JP2001033617A - カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる露光方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる露光方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法にお
いて、フィルタ部の形成に用いる１色の着色レジストに
て形成した外周部アライメントマーカーを、他の色のフ
ィルタの形成時に画像処理にて検出し、マスクとの間で
位置合わせする際、位置合わせマークが判別しにくく、
位置合わせ作業が困難となる問題を解消すること。 【解決手段】アライメント用の光源に特定波長範囲をカ
ットする色フィルタを設置して用いることにより読み取
り部位間の透過光量比を高めて認識性能を向上させる。
いて、フィルタ部の形成に用いる１色の着色レジストに
て形成した外周部アライメントマーカーを、他の色のフ
ィルタの形成時に画像処理にて検出し、マスクとの間で
位置合わせする際、位置合わせマークが判別しにくく、
位置合わせ作業が困難となる問題を解消すること。 【解決手段】アライメント用の光源に特定波長範囲をカ
ットする色フィルタを設置して用いることにより読み取
り部位間の透過光量比を高めて認識性能を向上させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置等に
用いられるカラーフィルタの製造方法およびその際に用
いる露光方法に関する。
用いられるカラーフィルタの製造方法およびその際に用
いる露光方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶表示装置に内蔵されるカラー
フィルタにおいては、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各
色の着色部の間に遮光部（ブラックマトリクス）を形成
する構造のカラーフィルタが一般的である。このブラッ
クマトリクスには金属クロムもしくは金属クロムと酸化
クロムの積層膜が採用されている。これらはパターン精
度にすぐれ、０．２〜０．３μｍ程度の薄い膜厚でも遮
光性が大きいという利点がある一方、高価で製造コスト
が高いという欠点があるため、その代替材料として低反
射の遮光性樹脂によるブラックマトリクスも用いられて
いる。
フィルタにおいては、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）各
色の着色部の間に遮光部（ブラックマトリクス）を形成
する構造のカラーフィルタが一般的である。このブラッ
クマトリクスには金属クロムもしくは金属クロムと酸化
クロムの積層膜が採用されている。これらはパターン精
度にすぐれ、０．２〜０．３μｍ程度の薄い膜厚でも遮
光性が大きいという利点がある一方、高価で製造コスト
が高いという欠点があるため、その代替材料として低反
射の遮光性樹脂によるブラックマトリクスも用いられて
いる。
【０００３】ここでさらなる低コスト化および高精細化
にともなう輝度確保のために、遮光性樹脂によるブラッ
クマトリクスも省略する、もしくは色フィルタのうち１
色をブラックマトリクス部に流用することが検討されて
いる。ここで、同一基板上に順次所定の位置に着色部を
形成するにあたり、基板上に位置合わせ用のマーク（ア
ライメントマーク）を形成することが重要となる。すな
わち、パターン露光の際、基板上に形成したアライメン
トマークと、パターン露光用マスクに形成したマークと
を、アライナーにて検出し位置合わせすることで、着色
部の位置ずれを防止していたものである。従来ブラック
マトリクスを形成したときには、ブラックマトリクスの
形成と同時にアライメントマークも形成していた。しか
し前述したようにブラックマトリクスの省略が検討され
ている現在、第１色目の着色部の形成と同時に、着色部
の形成に用いた着色レジストでアライメントマークを形
成する試みがなされている。
にともなう輝度確保のために、遮光性樹脂によるブラッ
クマトリクスも省略する、もしくは色フィルタのうち１
色をブラックマトリクス部に流用することが検討されて
いる。ここで、同一基板上に順次所定の位置に着色部を
形成するにあたり、基板上に位置合わせ用のマーク（ア
ライメントマーク）を形成することが重要となる。すな
わち、パターン露光の際、基板上に形成したアライメン
トマークと、パターン露光用マスクに形成したマークと
を、アライナーにて検出し位置合わせすることで、着色
部の位置ずれを防止していたものである。従来ブラック
マトリクスを形成したときには、ブラックマトリクスの
形成と同時にアライメントマークも形成していた。しか
し前述したようにブラックマトリクスの省略が検討され
ている現在、第１色目の着色部の形成と同時に、着色部
の形成に用いた着色レジストでアライメントマークを形
成する試みがなされている。
【０００４】ここで、順次形成する着色部の色の形成順
序は本来任意であるといえる。仮に青色が第１色目であ
る場合には、青色レジストの透過率は比較的低いため、
非パターン部とのコントラストが高く、青色レジストを
用いたアライメントマークによるアライナーでの位置合
わせは支障なく可能である。しかしながら、事情により
赤色を第１色目とし、アライメントマークも赤色とした
場合、他の色の露光の位置合わせの際、赤のアライメン
トマークを利用しようとしても、赤のアライメントマー
クの透過率が高く非パターン部とのコントラストが低い
ため、アライナーの光源ではアライメントマークを判別
しにくく、位置合わせ作業が困難となる問題があった。
序は本来任意であるといえる。仮に青色が第１色目であ
る場合には、青色レジストの透過率は比較的低いため、
非パターン部とのコントラストが高く、青色レジストを
用いたアライメントマークによるアライナーでの位置合
わせは支障なく可能である。しかしながら、事情により
赤色を第１色目とし、アライメントマークも赤色とした
場合、他の色の露光の位置合わせの際、赤のアライメン
トマークを利用しようとしても、赤のアライメントマー
クの透過率が高く非パターン部とのコントラストが低い
ため、アライナーの光源ではアライメントマークを判別
しにくく、位置合わせ作業が困難となる問題があった。
【０００５】そのため、ブラックマトリクスを省略して
も、金属または遮光性樹脂をアライメントマーカー形成
のためだけにパターン形成して用いる必要があった。ア
ライメントマークのみ形成する場合、ブラックマトリク
スも形成する場合に比べ歩留まりは非常に高いものの、
ブラックマトリクスの形成と同様の工程が必要となり、
製造コスト的には大きな削減が期待できず、好ましいこ
とではなかった。
も、金属または遮光性樹脂をアライメントマーカー形成
のためだけにパターン形成して用いる必要があった。ア
ライメントマークのみ形成する場合、ブラックマトリク
スも形成する場合に比べ歩留まりは非常に高いものの、
ブラックマトリクスの形成と同様の工程が必要となり、
製造コスト的には大きな削減が期待できず、好ましいこ
とではなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な、着色レジストで形成されたアライメントマーカーの
読み取りの問題を解消し、色フィルタに用いる、非パタ
ーン部とのコントラストの低い１色のレジストにてアラ
イメントマーカーを形成しても、問題なくアライメント
マークの位置合わせ作業を行うことを可能としたカラー
フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
な、着色レジストで形成されたアライメントマーカーの
読み取りの問題を解消し、色フィルタに用いる、非パタ
ーン部とのコントラストの低い１色のレジストにてアラ
イメントマーカーを形成しても、問題なくアライメント
マークの位置合わせ作業を行うことを可能としたカラー
フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上に
３原色のカラーフィルタ層を順次パターン形成する液晶
表示装置用カラーフィルタの製造方法において、フィル
タ部の形成に用いる１色の着色レジストにて形成した外
周部アライメントマーカーを、他の色のフィルタの形成
時に画像処理にて検出し、マスク上のアライメントマー
カーとの間で位置合わせする際、アライメント用の光源
に特定波長範囲をカットする色フィルタを設置すること
により読み取り部位間の透過光量比を高めて認識性能を
向上させることを特徴とするカラーフィルタの製造方法
である。また本発明は、第１色目のパターン用のマスク
に、フィルタ部パターンとともにアライメントマーカー
部のパターンを形成しておき、第２色目以降のマスク露
光時のアライメント用の光源として、特定波長範囲をカ
ットしてアライメントマーカーの読み取り部位間の透過
光量比を高める色フィルタを設置したものを用い、基板
上に形成された第１色目のパターンによるアライメント
マーカーと第２色目以降のマスク上のアライメントマー
カーを位置合わせして、パターン露光することを特徴と
する、液晶表示装置用カラーフィルタの製造に用いる露
光方法である。
３原色のカラーフィルタ層を順次パターン形成する液晶
表示装置用カラーフィルタの製造方法において、フィル
タ部の形成に用いる１色の着色レジストにて形成した外
周部アライメントマーカーを、他の色のフィルタの形成
時に画像処理にて検出し、マスク上のアライメントマー
カーとの間で位置合わせする際、アライメント用の光源
に特定波長範囲をカットする色フィルタを設置すること
により読み取り部位間の透過光量比を高めて認識性能を
向上させることを特徴とするカラーフィルタの製造方法
である。また本発明は、第１色目のパターン用のマスク
に、フィルタ部パターンとともにアライメントマーカー
部のパターンを形成しておき、第２色目以降のマスク露
光時のアライメント用の光源として、特定波長範囲をカ
ットしてアライメントマーカーの読み取り部位間の透過
光量比を高める色フィルタを設置したものを用い、基板
上に形成された第１色目のパターンによるアライメント
マーカーと第２色目以降のマスク上のアライメントマー
カーを位置合わせして、パターン露光することを特徴と
する、液晶表示装置用カラーフィルタの製造に用いる露
光方法である。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を以下に図面
を用いて説明する。本発明のカラーフィルタの製造工程
の一例の概要は以下の通りである。すなわち、図６
（ａ）において示すように、基板１上にまず第１色目と
して赤色の着色レジスト２’をスピンコート法などによ
り全面にコーティングして、乾燥した後、フォトマスク
５を介して紫外線をパターン露光し、現像、水洗、ベー
キングして、図６（ｂ）に示すように、カラーフィルタ
２の赤色パターン部位、パターンの１画面の外周の外枠
部３、および基板端部近辺のアライメントマーカー４
ａ′の各パターンを形成する。次いで、第２色目として
緑色の着色レジストを全面にコーティング、乾燥した
後、カラーフィルタ２の緑色パターン部位のパターンの
みを形成するためのフォトマスクを介して紫外線を露光
し現像、水洗、ベーキングして、図６（ｃ）に示すよう
に、緑色パターンをパターニングする。最後に、青色の
着色レジストを用い、図６（ｄ）に示すようにカラーフ
ィルタ２の青色パターン部位を同様にしてパターニング
することにより、カラーフィルタ基板を完成するもので
ある。
を用いて説明する。本発明のカラーフィルタの製造工程
の一例の概要は以下の通りである。すなわち、図６
（ａ）において示すように、基板１上にまず第１色目と
して赤色の着色レジスト２’をスピンコート法などによ
り全面にコーティングして、乾燥した後、フォトマスク
５を介して紫外線をパターン露光し、現像、水洗、ベー
キングして、図６（ｂ）に示すように、カラーフィルタ
２の赤色パターン部位、パターンの１画面の外周の外枠
部３、および基板端部近辺のアライメントマーカー４
ａ′の各パターンを形成する。次いで、第２色目として
緑色の着色レジストを全面にコーティング、乾燥した
後、カラーフィルタ２の緑色パターン部位のパターンの
みを形成するためのフォトマスクを介して紫外線を露光
し現像、水洗、ベーキングして、図６（ｃ）に示すよう
に、緑色パターンをパターニングする。最後に、青色の
着色レジストを用い、図６（ｄ）に示すようにカラーフ
ィルタ２の青色パターン部位を同様にしてパターニング
することにより、カラーフィルタ基板を完成するもので
ある。
【０００９】ここで用いられる２または３種類（この説
明では第２色目と第３色目のマスクを兼用する２種類で
ある。）のフォトマスク５のうち、第１色目の赤色のパ
ターン用のネガ型フォトマスク５ａは、図７（ａ）に示
すようなものであり、赤色のフィルタパターン２ａと、
基板端部（外周部）のアライメントマーカー４ａより成
る。このアライメントマーカー４ａにより基板１上にパ
ターニングされたアライメントマーカー４ａ’（図７
（ａ’）に示す）を用いて、図７（ｂ）に示す第２色目
ないし第３色目のパターン用フォトマスク５ｂのアライ
メントマーカー４ｂ，４ｃとの間で、互いのパターンの
中心を位置合わせすることによりカラーフィルタパター
ンの適切な位置合わせを実現した後、第２色目ないし第
３色目のパターン露光を行うものであるが、既述のよう
に通常のアライナーの光源では、例えば基板上の第１色
目のアライメントマーカーの状態を示す図８（ａ）のよ
うに、基板１上にパターニングされた赤色のアライメン
トマーカー４ａ’のパターンは非パターン部と透過率の
差が少ないため判別しづらく、アライナーにかける場合
においてもコントラスト不足で位置合わせが困難とな
る。特に第３色目の青色パターン露光の際の位置合わせ
に関しては困難度が顕著である。
明では第２色目と第３色目のマスクを兼用する２種類で
ある。）のフォトマスク５のうち、第１色目の赤色のパ
ターン用のネガ型フォトマスク５ａは、図７（ａ）に示
すようなものであり、赤色のフィルタパターン２ａと、
基板端部（外周部）のアライメントマーカー４ａより成
る。このアライメントマーカー４ａにより基板１上にパ
ターニングされたアライメントマーカー４ａ’（図７
（ａ’）に示す）を用いて、図７（ｂ）に示す第２色目
ないし第３色目のパターン用フォトマスク５ｂのアライ
メントマーカー４ｂ，４ｃとの間で、互いのパターンの
中心を位置合わせすることによりカラーフィルタパター
ンの適切な位置合わせを実現した後、第２色目ないし第
３色目のパターン露光を行うものであるが、既述のよう
に通常のアライナーの光源では、例えば基板上の第１色
目のアライメントマーカーの状態を示す図８（ａ）のよ
うに、基板１上にパターニングされた赤色のアライメン
トマーカー４ａ’のパターンは非パターン部と透過率の
差が少ないため判別しづらく、アライナーにかける場合
においてもコントラスト不足で位置合わせが困難とな
る。特に第３色目の青色パターン露光の際の位置合わせ
に関しては困難度が顕著である。
【００１０】そこで本発明では、主に青色のパターン露
光の際、アライナーの光源と対象物（フォトマスク５ｂ
および基板１）の間に、長波長側の波長範囲をカットす
る色フィルタ（視覚上は緑色）を設置することを考え
た。図１に示すように、Ｘのような分光透過率特性を持
ったフィルタを用いることにより、アライナーの光源・
フィルタ・受光器の影響を考慮した波長別の相対光量
は、色フィルタを設置しない場合の分布Ａに対し、色フ
ィルタを設置した場合はＢに示す分布のようになり、フ
ィルタの有無で使用する波長を制限できる。
光の際、アライナーの光源と対象物（フォトマスク５ｂ
および基板１）の間に、長波長側の波長範囲をカットす
る色フィルタ（視覚上は緑色）を設置することを考え
た。図１に示すように、Ｘのような分光透過率特性を持
ったフィルタを用いることにより、アライナーの光源・
フィルタ・受光器の影響を考慮した波長別の相対光量
は、色フィルタを設置しない場合の分布Ａに対し、色フ
ィルタを設置した場合はＢに示す分布のようになり、フ
ィルタの有無で使用する波長を制限できる。
【００１１】なお、検証当初に予想されていた青色レジ
ストは図２のＸに示すような波形の分光透過率であり、
上記図１のＡに示すアライナー光源の相対光量（色フィ
ルタ無し）が青色レジストを通過した後の分光透過率分
布を調べると、図３のグラフのＸに示すとおり、フィル
タを使用しなくても波長が制限されている分光分布にな
っていることがわかる。このため当初は、フィルタを追
加しても計測される分光分布は相対的に変化するだけで
検出信号としては変化が見られないと考えられた。
ストは図２のＸに示すような波形の分光透過率であり、
上記図１のＡに示すアライナー光源の相対光量（色フィ
ルタ無し）が青色レジストを通過した後の分光透過率分
布を調べると、図３のグラフのＸに示すとおり、フィル
タを使用しなくても波長が制限されている分光分布にな
っていることがわかる。このため当初は、フィルタを追
加しても計測される分光分布は相対的に変化するだけで
検出信号としては変化が見られないと考えられた。
【００１２】ところが現在の青色レジストは、従来のレ
ジストと大きく異なり、図２のグラフのＹに示すように
長波長側（赤〜近赤外）の透過率がかなり高い分布を示
すものであることがわかった。この事情から、青色レジ
ストを透過した後の分光分布も、図３のグラフのＹに示
すように長波長側の光量が大きく分布していることがわ
かる。そのため、本発明の色フィルタを使用した場合に
は、この長波長側の光量分布を大きく抑えるよう変化さ
せることができる。この効果を示したのが図４および図
５である。アライナー部において、色フィルタのない場
合（Ａ）、色フィルタを通した場合（Ｂ）の各々につい
て、（１）基板上の非パターン部位透過部分、（２）青
色レジストによるアライメントマーカー透過部分、およ
び（３）青色レジストによるアライメントマーカーと赤
色レジストによるアライメントマーカーの重なり部の透
過部分、のそれぞれの分光分布を比較すると図４および
図５のＡ１〜Ａ３，Ｂ１〜Ｂ３のグラフのようになる。
ジストと大きく異なり、図２のグラフのＹに示すように
長波長側（赤〜近赤外）の透過率がかなり高い分布を示
すものであることがわかった。この事情から、青色レジ
ストを透過した後の分光分布も、図３のグラフのＹに示
すように長波長側の光量が大きく分布していることがわ
かる。そのため、本発明の色フィルタを使用した場合に
は、この長波長側の光量分布を大きく抑えるよう変化さ
せることができる。この効果を示したのが図４および図
５である。アライナー部において、色フィルタのない場
合（Ａ）、色フィルタを通した場合（Ｂ）の各々につい
て、（１）基板上の非パターン部位透過部分、（２）青
色レジストによるアライメントマーカー透過部分、およ
び（３）青色レジストによるアライメントマーカーと赤
色レジストによるアライメントマーカーの重なり部の透
過部分、のそれぞれの分光分布を比較すると図４および
図５のＡ１〜Ａ３，Ｂ１〜Ｂ３のグラフのようになる。
【００１３】図４に示すように色フィルタのない場合に
おいては、光量分布の山が広い波長範囲に２つあるため
判定が難しくなるのに対し、図５に示すように色フィル
タを通した場合には、光量のピークは低いものの、波長
範囲は制限され、判別が容易になる。全光量の比率（グ
ラフでは曲線内の面積比となる）を比較してみると、Ａ
２：Ａ３＝１．３５：１であるのに対し、Ｂ２：Ｂ３＝
２．３１：１であり、検出が容易になっている。フィル
タが無い場合、長波長側（６００〜７００ｎｍ）の分光
が検出性能を大きく落としていることがわかる。実際に
見た場合にも、図８（ｂ）に示すように、赤色のアライ
メントマーカー４ａ’を色フィルタを通して見た場合、
パターンと重なる部分はきわめて暗い色となり、重なら
ない部分との判別が容易となっている。これにより、ア
ライメントマーカー４ａ’と青色のパターン用フォトマ
スク５ｂ上のアライメントマーカー４ｃの間での位置合
わせを的確に行うことができる。
おいては、光量分布の山が広い波長範囲に２つあるため
判定が難しくなるのに対し、図５に示すように色フィル
タを通した場合には、光量のピークは低いものの、波長
範囲は制限され、判別が容易になる。全光量の比率（グ
ラフでは曲線内の面積比となる）を比較してみると、Ａ
２：Ａ３＝１．３５：１であるのに対し、Ｂ２：Ｂ３＝
２．３１：１であり、検出が容易になっている。フィル
タが無い場合、長波長側（６００〜７００ｎｍ）の分光
が検出性能を大きく落としていることがわかる。実際に
見た場合にも、図８（ｂ）に示すように、赤色のアライ
メントマーカー４ａ’を色フィルタを通して見た場合、
パターンと重なる部分はきわめて暗い色となり、重なら
ない部分との判別が容易となっている。これにより、ア
ライメントマーカー４ａ’と青色のパターン用フォトマ
スク５ｂ上のアライメントマーカー４ｃの間での位置合
わせを的確に行うことができる。
【００１４】
【実施例】本発明の実施の一例を以下に示す。液晶表示
装置用無アルカリガラスの基板１上に、フジハント社製
赤色レジスト、商品名「ＣＲ−２０００」をスピンコー
タにより全面に厚さ１．０〜２．０μｍの厚さにコーテ
ィングし、７０℃、２０分の条件でプレベークを行っ
た。そののち、フォトマスク５ａを介して紫外線を露光
量１２０ｍＪ／ｃｍ2でパターン露光し、現像は上記レ
ジストの専用現像液を用い、２３０℃、６０分の条件で
ポストベークを行った。これにて、図６（ｂ）に示すよ
うに、カラーフィルタ２の赤色パターン部位、パターン
部位の外周の外枠部３、および基板端部近辺のアライメ
ントマーカー４ａ′等の各パターンが形成された。
装置用無アルカリガラスの基板１上に、フジハント社製
赤色レジスト、商品名「ＣＲ−２０００」をスピンコー
タにより全面に厚さ１．０〜２．０μｍの厚さにコーテ
ィングし、７０℃、２０分の条件でプレベークを行っ
た。そののち、フォトマスク５ａを介して紫外線を露光
量１２０ｍＪ／ｃｍ2でパターン露光し、現像は上記レ
ジストの専用現像液を用い、２３０℃、６０分の条件で
ポストベークを行った。これにて、図６（ｂ）に示すよ
うに、カラーフィルタ２の赤色パターン部位、パターン
部位の外周の外枠部３、および基板端部近辺のアライメ
ントマーカー４ａ′等の各パターンが形成された。
【００１５】次いで第１色目の赤色パターンが形成され
た上記の基板１上に、フジハント社製緑色レジスト、商
品名「ＣＧ−２０００」を同様に同条件で全面にスピン
コート、プレベークを行ったのち、上記基板１とフォト
マスク５ｂを重ねて近接させ、アライナーにて、基板１
上のアライメントマーカー４ａ′とフォトマスク５ｂ上
のアライメントマーカー４ｂの透過光のパターンを位置
合わせしてから、同様にして紫外線でパターン露光、現
像、ポストベークを行った。これにて、図６（ｃ）に示
すように、さらにカラーフィルタ２の緑色パターン部位
が追加形成された。この例のように、赤色パターンから
なるアライメントマーカー４ａとその上に塗布された緑
色フィルタは補色関係にあり、両社の間の識別は可能で
あるので、光源に色フィルタを設ける必要はない。
た上記の基板１上に、フジハント社製緑色レジスト、商
品名「ＣＧ−２０００」を同様に同条件で全面にスピン
コート、プレベークを行ったのち、上記基板１とフォト
マスク５ｂを重ねて近接させ、アライナーにて、基板１
上のアライメントマーカー４ａ′とフォトマスク５ｂ上
のアライメントマーカー４ｂの透過光のパターンを位置
合わせしてから、同様にして紫外線でパターン露光、現
像、ポストベークを行った。これにて、図６（ｃ）に示
すように、さらにカラーフィルタ２の緑色パターン部位
が追加形成された。この例のように、赤色パターンから
なるアライメントマーカー４ａとその上に塗布された緑
色フィルタは補色関係にあり、両社の間の識別は可能で
あるので、光源に色フィルタを設ける必要はない。
【００１６】次いで、第１色目の赤色パターンと第２色
目の緑色パターンが形成された上記の基板１上に、フジ
ハント社製青色レジスト、商品名「ＣＢ−２０００」を
同様に同条件で全面にスピンコート、プレベークを行っ
たのち、上記基板１と、フォトマスク５ｂを重ねて近接
させ、さらに図１のＸに示す分光透過率を持った視覚上
は緑色の色フィルタ（図示せず）を重ねた状態で、アラ
イナーにて、基板１上のアライメントマーカー４ａ’と
フォトマスク５ｂ上のアライメントマーカー４ｃの透過
光のパターンを位置合わせを試み、支障無く成功した。
この後、同様にして紫外線でパターン露光、現像、ポス
トベークを行った。これにて、図６（ｄ）に示すよう
に、さらにカラーフィルタ２の青色パターン部位が追加
形成され、カラーフィルタが完成した。
目の緑色パターンが形成された上記の基板１上に、フジ
ハント社製青色レジスト、商品名「ＣＢ−２０００」を
同様に同条件で全面にスピンコート、プレベークを行っ
たのち、上記基板１と、フォトマスク５ｂを重ねて近接
させ、さらに図１のＸに示す分光透過率を持った視覚上
は緑色の色フィルタ（図示せず）を重ねた状態で、アラ
イナーにて、基板１上のアライメントマーカー４ａ’と
フォトマスク５ｂ上のアライメントマーカー４ｃの透過
光のパターンを位置合わせを試み、支障無く成功した。
この後、同様にして紫外線でパターン露光、現像、ポス
トベークを行った。これにて、図６（ｄ）に示すよう
に、さらにカラーフィルタ２の青色パターン部位が追加
形成され、カラーフィルタが完成した。
【００１７】
【発明の効果】本発明の方法により、色フィルター部に
用いるレジストパターンの第１色目で作成したアライメ
ントパターンを用いて第２色目以降のフォトマスクとの
位置合わせが実現し、ブラックマトリクスもしくはアラ
イメントマーカーのためだけの黒色アライメントパター
ンの形成工程を省略することができるため、大幅な工程
省略とコストダウンが達成できる。
用いるレジストパターンの第１色目で作成したアライメ
ントパターンを用いて第２色目以降のフォトマスクとの
位置合わせが実現し、ブラックマトリクスもしくはアラ
イメントマーカーのためだけの黒色アライメントパター
ンの形成工程を省略することができるため、大幅な工程
省略とコストダウンが達成できる。
【００１８】
【図１】Ｘは本発明において用いる色フィルタの分光透
過率を、また、ＡおよびＢは、アライナー光源の光、お
よび色フィルタを通したアライナー光源の光の、波長別
の相対光量の分布を示すグラフである。
過率を、また、ＡおよびＢは、アライナー光源の光、お
よび色フィルタを通したアライナー光源の光の、波長別
の相対光量の分布を示すグラフである。
【図２】当初予想の青色レジストおよび現在の青色レジ
ストの分光透過率を示すグラフである。
ストの分光透過率を示すグラフである。
【図３】本発明におけるアライナー光源が、当初予想の
青色レジストおよび現在の青色レジストを通過した後の
分光分布を示すグラフである。
青色レジストおよび現在の青色レジストを通過した後の
分光分布を示すグラフである。
【図４】本発明における、基板上の（Ａ１）基板上の非
パターン部位透過部分、（Ａ２）青色レジストによるア
ライメントマーカー透過部分、および（Ａ３）青色レジ
ストによるアライメントマーカーと赤色レジストによる
アライメントマーカーの重なり部の透過部分、の各々の
分光分布を、色フィルタのない場合について示したグラ
フである。
パターン部位透過部分、（Ａ２）青色レジストによるア
ライメントマーカー透過部分、および（Ａ３）青色レジ
ストによるアライメントマーカーと赤色レジストによる
アライメントマーカーの重なり部の透過部分、の各々の
分光分布を、色フィルタのない場合について示したグラ
フである。
【図５】本発明における、基板上の（Ｂ１）基板上の非
パターン部位透過部分、（Ｂ２）青色レジストによるア
ライメントマーカー透過部分、および（Ｂ３）青色レジ
ストによるアライメントマーカーと赤色レジストによる
アライメントマーカーの重なり部の透過部分、の各々の
分光分布を、色フィルタを通した場合について示したグ
ラフである。
パターン部位透過部分、（Ｂ２）青色レジストによるア
ライメントマーカー透過部分、および（Ｂ３）青色レジ
ストによるアライメントマーカーと赤色レジストによる
アライメントマーカーの重なり部の透過部分、の各々の
分光分布を、色フィルタを通した場合について示したグ
ラフである。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、本発明のカラーフィルタの
製造工程の概略を工程順に示す説明図である。
製造工程の概略を工程順に示す説明図である。
【図７】（ａ）本発明に用いる第１色目のパターンの露
光に用いるフォトマスクを示す説明図である。 （ａ’）本発明の第１色目のパターンを形成したカラー
フィルタ基板を示す説明図である。 （ｂ）本発明に用いる第２色目および第３色目のパター
ンの露光に用いるフォトマスクを示す説明図である。
光に用いるフォトマスクを示す説明図である。 （ａ’）本発明の第１色目のパターンを形成したカラー
フィルタ基板を示す説明図である。 （ｂ）本発明に用いる第２色目および第３色目のパター
ンの露光に用いるフォトマスクを示す説明図である。
【図８】（ａ）本発明における、基板上の第１色目のア
ライメントマーカーの状態を、アライナーに用いるフィ
ルタをかけない場合について示した説明図である。 （ｂ）本発明における、基板上の第１色目のアライメン
トマーカーの状態を、アライナーに用いるフィルタをか
けた場合について示した説明図である。
ライメントマーカーの状態を、アライナーに用いるフィ
ルタをかけない場合について示した説明図である。 （ｂ）本発明における、基板上の第１色目のアライメン
トマーカーの状態を、アライナーに用いるフィルタをか
けた場合について示した説明図である。
１ 基板 ２ カラーフィルタ ２’ レジスト ３ 外枠部 ４ アライメントマーカー ５ フォトマスク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H048 BA02 BA43 BA45 BA48 BB02 BB07 BB22 BB44 2H091 FA02Y FC10 LA15 LA30 2H097 KA05 KA12 KA13 KA20 KA22 LA12
Claims (2)
- 【請求項１】透明基板上に３原色のカラーフィルタ層を
順次パターン形成する液晶表示装置用カラーフィルタの
製造方法において、フィルタ部の形成に用いる１色の着
色レジストにて形成した外周部アライメントマーカー
を、他の色のフィルタの形成時に画像処理にて検出し、
マスク上のアライメントマーカーとの間で位置合わせす
る際、アライメント用の光源に特定波長範囲をカットす
る色フィルタを設置することにより読み取り部位間の透
過光量比を高めて認識性能を向上させることを特徴とす
るカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項２】第１色目のパターン用のマスクに、フィル
タ部パターンとともにアライメントマーカー部のパター
ンを形成しておき、第２色目以降のマスク露光時のアラ
イメント用の光源として、特定波長範囲をカットしてア
ライメントマーカーの読み取り部位間の透過光量比を高
める色フィルタを設置したものを用い、基板上に形成さ
れた第１色目のパターンによるアライメントマーカーと
第２色目以降のマスク上のアライメントマーカーを位置
合わせして、パターン露光することを特徴とする、液晶
表示装置用カラーフィルタの製造に用いる露光方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20437999A JP3816274B2 (ja) | 1999-07-19 | 1999-07-19 | カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる露光方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20437999A JP3816274B2 (ja) | 1999-07-19 | 1999-07-19 | カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001033617A true JP2001033617A (ja) | 2001-02-09 |
| JP3816274B2 JP3816274B2 (ja) | 2006-08-30 |
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ID=16489561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20437999A Expired - Fee Related JP3816274B2 (ja) | 1999-07-19 | 1999-07-19 | カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる露光方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3816274B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7354699B2 (en) | 2001-11-06 | 2008-04-08 | Hitachi Metals, Ltd. | Method for producing alignment mark |
| CN102681251A (zh) * | 2012-05-14 | 2012-09-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩色滤光片及其制作方法以及液晶面板和显示装置 |
| TWI383850B (ja) * | 2009-09-18 | 2013-02-01 | ||
| CN103268028A (zh) * | 2013-05-20 | 2013-08-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 自动调节灰度的检出系及方法 |
| WO2016095278A1 (zh) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于显示器的彩膜基板及其制造方法和彩膜基板的光罩 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1999
- 1999-07-19 JP JP20437999A patent/JP3816274B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| WO2013170595A1 (zh) * | 2012-05-14 | 2013-11-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩色滤光片及其制作方法以及液晶面板和显示装置 |
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| WO2014187116A1 (zh) * | 2013-05-20 | 2014-11-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 自动调节灰度的检出系统及方法 |
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