JPS62121404A - カラ−フイルタ−の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、カラーのビデオカメラの心臓部である撮慮管
や固体撮ｌ象素子、あるいはカラー液晶表示装置等に用
いられるカラーフィルターの製造方法に関する。

（従来の技術） カラーフィルターは、ガラス等の透明基板または固体撮
ｌ１１！素子等の基体上に形成されるもので。

天然色の色信号を得るのに欠かせないものである。

しかし、カラーフィルターは、第１図に平面図として示
すように１例えば、赤（Ｒ）、青（Ｂ）、緑（Ｇ）の各
色分解フィルター層（１）が、基体（２）上にミクロン
オーダーの微細なパターンとして形成されているもので
あり、各色の色分解フィルター（１Ｒ）、（ＩＢ）、（
ＩＧ）相互の位置関係は。

寸分の狂いもない精確さが要求されている。このような
場合、第１図に示すように１位置合わせのための標識と
して１色分解フィルター層（１）の領域外に位置合わせ
マーク（３）を設けている。位置合わせマーク（３）は
、従来は、金属クロムの蒸着層をフォトエツチングの手
法により１図に示すように十文字あるいはその他の適当
なパターンをな１−てぃたが、このような方法では１位
置合わせマークを作成する工程が色分４フイルタ一層の
作成工程以外に余分にあるということであり、金属クロ
ムの蒸着ｓよびパターン化のためのフォトエツチングと
いう手法も、難易度が非常に高いものであることからし
て、製造歩留まりを下げる原因ともなっていた。

（発明の目的） 本発明は１以上のような問題点から、位置合わせマーク
を作成する工程を１色分解フィルターＪ−を作成する工
程の中に組込んで、実質的に位置合わせマークの作成工
程という余分な工程？無くすることを目的とする。

（問題点な解決する具体的手段） −ｔ″なわち１本発明は、４体上に、二色以上の色分解
用フィルター１−を写真的手法により所定の位置にパタ
ーン状に形成するカラーフィルターの製造方法に２いて
、第一色目の色分解フィルター１−をパターン形成する
と同時にフィルター領域外に位置合わせマーフナ第一色
目の色分解フィルター１−と同材料にて形成する工程、
前記位置合わせマークと整合しつる第二の位置合わせマ
ークを形成しうる４光用マスクを用いて第二色目の色分
解フィルター！−をパターン形成すると同時に第二の位
置合わせマークを第二色目の色分解フィルター！−と同
材料にて形成する工程、上記工程を心安色数だけ繰り返
すこと？特徴とするカラーフィルターの製造方法である
。

（発明の作用） 色分解フィルター１！Ｉを作成する工程の中に１位置合
わせマークを作成することを組み込み１位置合わせマー
クとして、色分解フィルター層と同材料でかつ、各々の
位１を合わせマークを重畳することで、工程を節約し、
従来と何んら変わることなく、工程節約分だけ歩留まり
向上となるものである。

（発明の実施例） 以下、本発明の一実施例を示す図面に基いて説明すると
、第２図（ａ）は、基体（２）上に第一色目の色分解フ
ィルター層（１Ｒ）と位置合わせマーク（３）を形成し
たところを示す。このようにするには。

樹脂染色フィルターと称して１例えば、ゼラチン。

低分子量ゼラチン、グリユー、カゼイン等の染色されや
すいポリペプチド系の水溶性樹脂と、光架関剤である重
クロム、俊塩やジアゾニウム塩を水に溶解して得られる
ネガ型の感光性樹脂を、基体（２）上に均一に塗布し、
写真的手法すなわち所望のパターンの開口部を有する露
光マスクを介して残存したい部分だけを露光し、現慮す
ることにより所望のパターン状の被染色膜を得、この被
染色膜を染料液に漬けることにより染色して、第一色目
の色分解フィルター４（ＩＩＬ）とするものである。

第２図（ａ）に示されるように１図の実施例では十文字
形の位置合わせマーク（３）もフィルター項域外に同時
に形成されるものであり、色分解フィルター層（Ｉｎ）
と同様１位置合わせマーク（３）は、赤色な呈すること
になる。

色分解フィルター４（ＩＲ）、位置合わせマーク（３）
として、耐ｄ旨染色凰のものをあげたが、別にこねに限
ぎられる筈はなく、染料や顔料を蒸着して得られるカラ
ーフィルターや、コロイド顔料の電層塗装法により作成
されたカラーフィルターであっても１本発明の製法が適
用できることはもちろんである。

第２図（ｂ）は、第二色目の色分解フィルター１−（１
Ｂ）を作成するための露光用マスク（４）を示すもので
ある。図に８いて、第二色目（青）の色分解フィルター
層（１Ｂ）のための開口部（５）は、所望の形状と位置
に形成されているのであるが、これとは別に、第二の位
置合わせマーク（３）′　に対応する開口部（６）も形
成されている。この第二の位置合わせマーク（３）へま
、すでに基体（２）の上に形成された位置合゛わせマー
ク（３）と整合した時に１色分解フィルター層（ＩＲ）
、（ＩＢ）が互いに正しい位置関係に形成されることに
なるものである。

第３図から第６図に？いて、さらにこの点を詳しく説明
すると、第３図ｔａ）ｋ家、基体（２）上に第一色目の
色分解フィルター層（Ｉ　Ｒ）と同時に形成された位置
合わせマーク（３）を示す。これは、昇２図（ａ）に示
された位置合わせマーク（３）と全く同じである。

次に、第４図（ａ）の如く、第二色目の色分解フィルタ
ー層を作成するために、第２図Ｆｂ）に示す露光用マス
ク（４）を用いて、その位置合わせマーク作成用の開口
部（６）を、位置合わせマーク（３）に整合照合した拭
擦な示す。この状螺（第４図（ｂ）参照）は、位置合わ
せマーク（３）の上面には第二色目の色分解フィルター
（１Ｂ）と位置合わせマーク（３）′とｔりうる感光性
樹脂４　（７）　ｂ′−基体＋２）全面に施されていて
、マスク（４）ケ介して露光することにより、マスク（
４）の開口部（５）　（６１に対応するパターンが基体
上に新たに形成されることになる。

第５図（ａ）　ｆｂｌは、第二の位置合わせマーク（３
）′が、上記のようにして位置合わせマーク（３）の上
に重畳して形成されたことを示す。位置合わせマーク（
３）が赤、第二の位置合わせマーク（３）′カを青であ
るならば。

位置合わせマークの重なり部分（８）は紫色を呈するこ
とになる。

第６図（ａ）　（ｂｌは、第三色目を作成する様子を示
し。

意味としては第４図（ａ）　（ｂ）と本質的に同等であ
る。

位置合わせマーク１３）　（３）’と整合できる開口部
Ｕ〔を有する露光用マスク（９）を用いて、第三色目の
色分解フィルター層（１Ｇ）のパターンを作成すること
となる。

以上、フィルター〇色峙成として、赤、青、緑の例を述
べたが、このほかにも、シアン、イエロー、マゼンタ、
黒等４〜５檀頑の組合わせがあり、このような色構成に
も本発明が対応できることは容易に理解できる。

（発明の効果） 本発明は以上のようｔものであり１本発明によれば１位
置合わせマークを作成するための別工程というものがな
く、そわだけ工程が省略されるので、製造が容易となり
１歩留まりが向上するばかりでなく、各々の位置合わせ
マークを重畳していくので、フィルター頭域外に多（の
スペースをさく必要がなく、従来の工程を変えることも
なければ、従来の工程を実施して何んら痛痒を与えない
実用的な製造方法であると言える。

【図面の簡単な説明】

情１図は１通常のカラーフィルターの要部を示す部分平
面図であり、第２図（ａ）は第一色目の色分解フィルタ
ーＩＩｉ＃と位置合わせマークを形成したところを示す
カラーフィルターの一実施例の要部を示す部分平面図、
第２図（ｂ）は第二色目の色分解フィルター、・−の作
成するための４光用マスクの一例を示す部分平面図であ
り、第３図から第６図までは１本発明のカラーフィルタ
ーの製造方法の一実施例を位置合わせマークの部分につ
いて工程順に示す説明図である。 （１１・・・色分解フィルター層　心）・・・基体＋３
）　（３）’・・・位置合わせマーク　１４）（９＞・
・・露光用マスクｔ５）　（６）　（１０−・・開口部
　　　　　（７）　ｔｉｔ）−・・感光性ｍ脂層（８）
・・・重なり部分

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体上に、二色以上の色分解フィルター層を写真
   的手法により所定の位置にパターン状に形成するカラー
   フィルターの製造方法において、 第一色目の色分解フィルター層をパターン形成すると同
   時に位置合わせマークを第一色目の色分解フィルター層
   と同材料にて形成する工程、 前記位置合わせマークと整合しうる第二の位置合わせマ
   ークを形成しうる露光用マスクを用いて第二色目の色分
   解フィルター層をパターン形成すると同時に第二の位置
   合わせマークを第二色目の色分解フィルター層と同材料
   にて形成する工程、上記工程を必要色数だけ繰り返すこ
   とを特徴とするカラーフィルターの製造方法。