CN103268028B - 自动调节灰度的检出系及方法 - Google Patents

自动调节灰度的检出系及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103268028B
CN103268028B CN201310187599.XA CN201310187599A CN103268028B CN 103268028 B CN103268028 B CN 103268028B CN 201310187599 A CN201310187599 A CN 201310187599A CN 103268028 B CN103268028 B CN 103268028B
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
gray scale
detect
bit image
camera lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310187599.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN103268028A (zh
Inventor
王耸
苏九端
吴洪江
方群
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Beijing BOE Display Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201310187599.XA priority Critical patent/CN103268028B/zh
Publication of CN103268028A publication Critical patent/CN103268028A/zh
Priority to US14/378,088 priority patent/US9430976B2/en
Priority to PCT/CN2013/089437 priority patent/WO2014187116A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103268028B publication Critical patent/CN103268028B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/40—Picture signal circuits
    • H04N1/407—Control or modification of tonal gradation or of extreme levels, e.g. background level
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
    • G09G3/34—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source
    • G09G3/36—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals
    • G09G3/3607—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters by control of light from an independent source using liquid crystals for displaying colours or for displaying grey scales with a specific pixel layout, e.g. using sub-pixels
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/38—Masks having auxiliary features, e.g. special coatings or marks for alignment or testing; Preparation thereof
    • G03F1/42—Alignment or registration features, e.g. alignment marks on the mask substrates
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G2320/00—Control of display operating conditions
    • G09G2320/06—Adjustment of display parameters
    • G09G2320/0626—Adjustment of display parameters for control of overall brightness

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Studio Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了一种自动调节灰度的检出系及方法，检出系包括检出镜头，所述检出镜头用于采集掩膜版上的掩膜对位标记和玻璃基板上的基板对位标记的图像形成掩膜对位图像和基板对位图像，在检出镜头形成基板对位图像的光路上还设有自动滤光装置，所述自动滤光装置包括灰度检测模块、控制模块和滤光片。所述方法为利用本发明检出系的的自动调节灰度方法，本发明的自动调节灰度的检出系及方法，通过在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片，可以自动改变基板对位图像的灰度，从而提高检出系的自动化程度。

Description

自动调节灰度的检出系及方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种自动调节灰度的检出系及方法。
背景技术
如图1所示，目前在制作液晶面板的彩膜滤光片的RGB膜层的曝光工序中，经常采用四点对位的方式来对齐掩膜版6与玻璃基板7，即通过对位掩膜版6四角的对位标记和玻璃基板7四角的对位标记来对齐掩膜版6与玻璃基板7，只有四点同时对位后，才会自动曝光。
上述每个点的对位通过检出系完成，所述检出系包括检出镜头1、半透明反射镜2和光源3，所述光源3发出的光通过半透明反射镜2和负压掩膜版5后垂直照射掩膜版6和玻璃基板7，所述检出镜头1采集掩膜版6上的掩膜对位标记8和玻璃基板7上的基板对位标记9的图像形成掩膜对位图像10和基板对位图像11，通过检测掩膜对位图像10和基板对位图像11的匹配程度来检测基板对位标记9与掩膜对位标记8的对位程度。
上述掩膜版6与玻璃基板7的对齐过程中，如果某次对位过程出现四个检出系中基板对位图像11的灰度不一致，检出系会认为掩膜版6与玻璃基板7没有对齐，需要手动进行调节，造成检出系自动化程度低，影响产能。现有技术经常通过对玻璃基板7上的四个基板对位标记9区域全部涂覆光刻胶，以保证其灰度一致，而实际应用中出于降低成本考虑，涂覆范围会缩小，从而不能保证基板对位标记9区域全部涂覆，因此造成现有技术的检出系对位错误率高，自动化程度低。
发明内容
（一）要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是：提供一种能够自动调节检出镜头形成的基板对位图像灰度的检出系及方法。
（二）技术方案
为解决上述问题，本发明公开了如下的技术方案：
第一方面，提供了一种自动调节灰度的检出系，包括检出镜头，所述检出镜头用于采集掩膜版上的掩膜对位标记和玻璃基板上的基板对位标记的图像形成掩膜对位图像和基板对位图像，在检出镜头形成基板对位图像的光路上还设有自动滤光装置，所述自动滤光装置包括灰度检测模块、控制模块和滤光片；所述灰度检测模块用于检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；所述控制模块用于根据灰度检测模块检测到的基板对位图像的灰度追加或去除滤光片；所述滤光片用于滤掉光路中的部分光线，降低基板对位图像的灰度。
在第一方面的第一种可能实现方式中，所述滤光片设置在检出镜头前。
在第一方面的第二种可能实现方式中，所述滤光片的颜色为红色、蓝色或绿色。
在第一方面的第三种可能实现方式中，所述滤光片的颜色与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。
在第一方面的第四种可能实现方式中，所述检出系还包括光源，用于产生光线照射玻璃基板上的基板对位标记和掩膜版上的掩膜对位标记，增强基板对位标记和掩膜对位标记的辨识度。
在第一方面的第五种可能实现方式中，所述检出系还包括半透明反射镜，所述半透明反射镜设于检出镜头与掩膜版之间，用于将所述光源发出的光反射后照射掩膜对位标记和基板对位标记。
第二方面，提供一种检出系的自动调节灰度方法，该方法包括：
检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；
根据所述基板对位图像的灰度在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加或去除滤光片，改变基板对位图像的灰度。
第三方面，提供一种掩膜版与玻璃基板对齐方法，所述方法通过多点对位法，即利用多个检出系对位掩膜版上的多个掩膜对位标记和玻璃基板上相应的多个基板对位标记来对齐掩膜版与玻璃基板，所述方法包括以下步骤：
检测各个检出系的检出镜头形成基板对位图像的灰度；
当各个检出系的基板对位图像的灰度不一致时，在基板对位图像灰度较高的检出系的检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片，降低基板对位图像的灰度，使得所有检出系的检出镜头形成的基板对位头像的灰度一致。
在第三方面的第一种可能实现方式中，在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片的颜色与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。
在第三方面的第二种可能实现方式中，在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片追加设置在检出镜头前。
（三）有益效果
本发明实施例的自动调节灰度的检出系及方法，通过在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片，可以自动改变基板对位图像的灰度，从而提高检出系的自动化程度，同时不限制基板对位标记的设计范围和涂覆范围，达到降低成本的目的。本发明实施例的掩膜版与玻璃基板对齐方法，通过检测各个检出系的检出镜头形成基板对位图像的灰度，在基板对位图像灰度较高的检出系的检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片，降低基板对位图像的灰度，使得所有检出系的检出镜头形成的基板对位头像的灰度一致，从而提高对齐方法正确率和自动化程度。
附图说明
图1为现有技术的检出系结构示意图；
图2为本发明实施例的检出系结构示意图；
图3为本发明实施例的自动调节灰度方法流程示意图；
图4为本发明实施例的掩膜版与玻璃基板对齐方法流程示意图。
附图标记：1-检出镜头、2-半透明反射镜、3-光源、4-自动滤光装置、5-负压掩膜版、6-掩膜版、7-玻璃基板、8-掩膜对位标记、9-基板对位标记、10-掩膜对位图像、11-基板对位图像。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明如下。
第一方面提供的自动调节灰度的检出系如图2所示，该检出系包括检出镜头1，所述检出镜头1用于采集掩膜版6上的掩膜对位标记8和玻璃基板7上的掩膜对位标记9的图像形成掩膜对位图像10和基板对位图像11，在检出镜头1形成基板对位图像11的光路上还设有自动滤光装置4，所述自动滤光装置4包括灰度检测模块、控制模块和滤光片；所述灰度检测模块用于检测检出镜头1形成的基板对位图像11的灰度；所述控制模块用于根据灰度检测模块检测到的基板对位图像11的灰度追加或去除滤光片；所述滤光片用于滤掉光路中的部分光线，降低基板对位图像11的灰度。
所述滤光片可以设置在检出镜头1前。所述滤光片的颜色可以为红色、蓝色或绿色。所述滤光片的颜色一般与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。
所述检出系还可以包括光源3，用于产生光线照射玻璃基板7上的掩膜对位标记9和掩膜版6上的掩膜对位标记8，增强掩膜对位标记9和掩膜对位标记8的辨识度。还可以包括半透明反射镜2，所述半透明反射镜2设于检出镜头1与掩膜版6之间，用于将所述光源3发出的光反射后照射掩膜对位标记8和掩膜对位标记9。
如图3所示，第二方面提供的检出系的自动调节灰度方法包括以下步骤：
S11：检测检出镜头1形成的基板对位图像11的灰度；
S12：根据所述基板对位图像11的灰度在检出镜头1形成基板对位图像11的光路上自动追加或去除滤光片，改变基板对位图像11的灰度。
如图4所示，第三方面提供的掩膜版6与玻璃基板7对齐方法通过多点对位法，即利用多个检出系对位掩膜版6上的多个掩膜对位标记8和玻璃基板7上相应的多个掩膜对位标记9来对齐掩膜版6与玻璃基板7，所述方法包括以下步骤：
S21：检测各个检出系的检出镜头1形成基板对位图像11的灰度；
S22：当各个检出系的基板对位图像11的灰度不一致时，在基板对位图像11灰度较高的检出系的检出镜头1形成基板对位图像11的光路上自动追加滤光片，降低基板对位图像11的灰度，使得所有检出系的检出镜头1形成的基板对位头像的灰度一致。
在步骤S22中，在检出镜头1形成基板对位图像11的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片的颜色一般与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。
在步骤S22中，在检出镜头1形成基板对位图像11的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片可以追加设置在检出镜头1前。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (10)

1.一种自动调节灰度的检出系，包括检出镜头，所述检出镜头用于采集掩膜版上的掩膜对位标记和玻璃基板上的基板对位标记的图像形成掩膜对位图像和基板对位图像，其特征在于，在检出镜头形成基板对位图像的光路上还设有自动滤光装置，所述自动滤光装置包括灰度检测模块、控制模块和滤光片；所述灰度检测模块用于检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；所述控制模块用于根据灰度检测模块检测到的基板对位图像的灰度追加或去除滤光片；所述滤光片用于滤掉光路中的部分光线，降低基板对位图像的灰度。
2.如权利要求1所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述滤光片设置在检出镜头前。
3.如权利要求1所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述滤光片的颜色为红色、蓝色或绿色。
4.如权利要求1所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述滤光片的颜色与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。
5.如权利要求1所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述检出系还包括光源，用于产生光线照射玻璃基板上的基板对位标记和掩膜版上的掩膜对位标记，增强基板对位标记和掩膜对位标记的辨识度。
6.如权利要求5所述的自动调节灰度的检出系，其特征在于，所述检出系还包括半透明反射镜，所述半透明反射镜设于检出镜头与掩膜版之间，用于将所述光源发出的光反射后照射掩膜对位标记和基板对位标记。
7.一种检出系的自动调节灰度方法，其特征在于，包括：
检测检出镜头形成的基板对位图像的灰度；
根据所述基板对位图像的灰度在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加或去除滤光片，改变基板对位图像的灰度。
8.一种掩膜版与玻璃基板对齐方法，所述方法通过多点对位法，即利用多个检出系对位掩膜版上的多个掩膜对位标记和玻璃基板上相应的多个基板对位标记来对齐掩膜版与玻璃基板，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
检测各个检出系的检出镜头形成基板对位图像的灰度；
当各个检出系的基板对位图像的灰度不一致时，在基板对位图像灰度较高的检出系的检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片，降低基板对位图像的灰度，使得所有检出系的检出镜头形成的基板对位头像的灰度一致。
9.如权利要求8所述的掩膜版与玻璃基板对齐方法，其特征在于，在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片的颜色与检出系所在工序需要制作的色层颜色相同。
10.如权利要求8所述的掩膜版与玻璃基板对齐方法，其特征在于，在检出镜头形成基板对位图像的光路上自动追加滤光片时，所述滤光片追加设置在检出镜头前。
CN201310187599.XA 2013-05-20 2013-05-20 自动调节灰度的检出系及方法 Active CN103268028B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310187599.XA CN103268028B (zh) 2013-05-20 2013-05-20 自动调节灰度的检出系及方法
US14/378,088 US9430976B2 (en) 2013-05-20 2013-12-13 Detection system and method for automatically adjusting gray scale
PCT/CN2013/089437 WO2014187116A1 (zh) 2013-05-20 2013-12-13 自动调节灰度的检出系统及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310187599.XA CN103268028B (zh) 2013-05-20 2013-05-20 自动调节灰度的检出系及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103268028A CN103268028A (zh) 2013-08-28
CN103268028B true CN103268028B (zh) 2015-06-17

Family

ID=49011666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310187599.XA Active CN103268028B (zh) 2013-05-20 2013-05-20 自动调节灰度的检出系及方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9430976B2 (zh)
CN (1) CN103268028B (zh)
WO (1) WO2014187116A1 (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103268028B (zh) 2013-05-20 2015-06-17 京东方科技集团股份有限公司 自动调节灰度的检出系及方法
CN105702169B (zh) * 2016-02-17 2019-03-15 京东方科技集团股份有限公司 对位系统及对位方法
CN106711074A (zh) * 2017-01-04 2017-05-24 京东方科技集团股份有限公司 一种基板加工设备及待加工基板的对位控制方法
CN107437592B (zh) * 2017-08-21 2019-04-30 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 自适应对位方法
CN109817128A (zh) * 2019-01-28 2019-05-28 云谷（固安）科技有限公司 一种假压对位的方法及装置
CN111383537A (zh) * 2020-04-02 2020-07-07 上海天马有机发光显示技术有限公司 显示面板和显示装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11153805A (ja) * 1997-11-21 1999-06-08 Dainippon Printing Co Ltd 透明電極膜用アライメントマーク
JP2001033617A (ja) * 1999-07-19 2001-02-09 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる露光方法
CN101312156A (zh) * 2007-05-24 2008-11-26 株式会社丰田自动织机 制造有机电致发光元件的方法
CN202631948U (zh) * 2012-04-01 2012-12-26 京东方科技集团股份有限公司 一种在阵列基板和/或彩膜基板上形成对位标记的掩膜版

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4814626A (en) * 1985-12-13 1989-03-21 Siemens Aktiengesellschaft Method for high precision position measurement of two-dimensional structures
US7053355B2 (en) * 2003-03-18 2006-05-30 Brion Technologies, Inc. System and method for lithography process monitoring and control
KR100652053B1 (ko) * 2003-06-28 2006-11-30 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치의 제조방법
CN103268028B (zh) 2013-05-20 2015-06-17 京东方科技集团股份有限公司 自动调节灰度的检出系及方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11153805A (ja) * 1997-11-21 1999-06-08 Dainippon Printing Co Ltd 透明電極膜用アライメントマーク
JP2001033617A (ja) * 1999-07-19 2001-02-09 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる露光方法
CN101312156A (zh) * 2007-05-24 2008-11-26 株式会社丰田自动织机 制造有机电致发光元件的方法
CN202631948U (zh) * 2012-04-01 2012-12-26 京东方科技集团股份有限公司 一种在阵列基板和/或彩膜基板上形成对位标记的掩膜版

Also Published As

Publication number Publication date
US9430976B2 (en) 2016-08-30
CN103268028A (zh) 2013-08-28
US20160093256A1 (en) 2016-03-31
WO2014187116A1 (zh) 2014-11-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103268028B (zh) 自动调节灰度的检出系及方法
US20140210841A1 (en) Method, device and system for compensating brightness of a liquid crystal module
WO2016173210A1 (zh) 黑色矩阵的制作方法
US20090167341A1 (en) System and method for testing a liquid crystal panel
CN101470276A (zh) 一种液晶显示装置发光参数的校正方法及装置
US20210118394A1 (en) Mura compensation optimization method and system for liquid crystal display panel
CN103676242A (zh) 彩膜基板的修补方法
CN103676236A (zh) 一种修复缺陷像素的方法、系统及显示面板
CN104076564A (zh) 阵列基板及其制备方法、显示装置
CN104360547A (zh) 显示面板及其制作方法、显示装置
WO2015089859A1 (zh) 配向膜的边界获取方法及检测方法
CN104166250A (zh) 一种平面显示器面板均匀度检测方法及其系统
CN104765190A (zh) 黑色矩阵的制作方法
CN106855662A (zh) 修复液晶显示面板配向不良的方法
US20160247474A1 (en) Apparatus for adjusting voltage at common electrode and method thereof
CN106200275B (zh) 曝光方法
US10578894B2 (en) Method of desalinating mura and dot/line defects of display panel and display panel
CN109669288A (zh) 基板破片检测系统及基板破片检测方法
CN104463824B (zh) 一种薄膜晶体管型基板检测设备的图像校正方法及装置
CN103633101B (zh) 一种阵列结构及其制作方法、阵列基板和显示装置
CN108845784A (zh) 一种显示屏Mura补偿方法及装置
CN103676245A (zh) 一种阵列基板对位标记结构及其对位方法
CN205157919U (zh) 自动光学检测装置
KR100315117B1 (ko) 글래스 얼라인먼트 검사 시스템
CN103345089B (zh) 液晶配向控制系统及方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant