JPH10115702A - 色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター - Google Patents
色ズレ量確認マーク付きカラーフィルターInfo
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- JPH10115702A JPH10115702A JP26978296A JP26978296A JPH10115702A JP H10115702 A JPH10115702 A JP H10115702A JP 26978296 A JP26978296 A JP 26978296A JP 26978296 A JP26978296 A JP 26978296A JP H10115702 A JPH10115702 A JP H10115702A
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- pattern
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- patterns
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 色ズレ量確認マークをカラーフィルターに設
けることにより、各着色パターンのブラックマトリクス
に対するズレ量を簡単に判定できるようにする。 【解決手段】 透明基板１上に設けられた周期的に開口
を有する遮光パターンの開口の各々の上に１つの色の着
色パターンが位置するように複数の着色パターンを遮光
パターン上に周期的に設けてなるカラーフィルター１０
であり、カラーフィルター１０が設けられていない透明
基板１外周に、その複数の着色パターンの遮光パターン
に対する位置ズレ量が確認可能な色ズレ量確認マーク１
１が単数あるいは複数配置されている。
けることにより、各着色パターンのブラックマトリクス
に対するズレ量を簡単に判定できるようにする。 【解決手段】 透明基板１上に設けられた周期的に開口
を有する遮光パターンの開口の各々の上に１つの色の着
色パターンが位置するように複数の着色パターンを遮光
パターン上に周期的に設けてなるカラーフィルター１０
であり、カラーフィルター１０が設けられていない透明
基板１外周に、その複数の着色パターンの遮光パターン
に対する位置ズレ量が確認可能な色ズレ量確認マーク１
１が単数あるいは複数配置されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、色ズレ量確認マー
ク付きカラーフィルターに関し、特に、液晶表示装置用
等のカラーフィルターの各着色パターンがブラックマト
リクスに対してズレている量を簡単に確認することがで
きるマークを設けたカラーフィルターに関する。
ク付きカラーフィルターに関し、特に、液晶表示装置用
等のカラーフィルターの各着色パターンがブラックマト
リクスに対してズレている量を簡単に確認することがで
きるマークを設けたカラーフィルターに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示装置用のカラーフィルタ
ーは、例えば、透明基板上に真空成膜法、フォトリソグ
ラフィー法等を用いて所定形状のブラックマトリクス遮
光層を形成し、次に、ブラックマトリクス遮光層の上か
ら、１色目の着色用感材を塗布した後、その上にフォト
マスクを配置して露光した後、現像を行い１色目の着色
パターンを形成し、同様にして２色目以降の着色パター
ンを形成し、次に、カラーパターンの上に保護膜層を形
成し、さらに、保護膜層の上に真空成膜法により透明電
極膜パターンを形成する工程により製造している。
ーは、例えば、透明基板上に真空成膜法、フォトリソグ
ラフィー法等を用いて所定形状のブラックマトリクス遮
光層を形成し、次に、ブラックマトリクス遮光層の上か
ら、１色目の着色用感材を塗布した後、その上にフォト
マスクを配置して露光した後、現像を行い１色目の着色
パターンを形成し、同様にして２色目以降の着色パター
ンを形成し、次に、カラーパターンの上に保護膜層を形
成し、さらに、保護膜層の上に真空成膜法により透明電
極膜パターンを形成する工程により製造している。
【０００３】図５、図６を参照にして、この製造工程の
１例を説明する。図５（ａ）に示すように、ガラス等の
透明矩形基板１上に真空成膜法を用いてクロムを成膜し
た後、フォトレジストを塗布し、フォトマスクを配置し
て露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離
を行い、ストライプ状パターンあるいは格子状パターン
等（図６の平面図の場合は、格子状パターン）からなる
ブラックマトリクス２を形成する。次いで、図５（ｂ）
に示すように、ブラックマトリクス２の上から、１色
目、例えばＲ（レッド）の水溶性着色層形成用感材を塗
布した後、その上に最終製品における例えばＧ（グリー
ン）の着色パターンに対応する開口を有するフォトマス
クをＲの着色パターン位置に合わせて配置してそれを介
して露光した後、現像を行いストライプ状のＲパターン
３を形成し、２色目以降は、図５（ｃ）、（ｄ）に示す
ように、例えばグリーン、ブルーの着色層形成用感材を
順に塗布した後、その上に同じフォトマスクをＲ，Ｇ，
Ｂ（ブルー）の繰り返し周期の３分の１ずつずらして配
置して露光した後、現像を行いストライプ状のＧパター
ン４、Ｂパターン５を順に形成する。次に、図５（ｅ）
に示すように、物理化学的保護、表面の整面化、平坦化
を目的として、カラーパターンの上に透明な保護膜層６
を形成する。そして、図５（ｆ）に示すように、保護膜
層６の上に真空成膜法により酸化インジウム錫（ＩＴ
Ｏ）からなる透明電極膜パターン７を形成することによ
り、カラーフィルターを製造している。図６はこのよう
にして作製されたカラーフィルターの端部部分の平面図
を示す。なお、図６中、符号８で示されるのが１つの画
素開口である。
１例を説明する。図５（ａ）に示すように、ガラス等の
透明矩形基板１上に真空成膜法を用いてクロムを成膜し
た後、フォトレジストを塗布し、フォトマスクを配置し
て露光、現像、クロムエッチング、フォトレジスト剥離
を行い、ストライプ状パターンあるいは格子状パターン
等（図６の平面図の場合は、格子状パターン）からなる
ブラックマトリクス２を形成する。次いで、図５（ｂ）
に示すように、ブラックマトリクス２の上から、１色
目、例えばＲ（レッド）の水溶性着色層形成用感材を塗
布した後、その上に最終製品における例えばＧ（グリー
ン）の着色パターンに対応する開口を有するフォトマス
クをＲの着色パターン位置に合わせて配置してそれを介
して露光した後、現像を行いストライプ状のＲパターン
３を形成し、２色目以降は、図５（ｃ）、（ｄ）に示す
ように、例えばグリーン、ブルーの着色層形成用感材を
順に塗布した後、その上に同じフォトマスクをＲ，Ｇ，
Ｂ（ブルー）の繰り返し周期の３分の１ずつずらして配
置して露光した後、現像を行いストライプ状のＧパター
ン４、Ｂパターン５を順に形成する。次に、図５（ｅ）
に示すように、物理化学的保護、表面の整面化、平坦化
を目的として、カラーパターンの上に透明な保護膜層６
を形成する。そして、図５（ｆ）に示すように、保護膜
層６の上に真空成膜法により酸化インジウム錫（ＩＴ
Ｏ）からなる透明電極膜パターン７を形成することによ
り、カラーフィルターを製造している。図６はこのよう
にして作製されたカラーフィルターの端部部分の平面図
を示す。なお、図６中、符号８で示されるのが１つの画
素開口である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような製造工程
を経て製造されたカラーフィルターにおいて、ストライ
プ状のＲパターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５がブ
ラックマトリクス２に対して正確に位置付けされている
か否か、言葉を代えるなら、各着色パターン３、４、５
がブラックマトリクス２に対してズレていないか、ある
いはズレ量はどの程度であるかは、カラーフィルターの
パターンを顕微鏡で拡大し、目視で実測すしていた。
を経て製造されたカラーフィルターにおいて、ストライ
プ状のＲパターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５がブ
ラックマトリクス２に対して正確に位置付けされている
か否か、言葉を代えるなら、各着色パターン３、４、５
がブラックマトリクス２に対してズレていないか、ある
いはズレ量はどの程度であるかは、カラーフィルターの
パターンを顕微鏡で拡大し、目視で実測すしていた。
【０００５】本発明は従来技術のこのような問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的は、色ズレ量確認マ
ークをカラーフィルターに設けることにより、各着色パ
ターンのブラックマトリクスに対するズレ量を簡単に判
定できるようにすることである。
みてなされたものであり、その目的は、色ズレ量確認マ
ークをカラーフィルターに設けることにより、各着色パ
ターンのブラックマトリクスに対するズレ量を簡単に判
定できるようにすることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の色ズレ量確認マーク付きカラーフィルターは、透明
基板上に設けられた周期的に開口を有する遮光パターン
の前記開口の各々の上に１つの色の着色パターンが位置
するように複数の着色パターンを前記遮光パターン上に
周期的に設けてなるカラーフィルターにおいて、カラー
フィルターが設けられていない前記透明基板外周に、前
記複数の着色パターンの前記遮光パターンに対する位置
ズレ量が確認可能な色ズレ量確認マークが単数あるいは
複数配置されていることを特徴とするものである。
明の色ズレ量確認マーク付きカラーフィルターは、透明
基板上に設けられた周期的に開口を有する遮光パターン
の前記開口の各々の上に１つの色の着色パターンが位置
するように複数の着色パターンを前記遮光パターン上に
周期的に設けてなるカラーフィルターにおいて、カラー
フィルターが設けられていない前記透明基板外周に、前
記複数の着色パターンの前記遮光パターンに対する位置
ズレ量が確認可能な色ズレ量確認マークが単数あるいは
複数配置されていることを特徴とするものである。
【０００７】この場合、色ズレ量確認マークは、着色パ
ターン毎に設けられており遮光パターンと位置関係が対
応している相互に同じ形状の遮光バーニヤパターンと、
各着色パターンと位置関係が対応している相互に同じ形
状で対応する着色パターンと同じ色の着色ストライプパ
ターンとからなっていることが望ましい。
ターン毎に設けられており遮光パターンと位置関係が対
応している相互に同じ形状の遮光バーニヤパターンと、
各着色パターンと位置関係が対応している相互に同じ形
状で対応する着色パターンと同じ色の着色ストライプパ
ターンとからなっていることが望ましい。
【０００８】上記において、各遮光バーニヤパターン
が、各着色ストライプパターンが周期的に配置されてい
る方向をｘ方向、各着色ストライプパターンが伸びる方
向をｙ方向とするとき、中心の要素パターンと、それに
対して＋ｙ方向に順次所定間隔をおき、かつ、＋ｘ方向
に順次所定の微小量をずらして設けられた複数の別の要
素パターン、及び、中心の要素パターンに対して−ｙ方
向に順次所定間隔をおき、かつ、−ｘ方向に順次所定の
微小量をずらして設けられた複数のさらに別の要素パタ
ーンとからなり、これら要素パターンのｘ方向の幅が前
記各着色ストライプパターンの幅と等しく設定されてい
るものであることが望ましい。
が、各着色ストライプパターンが周期的に配置されてい
る方向をｘ方向、各着色ストライプパターンが伸びる方
向をｙ方向とするとき、中心の要素パターンと、それに
対して＋ｙ方向に順次所定間隔をおき、かつ、＋ｘ方向
に順次所定の微小量をずらして設けられた複数の別の要
素パターン、及び、中心の要素パターンに対して−ｙ方
向に順次所定間隔をおき、かつ、−ｘ方向に順次所定の
微小量をずらして設けられた複数のさらに別の要素パタ
ーンとからなり、これら要素パターンのｘ方向の幅が前
記各着色ストライプパターンの幅と等しく設定されてい
るものであることが望ましい。
【０００９】また、その場合、任意の色の着色パターン
に対応して設けられた遮光パターンの中心の要素パター
ンと隣接する別の色の着色パターンに対応して設けられ
た遮光パターンの中心の要素パターンとの間の中心間距
離が、ｘ方向の隣接する開口間の中心間距離をＰとする
とき、（３ｎ＋１）Ｐ（ｎは１以上の整数）に設定され
ていることが必要である。
に対応して設けられた遮光パターンの中心の要素パター
ンと隣接する別の色の着色パターンに対応して設けられ
た遮光パターンの中心の要素パターンとの間の中心間距
離が、ｘ方向の隣接する開口間の中心間距離をＰとする
とき、（３ｎ＋１）Ｐ（ｎは１以上の整数）に設定され
ていることが必要である。
【００１０】また、もう１つの色ズレ量確認マークとし
ては、着色パターン毎に設けられており遮光パターンと
位置関係が対応している遮光主尺バーニヤパターンと、
着色パターンと位置関係が対応している同じ色の着色副
尺バーニヤパターンとからなっているものでも利用する
ことができる。
ては、着色パターン毎に設けられており遮光パターンと
位置関係が対応している遮光主尺バーニヤパターンと、
着色パターンと位置関係が対応している同じ色の着色副
尺バーニヤパターンとからなっているものでも利用する
ことができる。
【００１１】本発明においては、カラーフィルターが設
けられていない透明基板外周に、複数の着色パターンの
遮光パターンに対する位置ズレ量が確認可能な色ズレ量
確認マークが単数あるいは複数配置されているので、そ
の色ズレ量確認マークを顕微鏡で拡大して目視するだけ
で、各着色パターンのブラックマトリクスに対するズレ
量を簡単に読み取ることができる。また、このような色
ズレ量確認マークは、ブラックマトリクスをパターニン
グするとき及び１枚のフォトマスクを用いてずらしなが
ら各着色パターンをパターニングするとき、工程を増加
させずに、それらのパターニングと同時に簡単に作成す
ることができる。
けられていない透明基板外周に、複数の着色パターンの
遮光パターンに対する位置ズレ量が確認可能な色ズレ量
確認マークが単数あるいは複数配置されているので、そ
の色ズレ量確認マークを顕微鏡で拡大して目視するだけ
で、各着色パターンのブラックマトリクスに対するズレ
量を簡単に読み取ることができる。また、このような色
ズレ量確認マークは、ブラックマトリクスをパターニン
グするとき及び１枚のフォトマスクを用いてずらしなが
ら各着色パターンをパターニングするとき、工程を増加
させずに、それらのパターニングと同時に簡単に作成す
ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の色ズレ量確認マ
ーク付きカラーフィルターを実施例に基づいて説明す
る。図１に２面付けで作成されたカラーフィルターの模
式的平面図を示す。図中、符号１はガラス等の透明矩形
基板を示し、その上にストライプ状パターンあるいは格
子状パターン等からなるブラックマトリクスパターン
と、その上にストライプ状のＲパターン、Ｇパターン、
Ｂパターンが繰り返し周期的に設けられた図５、図６の
ようなカラーフィルター１０が２面並列して設けられて
いる。そして、基板１のカラーフィルター１０が設けら
れていない外周に、本発明に基づく色ズレ量確認マーク
１１が単数あるいは複数（図１の場合は、６個）配置さ
れている。以下、ストライプ状のＲパターン３、Ｇパタ
ーン４、Ｂパターン５（図５、図６）が周期的に繰り返
す方向をｘ方向、ストライプ状の各着色パターン３、
４、５が伸びる方向をｙ方向とすることにする。
ーク付きカラーフィルターを実施例に基づいて説明す
る。図１に２面付けで作成されたカラーフィルターの模
式的平面図を示す。図中、符号１はガラス等の透明矩形
基板を示し、その上にストライプ状パターンあるいは格
子状パターン等からなるブラックマトリクスパターン
と、その上にストライプ状のＲパターン、Ｇパターン、
Ｂパターンが繰り返し周期的に設けられた図５、図６の
ようなカラーフィルター１０が２面並列して設けられて
いる。そして、基板１のカラーフィルター１０が設けら
れていない外周に、本発明に基づく色ズレ量確認マーク
１１が単数あるいは複数（図１の場合は、６個）配置さ
れている。以下、ストライプ状のＲパターン３、Ｇパタ
ーン４、Ｂパターン５（図５、図６）が周期的に繰り返
す方向をｘ方向、ストライプ状の各着色パターン３、
４、５が伸びる方向をｙ方向とすることにする。
【００１３】図２は、その中の１つの色ズレ量確認マー
ク１１を示す図であり、ブラックマトリクスパターン２
に対してＲパターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５が
全てズレなく正確に位置付けされている状態での色ズレ
量確認マーク１１の様子を示している。色ズレ量確認マ
ーク１１は、ブラックマトリクスパターン２と同時にク
ロム等の遮光層からパターニングされるＲ用バーニヤパ
ターン１２Ｒ、Ｇ用バーニヤパターン１２Ｇ、Ｂ用バー
ニヤパターン１２Ｂと、各着色パターン３、４、５と同
時に各着色層形成用感材からパターニングされる各着色
ストライプパターン１３、１４、１５とからなってい
る。
ク１１を示す図であり、ブラックマトリクスパターン２
に対してＲパターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５が
全てズレなく正確に位置付けされている状態での色ズレ
量確認マーク１１の様子を示している。色ズレ量確認マ
ーク１１は、ブラックマトリクスパターン２と同時にク
ロム等の遮光層からパターニングされるＲ用バーニヤパ
ターン１２Ｒ、Ｇ用バーニヤパターン１２Ｇ、Ｂ用バー
ニヤパターン１２Ｂと、各着色パターン３、４、５と同
時に各着色層形成用感材からパターニングされる各着色
ストライプパターン１３、１４、１５とからなってい
る。
【００１４】まず、ストライプパターン１３、１４、１
５は全て同じ幅を有し、ｙ方向にストライプ状に伸びた
形状であり、Ｒストライプパターン１３とＧストライプ
パターン１４のｘ方向の中心間距離は、Ｒパターン３と
Ｇパターン４のｘ方向の中心間距離（すなわち、隣接す
る画素開口８のｘ方向の中心間距離）Ｐに等しく、同様
に、Ｇストライプパターン１４とＢストライプパターン
１５のｘ方向の中心間距離、Ｂストライプパターン１５
とＲストライプパターン１３のｘ方向の中心間距離も、
それぞれＧパターン４とＢパターン５のｘ方向の中心間
距離Ｐ、Ｂパターン５とＲパターン３のｘ方向の中心間
距離Ｐに等しく形成される。これは、Ｇパターン４に対
応する開口を有するフォトマスク１枚のみを用いて、一
定量Ｐだけｘ方向にずらしながらＲパターン３、Ｇパタ
ーン４、Ｂパターン５を露光形成する際、そのフォトマ
スクの外周の色ズレ量確認マーク１１の位置にＧストラ
イプパターン１４に対応する開口を設けておくことによ
り必然的に上記のように形成されるからである。
５は全て同じ幅を有し、ｙ方向にストライプ状に伸びた
形状であり、Ｒストライプパターン１３とＧストライプ
パターン１４のｘ方向の中心間距離は、Ｒパターン３と
Ｇパターン４のｘ方向の中心間距離（すなわち、隣接す
る画素開口８のｘ方向の中心間距離）Ｐに等しく、同様
に、Ｇストライプパターン１４とＢストライプパターン
１５のｘ方向の中心間距離、Ｂストライプパターン１５
とＲストライプパターン１３のｘ方向の中心間距離も、
それぞれＧパターン４とＢパターン５のｘ方向の中心間
距離Ｐ、Ｂパターン５とＲパターン３のｘ方向の中心間
距離Ｐに等しく形成される。これは、Ｇパターン４に対
応する開口を有するフォトマスク１枚のみを用いて、一
定量Ｐだけｘ方向にずらしながらＲパターン３、Ｇパタ
ーン４、Ｂパターン５を露光形成する際、そのフォトマ
スクの外周の色ズレ量確認マーク１１の位置にＧストラ
イプパターン１４に対応する開口を設けておくことによ
り必然的に上記のように形成されるからである。
【００１５】一方、ブラックマトリクスパターン２と同
時に形成されるＲ用バーニヤパターン１２Ｒ、Ｇ用バー
ニヤパターン１２Ｇ、Ｂ用バーニヤパターン１２Ｂは全
て同じ形状をしており、各々、ｙ方向中心の要素パター
ン１２0 と、それに対して＋ｙ方向に順次所定間隔をお
き、かつ、＋ｘ方向に順次微小量Δをずらして設けられ
た別の要素パターン１２+1、１２+2、・・・（図の場合
は、２個）、及び、中心の要素パターン１２0 に対して
−ｙ方向に順次所定間隔をおき、かつ、−ｘ方向に順次
微小量Δをずらして設けられた別の要素パターン１
２-1、１２-2、・・・（図の場合は、２個）とからな
る。これら要素パターン１２0 、１２+1、１２+2、・・
・、１２-1、１２-2、・・・のｘ方向の幅は、ストライ
プパターン１３、１４、１５のｘ方向の幅と等しく設定
されている。なお、このｘ方向の幅は上記ずらし量より
小さく、可能な限り小さい方が望ましい。そして、Ｒ用
バーニヤパターン１２ＲとＧ用バーニヤパターン１２Ｇ
の中心の要素パターン１２0 間のｘ方向の中心間距離、
及びＧ用バーニヤパターン１２ＧとＢ用バーニヤパター
ン１２Ｂの中心の要素パターン１２0 間のｘ方向の中心
間距離は、共にＬに設定され、このＬは、Ｒパターン
３、Ｇパターン４、Ｂパターン５の繰り返し周期の整数
倍（図の場合は、１倍）に各着色パターン３、４、５の
間のずらし量Ｐを加えた値、すなわち、（３ｎ＋１）Ｐ
（ｎは１以上の整数）に設定されている。このような距
離Ｌ離して各色用バーニヤパターン１２Ｒ、１２Ｇ、１
２Ｂを設けるので、相互に干渉せず、邪魔にならない。
時に形成されるＲ用バーニヤパターン１２Ｒ、Ｇ用バー
ニヤパターン１２Ｇ、Ｂ用バーニヤパターン１２Ｂは全
て同じ形状をしており、各々、ｙ方向中心の要素パター
ン１２0 と、それに対して＋ｙ方向に順次所定間隔をお
き、かつ、＋ｘ方向に順次微小量Δをずらして設けられ
た別の要素パターン１２+1、１２+2、・・・（図の場合
は、２個）、及び、中心の要素パターン１２0 に対して
−ｙ方向に順次所定間隔をおき、かつ、−ｘ方向に順次
微小量Δをずらして設けられた別の要素パターン１
２-1、１２-2、・・・（図の場合は、２個）とからな
る。これら要素パターン１２0 、１２+1、１２+2、・・
・、１２-1、１２-2、・・・のｘ方向の幅は、ストライ
プパターン１３、１４、１５のｘ方向の幅と等しく設定
されている。なお、このｘ方向の幅は上記ずらし量より
小さく、可能な限り小さい方が望ましい。そして、Ｒ用
バーニヤパターン１２ＲとＧ用バーニヤパターン１２Ｇ
の中心の要素パターン１２0 間のｘ方向の中心間距離、
及びＧ用バーニヤパターン１２ＧとＢ用バーニヤパター
ン１２Ｂの中心の要素パターン１２0 間のｘ方向の中心
間距離は、共にＬに設定され、このＬは、Ｒパターン
３、Ｇパターン４、Ｂパターン５の繰り返し周期の整数
倍（図の場合は、１倍）に各着色パターン３、４、５の
間のずらし量Ｐを加えた値、すなわち、（３ｎ＋１）Ｐ
（ｎは１以上の整数）に設定されている。このような距
離Ｌ離して各色用バーニヤパターン１２Ｒ、１２Ｇ、１
２Ｂを設けるので、相互に干渉せず、邪魔にならない。
【００１６】Ｒ用バーニヤパターン１２Ｒ、Ｇ用バーニ
ヤパターン１２Ｇ、Ｂ用バーニヤパターン１２Ｂと、Ｒ
ストライプパターン１３、Ｇストライプパターン１４、
Ｂストライプパターン１５とが上記のように形成されて
いるので、ブラックマトリクスパターン２に対してＲパ
ターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５が全てズレなく
正確に位置付けされている場合は、図２に示すように、
Ｒ用バーニヤパターン１２Ｒの位置では、その中心の要
素パターン１２0 上にＲストライプパターン１３がズレ
なく丁度重なる。したがって、Ｒストライプパターン１
３が丁度重なった要素パターンが中心の要素パターン１
２0 であると見出すことにより、Ｒパターン３のブラッ
クマトリクスパターン２に対するズレ量はゼロであり、
正確に位置付けされていると容易に判定できる。同様
に、Ｇストライプパターン１４、Ｂストライプパターン
１５も、それぞれＧ用バーニヤパターン１２Ｇ、Ｂ用バ
ーニヤパターン１２Ｂの中心の要素パターン１２0 に丁
度重なっていることを見出すことにより、Ｇパターン
４、Ｂパターン５のブラックマトリクスパターン２に対
するズレ量はゼロであり、正確に位置付けされていると
容易に判定できる。
ヤパターン１２Ｇ、Ｂ用バーニヤパターン１２Ｂと、Ｒ
ストライプパターン１３、Ｇストライプパターン１４、
Ｂストライプパターン１５とが上記のように形成されて
いるので、ブラックマトリクスパターン２に対してＲパ
ターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５が全てズレなく
正確に位置付けされている場合は、図２に示すように、
Ｒ用バーニヤパターン１２Ｒの位置では、その中心の要
素パターン１２0 上にＲストライプパターン１３がズレ
なく丁度重なる。したがって、Ｒストライプパターン１
３が丁度重なった要素パターンが中心の要素パターン１
２0 であると見出すことにより、Ｒパターン３のブラッ
クマトリクスパターン２に対するズレ量はゼロであり、
正確に位置付けされていると容易に判定できる。同様
に、Ｇストライプパターン１４、Ｂストライプパターン
１５も、それぞれＧ用バーニヤパターン１２Ｇ、Ｂ用バ
ーニヤパターン１２Ｂの中心の要素パターン１２0 に丁
度重なっていることを見出すことにより、Ｇパターン
４、Ｂパターン５のブラックマトリクスパターン２に対
するズレ量はゼロであり、正確に位置付けされていると
容易に判定できる。
【００１７】次に、分かりやすい例として、Ｇパターン
４はズレがなく正確に位置付けされており、Ｒパターン
３は＋ｘ方向にΔ、Ｂパターン５は−ｘ方向にΔだけ正
確な位置からズレている場合の色ズレ量確認マーク１１
の様子を図３に示す。この図から明らかなように、Ｒ用
バーニヤパターン１２Ｒの位置では、Ｒストライプパタ
ーン１３が＋Δの要素パターン１２+1に、Ｂ用バーニヤ
パターン１２Ｂの位置では、Ｂストライプパターン１５
が−Δの要素パターン１２-1にズレなく丁度重なってい
るので、Ｒパターン３は＋ｘ方向にΔだけズレ、Ｂパタ
ーン５は−ｘ方向にΔだけズレていることが容易に確認
できる。また、Ｇ用バーニヤパターン１２Ｇの位置で
は、Ｒストライプパターン１３がズレゼロの中央の要素
パターン１２0 にく丁度重なっているので、正確に位置
付けされていると容易に確認できる。同様に、着色スト
ライプパターン１３、１４、１５が丁度重なって一致す
る要素パターンが１２+2、１２-2、・・・等のときは、
それぞれ対応する着色パターン３、４、５がｘ方向に＋
２Δ、−２Δ、・・・だけズレていることが容易に確認
できることになる。
４はズレがなく正確に位置付けされており、Ｒパターン
３は＋ｘ方向にΔ、Ｂパターン５は−ｘ方向にΔだけ正
確な位置からズレている場合の色ズレ量確認マーク１１
の様子を図３に示す。この図から明らかなように、Ｒ用
バーニヤパターン１２Ｒの位置では、Ｒストライプパタ
ーン１３が＋Δの要素パターン１２+1に、Ｂ用バーニヤ
パターン１２Ｂの位置では、Ｂストライプパターン１５
が−Δの要素パターン１２-1にズレなく丁度重なってい
るので、Ｒパターン３は＋ｘ方向にΔだけズレ、Ｂパタ
ーン５は−ｘ方向にΔだけズレていることが容易に確認
できる。また、Ｇ用バーニヤパターン１２Ｇの位置で
は、Ｒストライプパターン１３がズレゼロの中央の要素
パターン１２0 にく丁度重なっているので、正確に位置
付けされていると容易に確認できる。同様に、着色スト
ライプパターン１３、１４、１５が丁度重なって一致す
る要素パターンが１２+2、１２-2、・・・等のときは、
それぞれ対応する着色パターン３、４、５がｘ方向に＋
２Δ、−２Δ、・・・だけズレていることが容易に確認
できることになる。
【００１８】次に、色ズレ量確認マーク１１の変形例と
して、Ｒパターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５がブ
ラックマトリクスパターン２に対してｙ方向にズレてい
る量を容易に確認できる色ズレ量確認マーク１１の実施
例について説明する。この色ズレ量確認マーク１１は、
Ｒパターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５それぞれに
対応して別々に設けられ、何れも同じ形状であるので、
Ｇパターン３に対応して設けられている色ズレ量確認マ
ーク１１Ｇのみについて説明する（Ｒパターン３用の色
ズレ量確認マークは符号１１Ｒで、Ｂパターン５用の色
ズレ量確認マークは符号１１Ｂで示されることになる
が、それぞれ別々の位置に独立に設け得るので図示はし
ない。）。
して、Ｒパターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５がブ
ラックマトリクスパターン２に対してｙ方向にズレてい
る量を容易に確認できる色ズレ量確認マーク１１の実施
例について説明する。この色ズレ量確認マーク１１は、
Ｒパターン３、Ｇパターン４、Ｂパターン５それぞれに
対応して別々に設けられ、何れも同じ形状であるので、
Ｇパターン３に対応して設けられている色ズレ量確認マ
ーク１１Ｇのみについて説明する（Ｒパターン３用の色
ズレ量確認マークは符号１１Ｒで、Ｂパターン５用の色
ズレ量確認マークは符号１１Ｂで示されることになる
が、それぞれ別々の位置に独立に設け得るので図示はし
ない。）。
【００１９】図４は、色ズレ量確認マーク１１Ｇを示す
図であり、図４（ａ）は、ブラックマトリクスパターン
２に対してＧパターン４がｙ方向にズレなく正確に位置
付けされている状態での色ズレ量確認マーク１１Ｇの様
子を示しており、図４（ｂ）は、ブラックマトリクスパ
ターン２に対してＧパターン４が＋ｙ方向に微小量Δ’
だけ正確な位置からズレている状態での様子を示してい
る。色ズレ量確認マーク１１Ｇは、ブラックマトリクス
パターン２と同時にクロム等の遮光層からパターニング
されるＧ用遮光バーニヤパターン２２Ｇと、Ｇパターン
４と同時に着色層形成用感材からパターニングされるＧ
用着色バーニヤパターン２４Ｇとからなっている。
図であり、図４（ａ）は、ブラックマトリクスパターン
２に対してＧパターン４がｙ方向にズレなく正確に位置
付けされている状態での色ズレ量確認マーク１１Ｇの様
子を示しており、図４（ｂ）は、ブラックマトリクスパ
ターン２に対してＧパターン４が＋ｙ方向に微小量Δ’
だけ正確な位置からズレている状態での様子を示してい
る。色ズレ量確認マーク１１Ｇは、ブラックマトリクス
パターン２と同時にクロム等の遮光層からパターニング
されるＧ用遮光バーニヤパターン２２Ｇと、Ｇパターン
４と同時に着色層形成用感材からパターニングされるＧ
用着色バーニヤパターン２４Ｇとからなっている。
【００２０】Ｇ用遮光バーニヤパターン２２Ｇは、ｙ方
向中心の要素パターン２２0 と、それに対して＋ｙ方向
に一定の中心間距離（Ａとする。）をおいて設けられた
別の要素パターン２２+1、２２+2、・・・（図の場合
は、２個）、及び、中心の要素パターン２２0 に対して
−ｙ方向に一定の中心間距離をおいて設けられた別の要
素パターン２２-1、２２-2、・・・（図の場合は、２
個）とからなる。これら要素パターン２２0 、２２+1、
２２+2、・・・、２２-1、２２-2、・・・のｙ方向の幅
は全て等しく（Ｂとする。）設定されている。Ｇ用着色
バーニヤパターン２４Ｇは、同様に、ｙ方向中心の要素
パターン２４0 と、それに対して＋ｙ方向に一定の中心
間距離（Ｃとする。）をおいて設けられた別の要素パタ
ーン２４+1、２４+2、・・・（図の場合は、２個）、及
び、中心の要素パターン２４0 に対して−ｙ方向に一定
の中心間距離をおいて設けられた別の要素パターン２４
-1、２４-2、・・・（図の場合は、２個）とからなる。
これら要素パターン２４0 、２４+1、２４+2、・・・、
２４-1、２４-2、・・・のｙ方向の幅は全て等しく、Ｇ
用遮光バーニヤパターン２２Ｇの要素パターン２２0 、
２２+1、２２+2、・・・、２２-1、２２-2、・・・のｙ
方向の幅と等しく（Ｂ）設定されている。
向中心の要素パターン２２0 と、それに対して＋ｙ方向
に一定の中心間距離（Ａとする。）をおいて設けられた
別の要素パターン２２+1、２２+2、・・・（図の場合
は、２個）、及び、中心の要素パターン２２0 に対して
−ｙ方向に一定の中心間距離をおいて設けられた別の要
素パターン２２-1、２２-2、・・・（図の場合は、２
個）とからなる。これら要素パターン２２0 、２２+1、
２２+2、・・・、２２-1、２２-2、・・・のｙ方向の幅
は全て等しく（Ｂとする。）設定されている。Ｇ用着色
バーニヤパターン２４Ｇは、同様に、ｙ方向中心の要素
パターン２４0 と、それに対して＋ｙ方向に一定の中心
間距離（Ｃとする。）をおいて設けられた別の要素パタ
ーン２４+1、２４+2、・・・（図の場合は、２個）、及
び、中心の要素パターン２４0 に対して−ｙ方向に一定
の中心間距離をおいて設けられた別の要素パターン２４
-1、２４-2、・・・（図の場合は、２個）とからなる。
これら要素パターン２４0 、２４+1、２４+2、・・・、
２４-1、２４-2、・・・のｙ方向の幅は全て等しく、Ｇ
用遮光バーニヤパターン２２Ｇの要素パターン２２0 、
２２+1、２２+2、・・・、２２-1、２２-2、・・・のｙ
方向の幅と等しく（Ｂ）設定されている。
【００２１】ここで、Ｇ用遮光バーニヤパターン２２Ｇ
の要素パターン２２0 、２２+1、２２+2、・・・、２２
-1、２２-2、・・・の中心間距離Ａと、Ｇ用着色バーニ
ヤパターン２４Ｇの要素パターン２４0 、２４+1、２４
+2、・・・、２４-1、２４-2、・・・の中心間距離Ｃと
の間には、Δ’を微小量とするとき、Ａ−Δ’＝Ｃの関
係に設定されている。なお、Ｇ用遮光バーニヤパターン
２２Ｇの要素パターン２２0 、２２+1、２２+2、・・
・、２２-1、２２-2、・・・のｘ方向の幅、Ｇ用着色バ
ーニヤパターン２４Ｇの要素パターン２４0 、２４+1、
２４+2、・・・、２４-1、２４-2、・・・のｘ方向の
幅、及び、両者の間のｘ方向の位置関係には特に限定は
必要ないが、両者がｘ方向で重なる関係にあればよい。
の要素パターン２２0 、２２+1、２２+2、・・・、２２
-1、２２-2、・・・の中心間距離Ａと、Ｇ用着色バーニ
ヤパターン２４Ｇの要素パターン２４0 、２４+1、２４
+2、・・・、２４-1、２４-2、・・・の中心間距離Ｃと
の間には、Δ’を微小量とするとき、Ａ−Δ’＝Ｃの関
係に設定されている。なお、Ｇ用遮光バーニヤパターン
２２Ｇの要素パターン２２0 、２２+1、２２+2、・・
・、２２-1、２２-2、・・・のｘ方向の幅、Ｇ用着色バ
ーニヤパターン２４Ｇの要素パターン２４0 、２４+1、
２４+2、・・・、２４-1、２４-2、・・・のｘ方向の
幅、及び、両者の間のｘ方向の位置関係には特に限定は
必要ないが、両者がｘ方向で重なる関係にあればよい。
【００２２】Ｇ用遮光バーニヤパターン２２ＧとＧ用着
色バーニヤパターン２４Ｇとが、上記のように、あたか
もノギスの主尺と副尺のように形成されているので、ブ
ラックマトリクスパターン２に対してＧパターン４がｙ
方向にズレなく正確に位置付けされている場合は、図４
（ａ）に示すように、それらの中心の要素パターン２２
0 と２４0 とがズレなく丁度重なるので、Ｇパターン４
のブラックマトリクスパターン２に対するズレ量はゼロ
であり、正確に位置付けされていると容易に判定でき
る。これに対し、図４（ｂ）の状態では、Ｇ用遮光バー
ニヤパターン２２Ｇの＋Δ’の要素パターン２２+1にＧ
用着色バーニヤパターン２４Ｇの＋Δ’の要素パターン
２４+1がズレなく丁度重なっているので、Ｇパターン４
は＋ｙ方向にΔ’だけズレていることが容易に確認でき
る。同様に、Ｇ用遮光バーニヤパターン２２ＧとＧ用着
色バーニヤパターン２４Ｇとが丁度重なって一致する要
素パターンが２２+2：２４+2、・・・、２２-1：２
４-1、２２-2：２４-2、・・・等のときは、それぞれ着
色パターン４がｙ方向に＋２Δ’、・・・、−Δ’、−
２Δ’、・・・だけズレていることが容易に確認できる
ことになる。
色バーニヤパターン２４Ｇとが、上記のように、あたか
もノギスの主尺と副尺のように形成されているので、ブ
ラックマトリクスパターン２に対してＧパターン４がｙ
方向にズレなく正確に位置付けされている場合は、図４
（ａ）に示すように、それらの中心の要素パターン２２
0 と２４0 とがズレなく丁度重なるので、Ｇパターン４
のブラックマトリクスパターン２に対するズレ量はゼロ
であり、正確に位置付けされていると容易に判定でき
る。これに対し、図４（ｂ）の状態では、Ｇ用遮光バー
ニヤパターン２２Ｇの＋Δ’の要素パターン２２+1にＧ
用着色バーニヤパターン２４Ｇの＋Δ’の要素パターン
２４+1がズレなく丁度重なっているので、Ｇパターン４
は＋ｙ方向にΔ’だけズレていることが容易に確認でき
る。同様に、Ｇ用遮光バーニヤパターン２２ＧとＧ用着
色バーニヤパターン２４Ｇとが丁度重なって一致する要
素パターンが２２+2：２４+2、・・・、２２-1：２
４-1、２２-2：２４-2、・・・等のときは、それぞれ着
色パターン４がｙ方向に＋２Δ’、・・・、−Δ’、−
２Δ’、・・・だけズレていることが容易に確認できる
ことになる。
【００２３】以上、本発明の色ズレ量確認マーク付きカ
ラーフィルターをいくつかの実施例に基づいて説明して
きたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形
が可能である。
ラーフィルターをいくつかの実施例に基づいて説明して
きたが、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形
が可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の色ズレ量確認マーク付きカラーフィルターによると、
カラーフィルターが設けられていない透明基板外周に、
複数の着色パターンの遮光パターンに対する位置ズレ量
が確認可能な色ズレ量確認マークが単数あるいは複数配
置されているので、その色ズレ量確認マークを顕微鏡で
拡大して目視するだけで、各着色パターンのブラックマ
トリクスに対するズレ量を簡単に読み取ることができ
る。また、このような色ズレ量確認マークは、ブラック
マトリクスをパターニングするとき及び１枚のフォトマ
スクを用いてずらしながら各着色パターンをパターニン
グするとき、工程を増加させずに、それらのパターニン
グと同時に簡単に作成することができる。
の色ズレ量確認マーク付きカラーフィルターによると、
カラーフィルターが設けられていない透明基板外周に、
複数の着色パターンの遮光パターンに対する位置ズレ量
が確認可能な色ズレ量確認マークが単数あるいは複数配
置されているので、その色ズレ量確認マークを顕微鏡で
拡大して目視するだけで、各着色パターンのブラックマ
トリクスに対するズレ量を簡単に読み取ることができ
る。また、このような色ズレ量確認マークは、ブラック
マトリクスをパターニングするとき及び１枚のフォトマ
スクを用いてずらしながら各着色パターンをパターニン
グするとき、工程を増加させずに、それらのパターニン
グと同時に簡単に作成することができる。
【図１】本発明の色ズレ量確認マーク付きカラーフィル
ターの１例の模式的平面図である。
ターの１例の模式的平面図である。
【図２】本発明の１実施例の色ズレ量確認マークの平面
図である。
図である。
【図３】ＲパターンとＢパターンにズレがある場合の図
２の色ズレ量確認マークの様子を示す図である。
２の色ズレ量確認マークの様子を示す図である。
【図４】色ズレ量確認マークの変形例の平面図である。
【図５】液晶表示装置用のカラーフィルターの製造工程
の１例を説明するための図である。
の１例を説明するための図である。
【図６】図５の製造工程により作製されたカラーフィル
ターの端部部分の平面図である。
ターの端部部分の平面図である。
１…透明矩形基板 ２…ブラックマトリクス ３…Ｒパターン ４…Ｇパターン ５…Ｂパターン ６…保護膜層 ７…透明電極膜パターン ８…画素開口 １０…カラーフィルター １１…色ズレ量確認マーク １２Ｒ…Ｒ用バーニヤパターン １２Ｇ…Ｇ用バーニヤパターン １２Ｂ…Ｂストライプパターン １３…Ｒストライプパターン １４…Ｇストライプパターン １５…Ｂストライプパターン １２0 、１２+1、１２+2、・・・、１２-1、１２-2、・
・・…バーニヤパターンの要素パターン １１Ｇ…Ｇパターン用の色ズレ量確認マーク １１Ｒ…Ｒパターン用の色ズレ量確認マーク １１Ｂ…Ｂパターン用の色ズレ量確認マーク ２２Ｇ…Ｇ用遮光バーニヤパターン ２４…Ｇ用着色バーニヤパターン ２２0 、２２+1、２２+2、・・・、２２-1、２２-2、・
・・…Ｇ用遮光バーニヤパターンの要素パターン ２４0 、２４+1、２４+2、・・・、２４-1、２４-2、・
・・…Ｇ用着色バーニヤパターンの要素パターン
・・…バーニヤパターンの要素パターン １１Ｇ…Ｇパターン用の色ズレ量確認マーク １１Ｒ…Ｒパターン用の色ズレ量確認マーク １１Ｂ…Ｂパターン用の色ズレ量確認マーク ２２Ｇ…Ｇ用遮光バーニヤパターン ２４…Ｇ用着色バーニヤパターン ２２0 、２２+1、２２+2、・・・、２２-1、２２-2、・
・・…Ｇ用遮光バーニヤパターンの要素パターン ２４0 、２４+1、２４+2、・・・、２４-1、２４-2、・
・・…Ｇ用着色バーニヤパターンの要素パターン
Claims (5)
- 【請求項１】 透明基板上に設けられた周期的に開口を
有する遮光パターンの前記開口の各々の上に１つの色の
着色パターンが位置するように複数の着色パターンを前
記遮光パターン上に周期的に設けてなるカラーフィルタ
ーにおいて、カラーフィルターが設けられていない前記
透明基板外周に、前記複数の着色パターンの前記遮光パ
ターンに対する位置ズレ量が確認可能な色ズレ量確認マ
ークが単数あるいは複数配置されていることを特徴とす
る色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター。 - 【請求項２】 前記色ズレ量確認マークが、着色パター
ン毎に設けられており前記遮光パターンと位置関係が対
応している相互に同じ形状の遮光バーニヤパターンと、
前記各着色パターンと位置関係が対応している相互に同
じ形状で対応する着色パターンと同じ色の着色ストライ
プパターンとからなっていることを特徴とする請求項１
記載の色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター。 - 【請求項３】 前記の各遮光バーニヤパターンが、各着
色ストライプパターンが周期的に配置されている方向を
ｘ方向、前記各着色ストライプパターンが伸びる方向を
ｙ方向とするとき、中心の要素パターンと、それに対し
て＋ｙ方向に順次所定間隔をおき、かつ、＋ｘ方向に順
次所定の微小量をずらして設けられた複数の別の要素パ
ターン、及び、中心の要素パターンに対して−ｙ方向に
順次所定間隔をおき、かつ、−ｘ方向に順次所定の微小
量をずらして設けられた複数のさらに別の要素パターン
とからなり、これら要素パターンのｘ方向の幅が前記各
着色ストライプパターンの幅と等しく設定されているこ
とを特徴とする請求項２記載の色ズレ量確認マーク付き
カラーフィルター。 - 【請求項４】 任意の色の着色パターンに対応して設け
られた遮光パターンの中心の要素パターンと隣接する別
の色の着色パターンに対応して設けられた遮光パターン
の中心の要素パターンとの間の中心間距離が、ｘ方向の
隣接する前記開口間の中心間距離をＰとするとき、（３
ｎ＋１）Ｐ（ｎは１以上の整数）に設定されていること
を特徴とする請求項３記載の色ズレ量確認マーク付きカ
ラーフィルター。 - 【請求項５】 前記色ズレ量確認マークが、着色パター
ン毎に設けられており前記遮光パターンと位置関係が対
応している遮光主尺バーニヤパターンと、前記着色パタ
ーンと位置関係が対応している同じ色の着色副尺バーニ
ヤパターンとからなっていることを特徴とする請求項１
記載の色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26978296A JPH10115702A (ja) | 1996-10-11 | 1996-10-11 | 色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26978296A JPH10115702A (ja) | 1996-10-11 | 1996-10-11 | 色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10115702A true JPH10115702A (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=17477089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26978296A Pending JPH10115702A (ja) | 1996-10-11 | 1996-10-11 | 色ズレ量確認マーク付きカラーフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10115702A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098823A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Toray Ind Inc | カラーフィルター製造時の露光位置ずれの測定方法及びカラーフィルター |
| JP2009129923A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Juki Corp | 確認用基板、はんだ位置ずれ検査装置、及びはんだ位置ずれ検査方法 |
| CN102540553A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 上海广电富士光电材料有限公司 | 一种具有标尺结构的彩色滤光基板及其制造方法 |
| CN102540554A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 上海广电富士光电材料有限公司 | 一种具有标尺结构的彩色滤光基板及其制造方法 |
| CN106371241A (zh) * | 2010-07-26 | 2017-02-01 | 伊英克公司 | 用于在显示器基板上形成滤光元件的方法、设备和系统 |
| CN108241231A (zh) * | 2016-12-23 | 2018-07-03 | 上海仪电显示材料有限公司 | 彩色滤光基板的制作方法 |
| JP2018163734A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器 |
| CN111258105A (zh) * | 2018-11-30 | 2020-06-09 | 上海仪电显示材料有限公司 | 彩色滤光基板及测试方法 |
-
1996
- 1996-10-11 JP JP26978296A patent/JPH10115702A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098823A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Toray Ind Inc | カラーフィルター製造時の露光位置ずれの測定方法及びカラーフィルター |
| JP2009129923A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Juki Corp | 確認用基板、はんだ位置ずれ検査装置、及びはんだ位置ずれ検査方法 |
| CN106371241A (zh) * | 2010-07-26 | 2017-02-01 | 伊英克公司 | 用于在显示器基板上形成滤光元件的方法、设备和系统 |
| US10690955B2 (en) | 2010-07-26 | 2020-06-23 | E Ink Corporation | Electro-optic displays, and components for use therein |
| CN102540553A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 上海广电富士光电材料有限公司 | 一种具有标尺结构的彩色滤光基板及其制造方法 |
| CN102540554A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 上海广电富士光电材料有限公司 | 一种具有标尺结构的彩色滤光基板及其制造方法 |
| CN102540554B (zh) * | 2010-12-31 | 2016-06-15 | 上海仪电显示材料有限公司 | 一种具有标尺结构的彩色滤光基板及其制造方法 |
| CN108241231A (zh) * | 2016-12-23 | 2018-07-03 | 上海仪电显示材料有限公司 | 彩色滤光基板的制作方法 |
| CN108241231B (zh) * | 2016-12-23 | 2021-10-26 | 昆山仪电显示材料有限公司 | 彩色滤光基板的制作方法 |
| JP2018163734A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器 |
| CN111258105A (zh) * | 2018-11-30 | 2020-06-09 | 上海仪电显示材料有限公司 | 彩色滤光基板及测试方法 |
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