标记 14,所述第二滤色层对位标记的颜色与第一滤色层的颜色相同，如图 6所示。
步骤 S23 )： 以第二滤色层对位标记 14为基准， 在黑矩阵 2内制作第二 滤色层 7 , 同时在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第三滤色层对位标记 15 , 所述第三滤色层对位标记 15 的颜色与第二滤色层的颜色相同， 如图 7 所示。
步骤 S24 )： 以第三滤色层对位标记 15为基准， 在黑矩阵 2内制作第三 滤色层 8, 如图 8所示。
步骤 S25 ) : 在完成步骤 S24 ) 的基板上制作保护层以及透明电极。 在本实施例中，所述第一滤色层对位标记 13与黑矩阵 2的颜色相同，均 为黑色；所述第二滤色层对位标记 14与第一滤色层 6的颜色相同，均为红色； 所述第三滤色层对位标记 15与第二滤色层 7的颜色相同， 均为绿色。
本实施例中， 彩色滤光片的制作方法中除了对位标记的制作顺序上的差 异之外， 其他的制作工艺步骤均与第一实施例相同， 这里不再赘述。
本发明实施例提供一种彩色滤光片， 其釆用本实施例所述彩色滤光片的 制作方法制成。 其中， 所述第一滤色层对位标记的颜色为黑色， 所述第二滤 色层对位标记的颜色为红色， 所述第三滤色层对位标记的颜色为绿色。
本发明实施例提供一种液晶面板， 包括上述彩色滤光片、 阵列基板以及 彩色滤光片与阵列基板之间的液晶层。
本发明的实施例提供一种显示装置， 包括上述液晶面板。 第三实施例：
本实施例与第一实施例的区别在于，所述第一滤色层对位标记 13以及第 二滤色层对位标记 14与黑矩阵同时形成， 而第三滤色层对位标记 15与第一 滤色层 6同时形成。
如图 15所示， 该制作方法例如包括如下步骤：
步骤 S31 )： 在基板上同时制作黑矩阵 2以及第一滤色层对位标记 13和 第二滤色层对位标记 14, 所述第一滤色层对位标记 13和第二滤色层对位标 记 14的颜色与黑矩阵的颜色相同， 如图 9所示。
步骤 S32 )： 以第一滤色层对位标记 13为基准， 在黑矩阵 2内制作第一 滤色层 6, 同时在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第三滤色层对位标记 15 ,所述第三滤色层对位标记的颜色与第一滤色层的颜色相同，如图 10所示。
步骤 S33 )： 以第二滤色层对位标记 14为基准， 在黑矩阵 2内制作第二 滤色层 7, 如图 11所示。 步骤 S34 )： 以第三滤色层对位标记 15为基准， 在黑矩阵 2内制作第三 滤色层 8, 如图 12所示。
步骤 S35 ) ： 在完成步骤 S34 ) 的基板上制作保护层以及透明电极。 在本实施例中， 所述第一滤色层对位标记 13 以及第二滤色层对位标记 14与黑矩阵 2的颜色相同， 均为黑色； 所述第三滤色层对位标记 15与第一 滤色层 6的颜色相同， 均为红色。
本实施例中， 彩色滤光片的制作方法中除了对位标记的制作顺序上的差 异之外， 其他的制作工艺步骤均与第一实施例相同， 这里不再赘述。
本发明的实施例提供一种彩色滤光片， 其釆用上述彩色滤光片的制作方 法制成。 其中， 所述第一滤色层对位标记和所述第二滤色层对位标记的颜色 为黑色， 所述第三滤色层对位标记的颜色为红色。
本发明的实施例提供一种液晶面板， 包括上述彩色滤光片、 阵列基板以 及彩色滤光片与阵列基板之间的液晶层。
本发明的实施例提供一种显示装置， 包括上述液晶面板。
应理解的是， 所述第一滤色层对位标记 13、 第二滤色层对位标记 14和 第三滤色层对位标记 15的形成顺序不限于以上三种情况， 比如，第一滤色层 对位标记 13和第二滤色层对位标记 14不一定与黑矩阵同时形成， 还可以在 黑矩阵形成之后、 第一滤色层 6形成之前单独形成， 或者第二滤色层对位标 记 14和第三滤色层对位标记 15不一定与第一滤色 6层同时形成， 还可以在 第一滤色层 6形成之后， 第二滤色层 7形成之前单独形成， 等等。 任何符合 本发明实质的制作顺序均在本发明的保护范围内。
相对现有技术彩色滤光片的制作方法， 本发明的第一至第三实施例通过 调整第三滤色层对位标记的形成顺序， 保证了第三滤色层对位标记在涂布蓝 色光刻胶之后、 曝光制作第三滤色层时具有足够大的颜色对比度， 提高了第 三滤色层形成过程中曝光设备对第三滤色层对位标记的识别能力， 从而避免 了曝光设备难以获取第三滤色膜层对位标记的现象发生， 大大节约了生产时 间， 降低了生产成本。
( 1 )彩色滤光片的制作方法， 包括形成黑矩阵的步骤和依次形成第一滤 色层、 第二滤色层和第三滤色层的步骤， 所述第一滤色层通过第一滤色层对 位标记、 第二滤色层通过第二滤色层对位标记以及第三滤色层通过第三滤色 层对位标记分别形成在黑矩阵内， 其中， 第三滤色层对位标记与第一滤色层 同时形成， 或者在第一滤色层形成以后形成， 所述第一滤色层对位标记、 第 二滤色层对位标记以及第三滤色层对位标记的颜色不完全相同。
( 2 )根据（1 )所述的制作方法， 其中， 所述第三滤色层对位标记与第 二滤色层同时形成， 或者在第二滤色层形成以后形成。
( 3 )才艮据（ 1 )或（ 2 )所述的制作方法， 其中， 所述第二滤色层对位标 记与黑矩阵同时形成， 或者与第一滤色层同时形成， 或者在第一滤色层形成 以后形成。
( 4 ) « ( 3 ) 的制作方法， 其中， 所述第一滤色层对位标记与所述黑 矩阵同时形成。
( 5 )根据（4 )所述的制作方法， 包括如下步骤：
在基板上同时制作黑矩阵以及第一滤色层对位标记， 所述第一滤色层对 位标记的颜色与黑矩阵的颜色相同；
以所述第一滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第一滤色层， 同时 在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第二滤色层对位标记和第三滤色层对 位标记， 所述第二滤色层对位标记和第三滤色层对位标记的颜色与所述第一 滤色层的颜色相同；
以所述第二滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第二滤色层； 以所述第三滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第三滤色层。
( 6 )根据（4 )所述的制作方法， 包括如下步骤：
在基板上同时制作黑矩阵以及第一滤色层对位标记， 所述第一滤色层对 位标记的颜色与黑矩阵的颜色相同；
以所述第一滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第一滤色层， 同时 在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第二滤色层对位标记， 所述第二滤色 层对位标记的颜色与第一滤色层的颜色相同；
以所述第二滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第二滤色层， 同时 在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第三滤色层对位标记， 所述第三滤色 层对位标记的颜色与第二滤色层的颜色相同；
以所述第三滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第三滤色层。 ( 7 )根据（4 )所述的制作方法， 包括如下步骤：
在基板上同时制作黑矩阵以及第一滤色层对位标记和第二滤色层对位标 记， 所述第一滤色层对位标记和第二滤色层对位标记的颜色与黑矩阵的颜色 相同；
以所述第一滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第一滤色层， 同时 在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第三滤色层对位标记， 所述第三滤色 层对位标记的颜色与第一滤色层的颜色相同；
以所述第二滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第二滤色层； 以所述第三滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第三滤色层。
( 8 )才艮据（4 )所述的彩色滤光片的制作方法， 其中， 所述第一滤色层 为红色滤色层， 所述第二滤色层为绿色滤色层， 所述第三滤色层为蓝色滤色 层。
( 9 )彩色滤光片， 包括黑矩阵和第一滤色层、第二滤色层、第三滤色层， 以及形成第一滤色层釆用的第一滤色层对位标记、 形成第二滤色层釆用的第 二滤色层对位标记和形成第三滤色层釆用的第三滤色层对位标记， 其中， 所 述第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记以及第三滤色层对位标记的颜 色不完全相同。
( 10 ) 才艮据（9 )所述的彩色滤光片， 其中， 所述第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记以及第三滤色层对位标记设置在基板上黑矩阵以外的边 沿区域中。
( 11 )才艮据（9 )所述的彩色滤光片， 其中， 所述第一滤色层对位标记与 所述第二滤色层对位标记、 第三滤色层对位标记的颜色不相同； 或者所述第 一滤色层对位标记、 所述第二滤色层对位标记、 第三滤色层对位标记的颜色 各不相同； 或者所述第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记与所述第三 滤色层对位标记的颜色不相同。
( 12 )液晶面板， 包括根据（ 9 )至（ 11 )中任一的彩色滤光片、 阵列基 板以及所述彩膜滤光片与所述阵列基板之间的液晶层。
( 13 )显示装置， 包括根据 ( 12 ) 的液晶面板。
本发明实施例的优点至少在于： 由于制作第三滤色层用的第三滤色层对 位标记与第一滤色层同时形成或者在第一滤色层形成以后形成， 因而在制作 第三滤色层时， 第三滤色层对位标记与在黑矩阵内涂布的蓝色滤色膜层之间 的颜色对比度较大， 从而提高了曝光工艺中曝光设备对第三滤色层对位标记 的识别能力，从而避免了出现曝光设备难以获取第三滤色层对位标记的现象， 大大节约了生产时间， 并且使得对位准确度提高， 从而也提高了彩色滤光片 产品的良品率， 降低了生产成本。
虽然上文中已经用一般性说明及具体实施方式， 对本发明作了详尽的描 述， 但在本发明基础上， 可以对之作一些修改或改进， 这对本领域技术人员 而言是显而易见的。 因此， 在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或 改进， 均属于本发明要求保护的范围。

Claims

权利要求书
1. 彩色滤光片的制作方法， 包括形成黑矩阵的步骤和依次形成第一滤色 层、 第二滤色层和第三滤色层的步骤， 所述第一滤色层通过第一滤色层对位 标记、 第二滤色层通过第二滤色层对位标记以及第三滤色层通过第三滤色层 对位标记分别形成在黑矩阵内， 其中， 第三滤色层对位标记与第一滤色层同 时形成， 或者在第一滤色层形成以后形成， 所述第一滤色层对位标记、 第二 滤色层对位标记以及第三滤色层对位标记的颜色不完全相同。
2. 根据权利要求 1所述的制作方法， 其中， 所述第三滤色层对位标记与 第二滤色层同时形成， 或者在第二滤色层形成以后形成。
3. 根据权利要求 1或 2所述的制作方法， 其中， 所述第二滤色层对位标 记与黑矩阵同时形成， 或者与第一滤色层同时形成， 或者在第一滤色层形成 以后形成。
4. 根据权利要求 3所述的制作方法， 其中， 所述第一滤色层对位标记与 所述黑矩阵同时形成。
5. 根据权利要求 4所述的制作方法， 包括如下步骤：
在基板上同时制作黑矩阵以及第一滤色层对位标记， 所述第一滤色层对 位标记的颜色与黑矩阵的颜色相同；
以所述第一滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第一滤色层， 同时 在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第二滤色层对位标记和第三滤色层对 位标记， 所述第二滤色层对位标记和第三滤色层对位标记的颜色与所述第一 滤色层的颜色相同；
以所述第二滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第二滤色层； 以所述第三滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第三滤色层。
6. 根据权利要求 4所述的制作方法， 包括如下步骤：
在基板上同时制作黑矩阵以及第一滤色层对位标记， 所述第一滤色层对 位标记的颜色与黑矩阵的颜色相同；
以所述第一滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第一滤色层， 同时 在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第二滤色层对位标记， 所述第二滤色 层对位标记的颜色与第一滤色层的颜色相同； 以所述第二滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第二滤色层， 同时 在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第三滤色层对位标记， 所述第三滤色 层对位标记的颜色与第二滤色层的颜色相同；
以所述第三滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第三滤色层。
7. 根据权利要求 4所述的制作方法， 包括如下步骤：
在基板上同时制作黑矩阵以及第一滤色层对位标记和第二滤色层对位标 记， 所述第一滤色层对位标记和第二滤色层对位标记的颜色与黑矩阵的颜色 相同；
以所述第一滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第一滤色层， 同时 在基板上黑矩阵以外的边沿区域中制作第三滤色层对位标记， 所述第三滤色 层对位标记的颜色与第一滤色层的颜色相同；
以所述第二滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第二滤色层； 以所述第三滤色层对位标记为基准， 在黑矩阵内制作第三滤色层。
8. 根据权利要求 4所述的彩色滤光片的制作方法， 其中， 所述第一滤色 层为红色滤色层， 所述第二滤色层为绿色滤色层， 所述第三滤色层为蓝色滤 色层。
9. 彩色滤光片， 包括黑矩阵和第一滤色层、 第二滤色层、 第三滤色层， 以及形成第一滤色层釆用的第一滤色层对位标记、 形成第二滤色层釆用的第 二滤色层对位标记和形成第三滤色层釆用的第三滤色层对位标记， 其中， 所 述第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记以及第三滤色层对位标记的颜 色不完全相同。
10. 根据权利要求 9所述的彩色滤光片， 其中， 所述第一滤色层对位标 记、 第二滤色层对位标记以及第三滤色层对位标记设置在基板上黑矩阵以外 的边沿区域中。
11. 根据权利要求 9所述的彩色滤光片， 其中， 所述第一滤色层对位标 记与所述第二滤色层对位标记、 第三滤色层对位标记的颜色不相同； 或者所 述第一滤色层对位标记、 所述第二滤色层对位标记、 第三滤色层对位标记的 颜色各不相同； 或者所述第一滤色层对位标记、 第二滤色层对位标记与所述 第三滤色层对位标记的颜色不相同。
12. 液晶面板， 包括权利要求 9至 11中任一所述的彩色滤光片、 阵列基 板以及所述彩膜滤光片与所述阵列基板之间的液晶层。
13. 显示装置， 包括权利要求 12所述的液晶面板。
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