KR960035098A - 액정 디스플레이(lcd)용 칼라필터 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
이 발명은 액정용 칼라 OA 기기 및 TV등에 이용되는 칼라필터에 관한 것으로, 착색막 패턴 에지부에서 발생하는 ITO 단선문제를 해결하고, 블랙매트릭스의 저반사화를 실현한 액정 디스플레이(LCD)용 칼라필터를 제공하기 위하여, 기판 위에 서로 분리되어 한 평면에 간극없이 형성된 제1색 내지 제3색 필터층과; 상기 제1색 내지 제3색 필터층의 상부에 ITO 투면 전극막과; 상기 ITO 특명 전극막의 상부에 소정 간격으로 형성된 다수의 블랙매트릭스로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 칼라필터에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정디스플레이용 칼라필터의 구조를 도시한 단면도이고, 제5도는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정디스플레이용 칼라필터의 제조 공정의 순서를 나타낸 단면도이다.
Claims (10)
- 기판 위에 서로 분리되어 한 평면에 간극없이 형성된 제1색 내지 제3색 필터층과; 상기 제1색 내지 제3색 필터층의 상부에 적층되어 있는 ITO 투명 전극막과; 상기 ITO 투명 전극막의 상부에 소정 간격에 형성된 다수의 블랙매트릭스로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 디스플레이용 칼라필터.
- 기판(41) 위에 적색포토레지스트(42)를 도포하고, 소프트베이크를 실시하는제1공정과; 상기 적색포토레지스트(42)층의 상부에 포토마스크(44)를 정렬한 후 자외선으로 노광을 실시하는 제2공정과; 현상 후 린스 및 드라이 하여 최적화된 적색 분광 특성을 가지는 제1색 필터층(45)으로 적색 패턴을 형성하고, 하드베이크를 실시하는 제3공정과; 상기 제1색필터층(45)이 패턴되어 있는 상기 기판(41)위에 녹색 포토레지스트(7)를 도포한 후, 소프트베이크를 실시하는 제4공정과; 상기 포토마스크(44)를 정렬하여 노광을 실시하는 제5공정과; 현상 후 린스 및 드라이 하여 최적화된 분광특성을 가지는 제2색필터층(48)으로 녹색 패턴을 형성하고, 하드베이크를 실시하는 제6공정과; 상기 제1색필터층(45)및 제2색필터층(48)이 형성되어 있는 상기 기판(41)위에 청색포토레지스터(49)를 도포한 후, 소프트베이크를 실시하는 제7공정과; 포토마스크를 사용하지 않고 상기 기판(41)의 이면에서 전면 노광(50)을 실시하여 적색(45) 및 녹색 패턴막(48)을 제외한 부분에서만 반응하도록 하여 현상하는 제8공정과; 최적화된 청색 분광 특성을 가지는 제3색필터층(51)인 블청색패턴을 형성하여 줌으로써 패턴 간 간극이 없게 하는 제9공정과; 상기 R. G. B 패턴(45)(48)(51) 상에 곧바로 ITO 투명전극막(53)을 형성하는 제10공정과; 상기 R. G. B패턴(45)(48)(51) 및 ITO 투명전극막(53) 상에 블랙매트릭스(54)를 형성하는 제11공정으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제1공정의 상기 적색포토레지스트(42) 도포 공정은 아크릴 수지에 착색 유기 안료를 분산시킨 착색 아크릴 감광수지인 고감도 타입의 적색포토레지스트(42)를 1.0~2.0㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제1공정의 상기 소프트베이크 공정은 핫플레이트에서 90초 동안 60~100℃로 소프트베이크를 실시하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제3공정의 제1색 필터층(45)인 적색패턴 형성은 형상액으로 샤워 혹은 딥(Dip)방식으로 60-120초로 현상 한 후 DIW로 40~80초 동안 린스 및 드라이 하여 최적화된 적색 분광 특성을 가지게 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제4공정의 상기 녹색 포토레지스트(7) 도포 공정은 1.0~2.0㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제6공정의 녹색패턴 형성은 현상액으로 60~120초 동안 형상한 후, DIW로 40~80초 동안 린스 및 드라이 하여 최적화된 분광특성을 가지게 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제7공정의 상기 청색 포토레지스트(49) 도포 공정은 1.0~2.0㎛ 두께로 도포하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제10공정의 상기 ITO 투명전극막(53)은 500~2500Å의 두께로 스퍼터링하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제11공정의 상기 블랙매트릭스(54)는 TFT 열화방지 및 콘트라스트 향상을 위한 차광용 블랙매트릭스(54)이며, 1000~2500Å의 두께로 크롬 혹은 유기안료를 사용하여 도포한 후 소정 간격으로 일정하게 패터닝하여 형성하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이용 칼라필터의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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