KR20200091084A

KR20200091084A - 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치

Info

Publication number: KR20200091084A
Application number: KR1020190007867A
Authority: KR
Inventors: 김정선
Original assignee: 주식회사 성실에프에이
Priority date: 2019-01-22
Filing date: 2019-01-22
Publication date: 2020-07-30

Abstract

본 발명은 디스플레이 설비의 고압 스프레이에 이산화탄소가 용해된 DIW를 공급할 때, DIW의 비저항치를 낮추기 위한 CO2의 용해량이 자동으로 조절될 수 있도록 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치에 관한 것으로서, 그 구성은 DIW와 CO2를 공급받아 DIW에 CO2를 혼입하는 CO2 버플러가 구비되고, 상기 CO2 버블러에 의해 CO2가 혼입된 DIW를 고압 스프레이에 공급하는 고압펌프가 구비되며, 상기 고압 스프레이는 CO2가 혼입된 DIW를 세정대상물체에 고압으로 분사하도록 구성됨에 있어서, 상기 CO2 버플러는 프로포셔닝 밸브에 의해 CO2 버플러의 내부에 유입된 DIW의 흐름 및 압력에 따라 CO2 버플러에 공급되는 CO2의 양을 비례하여 조절할 수 있도록 한 것이다.

Description

디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치{Auto control apparatus of high pressure spray pecific resistance measurement for display equipment}

본 발명은 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스플레이 설비의 고압 스프레이에 이산화탄소가 용해된 DIW를 공급할 때, DIW의 비저항치를 낮추기 위한 CO2의 용해량이 자동으로 조절될 수 있도록 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치에 관한 것이다.

최근 반도체 디스플레이의 회로집적도가 높아짐에 따라 디자인 룰에 다른 미세패턴의 선폭이 종래에 비하여 급격히 좁아지고 있다.

미세선폭 내부의 이물질을 제거하기 위하여, 세정장치에 DIW(탈이온수)를 고압으로 분사하는 스프레이 장치가 사용된다.

그러나, 이러한 종래의 디스플레이 설비용 고압 스프레이 장치는 전기저항이 매우 높은 DIW가 100bar 이상의 고압으로 공급되는 과정에서, 배관 내부의 관벽과의 마찰, 미세 노즐에서 분사될 때 발생하는 마찰로 인한 정전기로 인해 세정대상물체로 이물질이 역으로 유입되는 문제점이 있었다.

이러한 종래의 문제점을 해소하기 위해 근래에는 DIW에 이산화탄소(CO2)를 용해시켜 DIW의 비저항치를 낮추는 일련의 과정을 거치고 있으나, 작업자가 일일이 DIW양와 이산화탄소양을 수작업으로 조절하는 것을 반복하고 있어 작업의 비효율성 및 생산성 저하를 초래하는 문제점이 있었다.

대한민국 공개특허 제10-1996-0035098호(1996.10.24.공개.)

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 창안된 것으로서, 그 목적은 디스플레이 설비의 고압 스프레이에 이산화탄소가 용해된 DIW를 공급할 때, DIW의 비저항치를 낮추기 위한 CO2의 용해량이 자동으로 조절될 수 있도록 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치를 제공함에 있다.

이러한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치의 한 형태는, DIW와 CO2를 공급받아 DIW에 CO2를 혼입하는 CO2 버플러가 구비되고, 상기 CO2 버블러에 의해 CO2가 혼입된 DIW를 고압 스프레이에 공급하는 고압펌프가 구비되며, 상기 고압 스프레이는 CO2가 혼입된 DIW를 세정대상물체에 고압으로 분사하도록 구성됨에 있어서, 상기 CO2 버플러는 프로포셔닝 밸브에 의해 CO2 버플러의 내부에 유입된 DIW의 흐름 및 압력에 따라 CO2 버플러에 공급되는 CO2의 양을 비례하여 조절할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 CO2 버플러는 버블러 본체의 일측 및 타측에 DIW 유입구 및 DIW 배출구가 형성되고, 상기 DIW 유입구 및 DIW 배출구에 직교되는 방향의 일측 및 타측에 각각 C02 흡기구 및 CO2 배기구가 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 CO2 버블러는 버블러 본체의 중간에 CO2 혼입공간부가 형성되고, 상기 CO2 혼입공간부의 좌.우 양측에 DIW 유입공간부 및 DIW 배출공간부가 형성되며, 상기 DIW 유입공간부 및 DIW 배출공간부는 DIW 유입구 및 DIW 배출구에 연통하도록 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 CO2 혼입공간부는 내부에 CO2 유입방향에 대하여 직교되는 수평의 CO2 혼입관이 간격을 두고 복수개로 구비되고, 표면에 다수의 CO2 통공이 형성되며, CO2 혼입관의 양단부는 버블러 본체의 DIW 유입구 및 DIW 배출구에 연통하도록 형성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 CO2 혼입관은 하이드로포밍에 의한 박막 코팅층을 더 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 CO2 혼입공간부에 공급된 CO2는 베루누이의 정리에 따라 CO2 혼입관을 고압으로 통과하는 DIW의 흐름 및 압력에 의해 CO2 통공을 통해 CO2 혼입관의 내부로 유입되어 DIW와 혼입되는 것을 특징으로 한다.

상기 CO2 버블러와 고압펌프의 사이에 개폐밸브가 설치되고, 상기 개폐밸브는 상기 고압 스프레이에 대한 고압펌프의 DIW 공급 및 차단이 이루어질 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 디스플레이 회로의 미세선폭 내부의 이물질을 제거하기 위해 고압 스프레이에 이산화탄소가 용해된 DIW를 공급할 때, 비저항치에 비례하여 DIW에 대한 CO2의 용해량이 자동으로 조절될 수 있도록 함으로써 고압 스프레이를 통해 세정대상물에 최적의 CO2 용해조건을 갖는 DIW의 분사가 이루어질 수 있게 되고, 이로 인하여 작업의 효율성 및 신속성에 따른 생산성 향상을 기할 수 있으며, 디스플레이 설비의 성능 및 신뢰성을 한층 증대시킬 수 있는 효과도 갖게 된다.

도 1은 본 발명에 의한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치의 전체적인 구성을 나타낸 회로도.
도 2는 도 1의 CO2 버블러의 내부 구조를 나타낸 단면도.
도 3은 도 2의 부분 확대 단면도.

본 발명의 실시예들에 대한 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.

본 발명의 실시예들을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.

그리고 후술되는 용어들은 본 발명의 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명에 의한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치를 실시예에 따라 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명에 의한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치의 전체적인 구성을 나타낸 회로도이고, 도 2는 도 1의 CO2 버블러의 내부 구조를 나타낸 단면도이며, 도 3은 도 2의 부분 확대 단면도이다.

이에 도시된 바와 같이 본 발명은 디스플레이 회로의 미세선폭 내부의 이물질을 고압의 DIW로 제거하기 위한 고압 스프레이 설비에 적용되고, DIW는 정전기에 의한 비저항치를 낮추기 위해 CO2가 용해되며, DIW에 대한 CO2의 용해량은 비저항치에 비례하여 자동으로 조절될 수 있도록 하는 CO2 버블러(100)를 포함한다.

상기 CO2 버블러(100)는 고압 스프레이(200)의 구동원이 되는 고압펌프(210)와 연결되고, 상기 고압펌프(200)는 고압 스프레이(200)와 연결되어 고압펌프(210)의 구동에 의해 CO2 버블러(100)로부터 CO2가 용해된 DIW를 고압 스프레이(200)에 공급하도록 구성되며, CO2 버블러(100)는 프로포셔닝 밸브(220)에 의해 DIW의 압력에 비례해 내부에 유입되는 CO2의 양이 조절될 수 있도록 구성한 것이다.

또한, 상기 CO2 버블러(100)는 도 2에 도시된 바와 같이 수평방향에 대하여 버블러 본체(110)의 일측 및 타측에 DIW 유입구(111) 및 DIW 배출구(112)가 형성되고, 상기 버블러 본체(110)의 내부는 중간의 CO2 혼입공간부(115)를 중심으로 좌.우측 수평방향으로 DIW 유입공간부(116) 및 DIW 배출공간부(117)가 형성되며, 상기 DIW 유입공간부(116) 및 DIW 배출공간부(117)는 버블러 본체(110)의 DIW 유입구(111) 및 DIW 배출구(112)에 연통하도록 형성된다.

그리고, 상기 버블러 본체(110)는 DIW 유입구(111) 및 DIW 배출구(112)에 직교되는 방향의 일측 타측에 각각 C02 흡기구(113) 및 CO2 배기구(114)가 형성되고, 상기 C02 흡기구(113) 및 CO2 배기구(114)는 버블러 본체(110) 중간의 CO2 혼입공간부(115)에 연통하도록 형성된다.

이와 함께, 상기 CO2 혼입공간부(115)는 내부에 CO2 유입방향에 대하여 직교되는 수평의 CO2 혼입관(118)이 간격을 두고 복수개로 구비되는 것으로서, 상기 CO2 혼입관(118)은 하이드로포밍에 의해 박막 코팅층(118b)이 형성되고, 표면에 다수의 CO2 통공(118a)이 형성되며, CO2 혼입관(118)의 양단부는 버블러 본체(110)의 DIW 유입구(111) 및 DIW 배출구(112)에 연통한다.

상기 하이드로포밍(hydroforming)법은 촉매를 이용한 박막 코팅과, 기계적으로는 복잡한 모양의 자동차 부품을 만들 때 여러 형태의 프레스로 따로 가공한 후 용접하지 않고 강판을 튜브 형태로 만든 뒤 튜브 안으로 강한 수압을 가해 원하는 형상대로 최종제품을 제조하는 기술로서, 내구성이 우수하고 무게는 10∼20% 가벼운 부품을 만들 수 있다.

이와 함께 상기 버블러 본체(110)의 CO2 흡기구(113)에 연결되는 관로 상에는 자동개폐밸브(230)가 설치되고, DIW 배출구(112)에 연결되는 관로 상에는 액압을 비례제어하는 프로포셔닝밸브(220)가 설치되는 것으로서, 프로포셔닝밸브(220)는 다양한 내부 구조를 가지나 DIW 배출구(112)로부터 공급된 액압을 비저항치의 조건에 따라 비례하여 자동 조절될 수 있는 것이면 무방하다.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치는 먼저, DIW 유입구(111)를 통해 버블러 본체(110)의 내부로 유입되고, 이 유입된 DIW는 DIW 유입공간부(116)를 거쳐 CO2 혼입공간부(115)를 통과하게 된다.

그리고, 상기 버블러 본체(110)의 CO2 흡기구(113)를 통해 CO2 혼입공간부(115)에 CO2가 공급되고, DIW 유입공간부(116)의 DIW는 CO2 혼입공간부(115) 내부의 CO2 혼입관(118)을 통과하게 되는데, 이때 DIW의 흐름이 CO2보다 빠르기 때문에 베르누이의 정리에 의해 CO2는 CO2 혼입관(118)에 타공된 CO2 통공(118a)을 통해 CO2 혼입관(118)의 내부에 유입됨으로써 DIW에 CO2가 혼입되는 것이다.

이렇게 CO2가 혼입된 DIW는 버블러 본체(110)의 DIW 배출공간부(117) 및, DIW 배출구(112)를 통해 고압 스프레이에 공급된다. 즉, CO2 혼입관(118)을 통과하는 DIW의 흐름이 빠르면 CO2의 혼입량도 많아져 DIW의 CO2 농도가 커지고, DIW의 흐름이 느리면 이에 비례하여 CO2의 혼입량도 작아져 DIW의 CO2 농도가 낮아짐으로써 세정대상물의 조건에 따라 적정 비율로 CO2가 혼입된 DIW를 고압 스프레이에 공급할 수 있게 되는 것이다.

그리고, 상기 프로포션밸브(220)는 DIW의 압력에 비례하여 개폐량이 자동 조절됨으로써 버블러 본체(110)의 내부에 유입된 DIW의 흐름 및 압력에 따라 CO2를 버블러 본체(110)의 CO2 혼입공간부(115)에 공급할 수 있게 되는 것이다.

이같이 본 발명은 디스플레이 회로의 미세선폭 내부의 이물질을 제거하기 위해 고압 스프레이에 이산화탄소가 용해된 DIW를 공급할 때, 비저항치에 비례하여 DIW에 대한 CO2의 용해량이 자동으로 조절될 수 있도록 함으로써 고압 스프레이를 통해 세정대상물에 최적의 CO2 용해조건을 갖는 DIW의 분사가 이루어질 수 있게 되고, 이로 인하여 작업의 효율성 및 신속성에 따른 생산성 향상을 기할 수 있으며, 디스플레이 설비의 성능 및 신뢰성을 한층 증대시킬 수 있게 되는 것이다.

이상에서 본 발명에 의한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치를 구체적으로 설명하였으나, 이는 본 발명의 가장 바람직한 실시양태를 기재한 것일 뿐, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에 의해서 그 범위가 결정되어지고 한정되어진다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 명세서의 기재내용에 의한 다양한 변형 및 모방을 행할 수 있을 것이나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어난 것이 아님은 명백하다고 할 것이다.

100: CO2 버블러
110: 버블러 본체 111:DIW 유입구
112: DIW 배출구 113: CO2 흡기구
114: CO2 배기구 115: CO2 혼입공간부
116: DIW 유입공간부 117: DIW 배출공간부
118: CO2 혼입관 118a: CO2 통공
118b: 박막 코팅층
200: 고압 스프레이 210: 고압펌프
220: 프로포셔닝 밸브 230: 개폐밸브

Claims

DIW와 CO2를 공급받아 DIW에 CO2를 혼입하는 CO2 버플러()가 구비되고, 상기 CO2 버블러(100)에 의해 CO2가 혼입된 DIW를 고압 스프레이(200)에 공급하는 고압펌프(210)가 구비되며, 상기 고압 스프레이(200)는 CO2가 혼입된 DIW를 세정대상물체에 고압으로 분사하도록 구성됨에 있어서,
상기 CO2 버플러()는 프로포셔닝 밸브(220)에 의해 CO2 버플러()의 내부에 유입된 DIW의 흐름 및 압력에 따라 CO2 버플러()에 공급되는 CO2의 양을 비례하여 조절할 수 있도록 한 것을 특징으로 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치.
제1항에 있어서,
상기 CO2 버플러()는 버블러 본체(110)의 일측 및 타측에 DIW 유입구(111) 및 DIW 배출구(112)가 형성되고, 상기 DIW 유입구(111) 및 DIW 배출구(112)에 직교되는 방향의 일측 및 타측에 각각 C02 흡기구(113) 및 CO2 배기구(114)가 형성된 것을 특징으로 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 CO2 버블러(100)는 버블러 본체(110)의 중간에 CO2 혼입공간부(115)가 형성되고, 상기 CO2 혼입공간부(115)의 좌.우 양측에 DIW 유입공간부(116) 및 DIW 배출공간부(117)가 형성되며, 상기 DIW 유입공간부(116) 및 DIW 배출공간부(117)는 DIW 유입구(111) 및 DIW 배출구(112)에 연통하도록 형성된 것을 특징으로 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치.
제3항에 있어서,
상기 CO2 혼입공간부(115)는 내부에 CO2 유입방향에 대하여 직교되는 수평의 CO2 혼입관(118)이 간격을 두고 복수개로 구비되고, 표면에 다수의 CO2 통공(118a)이 형성되며, CO2 혼입관(118)의 양단부는 버블러 본체(110)의 DIW 유입구(111) 및 DIW 배출구(112)에 연통하도록 형성된 것을 특징으로 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치.
제4항에 있어서,
상기 CO2 혼입관(118)은 하이드로포밍에 의한 박막 코팅층(118b)을 더 포함하는 것을 특징으로 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치.
제4항에 있어서,
상기 CO2 혼입공간부(115)에 공급된 CO2는 베루누이의 정리에 따라 CO2 혼입관(118)을 고압으로 통과하는 DIW의 흐름 및 압력에 의해 CO2 통공(118a)을 통해 CO2 혼입관(118)의 내부로 유입되어 DIW와 혼입되는 것을 특징으로 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치.
제1항에 있어서,
상기 CO2 버블러(100)와 고압펌프(210)의 사이에 개폐밸브(230)가 설치되고, 상기 개폐밸브(230)는 상기 고압 스프레이(200)에 대한 고압펌프(210)의 DIW 공급 및 차단이 이루어질 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 디스플레이 설비용 고압 스프레이 비저항치 자동 조절장치.