KR960035098A - 액정 디스플레이(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법 - Google Patents

액정 디스플레이(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

이 발명은 액정용 칼라 OA 기기 및 TV등에 이용되는 칼라필터에 관한 것으로, 착색막 패턴 에지부에서 발생하는 ITO 단선문제를 해결하고, 블랙매트릭스의 저반사화를 실현한 액정 디스플레이(LCD)용 칼라필터를 제공하기 위하여, 기판 위에 서로 분리되어 한 평면에 간극없이 형성된 제1색 내지 제3색 필터층과; 상기 제1색 내지 제3색 필터층의 상부에 ITO 투면 전극막과; 상기 ITO 특명 전극막의 상부에 소정 간격으로 형성된 다수의 블랙매트릭스로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 칼라필터에 관한 것이다.

Description

액정 디스플레이(LCD)용 칼라필터 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정디스플레이용 칼라필터의 구조를 도시한 단면도이고, 제5도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정디스플레이용 칼라필터의 제조 공정의 순서를 나타낸 단면도이다.

Claims (10)

  1. 기판 위에 서로 분리되어 한 평면에 간극없이 형성된 제1색 내지 제3색 필터층과; 상기 제1색 내지 제3색 필터층의 상부에 적층되어 있는 ITO 투명 전극막과; 상기 ITO 투명 전극막의 상부에 소정 간격에 형성된 다수의 블랙매트릭스로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이용 칼라필터.
  2. 기판(41) 위에 적색포토레지스트(42)를 도포하고, 소프트베이크를 실시하는제1공정과; 상기 적색포토레지스트(42)층의 상부에 포토마스크(44)를 정렬한 후 자외선으로 노광을 실시하는 제2공정과; 현상 후 린스 및 드라이 하여 최적화된 적색 분광 특성을 가지는 제1색 필터층(45)으로 적색 패턴을 형성하고, 하드베이크를 실시하는 제3공정과; 상기 제1색필터층(45)이 패턴되어 있는 상기 기판(41)위에 녹색 포토레지스트(7)를 도포한 후, 소프트베이크를 실시하는 제4공정과; 상기 포토마스크(44)를 정렬하여 노광을 실시하는 제5공정과; 현상 후 린스 및 드라이 하여 최적화된 분광특성을 가지는 제2색필터층(48)으로 녹색 패턴을 형성하고, 하드베이크를 실시하는 제6공정과; 상기 제1색필터층(45)및 제2색필터층(48)이 형성되어 있는 상기 기판(41)위에 청색포토레지스터(49)를 도포한 후, 소프트베이크를 실시하는 제7공정과; 포토마스크를 사용하지 않고 상기 기판(41)의 이면에서 전면 노광(50)을 실시하여 적색(45) 및 녹색 패턴막(48)을 제외한 부분에서만 반응하도록 하여 현상하는 제8공정과; 최적화된 청색 분광 특성을 가지는 제3색필터층(51)인 블청색패턴을 형성하여 줌으로써 패턴 간 간극이 없게 하는 제9공정과; 상기 R. G. B 패턴(45)(48)(51) 상에 곧바로 ITO 투명전극막(53)을 형성하는 제10공정과; 상기 R. G. B패턴(45)(48)(51) 및 ITO 투명전극막(53) 상에 블랙매트릭스(54)를 형성하는 제11공정으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1공정의 상기 적색포토레지스트(42) 도포 공정은 아크릴 수지에 착색 유기 안료를 분산시킨 착색 아크릴 감광수지인 고감도 타입의 적색포토레지스트(42)를 1.0~2.0㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1공정의 상기 소프트베이크 공정은 핫플레이트에서 90초 동안 60~100℃로 소프트베이크를 실시하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
  5. 제2항에 있어서, 상기 제3공정의 제1색 필터층(45)인 적색패턴 형성은 형상액으로 샤워 혹은 딥(Dip)방식으로 60-120초로 현상 한 후 DIW로 40~80초 동안 린스 및 드라이 하여 최적화된 적색 분광 특성을 가지게 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
  6. 제2항에 있어서, 상기 제4공정의 상기 녹색 포토레지스트(7) 도포 공정은 1.0~2.0㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
  7. 제2항에 있어서, 상기 제6공정의 녹색패턴 형성은 현상액으로 60~120초 동안 형상한 후, DIW로 40~80초 동안 린스 및 드라이 하여 최적화된 분광특성을 가지게 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
  8. 제2항에 있어서, 상기 제7공정의 상기 청색 포토레지스트(49) 도포 공정은 1.0~2.0㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
  9. 제2항에 있어서, 상기 제10공정의 상기 ITO 투명전극막(53)은 500~2500Å의 두께로 스퍼터링하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
  10. 제2항에 있어서, 상기 제11공정의 상기 블랙매트릭스(54)는 TFT 열화방지 및 콘트라스트 향상을 위한 차광용 블랙매트릭스(54)이며, 1000~2500Å의 두께로 크롬 혹은 유기안료를 사용하여 도포한 후 소정 간격으로 일정하게 패터닝하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR100404988B1 (ko) * 2001-05-23 2003-11-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 콜레스테릭 액정 컬러필터 및 그의 제조 방법
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