CN103389533A - 一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片。所述制造彩色滤光片的方法包括：提供一玻璃基板；在所述玻璃基板上设置一层黑矩阵材料；对所述黑矩阵材料进行曝光，形成第一基板图案层，所述第一基板图案层包括：黑矩阵、对准记号以及像素开口区；其中，所述玻璃基板上未被黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区，所述对准记号位于所述像素开口区内。本发明将对准记号设置在第一基板图案层的像素开口区内，在后续工艺中，使用对准记号进行掩模板与基板的对准，对准记号不需要占额外的位置，能够适用于生产大面板彩色滤光片时需要拼接曝光的场景。

Description

一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片
技术领域
本发明涉及彩色滤光片的制造领域，特别是指一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片。
背景技术
CF(Color Filter)的现有生产工艺中，在制作BM（黑矩阵）、R（红色滤色膜）、G（绿色滤色膜）、B（蓝色滤色膜）、PS（隔垫物）的过程中，均需Exposure曝光工艺，通过Mask掩模板以近接式曝光形式将PR光刻胶曝出所需要的Pattern图案。在曝光工艺中，需要将Mask掩模板上的Mask Alignment Mark对准记号与基板上的Glass Alignment Mark对准记号（由BM黑矩阵工艺制作）进行准确的对位后，才可以保证Pattern图案的正确曝光。
如图1所示，为现有技术中，掩模板与玻璃基板的对位示意图，在制作小尺寸Panel面板时，由于面板与面板之间存在白玻璃区域，因此可以将对准记号1制作在基板的白玻璃区域，以便掩模板与玻璃基板的对位。
但是，在制作大尺寸面板时，由于需要进行多次拼接，没有相应的白玻璃区域来放置对准记号。
发明内容
本发明提供一种制造彩色滤光片的方法和彩色滤光片，能够用于大面板的彩色滤光片的制造。
一方面，提供一种制造彩色滤光片的方法，包括：
提供一玻璃基板；
在所述玻璃基板上设置一层黑矩阵材料；
对所述黑矩阵材料进行曝光，形成第一基板图案层，所述第一基板图案层包括：黑矩阵、对准记号以及像素开口区；其中，所述玻璃基板上未被黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区，所述对准记号位于所述像素开口区内。
所述的制造彩色滤光片的方法，还包括：
根据所述对准记号，进行第一曝光显影工艺，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层。
所述根据所述对准记号，进行第一曝光显影工艺，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层的步骤包括：
在所述第一基板图案层上涂覆第一层光刻胶；
根据所述对准记号，将第一掩模板对准放置在涂覆有所述第一层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第一曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第一彩色滤色膜层；
在所述第一基板图案层上涂覆第二层光刻胶；
根据所述对准记号，将第二掩模板对准放置在涂覆有所述第二层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第二曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第二彩色滤色膜层；
在所述第一基板图案层上涂覆第三层光刻胶；
根据所述对准记号，将第三掩模板对准放置在涂覆有所述第三层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第三曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第三彩色滤色膜层。
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为红色滤色膜层、绿色滤色膜层和蓝色滤色膜层；
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为红色滤色膜层、蓝色滤色膜层和绿色滤色膜层；
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为蓝色滤色膜层、红色滤色膜层和绿色滤色膜层；
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为蓝色滤色膜层、绿色滤色膜层和红色滤色膜层；
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为绿色滤色膜层、红色滤色膜层和蓝色滤色膜层；或
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为绿色滤色膜层、蓝色滤色膜层和红色滤色膜层。
所述的制造彩色滤光片的方法，还包括：
在所述彩色滤色膜层上涂覆第四层光刻胶；
根据所述对准记号，将第四掩模板对准放置在涂覆有所述第四层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第二曝光显影工艺，在所述玻璃基板的所述彩色滤色膜层上形成隔垫物PS图案。
另一方面，提供一种彩色滤光片，包括玻璃基板，所述玻璃基板上设置有第一基板图案层，所述第一基板图案层的像素开口区内设置有对准记号。
所述对准记号为面积小于或等于2500平方微米的图形，所述图形为矩形、圆形、三角形或多边形中的任意一种。
所述对准记号为边长小于或等于50微米的正方形。
所述第一基板图案层还包括：黑矩阵，所述玻璃基板上未被所述黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区。
所述第一基板图案层上设置有彩色滤色膜层。
所述彩色滤色膜层上设置有隔垫物PS图案层。
本发明的上述技术方案的有益效果如下：
本发明将对准记号设置在第一基板图案层的像素开口区内，在后续工艺中，使用对准记号进行掩模板与基板的对准，对准记号不需要占额外的位置，能够适用于生产大面板彩色滤光片时没有白玻璃的场景。
附图说明
图1为现有技术中掩模板与玻璃基板的对位示意图；
图2为本发明所述的彩色滤光片的制备方法的一实施例的流程示意图；
图3示意出经过步骤23工艺以后的彩色滤光片的俯视图;
图4示意出经过步骤23工艺以后的彩色滤光片的A-A方向的剖视图；
图5示意出经过步骤25工艺以后的彩色滤光片的A-A方向的俯视图;
图6示意出经过步骤25工艺以后的彩色滤光片的剖视图；
图7示意出经过步骤27工艺以后的彩色滤光片的俯视图；
图8示意出经过步骤27工艺以后的彩色滤光片的A-A方向的剖视图;
图9示意出经过步骤27工艺以后的彩色滤光片的B-B方向的剖视图；
图10示意出使用本发明的彩色滤光片与掩模板的对位示意图。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
以下结合图2-图9，描述本发明所述的一种制造彩色滤光片的方法。如图2所示，所述方法包括：
步骤21，提供一玻璃基板61；
步骤22，在所述玻璃基板61上设置一层黑矩阵材料；
步骤23，对所述黑矩阵材料进行曝光，形成第一基板图案层，所述第一基板图案层包括：黑矩阵21、对准记号22以及像素开口区；其中，所述玻璃基板上未被黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区，所述对准记号位于所述像素开口区内。图3示意出经过步骤23工艺以后的彩色滤光片的俯视图;图4示意出经过步骤23工艺以后的彩色滤光片的A-A方向的剖视图。该步骤中，制作黑矩阵的同时，将对准记号制作出来。
可选的，制造彩色滤光片的方法，还包括：
步骤24，在所述第一基板图案层上涂覆第一层光刻胶；
步骤25，根据所述对准记号，进行第一曝光显影工艺，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层。
步骤25具体为：在所述第一基板图案层上涂覆第一层光刻胶；
根据所述对准记号，将第一掩模板对准放置在涂覆有所述第一层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第一曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第一彩色滤色膜层31；
在所述第一基板图案层上涂覆第二层光刻胶；
根据所述对准记号，将第二掩模板对准放置在涂覆有所述第二层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第二曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第二彩色滤色膜层32；
在所述第一基板图案层上涂覆第三层光刻胶；
根据所述对准记号，将第三掩模板对准放置在涂覆有所述第三层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第三曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第三彩色滤色膜层33。
所述第一彩色滤色膜层31、第二彩色滤色膜层32、第三彩色滤色膜层33分别为红色滤色膜层、绿色滤色膜层和蓝色滤色膜层；或者
所述第一彩色滤色膜层31、第二彩色滤色膜层32、第三彩色滤色膜层33分别为红色滤色膜层、蓝色滤色膜层和绿色滤色膜层；或
所述第一彩色滤色膜层31、第二彩色滤色膜层32、第三彩色滤色膜层33分别为蓝色滤色膜层、红色滤色膜层和绿色滤色膜层；或
所述第一彩色滤色膜层31、第二彩色滤色膜层32、第三彩色滤色膜层33分别为蓝色滤色膜层、绿色滤色膜层和红色滤色膜层；或
所述第一彩色滤色膜层31、第二彩色滤色膜层32、第三彩色滤色膜层33分别为绿色滤色膜层、红色滤色膜层和蓝色滤色膜层；或
所述第一彩色滤色膜层31、第二彩色滤色膜层32、第三彩色滤色膜层33分别为绿色滤色膜层、蓝色滤色膜层和红色滤色膜层。
图5示意出经过步骤25工艺以后的彩色滤光片的A-A方向的俯视图;图6示意出经过步骤25工艺以后的彩色滤光片的剖视图。
可选的，所述的制造彩色滤光片的方法，还包括：
步骤26，在所述彩色滤色膜层上涂覆第四层光刻胶；
步骤27，根据所述对准记号，将第四掩模板对准放置在涂覆有所述第四层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第二曝光显影工艺，在所述玻璃基板的所述彩色滤色膜层上形成隔垫物PS图案51。图7示意出经过步骤27工艺以后的彩色滤光片的俯视图。图8示意出经过步骤27工艺以后的彩色滤光片的A-A方向的剖视图;图9示意出经过步骤27工艺以后的彩色滤光片的B-B方向的剖视图。
可选的，在步骤26之前，所述方法还包括：在所述彩色滤色膜层上进行涂覆OC保护层41的步骤，然后再进行制作PS图案的步骤。
如图8所示，为本发明所述的一种彩色滤光片，包括玻璃基板61，所述玻璃基板61上设置有第一基板图案层，所述第一基板图案层的像素开口区内设置有对准记号22。
为了减少对准记号的占用面积，所述对准记号为面积小于或等于2500平方微米的图形，所述图形为矩形、圆形、三角形或多边形中的任意一种。本发明不限于此尺寸，并且也可以为其他形状，只要对准记号的面积小于像素开口区的面积，对准记号设置在像素开口区内，并且彩色滤光片的曝光设备可以识别，满足曝光设备精度要求，优选的，所述对准记号为边长小于或等于50微米的正方形。
可选的，所述第一基板图案层还包括：黑矩阵21，所述玻璃基板上未被所述黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区。
可选的，所述第一基板图案层上像素开口区设置有彩色滤色膜层，分别为红色滤色膜层31、绿色滤色膜层32、蓝色滤色膜层33
可选的，所述彩色滤色膜层上设置有隔垫物PS图案层51。
可选的，所述彩色滤色膜层和隔垫物PS图案层之间还设置有OC保护层41。
本发明将对准记号设置在第一基板图案层的像素开口区内，在后续工艺中，使用对准记号进行掩模板与基板的对准，对准记号不需要占额外的位置，能够适用于生产大面板彩色滤光片时没有白玻璃的场景。图10示意出使用本发明的彩色滤光片与掩模板的对位示意图。
本发明将对准记号设置在第一基板图案层的像素开口区内，在后续工艺中，使用对准记号进行掩模板与基板的对准，对准记号不需要占额外的位置，能够适用于生产大尺寸面板彩色滤光片时没有白玻璃的场景。
本发明通过减小对准记号的尺寸，以便将其制作在第一基板图案层的像素开口区内，在制作完的Panel上会表现为微小黑缺，由于减小了对准记号的尺寸，因此根据彩色滤光片的修理规范，不会判为不良。
本发明适用于大尺寸Panel制作需要拼接曝光的场景。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种制造彩色滤光片的方法，其特征在于，包括：
提供一玻璃基板；
在所述玻璃基板上设置一层黑矩阵材料；
对所述黑矩阵材料进行曝光，形成第一基板图案层，所述第一基板图案层包括：黑矩阵、对准记号以及像素开口区；其中，所述玻璃基板上未被黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区，所述对准记号位于所述像素开口区内。
2.根据权利要求1所述的制造彩色滤光片的方法，其特征在于，还包括：
根据所述对准记号，进行第一曝光显影工艺，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层。
3.根据权利要求2所述的制造彩色滤光片的方法，其特征在于，所述根据所述对准记号，进行第一曝光显影工艺，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成彩色滤色膜层的步骤包括：
在所述第一基板图案层上涂覆第一层光刻胶；
根据所述对准记号，将第一掩模板对准放置在涂覆有所述第一层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第一曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第一彩色滤色膜层；
在所述第一基板图案层上涂覆第二层光刻胶；
根据所述对准记号，将第二掩模板对准放置在涂覆有所述第二层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第二曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第二彩色滤色膜层；
在所述第一基板图案层上涂覆第三层光刻胶；
根据所述对准记号，将第三掩模板对准放置在涂覆有所述第三层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第三曝光显影步骤，在所述玻璃基板的第一基板图案层上形成第三彩色滤色膜层。
4.根据权利要求3所述的制造彩色滤光片的方法，其特征在于，
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为红色滤色膜层、绿色滤色膜层和蓝色滤色膜层；
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为红色滤色膜层、蓝色滤色膜层和绿色滤色膜层；
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为蓝色滤色膜层、红色滤色膜层和绿色滤色膜层；
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为蓝色滤色膜层、绿色滤色膜层和红色滤色膜层；
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为绿色滤色膜层、红色滤色膜层和蓝色滤色膜层；或
所述第一彩色滤色膜层、第二彩色滤色膜层、第三彩色滤色膜层分别为绿色滤色膜层、蓝色滤色膜层和红色滤色膜层。
5.根据权利要求3所述的制造彩色滤光片的方法，其特征在于，还包括：
在所述彩色滤色膜层上涂覆第四层光刻胶；
根据所述对准记号，将第四掩模板对准放置在涂覆有所述第四层光刻胶的所述玻璃基板上，进行第二曝光显影工艺，在所述玻璃基板的所述彩色滤色膜层上形成隔垫物PS图案。
6.一种彩色滤光片，其特征在于，包括玻璃基板，所述玻璃基板上设置有第一基板图案层，所述第一基板图案层的像素开口区内设置有对准记号。
7.根据权利要求6所述的彩色滤光片，其特征在于，所述对准记号为面积小于或等于2500平方微米的图形，所述图形为矩形、圆形、三角形或多边形中的任意一种。
8.根据权利要求7所述的彩色滤光片，其特征在于，所述对准记号为边长小于或等于50微米的正方形。
9.根据权利要求6所述的彩色滤光片，其特征在于，所述第一基板图案层还包括：黑矩阵，所述玻璃基板上未被所述黑矩阵覆盖的地方形成所述像素开口区。
10.根据权利要求6所述的彩色滤光片，其特征在于，所述第一基板图案层上设置有彩色滤色膜层。
11.根据权利要求10所述的彩色滤光片，其特征在于，所述彩色滤色膜层上设置有隔垫物PS图案层。
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